JP6863266B2

JP6863266B2 - 圧力センサおよび圧力センサを備えた移動装置

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Publication number: JP6863266B2
Application number: JP2017243906A
Authority: JP
Inventors: 寿毅糸山; 佳孝安達; 克行山本; 大輔森原
Original assignee: Omron Corp
Current assignee: Omron Corp
Priority date: 2017-12-20
Filing date: 2017-12-20
Publication date: 2021-04-21
Anticipated expiration: 2037-12-20
Also published as: CN111316082A; DE112018006563T5; US20200324881A1; WO2019124102A1; US11572157B2; CN111316082B; JP2019109197A

Description

本発明は、圧力センサおよび圧力センサを備えた移動装置に関する。

圧力を検出する圧力センサが利用されている。圧力センサは、圧力の変化を検出する圧力検出素子と圧力検出素子を保護するパッケージ部材とを備える。圧力センサのパッケージ部材にはパッケージ部材の内部に圧力を導入する導入孔が設けられており、パッケージ部材の外部における気圧が導入孔を介してパッケージ部材の内部に導入され、圧力検出素子は導入された圧力を検出する。

例えば、特許文献１には、圧力検出素子と、圧力検出素子を支持する台座と、圧力検出素子に被測定圧力を導入するための導入孔を有するとともに台座が固定され圧力検出素子及び台座を収納するパッケージとを備え、台座とパッケージとの間を接合する接着剤に弾性を有する緩衝部材を混入した半導体圧力センサが開示されている。特許文献１に係る半導体圧力センサは、緩衝部材が混入された接着剤により外力や歪みを吸収することができるため、パッケージに外力等が印加された場合における圧力測定の精度低下を抑制できる。

特開平１０−３２５７６９号公報

圧力センサにおいて導入孔を介して圧力センサ内に風が入り込むと、圧力センサ内に入り込んだ風が圧力検出素子を押圧したり、圧力センサ内の気圧が上昇したりすることによって、圧力検出素子による圧力の検出精度が低下する虞がある。

開示の技術の１つの側面は、圧力センサ内部に風が流入することによる検出精度の低下を抑制することを課題とする。

開示の技術の１つの側面は、次のような圧力センサによって例示される。本圧力センサは、圧力の変化を検出する検出素子と、前記検出素子を収容し、第１の貫通孔と第２の貫通孔とを有するカバー部材と、を備え、前記第１の貫通孔および前記第２の貫通孔は、いずれもそれぞれの正面視において前記検出素子と重ならない位置に設けられることを特徴とする。

開示の技術に係る圧力センサは、第１の貫通孔および第２の貫通孔の少なくとも一方から導入された外部の圧力を検出するセンサである。圧力センサが測定対象とする圧力は、例えば、カバー部材の周囲における気圧である。第１の貫通孔と第２の貫通孔とは、正面視において検出素子と重ならない位置に設けられるため、第１の貫通孔または第２の貫通孔からカバー部材の内部に流入した風によって検出素子が直接押圧されることが抑制される。第１の貫通孔および第２の貫通孔の一方からカバー部材の内部に流入した風は、第１の貫通孔および第２の貫通孔の他方から排出されるため、カバー部材の内部における圧力の上昇が抑制される。その結果、開示の技術によれば、圧力センサ内部に風が流入することによる検出精度の低下が抑制される。さらに、第１の貫通孔および第２の貫通孔がこの
ように配置されることにより、導入孔の正面視において検出素子と重なる領域に導入孔が設けられた圧力センサと比較すると、検出素子へのチリやほこり等によって例示されるゴミの付着が低減される。そのため、開示の技術によれば、ゴミの付着による圧力の誤検知が抑制される。

開示の技術は、さらに次の特徴を有してもよい。前記第１の貫通孔と前記第２の貫通孔とは、互いに正対するように配置されることを特徴とする。このような技術によれば、第１の貫通孔および第２の貫通孔の一方から圧力センサ内に流入した風の進行方向正面に第１の貫通孔および第２の貫通孔の他方が位置するため、流入した風を第１の貫通孔および第２の貫通孔の他方から容易に排出することができる。

開示の技術は、さらに次の特徴を有してもよい。前記カバー部材は、前記カバー部材の内部を第１室と第２室とに区分するとともに前記第１室と前記第２室とを連通する連通孔を有する壁部を備え、前記第１の貫通孔と前記第２の貫通孔とは、前記カバー部材のうち前記第２室に設けられ、前記検出素子は、前記第１室に収容されることを特徴とする。連通孔は壁部に設けられた孔であってもよいし、壁部とカバー内壁との隙間であってもよい。第１の貫通孔または第２の貫通孔を介して第２室に流入した風の第１室への流入は、壁部によって遮られるため、検出素子が設けられた第１室の内部における圧力の上昇が抑制される。

開示の技術は、さらに次の特徴を有してもよい。前記第１の貫通孔の開口面の法線と前記連通孔の開口面の法線とは互いに直交し、かつ、前記第２の貫通孔の開口面の法線と前記連通孔の開口面の法線も互いに直交することを特徴とする。第１の貫通孔、第２の貫通孔および連通孔がこのように配置されるため、第１の貫通孔または第２の貫通孔から流入した風の進行方向と連通孔を介して第１室と第２室とを結ぶ方向とが直交することになり、第１の貫通孔または第２の貫通孔から流入した風が第１室へ流入することが抑制される。

開示の技術は次の特徴をさらに有してもよい。前記検出素子は、導入孔を有するパッケージ部材によって覆われており、前記カバー部材は、前記カバー部材によって覆われた前記検出素子を前記第１室に収容することを特徴とする。このような技術によれば、導入孔を有するパッケージ部材によって覆われた検出素子をさらに前記カバー部材で覆うことで、圧力センサの内部に風が流入することによる検出精度の低下を抑制できる。

開示の技術は、上記した圧力センサと、圧力センサが備えるカバー部材に移動手段が設けられた移動装置に適用してもよい。移動装置の移動手段は飛行手段であってもよい。

本圧力センサは、風の影響による検出誤差を抑制することができる。

図１は、実施形態に係る圧力センサの外観の一例を示す図である。図２は、図１におけるＡ−Ａ線断面図の一例である。図３は、貫通孔と隙間の位置関係を例示する図である。図４は、比較例に係る圧力センサを上方向から見た図の一例である。図５は、図４のＢ−Ｂ線断面図の一例である。図６は、比較例に係る圧力センサにおいて、導入孔から圧力センサの内部に流入する風を例示する図である。図７は、実施形態に係る圧力センサにおいて、貫通孔から圧力センサの内部に流入する風を例示する図である。図８は、第１変形例に係る圧力センサの一例を示す図である。図９および図１０は、第２変形例に係る圧力センサの一例を示す第１の図である。図１０は、第２変形例に係る圧力センサの一例を示す第２の図である。図１１は、図１０におけるＣ−Ｃ線断面図の一例である。図１２は、実施形態に係る圧力センサをフローセンサと組み合わせた利用例を示す図である。

以下、図面を参照して、実施形態について説明する。以下に示す実施形態の構成は例示であり、開示の技術は実施形態の構成に限定されない。

＜適用例＞
適用例に係る圧力センサは、圧力を検出する検出素子と、検出素子を覆うように収容し、第１の貫通孔と第２の貫通孔とを有するカバー部材とを備える。検出素子は、例えば、ダイアフラムを有し、圧力が印加された際におけるダイアフラムの変位を基に圧力を検出する。カバー部材は、検出素子をチリやほこり等の付着、衝撃等から保護する。カバー部材は、例えば、樹脂や金属によって形成される。適用例に係る圧力センサは、第１の貫通孔、第２の貫通孔を介してカバー部材の外部における圧力が圧力センサの内部に導入される。第１の貫通孔と第２の貫通孔とは、いずれもそれぞれの正面視において検出素子と重ならない位置に設けられるため、第１の貫通孔または第２の貫通孔を介して圧力センサの内部に風が流入しても、流入した風によって検出素子が直接押圧されることが抑制される。また、第１の貫通孔および第２の貫通孔の一方から圧力センサの内部に流入した風は、第１の貫通孔および第２の貫通孔の他方から排出される。そのため、風の流入による圧力センサの内部における気圧の上昇が抑制される。すなわち、圧力センサの内部における圧力と圧力センサの周囲における圧力との差が低減される。そのため、適用例に係る圧力センサによれば、圧力の検出精度への風による影響が抑制される。

適用例に係る圧力センサのカバー部材は、カバー部材の内部を検出素子を収容する収容室と、外部から圧力を導入する導入室の２つに分ける壁部を有してもよい。壁部の一部には、収容室と導入室とを連通する連通孔が設けられる。第１の貫通孔と第２の貫通孔はカバー部材の導入室側に互いに正対するように設けられてもよい。壁部によって収容室と導入室とが分けられることで、第１の貫通孔または第２の貫通孔から導入室に流入した風が収容室に流入することが抑制される。また、第１の貫通孔および第２の貫通孔の一方から導入室に流入した風は、壁部によって案内されることで、第１の貫通孔および第２の貫通孔の他方から容易に排出され、圧力の検出精度への風による影響が一層抑制される。

適用例に係る圧力センサにおいて、連通孔は、第１の貫通孔の開口面の法線と連通孔の開口面の法線とが互いに直交し、かつ、第２の貫通孔の開口面の法線と連通孔の開口面の法線とが互いに直交する位置に設けられてもよい。第１の貫通孔、第２の貫通孔および連通孔がこのように配置されるため、第１の貫通孔、第２の貫通孔から流入した風の方向と連通孔を介して導入室と収容室とを結ぶ方向とが直交することになり、第１の貫通孔、第２の貫通孔から流入した風が収容室へ流入することが抑制される。

カバー部材は、パッケージ部材によって覆われた検出素子を収容室に収容するものであってもよい。パッケージ部材には、パッケージ部材の内部に測定対象となる圧力を導入する導入孔が設けられる。導入孔が設けられる位置に限定は無い。導入孔は、正面視において検出素子と重ならない位置に設けられてもよいし、重なる位置に設けられてもよい。パッケージ部材は上記した第１の貫通孔と第２の貫通孔とを有するカバー部材によって覆われるため、仮に導入孔が正面視において検出素子と重なる位置に設けられていても、導入
孔からパッケージ部材の内部に風が流入することは抑制される。そのため、このような圧力センサによっても、圧力の検出精度への風による影響が抑制される。

＜実施形態＞
適用例において説明した圧力センサについて、図面を参照してさらに詳述する。図１は、実施形態に係る圧力センサ１の外観の一例を示す図である。図１（Ａ）は圧力センサ１を上方向から見た図の一例であり、図１（Ｂ）は圧力センサ１の右側面図の一例であり、図１（Ｃ）は圧力センサ１の左側面図の一例であり、図１（Ｄ）は圧力センサ１の正面図の一例である。図１では、カバー部材１０内に設置される検出素子２０が点線で例示される。圧力センサ１は、カバー部材１０を有する。カバー部材は、図１において平行六面体形状として例示されているが、カバー部材１０の形状が平行六面体形状に限定されるわけではない。

カバー部材１０は、検出素子２０を保護するカバーである。カバー部材１０は、検出素子２０の周囲を覆うように収容することで、検出素子２０をチリやほこり等の付着、衝撃等から保護する。図１（Ｂ）、図１（Ｃ）に例示されるように、カバー部材１０の右側面、左側面には、それぞれ貫通孔１１ａ、１１ｂが設けられている。カバー部材１０の外部の圧力の変化は、貫通孔１１ａ、１１ｂを通じて検出素子２０に伝えられる。貫通孔１１ａ、１１ｂは、カバー部材１０の外部から貫通孔１１ａ、１１ｂを介して圧力センサ１内に流入する風が、直接検出素子２０に当たらないような位置に設けられる。例えば、貫通孔１１ａ、１１ｂは、それぞれの開口面の法線が検出面２０ａの開口面の法線と直交する位置に設けられる。貫通孔１１ａ、１１ｂは、貫通孔１１ａ、１１ｂの間に検出素子２０が介在しない位置に設けられることが好ましい。貫通孔１１ａ、１１ｂの間に検出素子２０が介在しないことで、貫通孔１１ａ、１１ｂから圧力センサ内に流入した風が検出素子２０に当たることが抑制され、圧力センサ１の内部に風が流入することによる検出精度の低下が抑制される。

図２は、図１におけるＡ−Ａ線断面図の一例である。カバー部材１０は、上カバー１０ａと下カバー１０ｂとを含む。上カバー１０ａは、その内壁から下カバー１０ｂに向けて突出する壁部１２を有する。壁部１２の端部１２ａと下カバー１０ｂの底面１０ｂ１との間には隙間１２ｂが介在する。壁部１２によって、収容室１００と導入室２００とにカバー部材１０の内部が区分される。

上述の貫通孔１１ａ、１１ｂは、導入室２００に設けられる。貫通孔１１ａ、１１ｂを介して導入された圧力センサ１の外部の圧力は、隙間１２ｂを介して収容室１００に導入される。また、貫通孔１１ａ、１１ｂの一方から導入室２００に流入した風は、壁部１２によって収容室１００への流入が抑制されるとともに、貫通孔１１ａ、１１ｂの他方から排出される。導入室２００は、「第２室」の一例である。

収容室１００には、下カバー１０ｂの底面１０ｂ１上に検出素子２０が検出面２０ａを上カバー１０ａに向けて載置される。下カバー１０ｂの底面１０ｂ１の収容室１００側の領域には、図示しない所定の配線パターンが設けられており、配線パターンによって検出素子２０と制御部３０とが接続される。収容室１００には、上述の通り、貫通孔１１ａ、１１ｂ、隙間１２ｂを介してカバー部材１０の外部の圧力が導入される。収容室１００に導入された圧力は、検出素子２０の検出面２０ａによって検出される。収容室１００は、「第１室」の一例である。隙間１２ｂは、「連通孔」の一例である。

検出素子２０は、例えば、圧力を検出するＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）デバイスである。検出素子２０は、例えば、検出面２０ａにダイアフラムを有し、検出面２０ａに印加される圧力の変化に伴うダイアフラムの変位に基づいて圧力に応じた検
出値を出力する絶対圧センサである。

制御部３０は、検出素子２０によって検出された検出値に対して所定の処理を行うことで、カバー部材１０の外部の圧力を算出する半導体集積回路である。制御部３０は、例えば、Central Processing Unit（ＣＰＵ）とメモリとを含む。ＣＰＵは、マイクロプロセ
ッサユニット（ＭＰＵ）、プロセッサとも呼ばれる。ＣＰＵは、単一のプロセッサに限定される訳ではなく、マルチプロセッサ構成であってもよい。メモリはＣＰＵから直接アクセスされる記憶部として例示される。メモリは、Random Access Memory（ＲＡＭ）およびRead Only Memory（ＲＯＭ）を含む。制御部３０は、ＣＰＵがメモリに記憶されたプログラムを実行することで、検出素子２０が検出した検出値に対してフィルタを適用するノイズ除去処理等の所定の処理を実行できる。

図３は、貫通孔１１ａ、１１ｂと隙間１２ｂの位置関係を例示する図であり、図３は圧力センサ１を上方向から見た図となっている。図３では、図示の都合上、貫通孔１１ａ、１１ｂおよび隙間１２ｂを四角形で強調して示している。図３に例示されるように、貫通孔１１ａ、１１ｂは互いに正対して配置される。隙間１２ｂは、隙間１２ｂの開口面の法線１２ｂ１と貫通孔１１ａの開口面の法線１１ａ１とが互いに直交し、かつ、隙間１２ｂの開口面の法線１２ｂ１と貫通孔１１ｂの開口面の法線１１ｂ１とが互いに直交する位置に設けられる。貫通孔１１ａ、１１ｂおよび隙間１２ｂがこのように配置されるため、貫通孔１１ａ、１１ｂから流入した風の方向と隙間１２ｂを介して導入室２００と収容室１００とを結ぶ方向とが直交することになり、貫通孔１１ａ、１１ｂから流入した風が収容室１００へ流入することが抑制される。なお、貫通孔１１ａ、１１ｂの少なくとも一方から流入した風の収容室１００への流入が抑制される位置関係であれば、隙間１２ｂ、貫通孔１１ａ、１１ｂの位置関係は、隙間１２ｂの開口面の法線１２ｂ１と貫通孔１１ａの開口面の法線１１ａ１とが互いに直交する位置からずれてもよいし、隙間１２ｂの開口面の法線１２ｂ１と貫通孔１１ｂの開口面の法線１１ｂ１とが互いに直交する位置からずれてもよい。

さらに、貫通孔１１ａ、１１ｂが互いに正対しているため、貫通孔１１ａ、１１ｂの一方から流入した風は、そのまま貫通孔１１ａ、１１ｂの他方から排出されることを期待できる。なお、圧力センサ１は、貫通孔１１ａ、１１ｂが互いに正対している構成に限定されるわけではない。貫通孔１１ａ、１１ｂの一方から流入した風が貫通孔１１ａ、１１ｂの他方から好適に排出される範囲であれば、貫通孔１１ａ、１１ｂは互いに正対する位置からずれていてもよい。

＜比較例＞
実施形態との比較のため、比較例に係る圧力センサについて説明する。図４は、比較例に係る圧力センサ５００を上方向から見た図の一例である。圧力センサ５００は、導入孔５１１を有するパッケージ部材５１０を備える。以下、比較例の説明において、実施形態と同一の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。

導入孔５１１は、圧力センサ５００の内部に圧力を導入する貫通孔である。図４では導入孔５１１を正面視した際に導入孔５１１と検出素子２０とが重なる位置に導入孔５１１が設けられている。圧力センサ５００の外部の圧力は、導入孔５１１を介して圧力センサ５００の内部に導入される。

図５は、図４のＢ−Ｂ線断面図の一例である。パッケージ部材５１０は、上パッケージ５１０ａと下カバー１０ｂとを含む。パッケージ部材５１０は、上パッケージ５１０ａにおいて、壁部１２および貫通孔１１ａ、１１ｂを有さず、導入孔５１１を有する点で、実施形態に係るカバー部材１０とは異なる。

図６は、比較例に係る圧力センサ５００において、導入孔５１１から圧力センサ５００の内部に流入する風を例示する図である。図６において、矢印Ｗは、導入孔５１１からパッケージ部材５１０の内部に流入する風を模式的に例示している。以下、本明細書において、矢印Ｗによって例示される風を風Ｗと称する。比較例に係る圧力センサ５００では、上述の通り、導入孔５１１が検出素子２０とは、導入孔５１１の正面視において重なる位置に設けられる。そのため、導入孔５１１から流入した風Ｗが検出素子２０の検出面２０ａを押圧することで、検出素子２０による圧力の検出精度が低下する。さらに、パッケージ部材５１０には導入孔５１１以外の貫通孔が無いため、圧力センサ５００の内部に流入した風の圧力センサ５００からの排出が進まず、圧力センサ５００の内部の圧力が上昇しやすい。そのため、比較例に係る圧力センサ５００では、風Ｗの流入により、検出素子２０による圧力の検出精度が低下する。比較例において、導入孔５１１の位置が導入孔５１１を正面視した際に導入孔５１１と検出素子２０と重ならない位置に設けられたとしても、風Ｗの流入によって圧力センサ５００内部の圧力が上昇するため、検出素子２０による圧力の検出精度は低下する。

図７は、実施形態に係る圧力センサ１において、貫通孔１１ｂから圧力センサ１の内部に流入する風Ｗを例示する図である。図７は、圧力センサ１が備える上カバー１０ａの正面視において、上カバー１０ａを透視した透視図の一例である。貫通孔１１ｂを介して導入室２００に流入した風Ｗは、壁部１２によって貫通孔１１ｂと正対する貫通孔１１ａに案内され、貫通孔１１ａを介して導入室２００から排出される。そのため、風Ｗの流入による導入室２００の内部の圧力の上昇は抑制される。さらに、貫通孔１１ａ、１１ｂはいずれもそれぞれの正面視において検出素子２０と重ならない位置に設けられるため、貫通孔１１ａ、１１ｂからカバー部材１０の内部に流入した風によって検出素子２０が押圧されることも抑制される。そのため、実施形態に係る圧力センサ１は、比較例に係る圧力センサ５００よりも、カバー部材１０の内部に風が流入することによる検出精度の低下を抑制できる。

さらに、貫通孔１１ａ、１１ｂのいずれもが正面視において検出素子と重ならない位置に設けられることにより、比較例に係る圧力センサ５００と比較して、検出素子２０へのチリやほこり等によって例示されるゴミの付着が低減される。そのため、実施形態に係る圧力センサ１によれば、ゴミの付着による圧力の誤検知が抑制される。

＜第１変形例＞
実施形態では、カバー部材１０は検出素子２０を収容するが、カバー部材１０は比較例に係る圧力センサ５００を収容してもよい。図８は、第１変形例に係る圧力センサ１ａの一例を示す図である。圧力センサ１ａでは、カバー部材１０に収容される圧力センサ５００とカバー部材１０とが下カバー１０ｂを共有する。第１変形例に係る圧力センサ１ａにおいても、貫通孔１１ａ、１１ｂの一方からカバー部材１０の内部に流入した風は、貫通孔１１ａ、１１ｂの他方から排出される。さらに、上述の通り、貫通孔１１ａ、１１ｂは、いずれもそれぞれの正面視において検出素子２０とは重ならない領域に設けられるため、貫通孔１１ａ、１１ｂを介して流入した風が検出素子２０を押圧することも抑制される。そのため、第１変形例による圧力センサ１ａによっても、圧力センサ１ａの内部に風が流入することによる検出精度の低下が抑制される。なお、図８において導入孔５１１は正面視において検出素子２０と重なる位置に設けられているが、導入孔５１１の位置はこのような位置に限定されない。導入孔５１１は、検出素子２０と重ならない領域に設けられていてもよい。

＜第２変形例＞
図９および図１０は、第２変形例に係る圧力センサ１ｂの一例を示す図である。図９は
ドローン３００を側方から見た図の一例であり、図１０は、ドローン３００を上方向から見た図の一例である。ドローン３００は、筐体３１０に腕部３３０、３３０を介して結合されたプロペラ３２０、３２０を回転させることで飛行可能であるとともに、着陸時には脚３４０、３４０によって支持される装置である。第２変形例では、実施形態に係る圧力センサ１のカバー部材１０がドローン３００の筐体３１０を兼ねている。すなわち、ドローン３００では、筐体３１０内には検出素子２０が設けられており、貫通孔１１ａ、１１ｂを介して導入された圧力を検出素子２０によって検出可能となっている。ドローン３００は、「圧力センサを備えた移動装置」の一例である。プロペラ３２０、３２０は、「移動手段」、「飛行手段」の一例である。

図１１は、図１０におけるＣ−Ｃ線断面図の一例である。第２変形例に係るドローン３００では、上述の通り、実施形態に係る圧力センサ１のカバー部材１０がドローン３００の筐体３１０を兼ねているため、実施形態と同様に、ドローン３００によっても圧力センサ１ｂの内部に風が流入することによる検出精度の低下が抑制される。なお、ドローン３００はプロペラ３２０、３２０を回転させることで風を生じさせるため、貫通孔１１ａ、１１ｂは、プロペラ３２０、３２０からの風を受けにくい場所に配置されることが好ましい。

第２変形例では、移動装置の一例としてドローン３００が挙げられたが、実施形態や各変形例に係る圧力センサを備えた移動装置がドローン３００に限定されるわけではない。移動装置は、例えば、移動手段として車輪を備えた車両であってもよい。車両としては、例えば、自動車や自転車を挙げることができる。

＜その他の変形＞
実施形態では、圧力センサ１の内部は壁部１２によって検出素子２０を収容する収容室１００と貫通孔１１ａ、１１ｂが設けられる導入室２００とに区分されたが、開示の技術は壁部１２を備えた構成に限定されない。圧力センサ１では、壁部１２を備えない場合でも、貫通孔１１ａ、１１ｂの一方から圧力センサ１の内部に流入した風は貫通孔１１ａ、１１ｂの他方から排出される。壁部１２を備える方が好ましいが、壁部１２を備えない場合であっても、圧力の検出精度への風による影響が抑制される。また、実施形態では、「連通孔」の一例として壁部１２と底面１０ｂ１との間に形成された隙間１２ｂが挙げられたが、「連通孔」は隙間１２ｂに限定されず、収容室１００と導入室２００とを連通するものであれば、連通孔の形状、大きさ等は適宜決定してよい。さらに、実施形態では、壁部１２は上カバー１０ａの内壁から下カバー１０ｂに向けて突出しているが、壁部１２はこのような形態に限定されず、収容室１００と導入室２００とを連通孔によって連通して区分するものであればよい。例えば、壁部１２は、底面１０ｂ１から上カバーに向けて突出してもよいし、カバー部材１０の左右の内壁のうち一方から他方に向けて突出してもよい。また、壁部１２は、収容室１００と導入室２００との間を閉塞し、壁部１２の何れかの箇所に収容室１００と導入室２００とを連通する「連通孔」が設けられてもよい。実施形態では、後方の収容室１００と前方の導入室２００とに区分するように壁部１２が設けられたが、収容室１００と導入室２００とを上下方向に区分するように壁部１２が設けられてもよい。

＜他のセンサとの組み合わせ例＞
図１２は、実施形態に係る圧力センサ１をフローセンサ６００と組み合わせた利用例を示す図である。流路６１０内には、図１２において矢印Ｇによって例示される方向に気体が流れており、フローセンサ６００は、流路６１０内を流れる気体の流速や流量を計測する。実施形態に係る圧力センサ１は、上述の通り圧力の検出精度への風による影響が抑制されるため、気体の流路６１０例示されるような気体が流動する環境下に設置して該環境下の圧力を精度よく検出することも可能である。

以上で開示した実施形態や変形例はそれぞれ組み合わせる事ができる。

１、１ａ、１ｂ、５００・・・圧力センサ
１０・・・カバー部材
１０ａ・・・上カバー
１０ｂ・・・下カバー
１０ｂ１・・・底面
１１ａ、１１ｂ・・・貫通孔
１２・・・壁部
１２ａ・・・端部
１２ｂ・・・隙間
２０・・・検出素子
２０ａ・・・検出面
３０・・・制御部
１００・・・収容室
２００・・・導入室
３００・・・ドローン
３１０・・・筐体
３２０・・・プロペラ
３３０・・・腕部
５１０・・・パッケージ部材
５１０ａ・・・上パッケージ
５１１・・・導入孔
６００・・・フローセンサ
６１０・・・流路
Ｇ・・・矢印
Ｗ・・・風

Claims

圧力の変化を検出する検出素子と、
前記検出素子を内部空間に収容し、平行六面体形状に形成されたカバー部材と、を備え、
前記カバー部材の対向する側面には、それぞれ第１の貫通孔および第２の貫通孔がいずれもそれぞれの正面視において前記検出素子と重ならない位置に設けられ、
前記カバー部材は、前記カバー部材の内部を第１室と第２室とに区分するとともに前記第１室と前記第２室とを連通する連通孔を有する壁部を備え、
前記第１の貫通孔と前記第２の貫通孔とは、前記カバー部材のうち前記第２室に設けられ、
前記検出素子は、導入孔を有するパッケージ部材によって覆われており、
前記カバー部材は、前記パッケージ部材によって覆われた前記検出素子を前記第１室に収容することを特徴とする、
圧力センサ。
前記第１の貫通孔と前記第２の貫通孔とは、互いに正対するように配置されることを特徴とする、
請求項１に記載の圧力センサ。
前記第１の貫通孔の開口面の法線と前記連通孔の開口面の法線とは互いに直交し、かつ、前記第２の貫通孔の開口面の法線と前記連通孔の開口面の法線も互いに直交することを特徴とする、
請求項１または２に記載の圧力センサ。
請求項１から３のいずれか一項に記載の圧力センサと、
前記圧力センサと結合された移動手段と、を備え、移動可能に構成されたことを特徴とする、
圧力センサを備えた移動装置。
前記移動手段は、前記移動装置を飛行させる飛行手段であることを特徴とする、
請求項４に記載の圧力センサを備えた移動装置。