JP6873986B2 - 第2基板に接合された第1基板を加工する方法 - Google Patents
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Description
第2基板に接合された第1基板を加工する方法であって、
第1基板と第2基板の間の界面に開口を作出する工程、
前記開口にワイヤを挿入する工程、および
前記界面に沿って前記ワイヤを移動させて剥離前縁を伝播させ、第1基板を第2基板から剥離する工程、
を有してなる方法。
第1基板は、約300μm以下の厚さを有する、実施形態1に記載の方法。
前記ワイヤは、約50μm〜約300μmの直径を有する、実施形態1に記載の方法。
前記ワイヤは、約25MPa〜約10GPaの引張強度を有する、実施形態1に記載の方法。
前記ワイヤは柔軟である、実施形態1に記載の方法。
前記ワイヤは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ナイロン、及びフルオロカーボンのうち少なくとも1つを含む、実施形態5に記載の方法。
第1基板の剥離部分と第2基板の対応部分との間の少なくとも最小離間距離を維持する工程をさらに有してなる、実施形態1から6のいずれかに記載の方法。
前記最小離間距離が、前記ワイヤの直径以上である、実施形態7に記載の方法。
前記最小離間距離が、第1基板の全剥離長さにわたり維持される、実施形態7に記載の方法。
前記ワイヤが、前記第1基板の臨界破壊応力より小さい第1引張強度を有する、実施形態1から6のいずれかに記載の方法。
前記ワイヤを取り除く工程;
第1基板と第2基板の間に新たなワイヤを挿入する工程;および
前記界面に沿って、前記第1引張強度より大きくかつ前記第1基板の臨界破壊応力より小さい第2引張強度を有する新たなワイヤを移動させて剥離前縁をさらに伝播させ、第1基板を第2基板からさらに剥離する工程、
をさらに有してなる、実施形態10に記載の方法。
第2基板に接合された第1基板を加工する方法であって、
約300μm以下の厚さを有する第1基板と、第2基板との間の界面に沿って、前記第1基板の臨界破壊応力より小さい引張強度を有するワイヤを移動させて剥離前縁を伝播させ、第1基板を第2基板から剥離する工程を有してなる方法。
ワイヤを移動させる工程の間、剥離角を実質的に一定に維持することをさらに含む、実施形態1又は12に記載の方法。
ワイヤを移動させる工程の前に、第1基板及び第2基板の温度を少なくとも150℃の温度まで上昇させることにより、第1基板と第2基板の間の接合強度を高める工程を含む、実施形態1又は12に記載の方法。
ワイヤを移動させる工程の前に、第1基板に接合された第2基板に背を向けた第1基板の主面に、機能要素を付ける工程を含む、実施形態1又は12に記載の方法。
ワイヤを移動させる工程は、第1基板を第2基板から完全に剥離する、実施形態1又は12に記載の方法。
第2基板から第1基板の対応する内部が剥離する前に第2基板から第1基板の1つ以上のエッジが剥離されるように、前記ワイヤを移動させる工程の間、ワイヤが剥離前縁の形状に従うように構成される、実施形態1又は12に記載の方法。
前記剥離前縁の形状は、剥離前縁の伝播方向に対して凹形である、実施形態17に記載の方法。
前記ワイヤは、前記第1基板の破損の前に、降伏するか破損するか少なくとも一方であるように構成される、実施形態17に記載の方法。
前記剥離前縁における接合強度は、少なくとも部分的に、第1基板と第2基板の間のウェハ接合及び第1基板と第2基板の間の接着剤の少なくとも1つに基づき決定される、実施形態17に記載の方法。
104 剥離長さ
105 開口
106 有効亀裂先端長さ
107 剥離前縁
108 力
109 剥離角
110 第1基板
111 第1基板の第1主面
112 第1基板の第2主面
113 第1基板の平均厚さ
115 界面
116 想像線
118 エッジ
120 第2基板
121 第2基板の第1主面
122 第2基板の第2主面
123 第2基板の平均厚さ
125 ワイヤ
130 剥離前縁の伝播方向
145 機能要素
Claims (7)
- 第2基板に接合された第1基板を加工する方法であって、
該第1基板と前記第2基板の間の界面に開口を作出する工程、
前記開口にワイヤを挿入する工程、および、
前記界面に沿って前記ワイヤを移動させて剥離前縁を伝播させ、前記第1基板を前記第2基板から剥離する工程、
前記第1基板の剥離部分と前記第2基板の対応部分との間の少なくとも最小離間距離を維持する工程、
を有してなり、
前記ワイヤが、前記第1基板の臨界破壊応力より小さい第1引張強度を有することを特徴とする方法。 - 第2基板に接合された第1基板を加工する方法であって、
約300μm以下の厚さを有する前記第1基板と、前記第2基板との間の界面に沿って、前記第1基板の臨界破壊応力より小さい引張強度を有するワイヤを移動させて剥離前縁を伝播させ、前記第1基板を前記第2基板から剥離する工程、
前記第1基板の剥離部分と前記第2基板の対応部分との間の少なくとも最小離間距離を維持する工程、
を有してなり、
前記ワイヤを移動させる工程の前に、前記第1基板に接合された前記第2基板に背を向けた前記第1基板の主面に、機能要素を付ける工程を含むことを特徴とする方法。 - 前記ワイヤは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ナイロン、及びフルオロカーボンのうち少なくとも1つを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記最小離間距離が、前記ワイヤの直径以上である、請求項1から3いずれか1項に記載の方法。
- 前記ワイヤを移動させる工程の間、剥離角を実質的に一定に維持する工程をさらに含む、請求項1から4のいずれか1項に記載の方法。
- 前記第2基板から前記第1基板の対応する内部が剥離する前に前記第2基板から前記第1基板の1つ以上のエッジが剥離されるように、前記ワイヤを移動させる工程の間、前記ワイヤが前記剥離前縁の形状に従うように構成される、請求項1から5のいずれか1項に記載の方法。
- 前記剥離前縁の形状は、該剥離前縁の伝播方向に対して凹形である、請求項1から6のいずれか1項に記載の方法。
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