JPH1090099A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
- Publication number
- JPH1090099A JPH1090099A JP26548296A JP26548296A JPH1090099A JP H1090099 A JPH1090099 A JP H1090099A JP 26548296 A JP26548296 A JP 26548296A JP 26548296 A JP26548296 A JP 26548296A JP H1090099 A JPH1090099 A JP H1090099A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hole
- pressure
- sensor
- lower case
- sensor chip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 センサチップを傷付けたり、破損したり特性
劣化したりしないより信頼性が高く高精度な圧力センサ
を提供すること。 【解決手段】 上ケース11の合せ面11aと下ケース
12の合せ面12aとで接合される際、上ケース11は
合せ面11aから対向面に貫く貫通孔A1を有し、貫通
孔B2が下ケース12の合せ面12aから垂直に底面1
2bまで貫通し、下ケース12の底部を貫き、側面に達
する開放端をもつ貫通孔C3を有し、前記上ケース11
の上面より下ケース12の下面に貫通している各々の貫
通孔A1、B2に結合させ、前記貫通孔C3に連通し、
下ケース12の内部に達する貫通孔D4を設け、前記貫
通孔D4上にセンサチップ13を配し、該貫通孔D4を
通して、基準圧力が導入されている圧力センサ10。
劣化したりしないより信頼性が高く高精度な圧力センサ
を提供すること。 【解決手段】 上ケース11の合せ面11aと下ケース
12の合せ面12aとで接合される際、上ケース11は
合せ面11aから対向面に貫く貫通孔A1を有し、貫通
孔B2が下ケース12の合せ面12aから垂直に底面1
2bまで貫通し、下ケース12の底部を貫き、側面に達
する開放端をもつ貫通孔C3を有し、前記上ケース11
の上面より下ケース12の下面に貫通している各々の貫
通孔A1、B2に結合させ、前記貫通孔C3に連通し、
下ケース12の内部に達する貫通孔D4を設け、前記貫
通孔D4上にセンサチップ13を配し、該貫通孔D4を
通して、基準圧力が導入されている圧力センサ10。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、センサチップをケ
ース内に搭載した圧力センサに関し、特に、圧力センサ
の被測定圧力導入孔と基準圧力導入孔を設けた位置に関
する。
ース内に搭載した圧力センサに関し、特に、圧力センサ
の被測定圧力導入孔と基準圧力導入孔を設けた位置に関
する。
【0002】
【従来の技術】図2に、従来の圧力センサの概略断面図
を示す。
を示す。
【0003】図2に示すように、従来の圧力センサ20
は、上ケース21と下ケース22とからなり、下ケース
22の底面の中央に基準圧力導入孔24を設け、下ケー
スの内部に達する前記基準圧力導入孔24を塞ぐように
センサチップ13を接着した後、前記センサチップ13
の真上に位置する突出部23aに煙突状の貫通孔からな
る被測定圧力導入孔23を設けた上ケース21と前記下
ケース22とを、超音波溶着等により一体化し、前記被
測定圧力導入孔23と前記基準圧力導入孔24とが、上
下ケースを一体化した際、上下ケースの中心の同一線上
に位置する箱状の空間からなる部室を形成する。
は、上ケース21と下ケース22とからなり、下ケース
22の底面の中央に基準圧力導入孔24を設け、下ケー
スの内部に達する前記基準圧力導入孔24を塞ぐように
センサチップ13を接着した後、前記センサチップ13
の真上に位置する突出部23aに煙突状の貫通孔からな
る被測定圧力導入孔23を設けた上ケース21と前記下
ケース22とを、超音波溶着等により一体化し、前記被
測定圧力導入孔23と前記基準圧力導入孔24とが、上
下ケースを一体化した際、上下ケースの中心の同一線上
に位置する箱状の空間からなる部室を形成する。
【0004】このような圧力センサ20では、上ケース
21の被測定圧力導入孔23より導入される圧力を、基
準圧力導入孔24より導入されている大気圧等の基準圧
力からの圧力の差圧を下ケース内に設けた前記センサチ
ップによって検知している。
21の被測定圧力導入孔23より導入される圧力を、基
準圧力導入孔24より導入されている大気圧等の基準圧
力からの圧力の差圧を下ケース内に設けた前記センサチ
ップによって検知している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、従来の
圧力センサ20では、センサチップ13が大気圧等の基
準圧力からの圧力の差圧を検知しやすいように、被測定
圧力導入孔23の真下になるように位置する。このため
に、前記被測定圧力導入孔23と基準圧力導入孔24に
圧力が急激に付加され、その圧力の急激な変化のため、
センサチップ13を破壊したり、センサチップ13の特
性と関係する直線性に異常を起し、圧力センサの特性が
劣化する。また、前記被測定圧力導入孔や基準圧力導入
孔から入るごみにより、特にセンサチップ13に直接ご
みが付着することによって、センサチップ13を傷付け
たり、特性の劣化を起こすことがあった。また、基準圧
力が安定した静圧としてセンサチップ13に導入され
ず、高精度な圧力センサの提供が不可能だった。
圧力センサ20では、センサチップ13が大気圧等の基
準圧力からの圧力の差圧を検知しやすいように、被測定
圧力導入孔23の真下になるように位置する。このため
に、前記被測定圧力導入孔23と基準圧力導入孔24に
圧力が急激に付加され、その圧力の急激な変化のため、
センサチップ13を破壊したり、センサチップ13の特
性と関係する直線性に異常を起し、圧力センサの特性が
劣化する。また、前記被測定圧力導入孔や基準圧力導入
孔から入るごみにより、特にセンサチップ13に直接ご
みが付着することによって、センサチップ13を傷付け
たり、特性の劣化を起こすことがあった。また、基準圧
力が安定した静圧としてセンサチップ13に導入され
ず、高精度な圧力センサの提供が不可能だった。
【0006】従って、本発明の目的は、センサチップを
傷付けたり、破損したり、特性劣化したりしないより高
い信頼性を有する高精度な圧力センサを提供することに
ある。
傷付けたり、破損したり、特性劣化したりしないより高
い信頼性を有する高精度な圧力センサを提供することに
ある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、被測定圧力
導入孔を設けた上ケースと、基準圧力導入孔及びセンサ
チップとを設けた下ケースとを接合して内部に部屋を形
成する圧力センサであって、前記被測定圧力導入孔と前
記基準圧力導入孔との軸心とセンサチップの厚さ方向の
中心軸とがずれるように配置されることを特徴とする圧
力センサであり、貫通孔が上ケースの上面から下ケー
スの底面に貫通し、かつT型をなして下ケースの側面に
連通し、更に、下ケースの内部に連通して基準圧力導入
孔を形成し、前記基準圧力導入孔上にセンサチップを配
して基準圧力が導入されていることを特徴とする圧力セ
ンサであり、又は記載の圧力センサにおいて、上
ケースに設けられた被測定圧力導入孔が屈曲しているこ
とを特徴とする圧力センサであり、ないしのいずれ
かに記載の圧力センサにおいて各々の上記貫通孔の出入
口にフィルターを設けたことを特徴とする圧力センサで
ある。
導入孔を設けた上ケースと、基準圧力導入孔及びセンサ
チップとを設けた下ケースとを接合して内部に部屋を形
成する圧力センサであって、前記被測定圧力導入孔と前
記基準圧力導入孔との軸心とセンサチップの厚さ方向の
中心軸とがずれるように配置されることを特徴とする圧
力センサであり、貫通孔が上ケースの上面から下ケー
スの底面に貫通し、かつT型をなして下ケースの側面に
連通し、更に、下ケースの内部に連通して基準圧力導入
孔を形成し、前記基準圧力導入孔上にセンサチップを配
して基準圧力が導入されていることを特徴とする圧力セ
ンサであり、又は記載の圧力センサにおいて、上
ケースに設けられた被測定圧力導入孔が屈曲しているこ
とを特徴とする圧力センサであり、ないしのいずれ
かに記載の圧力センサにおいて各々の上記貫通孔の出入
口にフィルターを設けたことを特徴とする圧力センサで
ある。
【0008】本発明では、圧力センサの被測定圧力導入
孔や基準圧力導入孔との中心軸が、センサチップの厚方
向の中心軸とがずれるように配置されているため、被測
定圧力導入孔や基準圧力導入孔を介してセンサチップに
圧力が急激に加圧されることがなくなり、センサチップ
を傷付けたり、特性劣化をまねくことがなくなる。ま
た、フィルタを貫通孔の出入口に設けることにより、侵
入するごみを防止することができ、信頼性が高く高精度
な圧力センサを提供することができる。
孔や基準圧力導入孔との中心軸が、センサチップの厚方
向の中心軸とがずれるように配置されているため、被測
定圧力導入孔や基準圧力導入孔を介してセンサチップに
圧力が急激に加圧されることがなくなり、センサチップ
を傷付けたり、特性劣化をまねくことがなくなる。ま
た、フィルタを貫通孔の出入口に設けることにより、侵
入するごみを防止することができ、信頼性が高く高精度
な圧力センサを提供することができる。
【0009】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の圧力センサの実
施の形態について図面に基づき説明する。
施の形態について図面に基づき説明する。
【0010】図1は、本発明の圧力センサの断面図であ
る。
る。
【0011】圧力センサ10は、図1に示すように、下
ケース12とセンサチップ13と突出部14aを有する
上ケース11とから構成される。また、センサチップ1
3は、下ケース12の基準圧力導入孔15の貫通孔D4
上に配される。また、センサチップ13をシリコン接着
剤等により接着して、下ケース12と上ケース11とを
超音波溶着等により一体化する。
ケース12とセンサチップ13と突出部14aを有する
上ケース11とから構成される。また、センサチップ1
3は、下ケース12の基準圧力導入孔15の貫通孔D4
上に配される。また、センサチップ13をシリコン接着
剤等により接着して、下ケース12と上ケース11とを
超音波溶着等により一体化する。
【0012】上ケース11は、本発明の圧力センサ10
においては、ほぼ中央から外部へ突出する突出部14a
を設け、その内部に屈曲した、外部から内部へ貫通する
被測定圧力導入孔14を形成している。さらに、上ケー
ス11は、下ケース12の合せ面12aと接合される合
せ面11aに貫く貫通孔A1を設けている。この貫通孔
A1は、上ケース11の外部から下ケース12の合せ面
12aに貫通する。
においては、ほぼ中央から外部へ突出する突出部14a
を設け、その内部に屈曲した、外部から内部へ貫通する
被測定圧力導入孔14を形成している。さらに、上ケー
ス11は、下ケース12の合せ面12aと接合される合
せ面11aに貫く貫通孔A1を設けている。この貫通孔
A1は、上ケース11の外部から下ケース12の合せ面
12aに貫通する。
【0013】下ケース12は、上ケース11の合せ面1
1aを貫通する貫通孔A1と同じ軸心で垂直に底面12
bまで貫通した貫通孔B2を設けている。従って、貫通
孔A1と貫通孔B2とは、同一軸心を有し貫通してい
る。
1aを貫通する貫通孔A1と同じ軸心で垂直に底面12
bまで貫通した貫通孔B2を設けている。従って、貫通
孔A1と貫通孔B2とは、同一軸心を有し貫通してい
る。
【0014】さらに、下ケース12は、底部を貫通し、
側面12Cに達して開放端を有する貫通孔C3を設けて
いる。貫通孔C3は、貫通孔B2と連通している。ま
た、貫通孔C3は、貫通孔D4と連通している。前記貫
通孔D4は、基準圧力導入孔15と連通してケースの内
部に形成された部室16に貫通している。
側面12Cに達して開放端を有する貫通孔C3を設けて
いる。貫通孔C3は、貫通孔B2と連通している。ま
た、貫通孔C3は、貫通孔D4と連通している。前記貫
通孔D4は、基準圧力導入孔15と連通してケースの内
部に形成された部室16に貫通している。
【0015】センサチップ13は、下ケース12の内部
に貫通した貫通孔D4の上に配されている。従って、セ
ンサチップ13の厚さ方向の中心軸と、被測定圧力導入
孔14と基準圧力導入孔15との軸心とは、ずれて各々
が配置される。前記貫通孔D4を通して基準圧力が導入
され、センサチップ13が屈曲する被測定圧力導入孔1
4の圧力と基準圧力導入孔15から導入された圧力との
差圧を検知して本発明の圧力センサが完成する。
に貫通した貫通孔D4の上に配されている。従って、セ
ンサチップ13の厚さ方向の中心軸と、被測定圧力導入
孔14と基準圧力導入孔15との軸心とは、ずれて各々
が配置される。前記貫通孔D4を通して基準圧力が導入
され、センサチップ13が屈曲する被測定圧力導入孔1
4の圧力と基準圧力導入孔15から導入された圧力との
差圧を検知して本発明の圧力センサが完成する。
【0016】本圧力センサによれば、被測定圧力導入孔
14と基準圧力導入孔15との軸心と、センサチップ1
3の設置面の中心すなわちセンサチップ13の厚さ方向
の軸心とはずれて配置されるので、圧力を直接センサチ
ップ13に付加されなくなりセンサチップが破損した
り、特性劣化したりしない。また、貫通孔A1、貫通孔
B2、貫通孔C3、屈曲する被測定圧力導入孔14の外
気が導入される貫通孔の出入口にごみの侵入を防止する
圧力を変動させない程度のフィルターをつけ、ごみの侵
入を防止する。
14と基準圧力導入孔15との軸心と、センサチップ1
3の設置面の中心すなわちセンサチップ13の厚さ方向
の軸心とはずれて配置されるので、圧力を直接センサチ
ップ13に付加されなくなりセンサチップが破損した
り、特性劣化したりしない。また、貫通孔A1、貫通孔
B2、貫通孔C3、屈曲する被測定圧力導入孔14の外
気が導入される貫通孔の出入口にごみの侵入を防止する
圧力を変動させない程度のフィルターをつけ、ごみの侵
入を防止する。
【0017】
【発明の効果】従って、本圧力センサによれば、センサ
チップを傷つけたり、破損したり、特性劣化したりしな
いので、信頼性が高く高精度の圧力センサが得られる。
チップを傷つけたり、破損したり、特性劣化したりしな
いので、信頼性が高く高精度の圧力センサが得られる。
【図1】本発明の圧力センサの概略断面図。
【図2】従来の圧力センサの概略断面図。
1 貫通孔A 2 貫通孔B 3 貫通孔C 4 貫通孔D 10 圧力センサ 11 上ケース 11a 合せ面 12 下ケース 12a 合せ面 12b 底面 12c 側面 13 センサチップ 14 被測定圧力導入孔 15 基準圧力導入孔 16 部室 20 圧力センサ 21 上ケース 22 下ケース 23 被測定圧力導入孔 23a 突出部 24 基準圧力導入孔
Claims (4)
- 【請求項1】 被測定圧力導入孔を設けた上ケースと、
基準圧力導入孔及びセンサチップとを設けた下ケースと
を接合して内部に部屋を形成する圧力センサであって、
前記被測定圧力導入孔と前記基準圧力導入孔との軸心と
センサチップの厚さ方向の中心軸とがずれるように配置
されることを特徴とする圧力センサ。 - 【請求項2】 貫通孔が上ケースの上面から下ケースの
底面に貫通し、かつT型をなして下ケースの側面に連通
し、更に、下ケースの内部に連通して基準圧力導入孔を
形成し、前記基準圧力導入孔上にセンサチップを配して
基準圧力が導入されていることを特徴とする圧力セン
サ。 - 【請求項3】 請求項1又は請求項2記載の圧力センサ
において、上ケースに設けられた被測定圧力導入孔が屈
曲していることを特徴とする圧力センサ。 - 【請求項4】 請求項1ないし3のいずれかに記載の圧
力センサにおいて、各々の上記貫通孔の出入口にフィル
ターを設けたことを特徴とする圧力センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26548296A JPH1090099A (ja) | 1996-09-13 | 1996-09-13 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26548296A JPH1090099A (ja) | 1996-09-13 | 1996-09-13 | 圧力センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1090099A true JPH1090099A (ja) | 1998-04-10 |
Family
ID=17417797
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26548296A Pending JPH1090099A (ja) | 1996-09-13 | 1996-09-13 | 圧力センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH1090099A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010256187A (ja) * | 2009-04-24 | 2010-11-11 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 圧力センサ |
JP2014032186A (ja) * | 2012-07-12 | 2014-02-20 | Nippon Dengi Kk | 微差圧発信器及び空調システム |
JP2014235095A (ja) * | 2013-06-03 | 2014-12-15 | セイコーインスツル株式会社 | 圧力センサ |
JP2019109197A (ja) * | 2017-12-20 | 2019-07-04 | オムロン株式会社 | 圧力センサおよび圧力センサを備えた移動装置 |
-
1996
- 1996-09-13 JP JP26548296A patent/JPH1090099A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010256187A (ja) * | 2009-04-24 | 2010-11-11 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 圧力センサ |
JP2014032186A (ja) * | 2012-07-12 | 2014-02-20 | Nippon Dengi Kk | 微差圧発信器及び空調システム |
JP2014235095A (ja) * | 2013-06-03 | 2014-12-15 | セイコーインスツル株式会社 | 圧力センサ |
JP2019109197A (ja) * | 2017-12-20 | 2019-07-04 | オムロン株式会社 | 圧力センサおよび圧力センサを備えた移動装置 |
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