JP6875660B2 - 含窒素環状化合物及びその製造方法 - Google Patents
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Description
HPLCカラム:Inertsil[登録商標]ODS−3(ジーエルサイエンス(株))
カラム温度:40℃
溶媒:アセトニトリル/10mMギ酸アンモニウム水溶液=3/7(v/v)(0分〜10分),3/7(v/v)から7/3(v/v)へ組成比を変更(10分〜15分),7/3(v/v)(15分〜25分),7/3(v/v)から3/7(v/v)へ組成比を変更(25分〜30分),3/7(v/v)(30分〜35分)
流量:1.0mL/分
GPCカラム:KF−403HQ,KF−402HQ,KF−401HQ(昭和電工(株)製)
カラム温度:40℃
溶媒:テトラヒドロフラン(THF)
流量:0.5mL/分
標準試料:ポリスチレン(昭和電工(株)製)
(1,4−ジアリルグリコールウリルの合成)
7.63(s,2H),5.73(m,2H),5.19(dd,4H),5.18(s,2H),3.90(dd,2H),3.49(dd,2H)
(1,4−ジアリル−3,6−ジメチロールグリコールウリルの合成)
5.93(t,2H),5.76(m,2H),5.37(s,2H),5.17(dd,4H),4.63(m,4H),4.02(dd,2H),3.86(dd,2H)
(1,4−ジアリル−3,6−ジ(メトキシメチル)グリコールウリルの合成)
5.74(m,2H),5.35(s,2H),5.19(m,4H),4.61(dd,4H),4.09(dd,2H),3.76(dd,2H),3.17(s,6H)
(1,4−ジグリシジル−3,6−ジ(メトキシメチル)グリコールウリルの合成)
陰イオン交換樹脂(2.0kg)にプロピレングリコールモノメチルエーテル(2.0kg)を加え4時間撹拌後ろ過し、再度その陰イオン交換樹脂にプロピレングリコールモノメチルエーテル(2.0kg)を加え8時間撹拌後ろ過した。更に、前記陰イオン交換樹脂にプロピレングリコールモノメチルエーテル(2.0kg)を加え4時間撹拌後保管した。このプロピレングリコールモノメチルエーテルを加えて保管した陰イオン交換樹脂を、下記合成例で使用する直前にろ過した。
前記合成例4で得られた1,4−ジグリシジル−3,6−ジ(メトキシメチル)グリコールウリル2.01g、3,3’−ジチオジプロピオン酸(堺化学工業(株)、商品名:DTDPA)1.29g、及び触媒として第4級ホスホニウム塩であるトリフェニルモノエチルホスホニウムブロミド0.11gを、プロピレングリコールモノメチルエーテル13.60gに溶解させた後、105℃に加温し、窒素雰囲気下で24.5時間撹拌した。得られた反応生成物に、前記前処理を経た陰イオン交換樹脂(製品名:ダウエックス[登録商標]MONOSPHERE[登録商標]550A、ムロマチテクノス(株))2.86gと前記前処理を経た陽イオン交換樹脂(製品名:アンバーリスト[登録商標]15JWET、オルガノ(株))2.86gを加え、25℃乃至30℃で4時間撹拌後ろ過した。イオン交換処理後のワニス溶液のGPC分析を行ったところ、標準ポリスチレン換算にて重量平均分子量は6630であった。この反応生成物は、下記式(2A)で表される繰り返し単位構造を有する。
モノアリルジグリシジルイソシアヌル酸(四国化成工業(株)、商品名:MADGIC)2.0g、3,3’−ジチオジプロピオン酸(堺化学工業(株)、商品名:DTDPA)1.56g、及び触媒として第4級ホスホニウム塩であるトリフェニルモノエチルホスホニウムブロミド0.13gを、プロピレングリコールモノメチルエーテル14.82gに溶解させた後、105℃に加温し、窒素雰囲気下で24.5時間撹拌した。得られた反応生成物に、前記合成例5で用いた陰イオン交換樹脂3.22gと前記合成例5で用いた陽イオン交換樹脂3.22gを加え、25℃乃至30℃で4時間撹拌後ろ過した。イオン交換処理後のワニス溶液のGPC分析を行ったところ、標準ポリスチレン換算にて重量平均分子量は6165であった。この反応生成物は、下記式(4)で表される繰り返し単位構造を有する。
前記合成例5で得られた反応生成物0.364gを含む溶液1.838gに、プロピレングリコールモノメチルエーテル8.158g、パラトルエンスルホン酸ピリジニウム0.013g、及び界面活性剤(DIC(株)、商品名:R−40−LM)0.004gを加え、溶液とした。その溶液を、孔径0.45μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して、膜形成用組成物を調製した。
前記合成例6で得られた反応生成物0.364gを含む溶液1.898gに、プロピレングリコールモノメチルエーテル8.087g、パラトルエンスルホン酸ピリジニウム0.013g、及び界面活性剤(DIC(株)、商品名:R−40−LM)0.004gを加え、溶液とした。その溶液を、孔径0.45μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して、膜形成用組成物を調製した。
前記合成例6で得られた反応生成物0.283gを含む溶液1.475gに、プロピレングリコールモノメチルエーテル8.424g、パラトルエンスルホン酸ピリジニウム0.010g、架橋剤としてテトラメトキシメチルグリコールウリル(日本サイテックインダストリーズ(株)、商品名:POWDERLINK[登録商標]1174)0.085g、及び界面活性剤(DIC(株)、商品名:R−40−LM)0.003gを加え、溶液とした。その溶液を、孔径0.45μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して、膜形成用組成物を調製した。
本明細書に記載の実施例1並びに比較例1及び比較例2で調製された膜形成用組成物を、それぞれスピンコーターによりシリコンウエハー上に塗布した。このシリコンウエハーをホットプレート上に配置し、215℃で1分間ベークし、該シリコンウエハー上に薄膜を成膜した(膜厚約100nm)。そして、形成されたこれらの薄膜を溶剤(プロピレングリコールモノメチルエーテル/プロピレングリコールモノメチルエーテルアセタート=7/3)に1分間浸漬させた(ストリッピング)後、スピナーにより前記溶剤を除去した。前記薄膜を乾燥させるため、ホットプレート上、100℃で30秒間ベークした後、該薄膜の膜厚を測定し、下記表1に示す結果を得た。
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