JP3092362B2 - 集積回路の自動試験装置 - Google Patents
集積回路の自動試験装置Info
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- JP3092362B2 JP3092362B2 JP04316143A JP31614392A JP3092362B2 JP 3092362 B2 JP3092362 B2 JP 3092362B2 JP 04316143 A JP04316143 A JP 04316143A JP 31614392 A JP31614392 A JP 31614392A JP 3092362 B2 JP3092362 B2 JP 3092362B2
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- power supply
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は集積回路の検査を行う
自動試験装置、とくに被試験集積回路に電力を供給する
自動試験装置の電源部についてのものである。
自動試験装置、とくに被試験集積回路に電力を供給する
自動試験装置の電源部についてのものである。
【０００２】
【従来の技術】図２は試験を行う被試験集積回路１に電
力を供給する自動試験装置の電源部の構成図である。従
来、自動試験装置により同一の集積回路１を多数並列に
検査する場合、個々の集積回路１−１〜１−ｎの動作に
ついて測定が行なわれる。このため、自動試験装置内の
プログラマブル電源２−１〜２−ｎは各集積回路１−１
〜１−ｎに対して通常１対１に接続される。
力を供給する自動試験装置の電源部の構成図である。従
来、自動試験装置により同一の集積回路１を多数並列に
検査する場合、個々の集積回路１−１〜１−ｎの動作に
ついて測定が行なわれる。このため、自動試験装置内の
プログラマブル電源２−１〜２−ｎは各集積回路１−１
〜１−ｎに対して通常１対１に接続される。
【０００３】また、各集積回路１−１〜１−ｎに対し同
一の測定条件を与えるため、これらのプログラマブル電
源２−１〜２−ｎは同一レンジ、同一電圧に設定され
る。したがって、プログラマブル電源２−１〜２−ｎは
各種異なる仕様の集積回路１に対応できるように、通常
はかなり広い範囲の電圧を最適な分解能で出力するため
に複数の電圧レンジを備えている。このようなプログラ
マブル電源２で、たとえば電源電圧の低い集積回路１を
試験する場合には、プログラマブル電源２の電圧レンジ
および設定電圧は低く設定される。
一の測定条件を与えるため、これらのプログラマブル電
源２−１〜２−ｎは同一レンジ、同一電圧に設定され
る。したがって、プログラマブル電源２−１〜２−ｎは
各種異なる仕様の集積回路１に対応できるように、通常
はかなり広い範囲の電圧を最適な分解能で出力するため
に複数の電圧レンジを備えている。このようなプログラ
マブル電源２で、たとえば電源電圧の低い集積回路１を
試験する場合には、プログラマブル電源２の電圧レンジ
および設定電圧は低く設定される。
【０００４】しかし、このように電源電圧の低い集積回
路１の試験を行うと、プログラマブル電源を動作させて
いる装置内の固定電圧源１０の電圧とプログラマブル電
源の出力側の設定電圧との差が大きくなり、装置内にお
ける損失電圧が大きくなり、装置の発熱量が増大すると
いう問題があった。
路１の試験を行うと、プログラマブル電源を動作させて
いる装置内の固定電圧源１０の電圧とプログラマブル電
源の出力側の設定電圧との差が大きくなり、装置内にお
ける損失電圧が大きくなり、装置の発熱量が増大すると
いう問題があった。
【０００５】このようなプログラマブル電源２における
電力損失を減らすには、プログラマブル電源２を動作さ
せている電源１０と回路の出力電圧との差を小さくすれ
ばよい。しかし、図２に示した従来技術では、電源１０
の出力電圧が固定であるため、あらかじめ電源１０と回
路の出力電圧との差を小さく設定すると、電源電圧の低
い集積回路の試験用に限定され、高い電圧を必要とする
集積回路の試験には対応できない。
電力損失を減らすには、プログラマブル電源２を動作さ
せている電源１０と回路の出力電圧との差を小さくすれ
ばよい。しかし、図２に示した従来技術では、電源１０
の出力電圧が固定であるため、あらかじめ電源１０と回
路の出力電圧との差を小さく設定すると、電源電圧の低
い集積回路の試験用に限定され、高い電圧を必要とする
集積回路の試験には対応できない。
【０００６】このため、従来の自動試験装置では、仕様
の異なる複数種類のプログラマブル電源を内蔵するかま
たは、プログラマブル電源の仕様を、あらかじめ広範囲
の電圧出力が可能なようにすることで、高い電源電圧を
必要とする集積回路から低い電源電圧で動作する集積回
路まで広範囲に対応できるように設計されていた。
の異なる複数種類のプログラマブル電源を内蔵するかま
たは、プログラマブル電源の仕様を、あらかじめ広範囲
の電圧出力が可能なようにすることで、高い電源電圧を
必要とする集積回路から低い電源電圧で動作する集積回
路まで広範囲に対応できるように設計されていた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従来技術における集積
回路の自動試験装置では、広範囲な出力電圧範囲をもつ
プログラマブル電源を内蔵することにより、複数種類の
集積回路に対応可能である反面、低い電源電圧で動作す
る集積回路１の場合には多くの電力損失を伴うという欠
点があった。したがって、従来の集積回路の自動試験装
置はスペース、ファクタ、コスト、電力損失という要素
のいづれも十分に満足させるようなものではなかった。
回路の自動試験装置では、広範囲な出力電圧範囲をもつ
プログラマブル電源を内蔵することにより、複数種類の
集積回路に対応可能である反面、低い電源電圧で動作す
る集積回路１の場合には多くの電力損失を伴うという欠
点があった。したがって、従来の集積回路の自動試験装
置はスペース、ファクタ、コスト、電力損失という要素
のいづれも十分に満足させるようなものではなかった。
【０００８】この発明は、広範囲な出力電圧範囲を備え
たプログラマブル電源に、その出力電圧に応じて最適な
電源電圧を供給することにより、装置内部の電力損失を
低減化できる集積回路の自動試験装置を提供することを
目的とする。
たプログラマブル電源に、その出力電圧に応じて最適な
電源電圧を供給することにより、装置内部の電力損失を
低減化できる集積回路の自動試験装置を提供することを
目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、この発明では、試験を行う被試験集積回路１−１〜
１−ｎに応じて電源のレンジの切り換えを行うプログラ
マブル電源２−１〜２−ｎが被試験集積回路１−１〜１
−ｎに対応して設けられた集積回路の自動試験装置は、
プログラマブル電源２−１〜２−ｎの電源レンジの切り
換えに連動して出力電圧を切り換え、この電源電圧をプ
ログラマブル電源２−１〜２−ｎに供給するスイッチン
グレギュレータ３・４を備える。
に、この発明では、試験を行う被試験集積回路１−１〜
１−ｎに応じて電源のレンジの切り換えを行うプログラ
マブル電源２−１〜２−ｎが被試験集積回路１−１〜１
−ｎに対応して設けられた集積回路の自動試験装置は、
プログラマブル電源２−１〜２−ｎの電源レンジの切り
換えに連動して出力電圧を切り換え、この電源電圧をプ
ログラマブル電源２−１〜２−ｎに供給するスイッチン
グレギュレータ３・４を備える。
【００１０】
【作用】この発明によれば、被試験集積回路１の試験を
行う際、制御信号によってプログラムマブル電源よりこ
の集積回路１に送られる出力電圧の最適化が図られると
ともに、このプログラマブル電源に送られる電源電圧の
最適化が行われるように制御信号によってスイッチング
レギュレータが制御される。
行う際、制御信号によってプログラムマブル電源よりこ
の集積回路１に送られる出力電圧の最適化が図られると
ともに、このプログラマブル電源に送られる電源電圧の
最適化が行われるように制御信号によってスイッチング
レギュレータが制御される。
【００１１】
【実施例】次に図１を参照してこの発明による集積回路
の自動試験装置の実施例を説明する。図１は、この発明
による集積回路の自動試験装置の実施例として、被集積
回路１に電力を供給する電源供給部の構成を示したもの
である。なお、図１において図２と同じ構成要素には同
一の符号を記している。
の自動試験装置の実施例を説明する。図１は、この発明
による集積回路の自動試験装置の実施例として、被集積
回路１に電力を供給する電源供給部の構成を示したもの
である。なお、図１において図２と同じ構成要素には同
一の符号を記している。
【００１２】この実施例の自動試験装置に内蔵されたプ
ログラマブル電源２−１〜２−ｎはそれぞれ、１対１に
対応する被試験集積回路１−１〜１−ｎに応じて、最適
なレンジの電源を供給する電源回路である。すなわち、
各プログラマブル電源２は、複数のスイッチ２ａ〜２ｃ
を有し、これらスイッチ２ａ〜２ｃが被試験集積回路１
に応じて制御信号５で制御されることにより、最適なレ
ンジの出力電圧が選択され、被試験集積回路１に供給さ
れる。各プログラマブル電源２−１〜２−ｎの出力電圧
は、被試験集積回路１−１〜１−ｎの仕様に合せて同じ
電圧に設定される。各プログラマブル電源２はこれを動
作させる電源となっているスイッチングレギュレータ
３、４の夫々と接続されている。
ログラマブル電源２−１〜２−ｎはそれぞれ、１対１に
対応する被試験集積回路１−１〜１−ｎに応じて、最適
なレンジの電源を供給する電源回路である。すなわち、
各プログラマブル電源２は、複数のスイッチ２ａ〜２ｃ
を有し、これらスイッチ２ａ〜２ｃが被試験集積回路１
に応じて制御信号５で制御されることにより、最適なレ
ンジの出力電圧が選択され、被試験集積回路１に供給さ
れる。各プログラマブル電源２−１〜２−ｎの出力電圧
は、被試験集積回路１−１〜１−ｎの仕様に合せて同じ
電圧に設定される。各プログラマブル電源２はこれを動
作させる電源となっているスイッチングレギュレータ
３、４の夫々と接続されている。
【００１３】スイッチングレギュレータ３・４は、ｎ個
のプログラマブル電源２のそれぞれに電源電圧を供給す
る出力電圧が可変の電源回路である。スイッチングレギ
ュレータ３・４は、出力電圧の設定を行う複数のスイッ
チ３ａ〜３ｃを有し、これらスイッチが制御信号５によ
りプログラマブル電源２と連動制御されることにより出
力電圧が調整される。
のプログラマブル電源２のそれぞれに電源電圧を供給す
る出力電圧が可変の電源回路である。スイッチングレギ
ュレータ３・４は、出力電圧の設定を行う複数のスイッ
チ３ａ〜３ｃを有し、これらスイッチが制御信号５によ
りプログラマブル電源２と連動制御されることにより出
力電圧が調整される。
【００１４】すなわち、スイッチングレギュレータ３・
４は、プログラマブル電源２ａ〜２ｎの出力レンジに対
応した数のレンジを持っており、図示を省略した制御装
置の制御信号５により最適なレンジに調整される。制御
信号５を出力する制御装置は、たとえばコンピュータな
どを使用し、被試験集積回路１に応じたスイッチの切り
換えを行う制御信号５を出力する。
４は、プログラマブル電源２ａ〜２ｎの出力レンジに対
応した数のレンジを持っており、図示を省略した制御装
置の制御信号５により最適なレンジに調整される。制御
信号５を出力する制御装置は、たとえばコンピュータな
どを使用し、被試験集積回路１に応じたスイッチの切り
換えを行う制御信号５を出力する。
【００１５】被試験集積回路１−１〜１−ｎの試験を行
う場合、プログラマブル電源２−１〜２−ｎは対応する
同一の被試験集積回路１−１〜１−ｎに同じ測定条件を
与える必要がある。このため、制御信号５によりスイッ
チ２ａ〜２ｃが制御され、各プログラマブル電源２は同
じ電圧と同じ出力レンジに設定される。
う場合、プログラマブル電源２−１〜２−ｎは対応する
同一の被試験集積回路１−１〜１−ｎに同じ測定条件を
与える必要がある。このため、制御信号５によりスイッ
チ２ａ〜２ｃが制御され、各プログラマブル電源２は同
じ電圧と同じ出力レンジに設定される。
【００１６】このとき、プログラマブル電源２ａ〜２ｎ
の出力レンジは、制御信号５により被試験集積回路１−
１〜１−ｎの仕様に見合った最適なレンジに設定される
ので、スイッチングレギュレータ３・４から供給される
電圧は、電力損失の観点から少し高めの電圧を供給する
ことが望ましい。このため、スイッチングレギュレータ
３・４は、図示を省略した制御装置の制御信号５によっ
て、スイッチングレギュレータ３・４とプログラマブル
電源２が連動して最適なレンジ、すなわちプログラマブ
ル電源２からの出力レンジよりやや高めのレンジに切り
換えられる。
の出力レンジは、制御信号５により被試験集積回路１−
１〜１−ｎの仕様に見合った最適なレンジに設定される
ので、スイッチングレギュレータ３・４から供給される
電圧は、電力損失の観点から少し高めの電圧を供給する
ことが望ましい。このため、スイッチングレギュレータ
３・４は、図示を省略した制御装置の制御信号５によっ
て、スイッチングレギュレータ３・４とプログラマブル
電源２が連動して最適なレンジ、すなわちプログラマブ
ル電源２からの出力レンジよりやや高めのレンジに切り
換えられる。
【００１７】なお、同一の集積回路を多数個並列に試験
を行う場合は、各プログラマブル電源を同一に設定する
ことが多く、この発明の実施例による構成は極めて有効
である。
を行う場合は、各プログラマブル電源を同一に設定する
ことが多く、この発明の実施例による構成は極めて有効
である。
【００１８】
【発明の効果】この発明によれば、プログラマブル電源
の出力する電圧レンジと、そのプログラマブル電源を動
作させる電源は常に追従するように切り換えられるの
で、不必要に高い電源電圧で動作させることがなく電力
損失を低く抑えることができる。また、レンジ切り換え
のために複数の電源を設けてそれに切り換える必要はな
いので、広範囲の出力電圧に対応でき、製造原価が廉価
になる。しかも電源としてスイッチングレギュレータを
用いているので電源自体の効率を損うことなく電力損失
や装置の発熱を抑えることができる。
の出力する電圧レンジと、そのプログラマブル電源を動
作させる電源は常に追従するように切り換えられるの
で、不必要に高い電源電圧で動作させることがなく電力
損失を低く抑えることができる。また、レンジ切り換え
のために複数の電源を設けてそれに切り換える必要はな
いので、広範囲の出力電圧に対応でき、製造原価が廉価
になる。しかも電源としてスイッチングレギュレータを
用いているので電源自体の効率を損うことなく電力損失
や装置の発熱を抑えることができる。
【図１】この発明による集積回路の自動試験装置の実施
例を示す構成図である。
例を示す構成図である。
【図２】従来の集積回路の自動試験装置の構成図であ
る。
る。
１−１〜１−ｎ 被試験集積回路 ２−１〜２−ｎ プログラマブル電源 ３，４ スイッチングレギュレータ
Claims (1)
- 【請求項１】 試験を行う被試験集積回路(1-1〜1-n)に
応じて電源のレンジの切り換えを行うプログラマブル電
源(2-1〜2-n)が前記被試験集積回路(1-1〜1-n)に対応し
て設けられた集積回路の自動試験装置において、 前記プログラマブル電源(2-1〜2-n)の電源レンジの切り
換えに連動して出力電圧を切り換え、この電源電圧を前
記プログラマブル電源(2-1〜2-n)に供給するスイッチン
グレギュレータ(3,4) を有することを特徴とする集積回
路の自動試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04316143A JP3092362B2 (ja) | 1992-10-30 | 1992-10-30 | 集積回路の自動試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04316143A JP3092362B2 (ja) | 1992-10-30 | 1992-10-30 | 集積回路の自動試験装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06148265A JPH06148265A (ja) | 1994-05-27 |
| JP3092362B2 true JP3092362B2 (ja) | 2000-09-25 |
Family
ID=18073746
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04316143A Expired - Fee Related JP3092362B2 (ja) | 1992-10-30 | 1992-10-30 | 集積回路の自動試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3092362B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10029835C1 (de) * | 2000-06-16 | 2001-10-25 | Infineon Technologies Ag | Integrierte Schaltung mit Testbetrieb und Testanordnung zum Testen einer integrierten Schaltung |
| JP6068259B2 (ja) * | 2013-05-21 | 2017-01-25 | 新電元工業株式会社 | 電源装置及びこれを備えた電子部品試験装置 |
-
1992
- 1992-10-30 JP JP04316143A patent/JP3092362B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06148265A (ja) | 1994-05-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |