CN112650349B - 用于强制和测量设备的模式切换的鲁棒架构 - Google Patents

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Abstract

本公开涉及用于强制和测量设备的模式切换的鲁棒架构。公开了一种稳定技术，该稳定技术在模式转换期间抑制或抑制自动测试设备(ATE)上的毛刺行为。可调节稳定电路可以与强制电压电路或强制电流电路中的至少一个耦合，以迫使电压或电流流向被测设备(DUT)。可调节稳定电路可以响应于电流钳或电压钳中的至少一个处于有源钳位模式而可调节地配置。以这种方式，可以减少或抑制与模式改变相关的不希望的毛刺行为。

Description

用于强制和测量设备的模式切换的鲁棒架构
技术领域
本公开涉及用于将电压或电流强制到被测设备(DUT)的系统和方法，更具体地，涉及一种用于强制和稳定输送到DUT的电压或电流的方法。
背景技术
当测试电子组件(例如集成电路或其他类似的半导体设备)时，可以将被测设备(DUT)(例如DUT的引脚)放置在硬件中，以在DUT和包含自动测试设备(ATE)的电路之间提供接口。通常，ATE电路可用于提供要施加到DUT的激励(例如电压或电流)，例如施加到DUT的单个端子或多个端子(例如，引脚)。这种自动测试设备允许连接系统对DUT执行测量或诊断DUT中的故障，例如通过监视对这种刺激的响应。
发明内容
本公开的一个方面涉及一种测试系统，用于强制将电压或电流传递到输出节点以耦合到被测设备(DUT)，并测量DUT上的另一个电压或电流，该系统包括：强制电压电路，包括或耦合到电压反馈路径和电流钳；强制电流电路，包括或耦合到电流反馈路径和电压钳；和可调节稳定电路，耦合到所述强制电压电路或所述强制电流电路中的至少一个，所述稳定电路响应于所述电流钳或电压钳中的至少一个是否以有源钳位模式工作而可调节地配置。
本公开的另一个方面涉及一种测试系统，用于强制将电压或电流传递到输出节点以耦合到被测设备(DUT)，并测量DUT上的另一个电压或电流，该系统包括:强制电压电路，包括电压反馈路径和电流钳；强制电流电路，包括电流反馈路径和电压钳；补偿网络；和预充电电路，被配置为初始化所述补偿网络以在工作模式之间进行模式切换所述补偿网络。
本公开的又一个方面涉及一种用于强制将电压或电流传递到输出节点以耦合到被测设备(DUT)并测量DUT处的另一个电压或电流的方法，该方法包括：在所述输出节点处强制电压或电流之一；和响应于在所述输出节点处发生电压钳还是电流钳中的至少一种，使用可调节稳定电路来使强制电流或强制电压中的至少一种稳定。
附图说明
在不一定按比例绘制的附图中，相似的数字可以在不同的视图中描述相似的组件。具有不同字母后缀的相似数字可以表示相似组件的不同实例。附图通过示例而非限制的方式大体上示出了本文档中讨论的各种实施例。
图1A示出了示例，该示例可以包括预充电电路、稳定电路以及补偿网络，该补偿网络连接至每引脚参数测量单元(PPMU)或作为其一部分。
图1B示出了可以包括预充电电路、稳定电路和补偿网络的另一示例，该补偿网络连接或包括为每引脚参数测量单元(PPMU)的一部分。
图2包括模拟的说明性示例，其示出了在从PPMU的从强制电流模式到强制电压模式的模式切换期间的被测设备(DUT)的节点处的电压，而没有稳定电路和预充电电路。
图3包括仿真的说明性示例，其示出了在从PPMU的从力电流模式到力电压模式的模式切换期间被测设备(DUT)的节点处的电压，并且与图2的说明性示例相反，该仿真对应于具有稳定电路和预充电电路的PPMU。
图4示出了示例电路，例如可以耦合到每引脚测量单元(PPMU)或包括为PPMU的一部分的电路，该电路包括力放大器，该力放大器具有连接至力放大器的补偿节点的稳定电路。
图5示出了包括一种技术的示例，该技术诸如用于强制将电压或电流传递至输出节点(例如以导电方式耦合至被测器件(DUT))并在该DUT测量电压或电流中的另一个的方法。
具体实施方式
自动化测试设备(ATE)，例如包括“每引脚参数测量单元”(PPMU)的设备，可以提供不同的操作模式。例如，这样的ATE可以提供强制电流模式或强制电压模式，该强制电流模式或强制电压模式提供将被强制施加到被测设备(DUT)的一个节点或多个节点的指定电压或电流。例如，这样的节点可以包括集成电路或其他电子组件的相应引脚。可以使用力电压反馈电路来实现力电压模式。同样，可以使用力电流反馈电路来实现力电流模式。力电压反馈电路和力电流反馈电路可各自具有其自己的，独立的环路动态特性(例如，增益、瞬态响应或带宽)。
PPMU的使用有助于生成可应用的各种受控电流或电压值，例如用于实现不同的测试应用程序或方案。作为说明性示例，可以从PPMU的可选电流范围中提供可选电流值。例如，该范围可以包括由定义第一范围的正负2微安(μA)到定义第二范围的正负40毫安(mA)所定义的值。作为说明性示例，可以提供从横跨正负5伏的范围中选择的电压值。在另一个示例中，电压范围可以是-1.5伏至6.5伏。例如，当评估泄漏电流时，可以使用第一范围内的电流值，而当表征具有相对较高功率的器件电源引脚的电路时，可以使用第二范围内的电流值。上述范围是说明性的，具有PPMU的ATE可以包括在力电压模式或力电流模式下使用其他范围或值。
在运行期间，ATE可以在强制电流模式和强制电压模式之间切换。这种模式切换会导致被测节点上的不良毛刺。例如，这样的故障行为可以包括不期望的电压或电流瞬变，或者时间上的不稳定性(例如，振荡或“振铃”)。此类故障可能会导致触发保护电压或电流钳，或引起不必要的“振铃”，直到电流或电压稳定为止。这种毛刺行为甚至可能导致DUT损坏或启动不希望的过渡，特别是如果毛刺导致电压或电流值超出指定范围或超过指定阈值，则尤其如此。例如，毛刺可能导致从低逻辑电平到高逻辑电平或从高逻辑电平到低逻辑电平的不想要的转变，或一系列这样的转变。
本发明的发明人已经认识到，除其他事项外，抑制这种毛刺行为可以增强ATE的性能，例如提供在模式转换期间减小或抑制毛刺行为的PPMU。例如，这可以通过初始化耦合到用于无干扰模式转换的ATE的稳定电路来实现。本发明人还认识到，可调节稳定电路可以耦合至强制电压电路或强制电流电路中的至少一个。例如，这种稳定电路可以响应于电流钳或电压钳中的至少一个处于有源钳位模式而可调节地配置。以这种方式，可以减少或抑制与模式改变相关的不希望的毛刺行为。
在一个示例中，可以使用包括力电流反馈回路或力电压反馈回路中的至少一个的电路来实现钳位，该电路可以切入连接到DUT的电压钳位电路或电流钳位电路。可调节稳定电路可包括例如补偿网络，该补偿网络在以下至少之一期间接通：(1)强制电压工作模式或(2)强制电流工作模式，例如电压钳在有源钳位模式下操作。在另一示例中，当电路以力-电压模式操作并且电流钳制被激活时，可以切换补偿网络。在一个示例中，补偿网络可以包括前馈电容器。在另一个示例中，补偿网络可以包括耦合到电阻器-电感器网络的电容器。
作为说明性示例，当系统在力电流模式下操作且电压钳被接合时，第一开关闭合，从而将第一电阻器连接到电容器。类似地，当系统在电流钳接合的情况下以强制电压模式运行时，第二个开关闭合，将第二个电阻器连接到电容器。
该系统可以包括预充电电路，该预充电电路被配置为初始化稳定电路的至少一部分，以用于在操作模式之间进行模式切换。在一个示例中，预充电电路可以包括电容器和反向缓冲器，以基于输出节点处的电压对该电容器充电。例如，当处于强制电流模式(或在电流钳接合的情况下为强制电压模式)时，包括电容器的前馈路径与PPMU隔离，但可以通过反向缓冲器进行预充电。在强制电压模式下或在电压钳接合的情况下以强制电流模式运行时，将启用包括电容器的前馈路径，并且将反向缓冲器断开并断开。
电容器的作用是通过置零来消除或减小非主导极的影响，从而稳定电路。强制电压开关可与电容器串联放置，以确保仅当在强制电压模式下运行或在强制电流模式下钳位电压时才接通电容器。
根据本公开的第二方面，提供了一种用于强制将电压或电流传递到输出节点以耦合到被测设备(DUT)并测量DUT处的另一个电压或电流的方法，所述方法包括：强制在输出节点处的电压或电流之一，响应于在输出节点处发生电压钳制或电流钳制中的至少一种而使用可调节稳定电路来稳定强制电流或强制电压中的至少一个，以及初始化稳定电路的至少一部分，以在工作模式之间进行模式切换。
可以使用耦合到力放大器的多路复用器来强制输出节点上的电压或电流之一，这可以通过使用耦合到力放大器或缓冲器的多路复用器来实现。例如，多路复用器可以将电压或电流范围内的电压或电流水平传递到输出节点。可以在力放大器和输出节点之间连接一个缓冲器，该缓冲器可以支持不同的电流范围，可以选择这些电流范围以传递到输出节点，例如，目标电流为±40(毫安)mA的第一电流范围、目标电流为±1mA的第二电流范围、目标电流为±100(微安)μA的第三电流范围、目标电流为±10μA的第四电流或目标电流为±2μA的第五电流范围的一个或多个。
预充电电路可用于响应于在输出节点处发生电压钳位还是电流钳位中的至少之一而使用可调节稳定电路来稳定强制电流或强制电压中的至少一个。例如，这可以使用预充电电路作为补偿网络的一部分来实现，该补偿网络在以下至少一项中接通：(1)强制电压工作模式或(2)强制电流工作模式，其中电压钳工作在有源钳位模式。预充电电路可以包括前馈电容器，前馈电容器连接到反向缓冲器以基于输出节点处的电压对该电容器充电。在另一个示例中，预充电电路可以包括耦合到电阻器或电感器的电容器，或电容器-电阻器-电感器串联网络。
可调节稳定电路可以包括耦合到力放大器或缓冲器的补偿节点的开关电阻器-电容器网络。所述电阻器-电容器网络可以包括连接至第一开关和第二开关的电容器。第一开关连接到第一电阻器，第二开关连接到第二电阻器。例如，当系统在强制电流模式下工作且电压钳被接合时，第一开关闭合，将第一电阻器连接到电容器。类似地，当系统在强制电流模式下且电流钳被接合时运行时，第二开关闭合，将第二电阻器连接到电容器。
反向缓冲器可以给前馈电容器充电，以初始化稳定电路的至少一部分，以在工作模式之间进行模式切换。例如，当系统以强制电流模式运行时，连接到强制电流电路的强制电流开关闭合，强制电压开关断开，为电容器充电。响应于钳位电压，强制电流开关断开，强制电压开关闭合，以将电容器连接至稳定电路。
将预充电的电容器连接到稳定电路可以减少，抑制或最小化可能由于在PPMU的工作模式之间切换而引起的电压尖峰或其他类似故障。这样的毛刺或尖峰可能会导致DUT损坏或降低其性能。例如，在稳定到最终值之前从强制电流模式切换到强制电压模式时，DUT引脚上可能会发生振铃或振荡。
图1A示出了示例，该示例可以包括预充电电路、稳定电路以及补偿网络，该补偿网络连接至每引脚参数测量单元(PPMU)或作为其一部分。在一个示例中，PPMU包括连接到力放大器或缓冲器102的多路复用器100。多路复用器100允许从一定范围的电压(例如，从-1.5伏到6.5伏)中选择的电压或电流传递或强制到被测设备(DUT)104。PPMU可包括缓冲器106、108和110。缓冲器电路106、108或110中的一个或多个可被接通以建立或支持指定的输出电流范围。在另一示例中，可以通过如下所述的开关来选择电流范围。
力电流开关112和114可以闭合，力电压开关116和118可以断开以建立包括电流反馈路径的力-电流模式。相反，当电路以强制电压模式工作时，强制电压开关116和118闭合，而强制电流开关112和114打开，从而形成强制电压电路，包括电压反馈路径。此外，取决于力电路反馈是在力电压模式还是在力电流模式下操作，组成力电流反馈回路和力电压反馈回路的电路还可启用电流钳位或电压钳位。在示例中，电压钳位和电流钳位可以包括连接到DUT 104的附加电路(未示出)，该附加电路可以通过力电压开关116和118或力电流开关112和114切入或切出。
PPMU可以例如通过调节力电压开关116和118以及力电流开关112和114的相应状态在力电流操作模式和力电压操作模式之间转换。在耦合到DUT的节点上可能会出现电压尖峰或其他故障。例如，电压钳位或电流钳位可以被瞬态或周期性地触发，从而引起“振铃”或其他瞬态波形，直到电流或电压在接近稳态值时趋于稳定。例如，如下所述，在图2的说明性示例中示出了这种行为。
返回参考图1A，补偿网络120可以包括稳定电路122和预充电电路124。补偿网络120可以经由力放大器或缓冲器102耦合到PPMU。这样的补偿网络120可以至少部分地建立电压反馈路径或电流反馈路径，例如取决于力电流开关112和114或力电压开关116和118的各自状态。在非限制性示例中，作为说明性示例，预充电电路124可以包括前馈电容器126、反向缓冲器128、强制电流开关112、强制电压开关116。
作为非限制性示例，稳定电路122A可以包括耦合到力放大器或缓冲器102的补偿节点的电阻器-电容器网络。稳定电路122A可以包括第一电容器130(例如3.7纳法(nF)电容器)、第二电容器132(例如1.4纳法(nF)电容器)、第一电阻器R1 134、第二电阻器R2 136、旁路开关138等。可以响应于电压钳位激活或电流钳位激活，使用开关142或144将电容器132(例如1.4nF电容器)可切换地连接至电阻器134和136中的特定电阻器。旁路开关138可以用于将较高的电容性负载(例如3.7nF)连接至DUT104。补偿网络120、预充电电路124和稳定电路122可以包括或多或少的组件，例如如图1B所示和以下所述。
再次参考图1A，在力电压和力电流模式之间切换将导致前馈电容器126被切入和切出。例如，可以通过闭合与前馈电容器126串联连接的力电压开关116来将前馈电容器126切换到反馈电路中。在另一示例中，当电压钳位激活时，当电路以强制电流模式操作时，前馈电容器126可以切换到电路中，并且强制电压开关116闭合。当电路以强制电流模式工作时，当DUT 102的引脚上的电压下降到指定范围之外时(例如，超过上限或低于下限(上限和下限定义了指定范围))，可能会发生这种情况。当电压钳被激活时，闭合力电压开关116和力电压开关118可以确保电路的稳定性(例如，防止振荡、相移等)。
如果前馈电容器126保持浮置，则前馈电容器126可能存储不想要的电荷。在模式转换期间，可以以引起毛刺或上述瞬态行为的方式注入或以其他方式释放这种不想要的电荷，如上所述。为了防止这种情况，使用反向缓冲器128保持前馈电容器126充满电是有帮助的。反向缓冲器128可以阻止正向电流流动，阻止前馈动作，即使力电压开关116断开，也允许前馈电容器126充电。因此，当在强制电压模式和强制电流模式之间切换时，前馈电容器126将保持电荷，无论该模式切换是有意启动还是由于电压钳位或电流钳位激活而引起。前馈电容器126上的电荷可以基于输出节点150处的电压。
当电路以强制电流模式(或在接合电流钳的情况下处于强制电压模式)工作时，强制电流开关112和114闭合，而强制电压开关116和118打开。当力放大器或缓冲器102的高输入引脚上的电压超出范围时，可以使用开关142和144将电容器130切换到电阻器R1 134或R2136，以便向上或向下拉电压，以便将电压水平移回范围。
图1B示出了可以包括预充电电路、稳定电路和补偿网络的另一示例，该补偿网络连接或包括为每引脚参数测量单元(PPMU)的一部分。在一个示例中，稳定电路122B再次耦合至力放大器或缓冲器102的补偿节点，并且包括诸如以上图1A中所描述的电阻器-电容器网络。
返回参考图1B，稳定电路122B的电阻器-电容器网络可以包括单个电容器140(例如1nF电容器)，其可以选择性地连接到电阻器R1 134和R2 136中的一个或多个。如图1A所示，稳定电路122A和122B可通过断开和闭合强制电压开关116和118或强制电流开关112和114来操作以将前馈电容器126切入和切出电路。作为说明性示例，R1 134可以是800欧姆，R2136可以是50欧姆。在另一个示例中，电容器140可以可切换地与R1 134和R2 136并联连接。该电路还可以包括电压钳152，如果DUT 104两端的电压超过选定极限，则将电流推入或拉入力放大器或缓冲器102的补偿节点；以及电流钳154，如果通过DUT 104的电流超过选择的极限，则将电流推入或拉入力放大器或缓冲器102的补偿节点。。
当电路以强制电流模式运行时，R2 136可以通过开关144可切换或选择性地连接到电阻-电容网络。可替代地，或此外，当触发电流钳154时，R2 136可以通过开关144可切换地或选择性地连接到电阻-电容网络。在另一示例中，当电路以强制电压模式操作时，可以使用稳定电路122A和122B的开关142将R1 134切换到电阻器-电容器网络中。替代地或另外，当触发电压钳152时，可以使用开关142将R1 134切换到电阻器-电容器网络中。将预充电的前馈电容器126连接到稳定电路122A或122B可以减少，抑制或以其他方式最小化或消除在操作模式之间切换时可能出现的电压尖峰或其他类似的毛刺，这可能损坏或以其他方式降低DUT 104的性能。
在一个示例中，电流监控器或电压监控器可以连接至DUT 104，以监控DUT 104两端的电压电平或通过DUT 104的电流电平，并控制力放大器102的补偿节点以激活稳定电路122A和122B。
图2包括模拟的说明性示例，其示出了在从PPMU的从强制电流模式到强制电压模式的模式切换期间的被测设备(DUT)的节点处的电压，而没有稳定电路和预充电电路。例如，输入电压200(例如3.5伏)被传递到PPMU(例如使用图1A或图1B中的多路复用器100)。当系统从强制电流模式切换到强制电压模式时，可以产生DUT电压202以传送到DUT104(例如，传送到DUT 104的引脚)。
如图2底部所示，所述DUT电压202可包括毛刺(例如，振铃或振荡)，其可能是由电容器(例如前馈电容器126)悬空(例如，没有反向缓冲器126耦合到前馈电容器126)引起的。当DUT电压202接近对应于输入电压200的最终值时，可能会经历单调变化。如相对于本文中的技术以及在下面的图3的说明性示例中所示出和描述的那样，通过添加如图1A和图1B中所示和所述的预充电电路124和稳定电路122A或122B，可以将图2所示的DUT电压202中的毛刺减小、抑制或最小化(例如，通过使用反向缓冲器128来对前馈电容器126进行预充电)。
图3包括仿真的说明性示例，其示出了在从PPMU的从力电流模式到力电压模式的模式切换期间被测设备(DUT)的节点处的电压，并且与图2的说明性示例相反，该仿真对应于具有稳定电路和预充电电路的PPMU。例如，可以例如经由多路复用器100将输入电压300(例如3.5伏)输入到PPMU电路。当电路从强制电流模式切换到强制电压模式时，如上面的图2中所描述的，DUT电压302可以被传递到DUT 104的引脚。在图3的示例中，如上文针对图1A或图1B所述的预充电电路124以及稳定电路122A和122B可以用于使用反向缓冲器128来保持前馈电容器126被充电。
在图3的示例中，当前馈电容器126保持充电时，如上面针对图2所示和所述，DUT电压302可以从初始值(例如1.5伏)增加到最终值(例如3.5伏)，而没有由DUT 104的引脚上的毛刺引起的振铃或振荡。因此，在模式切换期间(例如，提供单调切换)或如上所述主动钳位电压或电流时，添加预充电电路124和稳定电路122A或122B可以减少、抑制、最小化、消除DUT 104上的毛刺等。
图4示出了示例电路，例如可以耦合到每引脚测量单元(PPMU)或作为PPMU的一部分被包括在内的电路，该电路包括力放大器，该力放大器具有连接到力放大器的补偿节点的稳定电路。在示例中，稳定电路122A或122B(如以上在图1A和1B中示出和描述的)可以连接到力放大器或缓冲器102的补偿节点402。补偿节点402可以包括在输入的第一级(例如，偏置级404)和第二输出级(例如，A/B类406)之间的力放大器或缓冲器102中，例如，力放大器或缓冲器102的折叠共源共栅级408。补偿节点402可以设置主导极并控制系统的响应(例如，当电压钳位被激活时闭合力电压开关116和118)。偏移修整数模转换器(DAC)400可以在折叠的共源共栅级408中连接到形成输入差分对的晶体管410和412，以减小或最小化偏移误差。
使用多级放大器或缓冲器作为力放大器或缓冲器102的优点可包括提供高于或超过使用单级放大器或缓冲器可实现的增益或阻抗匹配的能力。虽然图4示出了在偏置级404和A/B类级406之间使用共源共栅级408的示例，但是可以利用其他多级放大器或缓冲器，例如，公共发射极/公共收集器级联、耦合的共发射极级、互补对等。此外，可以连接多个多级放大器或缓冲器以获得相似的结果。
图5示出了包括一种技术的示例，该技术诸如用于强制将电压或电流传递至输出节点(例如以导电方式耦合至被测设备(DUT))并在DUT测量电压或电流中的另一个的方法。在502处，可以在耦合到诸如图1A或图1B中的104的被测设备的输出节点处，例如在图1A或图1B中的150处建立或强制电压或电流中的至少一个。因此，可以测量DUT 104处的电压或电流以确定DUT 104是否在指定参数内运行。
在502处，耦合到力放大器或缓冲器102的图1A或图1B中的多路复用器100可以允许将不同的电流(例如2μA-40mA)或电压值(例如-1.5伏-6.6伏)驱动到输出节点150和DUT104。
在504处，可以使用可调节的稳定电路(例如，如图1A或图1B中所述的122A或122B)来使强制电流或强制电压中的至少一个稳定。可以响应于在输出节点150处是否发生电流钳位或电压钳位中的至少一个来进行此操作。例如，稳定电路122A或122B在以下至少一种情况下，可以将前馈电容器126作为预充电电路124的一部分切换到电路中或从电路中移出：(1)强制电压工作模式或(2)强制电流工作模式，其中电压钳152处于有源钳位模式。
在506处，稳定电路的至少一部分可以在操作模式之间稳定。508可包括例如响应于电压或电流中的至少一者是否被有效地钳位而配置稳定电路。可以使用组成图1A或图1B中的补偿网络120的电路、预充电电路124和稳定电路122A或122B使504、506和508相互关联。例如，预充电电路124可以包括前馈电容器126、反向缓冲器128、强制电流开关112或强制电压开关116。在另一个示例中，预充电电路124可以包括耦合到电阻器(未示出)或电感器(未示出)或电容器-电阻器-电感器网络(未示出)的电容器。
在示例中，当系统以强制电流模式操作时，连接到强制电流电路的强制电流开关112和114闭合，强制电压开关116和118打开，从而对前馈电容器126进行充电。当电压被钳位时，力电流开关112和114断开，力电压开关116和118闭合，从而将电容器连接到稳定电路。当电压被钳位时，反向缓冲器128可以给前馈电容器126充电，使得当电路切换模式时，它可以减小、抑制或最小化DUT 104上的电压尖峰或类似的毛刺，如图2所示和所述。
上面的描述旨在是说明性的，而不是限制性的。例如，上述示例(或其一个或多个方面)可以彼此组合使用。在回顾以上描述之后，可以例如由本领域的普通技术人员使用其他实施例。摘要是为了允许读者快速地确定技术公开的性质，并且在摘要被理解为不会被用来解释或限制权利要求的范围或含义的前提下提交摘要。另外，在以上详细描述中，各种特征可以被分组在一起以简化本公开。这不应该被解释为意在意味未声明的公开特征对于任何声明都是必不可少的。而是，发明主题可以在于少于特定公开实施例的所有特征。因此，以下权利要求据此被结合到详细描述中，其中每个权利要求独立地作为单独的实施例。实施例的范围应参考所附权利要求以及这些权利要求所赋予的等同物的全部范围来确定。

Claims (20)

1.一种测试系统，用于强制将电压或电流传递到输出节点以耦合到被测设备(DUT)，并测量DUT上的另一个电压或电流，该系统包括：
强制电压电路，包括或耦合到电压反馈路径和电流钳；
强制电流电路，包括或耦合到电流反馈路径和电压钳；和
可调节稳定电路，用于抑制在电流传递和电压传递之间切换期间测试系统的输出中的毛刺，耦合到所述强制电压电路或所述强制电流电路中的至少一个，所述稳定电路响应于所述电流钳或电压钳中的至少一个是否以激活钳位模式工作而可调节地配置。
2.权利要求1所述的系统，包括预充电电路，被配置为初始化所述稳定电路的至少一部分，以在工作模式之间进行模式切换所述稳定电路。
3.权利要求2所述的系统，其中所述预充电电路包括电容器和反向缓冲器，以基于所述输出节点处的电压为所述电容器充电。
4.权利要求1所述的系统，其中所述可调节稳定电路包括补偿网络，该补偿网络在以下至少一项期间切换：(1)强制电压工作模式或(2)强制电流工作模式，其中所述电压钳在所述激活钳位模式下运行。
5.权利要求4所述的系统，其中所述补偿网络包括前馈电容器。
6.权利要求1所述的系统，其中所述可调节稳定电路包括耦合到放大器或缓冲器电路的补偿节点的开关电阻器-电容器网络，该放大器或缓冲器电路用于在所述输出节点处强制电压或在输出节点处强制电流。
7.权利要求6所述的系统，其中响应于电流钳的激活，第一开关闭合，将第一电阻器连接到所述开关电阻器-电容器网络中的电容器。
8.权利要求6所述的系统，其中响应于电压钳的激活，第二开关闭合，将第二电阻器连接到所述开关电阻器-电容器网络中的电容器。
9.权利要求6所述的系统，其中所述补偿节点包括在所述放大器或缓冲器中，并连接在所述放大器或缓冲器的输入级与所述放大器或缓冲器的输出级之间。
10.一种测试系统，用于强制将电压或电流传递到输出节点以耦合到被测设备(DUT)，并测量DUT上的另一个电压或电流，该系统包括:
强制电压电路，包括电压反馈路径和电流钳；
强制电流电路，包括电流反馈路径和电压钳；
补偿网络；和
预充电电路，被配置为初始化所述补偿网络以对所述补偿网络在工作模式之间进行模式切换。
11.权利要求10所述的系统，其中响应于电流钳或电压钳中的至少一个是否在激活钳位模式下工作，所述补偿网络是可配置的。
12.权利要求10所述的系统，其中所述补偿网络包括可调节稳定电路，该可调节稳定电路在以下至少一项期间切换：(1)强制电压工作模式或(2)强制电流工作模式，其中所述电压钳在激活钳位模式下运行。
13.权利要求12所述的系统，其中所述预充电电路包括连接到前馈电容器的反向缓冲器，以减少、抑制或最小化由工作模式之间切换引起的电压尖峰中的至少一种。
14.权利要求10所述的系统，其中所述补偿网络包括耦合到放大器或缓冲器电路的补偿节点的开关电阻器-电容器网络，该放大器或缓冲器电路用于在所述输出节点处强制电压或在输出节点处强制电流。
15.权利要求14所述的系统，其中响应于电流钳的激活，第一开关闭合，将第一电阻器连接到所述开关电阻器-电容器网络中的电容器。
16.权利要求14所述的系统，其中响应于电压钳的激活，第二开关闭合，将第二电阻器连接到所述开关电阻器-电容器网络中的电容器。
17.权利要求14所述的系统，其中所述补偿节点包括在输入第一级和输出第二级之间的放大器或缓冲器中。
18.一种用于强制将电压或电流传递到输出节点以耦合到被测设备(DUT)并测量DUT处的另一个电压或电流的方法，该方法包括：
在所述输出节点处强制电压或电流之一；和
响应于在所述输出节点处发生电压钳还是电流钳中的至少一种，使用可调节稳定电路来抑制在电流传递和电压传递之间切换期间强制电流或强制电压中的至少一种中的毛刺。
19.权利要求18所述的方法，还包括：初始化所述稳定电路的至少一部分，以对所述稳定电路在工作模式之间进行模式切换。
20.权利要求19所述的方法，还包括：响应以下至少一项配置所述稳定电路：电压或电流被激活钳位。
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