JPH1090099A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
- Publication number
- JPH1090099A JPH1090099A JP26548296A JP26548296A JPH1090099A JP H1090099 A JPH1090099 A JP H1090099A JP 26548296 A JP26548296 A JP 26548296A JP 26548296 A JP26548296 A JP 26548296A JP H1090099 A JPH1090099 A JP H1090099A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hole
- pressure
- sensor
- lower case
- sensor chip
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 センサチップを傷付けたり、破損したり特性
劣化したりしないより信頼性が高く高精度な圧力センサ
を提供すること。 【解決手段】 上ケース１１の合せ面１１ａと下ケース
１２の合せ面１２ａとで接合される際、上ケース１１は
合せ面１１ａから対向面に貫く貫通孔Ａ１を有し、貫通
孔Ｂ２が下ケース１２の合せ面１２ａから垂直に底面１
２ｂまで貫通し、下ケース１２の底部を貫き、側面に達
する開放端をもつ貫通孔Ｃ３を有し、前記上ケース１１
の上面より下ケース１２の下面に貫通している各々の貫
通孔Ａ１、Ｂ２に結合させ、前記貫通孔Ｃ３に連通し、
下ケース１２の内部に達する貫通孔Ｄ４を設け、前記貫
通孔Ｄ４上にセンサチップ１３を配し、該貫通孔Ｄ４を
通して、基準圧力が導入されている圧力センサ１０。
劣化したりしないより信頼性が高く高精度な圧力センサ
を提供すること。 【解決手段】 上ケース１１の合せ面１１ａと下ケース
１２の合せ面１２ａとで接合される際、上ケース１１は
合せ面１１ａから対向面に貫く貫通孔Ａ１を有し、貫通
孔Ｂ２が下ケース１２の合せ面１２ａから垂直に底面１
２ｂまで貫通し、下ケース１２の底部を貫き、側面に達
する開放端をもつ貫通孔Ｃ３を有し、前記上ケース１１
の上面より下ケース１２の下面に貫通している各々の貫
通孔Ａ１、Ｂ２に結合させ、前記貫通孔Ｃ３に連通し、
下ケース１２の内部に達する貫通孔Ｄ４を設け、前記貫
通孔Ｄ４上にセンサチップ１３を配し、該貫通孔Ｄ４を
通して、基準圧力が導入されている圧力センサ１０。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、センサチップをケ
ース内に搭載した圧力センサに関し、特に、圧力センサ
の被測定圧力導入孔と基準圧力導入孔を設けた位置に関
する。
ース内に搭載した圧力センサに関し、特に、圧力センサ
の被測定圧力導入孔と基準圧力導入孔を設けた位置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】図２に、従来の圧力センサの概略断面図
を示す。
を示す。
【０００３】図２に示すように、従来の圧力センサ２０
は、上ケース２１と下ケース２２とからなり、下ケース
２２の底面の中央に基準圧力導入孔２４を設け、下ケー
スの内部に達する前記基準圧力導入孔２４を塞ぐように
センサチップ１３を接着した後、前記センサチップ１３
の真上に位置する突出部２３ａに煙突状の貫通孔からな
る被測定圧力導入孔２３を設けた上ケース２１と前記下
ケース２２とを、超音波溶着等により一体化し、前記被
測定圧力導入孔２３と前記基準圧力導入孔２４とが、上
下ケースを一体化した際、上下ケースの中心の同一線上
に位置する箱状の空間からなる部室を形成する。
は、上ケース２１と下ケース２２とからなり、下ケース
２２の底面の中央に基準圧力導入孔２４を設け、下ケー
スの内部に達する前記基準圧力導入孔２４を塞ぐように
センサチップ１３を接着した後、前記センサチップ１３
の真上に位置する突出部２３ａに煙突状の貫通孔からな
る被測定圧力導入孔２３を設けた上ケース２１と前記下
ケース２２とを、超音波溶着等により一体化し、前記被
測定圧力導入孔２３と前記基準圧力導入孔２４とが、上
下ケースを一体化した際、上下ケースの中心の同一線上
に位置する箱状の空間からなる部室を形成する。
【０００４】このような圧力センサ２０では、上ケース
２１の被測定圧力導入孔２３より導入される圧力を、基
準圧力導入孔２４より導入されている大気圧等の基準圧
力からの圧力の差圧を下ケース内に設けた前記センサチ
ップによって検知している。
２１の被測定圧力導入孔２３より導入される圧力を、基
準圧力導入孔２４より導入されている大気圧等の基準圧
力からの圧力の差圧を下ケース内に設けた前記センサチ
ップによって検知している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、従来の
圧力センサ２０では、センサチップ１３が大気圧等の基
準圧力からの圧力の差圧を検知しやすいように、被測定
圧力導入孔２３の真下になるように位置する。このため
に、前記被測定圧力導入孔２３と基準圧力導入孔２４に
圧力が急激に付加され、その圧力の急激な変化のため、
センサチップ１３を破壊したり、センサチップ１３の特
性と関係する直線性に異常を起し、圧力センサの特性が
劣化する。また、前記被測定圧力導入孔や基準圧力導入
孔から入るごみにより、特にセンサチップ１３に直接ご
みが付着することによって、センサチップ１３を傷付け
たり、特性の劣化を起こすことがあった。また、基準圧
力が安定した静圧としてセンサチップ１３に導入され
ず、高精度な圧力センサの提供が不可能だった。
圧力センサ２０では、センサチップ１３が大気圧等の基
準圧力からの圧力の差圧を検知しやすいように、被測定
圧力導入孔２３の真下になるように位置する。このため
に、前記被測定圧力導入孔２３と基準圧力導入孔２４に
圧力が急激に付加され、その圧力の急激な変化のため、
センサチップ１３を破壊したり、センサチップ１３の特
性と関係する直線性に異常を起し、圧力センサの特性が
劣化する。また、前記被測定圧力導入孔や基準圧力導入
孔から入るごみにより、特にセンサチップ１３に直接ご
みが付着することによって、センサチップ１３を傷付け
たり、特性の劣化を起こすことがあった。また、基準圧
力が安定した静圧としてセンサチップ１３に導入され
ず、高精度な圧力センサの提供が不可能だった。
【０００６】従って、本発明の目的は、センサチップを
傷付けたり、破損したり、特性劣化したりしないより高
い信頼性を有する高精度な圧力センサを提供することに
ある。
傷付けたり、破損したり、特性劣化したりしないより高
い信頼性を有する高精度な圧力センサを提供することに
ある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、被測定圧力
導入孔を設けた上ケースと、基準圧力導入孔及びセンサ
チップとを設けた下ケースとを接合して内部に部屋を形
成する圧力センサであって、前記被測定圧力導入孔と前
記基準圧力導入孔との軸心とセンサチップの厚さ方向の
中心軸とがずれるように配置されることを特徴とする圧
力センサであり、貫通孔が上ケースの上面から下ケー
スの底面に貫通し、かつＴ型をなして下ケースの側面に
連通し、更に、下ケースの内部に連通して基準圧力導入
孔を形成し、前記基準圧力導入孔上にセンサチップを配
して基準圧力が導入されていることを特徴とする圧力セ
ンサであり、又は記載の圧力センサにおいて、上
ケースに設けられた被測定圧力導入孔が屈曲しているこ
とを特徴とする圧力センサであり、ないしのいずれ
かに記載の圧力センサにおいて各々の上記貫通孔の出入
口にフィルターを設けたことを特徴とする圧力センサで
ある。
導入孔を設けた上ケースと、基準圧力導入孔及びセンサ
チップとを設けた下ケースとを接合して内部に部屋を形
成する圧力センサであって、前記被測定圧力導入孔と前
記基準圧力導入孔との軸心とセンサチップの厚さ方向の
中心軸とがずれるように配置されることを特徴とする圧
力センサであり、貫通孔が上ケースの上面から下ケー
スの底面に貫通し、かつＴ型をなして下ケースの側面に
連通し、更に、下ケースの内部に連通して基準圧力導入
孔を形成し、前記基準圧力導入孔上にセンサチップを配
して基準圧力が導入されていることを特徴とする圧力セ
ンサであり、又は記載の圧力センサにおいて、上
ケースに設けられた被測定圧力導入孔が屈曲しているこ
とを特徴とする圧力センサであり、ないしのいずれ
かに記載の圧力センサにおいて各々の上記貫通孔の出入
口にフィルターを設けたことを特徴とする圧力センサで
ある。
【０００８】本発明では、圧力センサの被測定圧力導入
孔や基準圧力導入孔との中心軸が、センサチップの厚方
向の中心軸とがずれるように配置されているため、被測
定圧力導入孔や基準圧力導入孔を介してセンサチップに
圧力が急激に加圧されることがなくなり、センサチップ
を傷付けたり、特性劣化をまねくことがなくなる。ま
た、フィルタを貫通孔の出入口に設けることにより、侵
入するごみを防止することができ、信頼性が高く高精度
な圧力センサを提供することができる。
孔や基準圧力導入孔との中心軸が、センサチップの厚方
向の中心軸とがずれるように配置されているため、被測
定圧力導入孔や基準圧力導入孔を介してセンサチップに
圧力が急激に加圧されることがなくなり、センサチップ
を傷付けたり、特性劣化をまねくことがなくなる。ま
た、フィルタを貫通孔の出入口に設けることにより、侵
入するごみを防止することができ、信頼性が高く高精度
な圧力センサを提供することができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の圧力センサの実
施の形態について図面に基づき説明する。
施の形態について図面に基づき説明する。
【００１０】図１は、本発明の圧力センサの断面図であ
る。
る。
【００１１】圧力センサ１０は、図１に示すように、下
ケース１２とセンサチップ１３と突出部１４ａを有する
上ケース１１とから構成される。また、センサチップ１
３は、下ケース１２の基準圧力導入孔１５の貫通孔Ｄ４
上に配される。また、センサチップ１３をシリコン接着
剤等により接着して、下ケース１２と上ケース１１とを
超音波溶着等により一体化する。
ケース１２とセンサチップ１３と突出部１４ａを有する
上ケース１１とから構成される。また、センサチップ１
３は、下ケース１２の基準圧力導入孔１５の貫通孔Ｄ４
上に配される。また、センサチップ１３をシリコン接着
剤等により接着して、下ケース１２と上ケース１１とを
超音波溶着等により一体化する。
【００１２】上ケース１１は、本発明の圧力センサ１０
においては、ほぼ中央から外部へ突出する突出部１４ａ
を設け、その内部に屈曲した、外部から内部へ貫通する
被測定圧力導入孔１４を形成している。さらに、上ケー
ス１１は、下ケース１２の合せ面１２ａと接合される合
せ面１１ａに貫く貫通孔Ａ１を設けている。この貫通孔
Ａ１は、上ケース１１の外部から下ケース１２の合せ面
１２ａに貫通する。
においては、ほぼ中央から外部へ突出する突出部１４ａ
を設け、その内部に屈曲した、外部から内部へ貫通する
被測定圧力導入孔１４を形成している。さらに、上ケー
ス１１は、下ケース１２の合せ面１２ａと接合される合
せ面１１ａに貫く貫通孔Ａ１を設けている。この貫通孔
Ａ１は、上ケース１１の外部から下ケース１２の合せ面
１２ａに貫通する。
【００１３】下ケース１２は、上ケース１１の合せ面１
１ａを貫通する貫通孔Ａ１と同じ軸心で垂直に底面１２
ｂまで貫通した貫通孔Ｂ２を設けている。従って、貫通
孔Ａ１と貫通孔Ｂ２とは、同一軸心を有し貫通してい
る。
１ａを貫通する貫通孔Ａ１と同じ軸心で垂直に底面１２
ｂまで貫通した貫通孔Ｂ２を設けている。従って、貫通
孔Ａ１と貫通孔Ｂ２とは、同一軸心を有し貫通してい
る。
【００１４】さらに、下ケース１２は、底部を貫通し、
側面１２Ｃに達して開放端を有する貫通孔Ｃ３を設けて
いる。貫通孔Ｃ３は、貫通孔Ｂ２と連通している。ま
た、貫通孔Ｃ３は、貫通孔Ｄ４と連通している。前記貫
通孔Ｄ４は、基準圧力導入孔１５と連通してケースの内
部に形成された部室１６に貫通している。
側面１２Ｃに達して開放端を有する貫通孔Ｃ３を設けて
いる。貫通孔Ｃ３は、貫通孔Ｂ２と連通している。ま
た、貫通孔Ｃ３は、貫通孔Ｄ４と連通している。前記貫
通孔Ｄ４は、基準圧力導入孔１５と連通してケースの内
部に形成された部室１６に貫通している。
【００１５】センサチップ１３は、下ケース１２の内部
に貫通した貫通孔Ｄ４の上に配されている。従って、セ
ンサチップ１３の厚さ方向の中心軸と、被測定圧力導入
孔１４と基準圧力導入孔１５との軸心とは、ずれて各々
が配置される。前記貫通孔Ｄ４を通して基準圧力が導入
され、センサチップ１３が屈曲する被測定圧力導入孔１
４の圧力と基準圧力導入孔１５から導入された圧力との
差圧を検知して本発明の圧力センサが完成する。
に貫通した貫通孔Ｄ４の上に配されている。従って、セ
ンサチップ１３の厚さ方向の中心軸と、被測定圧力導入
孔１４と基準圧力導入孔１５との軸心とは、ずれて各々
が配置される。前記貫通孔Ｄ４を通して基準圧力が導入
され、センサチップ１３が屈曲する被測定圧力導入孔１
４の圧力と基準圧力導入孔１５から導入された圧力との
差圧を検知して本発明の圧力センサが完成する。
【００１６】本圧力センサによれば、被測定圧力導入孔
１４と基準圧力導入孔１５との軸心と、センサチップ１
３の設置面の中心すなわちセンサチップ１３の厚さ方向
の軸心とはずれて配置されるので、圧力を直接センサチ
ップ１３に付加されなくなりセンサチップが破損した
り、特性劣化したりしない。また、貫通孔Ａ１、貫通孔
Ｂ２、貫通孔Ｃ３、屈曲する被測定圧力導入孔１４の外
気が導入される貫通孔の出入口にごみの侵入を防止する
圧力を変動させない程度のフィルターをつけ、ごみの侵
入を防止する。
１４と基準圧力導入孔１５との軸心と、センサチップ１
３の設置面の中心すなわちセンサチップ１３の厚さ方向
の軸心とはずれて配置されるので、圧力を直接センサチ
ップ１３に付加されなくなりセンサチップが破損した
り、特性劣化したりしない。また、貫通孔Ａ１、貫通孔
Ｂ２、貫通孔Ｃ３、屈曲する被測定圧力導入孔１４の外
気が導入される貫通孔の出入口にごみの侵入を防止する
圧力を変動させない程度のフィルターをつけ、ごみの侵
入を防止する。
【００１７】
【発明の効果】従って、本圧力センサによれば、センサ
チップを傷つけたり、破損したり、特性劣化したりしな
いので、信頼性が高く高精度の圧力センサが得られる。
チップを傷つけたり、破損したり、特性劣化したりしな
いので、信頼性が高く高精度の圧力センサが得られる。
【図１】本発明の圧力センサの概略断面図。
【図２】従来の圧力センサの概略断面図。
１ 貫通孔Ａ ２ 貫通孔Ｂ ３ 貫通孔Ｃ ４ 貫通孔Ｄ １０ 圧力センサ １１ 上ケース １１ａ 合せ面 １２ 下ケース １２ａ 合せ面 １２ｂ 底面 １２ｃ 側面 １３ センサチップ １４ 被測定圧力導入孔 １５ 基準圧力導入孔 １６ 部室 ２０ 圧力センサ ２１ 上ケース ２２ 下ケース ２３ 被測定圧力導入孔 ２３ａ 突出部 ２４ 基準圧力導入孔
Claims (4)
- 【請求項１】 被測定圧力導入孔を設けた上ケースと、
基準圧力導入孔及びセンサチップとを設けた下ケースと
を接合して内部に部屋を形成する圧力センサであって、
前記被測定圧力導入孔と前記基準圧力導入孔との軸心と
センサチップの厚さ方向の中心軸とがずれるように配置
されることを特徴とする圧力センサ。 - 【請求項２】 貫通孔が上ケースの上面から下ケースの
底面に貫通し、かつＴ型をなして下ケースの側面に連通
し、更に、下ケースの内部に連通して基準圧力導入孔を
形成し、前記基準圧力導入孔上にセンサチップを配して
基準圧力が導入されていることを特徴とする圧力セン
サ。 - 【請求項３】 請求項１又は請求項２記載の圧力センサ
において、上ケースに設けられた被測定圧力導入孔が屈
曲していることを特徴とする圧力センサ。 - 【請求項４】 請求項１ないし３のいずれかに記載の圧
力センサにおいて、各々の上記貫通孔の出入口にフィル
ターを設けたことを特徴とする圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26548296A JPH1090099A (ja) | 1996-09-13 | 1996-09-13 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26548296A JPH1090099A (ja) | 1996-09-13 | 1996-09-13 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1090099A true JPH1090099A (ja) | 1998-04-10 |
Family
ID=17417797
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26548296A Pending JPH1090099A (ja) | 1996-09-13 | 1996-09-13 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1090099A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010256187A (ja) * | 2009-04-24 | 2010-11-11 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 圧力センサ |
| JP2014032186A (ja) * | 2012-07-12 | 2014-02-20 | Nippon Dengi Kk | 微差圧発信器及び空調システム |
| JP2014235095A (ja) * | 2013-06-03 | 2014-12-15 | セイコーインスツル株式会社 | 圧力センサ |
| JP2019109197A (ja) * | 2017-12-20 | 2019-07-04 | オムロン株式会社 | 圧力センサおよび圧力センサを備えた移動装置 |
-
1996
- 1996-09-13 JP JP26548296A patent/JPH1090099A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010256187A (ja) * | 2009-04-24 | 2010-11-11 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 圧力センサ |
| JP2014032186A (ja) * | 2012-07-12 | 2014-02-20 | Nippon Dengi Kk | 微差圧発信器及び空調システム |
| JP2014235095A (ja) * | 2013-06-03 | 2014-12-15 | セイコーインスツル株式会社 | 圧力センサ |
| JP2019109197A (ja) * | 2017-12-20 | 2019-07-04 | オムロン株式会社 | 圧力センサおよび圧力センサを備えた移動装置 |
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