JP6847220B2 - 検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、半導体のような被検査体の電気的特性を検査する検査装置に関し、さらに詳しくは、検査ソケットを検査回路基板に結合および分離するスライダーを操作するスライダー操作器具に関する。

半導体チップのテスト用検査ソケットは、半導体チップの端子とテスト信号を印加する検査回路基板の接点を電気的に連結するために使用される。このような検査用ソケットの内部には検査用プローブが内蔵されて半導体チップの端子と検査回路基板の接点の間を電気的に連結する。検査作業が安定的に行われるように検査用ソケットは検査回路基板に固定ねじで締結される方法により固定される。

しかし、このような締結方式で固定された検査用ソケットは、補修等必要に応じて基板から分離しなければならない場合がある。このような交替作業時に固定ねじを外した後検査用ソケットを基板から分離し、再び新しいソケットを基板に固定ねじで固定する等の不便な問題がある。

このような問題を解決するために本発明者は、ロッキングユニットを有するスライダーで検査ソケットを検査回路基板に結合及び分離する検査装置を提案した（韓国特許出願番号第１０−２０１６−００３８４９５号明細書）。この時、使用される検査ソケットは、例えば２０ｍｍ×２０ｍｍ×４．５ｍｍの大きさで、検査ソケット装着フレーム内の溝の内に装着される。このように非常に小さい大きさの検査ソケットを小さな溝の内に装着した状態でスライダーを手作業で操作することも非常に不便で難しい。

従って、本発明の目的は、前記のような問題を解決するために、検査ソケットを検査回路基板に結合及び分離するスライダーを便利に操作することができるスライダー操作器具を有する検査装置を提供することを目的とする。

上述した本発明の課題を解決するための検査装置が提供される。検査装置は、多数のプローブが支持された検査ソケットと；前記プローブに接触する接点を有する検査回路基板と；前記検査ソケットを前記検査回路基板に結合及び分離させるスライダーと；前記検査ソケット上に配置される本体及び前記本体に乗下降可能に支持され前記本体から前記スライダーに向いて下降して前記スライダーを前記検査ソケットの板面方向に沿ってスライディング移動させるスライダー加圧部を有するスライダー操作器具と；を含む。

前記スライダー加圧部は、前記スライダーを前記検査ソケットの内側方向に移動させる内向加圧部と前記スライダーを前記検査ソケットの外側方向に加圧する外向加圧部を含むことができる。

前記スライダーは、前記検査ソケットの外側から内側に上向き傾斜された第１傾斜面と前記第１傾斜面に離隔され検査ソケットの内側から外側に上向き傾斜された第２傾斜面を有し、前記内向加圧部は前記第１傾斜面に接触する第３傾斜面を有し、前記外向加圧部は前記第２傾斜面に接触する第４傾斜面を有することができる。

前記スライダーは検査ソケットに対して検査回路基板を結合するロッキングと分離するロッキング解除移動することができる。

前記検査回路基板は、板面から上向突出されるように固定され、突出方向に沿ってロッキング・ホルダーと先端領域のロッキング・ストッパーを有する複数の支持ロッキングピンが設けられ、前記検査ソケットは前記支持ロッキングピンが通過するピン通過孔を含むソケット本体と、前記支持ロッキングピンが挿入されるピン案内孔を有し前記ソケット本体から所定の高さにプローティング可能に結合されるプローティング・プレートを含み、前記スライダーは前記ピン貫通孔と前記ピン案内孔に挿入された支持ロッキングピンのロッキング・ホルダーに噛合して前記ロッキング・ストッパーによって上方に離脱が阻止されるロッキング部を有し、前記スライダー加圧部は前記ロッキング部が前記ロッキング・ホルダーに噛合するように前記スライダーをロッキング方向に加圧するロッキング加圧部及び前記ロッキング状態のロッキング部が前記ロッキング・ホルダーから解除されるように前記スライダーを前記ロッキング方向の反対方向に加圧するアンロッキング加圧部を含むことができる。

前記検査ソケットはソケット支持フレームに装着され、前記本体は前記ソケット支持フレームに支持されることができる。

前記本体と前記ソケット装着フレームは、互いに整列のための整列部を含むことができる。

本発明のスライダー操作器具によると、使用者が小さい大きさの検査ソケットを検査回路基板に結合及び分離するスライダーを便利で容易に操作することができる。

本発明の実施形態によるスライダー操作器具を適用する検査装置の分解斜視図である。 図１の検査ソケットを装着するソケット支持フレームを示す図である。 本発明の実施形態によるスライダー操作器具の斜視図及び分解斜視図である。 本発明の実施形態によるスライダー操作器具の斜視図及び分解斜視図である。 図３のスライダー操作器具の動作を説明するための図である。 図３のスライダー操作器具の動作を説明するための図である。

以下、添付図面を参照して本発明の実施形態に対して詳しく説明する。

図１は、本発明の実施形態によるスライダー操作器具３００が適用される検査装置１の分解斜視図である。検査装置１は、検査回路基板１０と検査用ソケット２００を含む。検査用ソケット２００は、ソケット本体２１０、フローティング・プレート２２０、弾性部材２３０及びスライダー２４０を含む。検査用ソケット２００は、被検査体の被検査接点（図示せず）と検査装置１の検査回路基板１０の上に形成された検査接点（図示せず）との間を電気的に連結する。本発明の実施形態による検査装置１の検査用ソケット２００は、支持ロッキングピン１００との結合により検査回路基板１０に固定される。

検査回路基板１０は、電気的信号及び電源等を検査用ソケット２００を通じて被検査体（図示せず）に電送する。検査回路基板１０は被検査体からの電気的信号を検査用ソケット２００を通じて受信する。検査回路基板１０には検査用ソケット２００のプローブの一端と接触する複数のパッド（図示せず）が配置されている。検査回路基板１０は板面から上方突出されてソケット２００を結合するための複数の支持ロッキングピン１００を含む。

支持ロッキングピン１００は突出方向に沿って形成されたロッキング・ホルダー１１０とロッキング・ストッパー１２０を有する。ロッキング・ストッパー１２０は、ロッキング・ホルダー１１０より突出方向に垂直方向にさらに拡張された係止フックを有する。例えば、係止フックはロッキング・ホルダー１００をロッキング・ストッパー１２０に比べて段差されるように形成される。支持ロッキングピン１００は突出方向に沿って切られた二つの切り部を有する。支持ロッキングピン１００は突出方向に垂直方向に弾性変形されることができる。図１で支持ロッキングピン１００は二つに分離される切り部を含むように示されているが、三つ以上の切り部を含むこともできる。支持ロッキングピン１００は後述する検査用ソケット２００のスライダー２４０と結合されて検査回路基板１０と検査用ソケット２００を固定結合する。

検査用ソケット２００は、ソケット本体２１０、プローティング・プレート２２０、弾性部材２３０、スライダー２４０、結合部材２５０及びガイドピン２６０を含む。検査用ソケット２００はソケット本体２１０内部に支持された複数のプローブを通じて被検査体と検査回路基板１０の間を電気的に連結する。

ソケット本体２１０は中央にアイランド形状のプローブ支持部２１４を有する四角の板形状である。プローブ支持部２１４は複数のプローブ（図示せず）を支持する。ソケット本体２１０は、プローブ支持部２１４の外側に、支持ロッキングピン１００が通過するピン貫通孔２１１、弾性部材２３０の一端が挿入される弾性部材収容溝２１２及び結合部材２５０が結合される結合部材結合溝２１３を有する。

ピン貫通孔２１１は支持ロッキングピン１００を貫通させるためにソケット本体２１０のそれぞれの角の領域に形成される。ピン貫通孔２１１は支持ロッキングピン１００の数に対応する数だけ形成される。

弾性部材収容溝２１２は、弾性部材２３０の一側を収容するためにソケット本体２１０の上面に上方が開放された形態で形成される。弾性部材収容溝２１２の底面に弾性部材２３０の一端が接触されて支持される。

結合部材固定溝２１３は、ソケット本体２１０にプローティング・プレート２２０をプローティング状態で結合部材２５０の一端とねじ結合される。結合部材２５０は結合部材固定溝２１３より大きい頭、結合部材固定溝２１３を通過するねじ本体及びねじ本体の一端に形成されたねじで構成されることができる。プローティング・プレート２２０は中央部が開放された四角の板形状である。プローティング・プレート２２０の開放された中央部にはソケット本体２１０の四角形のプローブ支持部２１４が収容される。プローティング・プレート２２０は、支持ロッキングピン１００が挿入されるピン案内孔２２１、結合部材２５０の本体が通過する結合部材貫通孔２２２及びガイドピン２６０と結合されるガイドピン結合溝２２３及びスライダー２４０の操作突出部２４４を収容する切取部２２４を含む。スライダー２４０の操作突出部２４４は、上側に離隔された第１傾斜面２４７及び第２傾斜面２４８が形成されている。第１傾斜面２４７及び第２傾斜面２４８は、後述する内向加圧部４３０及び外向加圧部４４０にそれぞれ接触する。

ピン案内孔２２１は、支持ロッキングピン１００の端部を挿入するようにプローティング・プレート２２０のそれぞれの外郭の領域を貫通して形成される。ピン案内孔２２１は、支持ロッキングピン１１０の数に対応する数だけ形成される。

結合部材貫通孔２２２は、ソケット本体２１０とプローティング・プレート２２０を結合する結合部材２５０の本体を収容する。

ガイドピン結合溝２２３は、後述するガイドピン２６０の一端と結合される。ガイドピン結合溝２２３の内面にはねじ山が形成されることができる。ここで、ガイドピン２６０は、後述するスライダー２４０のスライディング・スロット２４２に噛合された状態でプローティング・プレート２２０のガイドピン結合溝２２３に固定される。

弾性部材２３０は、ソケット本体２１０の弾性部材収容溝２１２とプローティング・プレート２２０の弾性部材収容溝（図示せず）の間に介在される。弾性部材２３０は弾性力を有するスプリングであることもできる。しかし、弾性部材２３０は、これに限られず、弾性を有するものなら、どれでも適用できる。

切取部２２４は、プローティング・プレート２２０の板面の周り部に沿って内部に陥没されて形成される。切取部２２４は、検査用ソケット２００と支持ロッキングピン１００のロッキング動作時にスライダー２４０の操作突出部２４４を収容する。

スライダー２４０は、ロッキング部２４１、スライディングスロット２４２及び操作突出部２４４を有する。スライダー２４０は、プローティング・プレート２２０とソケット本体２１０の間に介在された状態で支持ロッキングピン１００と結合される。スライダー２４０は、一対で構成されてプローティング・プレート２２０の対向する両側辺に対向するように配置されることができる。操作突出部２４４は、検査用ソケット２００と支持ロッキングピン１００のロッキング動作時にプローティング・プレート２２０の切取部２２４に収容される。操作突出部２４４は、図５及び図６に示すように、一側の第１傾斜面２４７と反対側の第２傾斜面２４８を有する。操作突出部２４４の第１傾斜面２４７は、後述する内向き可動部４３４の第３傾斜面４３５が下向き移動して接触される。操作突出部２４４の第２傾斜面２４８は、後述する外向き可動部４４４の第４傾斜面４４５が下向き移動して接触される。スライダー２４０は、操作突出部２４４に形成された第２傾斜面２４８の下側に湾曲形状に切開されている。この湾曲部は、下向き移動する外向き可動部４４４が第２傾斜面２４８を押し出して通り過ぎられるようにするためである。

ロッキング部２４１は、支持ロッキング部１００のロッキング・ホルダー１１０との噛合のために一部が開放された半円形状である。ロッキング部２４１は、ロッキング・ホルダー１１０と噛合する噛合面と支持ロッキングピン１００の係止フックに噛合して前記スライダー２４０の離脱を阻止する離脱阻止部２４３及びロッキング・ストッパー１２０と噛合する停止面を有する。ロッキング部２４１の形状は、半円形状に限られずロッキング・ホルダー１１０の形状に対応して変更することができる。

スライディング・スロット２４２は、ガイドピン２６０が貫通して板面方向に移動することができるように移動方向に長い楕円形状にスライダー２４０を貫通して形成される。

結合部材２５０は、結合部材貫通孔２２２を通過してソケット本体２１０の結合部材結合溝２１３に結合される。結合部材２５０は、ソケット本体２１０に対してプローティング・プレート２２０をプローティング結合させる。結合部材２５０は、上方に向かう弾性力によるプローティング・プレート２２０の上方移動を所定の範囲内で制限した状態で、上下方移動を可能にする。

ガイドピン２６０は、長孔のスライディング・スロット２４２を通過してプローティング・プレート２２０のガイドピン結合溝２２３に締結される。ガイドピン２６０は、スライディング・スロットを通過できない頭と、スライディング・スロットを通過するねじ本体と、ねじ本体の端部に設けられてガイドピン結合溝２２３に締結されるねじ端部と、を有する。ガイドピン２６０によってスライダー２４０はプローティング・プレート２２０に密着されて長孔のスライディング・スロットに沿って移動可能に結合される。図１に示すように、ガイドピン２６０がスライダー２４０に形成されたスライディング・スロット２４２を通過するように設けられたが、スライディング・スロットがプローティング・プレートに形成され、ガイドピン２６０がスライダー２４０に結合されることもできる。

図１に示す検査用ソケット２００は、ソケット本体２１０とプローティング・プレート２２０との間に介在された弾性部材２３０及び結合部材２５０によって下方に弾性加圧された状態で結合される。即ち、プローティング・プレート２２０にはソケット本体２１０との結合時に上方に向かう弾性力が加わっている。このような上方に向かう弾性力よるプローティング・プレートの上方移動は、結合部材２５０によって阻止される。しかし、プローティング・プレート２２０の下方移動はプローティング・プレート２２０を下方に加圧して所定の幅だけ可能である。従って、ソケット本体２１０とプローティング・プレート２２０は、互いに密着せず、一定の範囲で上下移動できるように一定の隙間を有して結合される。

検査装置１は、検査回路基板１０に検査用ソケット２００を簡単な動作で結合及び分離することができる。結合は、プローティング・プレート２２０を下方に加圧した状態で、プローティング・プレート２２０に板面方向にスライディング・スロットに沿って移動可能に設けられた一対のスライダー２４０をプローティング・プレート２２０の内部方に押し込んで遂行する。分離は、プローティング・プレート２２０を加圧した状態でスライダー２４０をソケット本体２１０の外側に引っ張って遂行する。

図２は検査用ソケット２００を装着するソケット支持フレーム３００を示す図である。図面に示すように、ソケット支持フレーム３００は、限定されない四つのソケット装着部３１０を含む。それぞれのソケット装着部３１０には、二つの整列ピン３１２が配置されている。ソケット支持フレーム３００は下部に検査回路基板１０が配置されている。

ソケット装着部３１０は、検査用ソケット２００を安着させる開放された長方形の開孔形である。ソケット装着部３１０の底には、検査回路基板１０のパッド及び支持ロッキングピン（図１の１００）が露出されている。検査用ソケット２００はスライダー２４０が長方形の開孔の両端に位置するようにソケット装着部３１０に収容される。この時、支持ロッキングピン１００は検査用ソケット２００のピン通過孔２１１とピン案内孔２２１に挿入される。また、検査用ソケット２００はほとんど正方形の形として、長方形の開孔形であるソケット装着部３１０に挿入されると、短端側の両側に適切な余裕空間が残ることになる。この残余空間はスライダー２４０を操作することができる空間として役割をする。

本発明の実施形態によるスライダー操作器具４００は、検査用ソケット２００がソケット装着部３１０に収容された状態で、検査用ソケット２００上に装着、すなわちスライダー操作器具４００の整列孔４１２にソケット支持フレーム３００の整列ピン３１２に挿入して装着される。

図３及び図４は、本発明の実施形態によるスライダー操作器具４００を示す斜視図及び分解斜視図である。スライダー操作器具４００は、本体４１０とスライダー加圧部４２０を含む。

スライダー加圧部４２０は、スライダー２４０を検査用ソケット２００の板面に沿って内側に加圧する内向加圧部４３０と外側に加圧する外向加圧部４４０を含む。内向加圧部４３０と外向加圧部４４０は弾性的に乗降及び下降することができるように本体４１０に支持されている。

内向加圧部４３０は、押すために露出される加圧ヘッド４３２と加圧ヘッド４３２から一体で狭く延長する内向可動部４３４を含む。内向可動部４３４は、端部に内側から外側に下向き傾斜した第３傾斜面４３５を有する。加圧ヘッド４３２は、本体４１０に内向加圧部４３０をフローティング装着するための第１ねじ孔４３６が形成されている。第１ねじ孔は、本体４１０に向かうように貫通されている。内向加圧部４３０のプローティング装着は、第１スプリング４６０によって行われる。第１ねじ４５０は、ねじ頭４５２、ねじ本体４５４及びねじ端部４５６を含む。第１スプリング４６０は、内向加圧部４３０の底面と本体４１０（内向加圧部が収容される収容部の底）の間に介在されて弾性力を提供する。第１ねじ４５０の本体４５４は、内向加圧部４３０を通過し、ねじ端部４５６は本体４１０にねじ固定される。結果的に、内向加圧部４３０は第１スプリング４６０によってねじ本体４５４の範囲内で本体４１０に弾性的にプローティング支持されることができる。

外向加圧部４４０は押すために露出される加圧ヘッド４４２と加圧ヘッド４４２から一体で離隔されて延長する二つの外向可動部４４４を含む。外向可動部４４４は端部に内側から外側に上向き傾斜した第４傾斜面４４５を有する。加圧ヘッド４４２は、本体４１０に外向加圧部４４０をプローティング装着するための第２ねじ孔４４６が形成されている。第２ねじ孔は本体４１０に向かうように外向加圧部４４０に貫通されている。外向加圧部４４０のプローティング装着は、第２スプリング４８０によって行われる。第２ねじ４７０は、ねじ頭４７２、ねじ本体４７４及びねじ端部４７６を含む。第２スプリング４８０は、外向加圧部の底面と本体４１０（外向加圧部が収容される収容部の底）の間に介在されて弾性力を提供する。第２ねじ４７０のねじ本体４７４は、外向加圧部４４０を通過し、ねじ端部４７６は本体４１０にねじ固定される。結果的に、外向加圧部４４０は第２スプリング４８０によってねじ本体４７４の範囲内で本体４１０に弾性的にプローティング支持されることができる。

本体４１０はソケット支持フレーム３００の整列ピン３１２に挿入される整列孔４１２を有する。本体４１０は中央に位置して外向加圧部４４０を装着する第１収容部４１４及び第１収容部４１４の両側に位置して二つの内向加圧部４３０を装着する二つの第２収容部４１６を有する。第１収容部４１４は外向加圧部４４０の加圧ヘッド４４２を収容する上側収容部と外向加圧部４４０の外向可動部４４４が通過する下側収容孔で構成されている。第２収容部４１６は内向加圧部４３０の加圧ヘッド４３２を収容する上側収容部と内向加圧部４３０の内向可動部４３４が通過する下側収容孔で構成されている。

以下、図１、図５及び図６を参照してスライダー操作器具４００の動作を詳しく説明する。

図１及び図５に示すように、ユーザーがスライダー２４０をソケット板面に沿って内側に移動させて検査用ソケット２００を検査回路基板１０に結合するために両側の内向加圧部４３０の加圧ヘッド４３２を押すと、第１スプリング４６０を圧縮しながら内向可動部４３４の第３傾斜面４３５がスライダー２４０の操作突出部２４４の第１傾斜面２４７に接近する。この時、内向加圧部４３０の加圧ヘッド４３２を押すと、内向加圧部４３０がプローティング・プレート２２０を同時に加圧する。第３傾斜面４３５が第１傾斜面２４７に接触してから続いて進行すれば操作突出部２４４をソケット側に押して検査用ソケット２００が検査回路基板１０に結合される。即ち、スライダー２４０が内向加圧部４３０によってソケット内側に板面に沿ってスライディング移動すれば、スライダー２４０のロッキング部２４１が支持ロッキングピン１００のロッキング・ホルダー１１０に噛合してロッキングされる。この後、内向加圧部４３０の加圧ヘッド４３２の押しを解除すれば、内向加圧部４３０とプローティング・プレート２２０は弾性力によって元の位置に復帰する。

図１及び図６に示すように、ユーザースがライダー２４０をソケット板面に沿って外側に移動させて検査用ソケット２００を検査回路基板１０に分離するために中央の外向加圧部４４０の加圧ヘッド４４２を押すと第２スプリング４７０を圧縮しながら外向可動部４４４の第４傾斜面４４５がスライダー２４０の操作突出部２４４の第２傾斜面２４８に接近する。この時、外向加圧部４４０の加圧ヘッド４４２を押すと、外向加圧部４４０がプローティング・プレート２２０を同時に加圧する。第４傾斜面４４５が第２傾斜面２４８に接触してから続いて進行すれば、操作突出部２４４をソケット外側に押して検査用ソケット２００が検査回路基板１０にから分離される。即ち、スライダー２４０が外向加圧部４４０によってソケット外側に板面に沿ってスライディング移動すれば、スライダー２４０のロッキング部２４１が支持ロッキングピン１００のロッキング・ホルダー１１０から外してアンロッキングされる。この後、外向加圧部４４０の加圧ヘッド４４２の押しを解除すれば、外向加圧部４４０とプローティング・プレート２２０は弾性力によって元の位置に復帰する。

以上のように本発明のスライダー操作器具によると、使用者が小さい大きさの検査ソケットを検査回路基板に結合及び分離するスライダーを便利で容易に操作することができる。

以上のように本発明は、限定された例示的実施形態と図面によって説明されたが、本発明は前記の例示的な実施形態に限られず、本発明が属する分野で通常の知識を有する者ならば、このような記載から多様な修正及び変形が可能である。

したがって、本発明の範囲は説明された例示的な実施形態に限定されず、後述する特許請求範囲だけでなくこの特許請求範囲とその均等物によって定められる。

１００ 支持ロッキングピン
１１０ ロッキング・ホルダー
１２０ ロッキング・ストッパー
２００ 検査用ソケット
２１０ ソケット本体
２２０ プローティング・プレート
２３０ 弾性部材
２４０ スライダー
２５０ 結合部材
２６０ ガイドピン
３００ ソケット支持フレーム
３１０ ソケット装着部
３１２ 整列ピン
４００ スライダー操作器具
４１０ 本体
４２０ スライダー加圧部
４３０ 内向加圧部
４４０ 外向加圧部

Claims (7)

1. 多数のプローブが支持された検査ソケットと、
   前記プローブに接触する接点を有する検査回路基板と、
   前記検査ソケットを前記検査回路基板に結合及び分離させるスライダーと、
   前記検査ソケット上に配置される本体と、前記本体に上下に移動可能に支持され、前記本体から前記スライダーに向かって下向きに移動して、前記スライダーを前記検査ソケットの板面方向に沿って内側方向にスライド移動させて前記検査ソケットを前記検査回路基板に結合させ、前記スライダーを前記検査ソケットの前記板面方向に沿って外側方向きにスライド移動させて前記検査ソケットを前記検査回路基板から分離させる、スライダー加圧部とを有する、スライダー操作器具と、を含むことを特徴とする、
   検査装置。
2. 前記スライダー加圧部は、前記スライダーを前記検査ソケットの前記内側方向に移動させる内向加圧部と、前記スライダーを前記検査ソケットの前記外側方向に移動させる外向加圧部とを含むことを特徴とする、請求項１に記載の検査装置。
3. 前記スライダーは、前記検査ソケットの外側から内側に上向き傾斜された第１傾斜面と、前記第１傾斜面に離隔され検査ソケットの内側から外側に上向き傾斜された第２傾斜面とを有し、
   前記内向加圧部は、前記第１傾斜面に接触する第３傾斜面を有し、
   前記外向加圧部は、前記第２傾斜面に接触する第４傾斜面を有することを特徴とする、
   請求項２に記載の検査装置。
4. 前記スライダーは、前記検査ソケットを前記検査回路基板に結合及び分離させるために、前記検査ソケットの前記内側方向及び前記外側方向に移動することを特徴とする、請求項１に記載の検査装置。
5. 前記検査回路基板は、板面に固定され且つ該板面から上向きに突出し、突出方向に沿うロッキング・ホルダーと、突出方向に沿って先端領域にあるロッキング・ストッパーとを含む、複数の支持ロッキングピンを含み、
   前記検査ソケットは、前記支持ロッキングピンが通過するピン貫通孔を含むソケット本体と、前記支持ロッキングピンが挿入されるピン案内孔を有し、前記ソケット本体から所定の高さに浮動可能に結合される、浮動プレートとを含み、
   前記スライダーは、前記ピン貫通孔と前記ピン案内孔に挿入された支持ロッキングピンのロッキング・ホルダーに噛合し、前記ロッキング・ストッパーによって上方に離脱が阻止される、ロッキング部を有し、
   前記スライダー加圧部は、前記ロッキング部が前記ロッキング・ホルダーに噛合するように前記スライダーをロッキング方向に加圧するロッキング加圧部と、ロッキング状態のロッキング部が前記ロッキング・ホルダーから解除されるように前記スライダーを前記ロッキング方向の反対方向に加圧するアンロッキング加圧部とを含むことを特徴とする、
   請求項４に記載の検査装置。
6. 前記検査ソケットは、ソケット支持フレームに装着され、
   前記本体は、前記ソケット支持フレームに支持されることを特徴とする、
   請求項１に記載の検査装置。
7. 前記本体が前記ソケット支持フレームに装着される前記検査ソケットに対して位置付けられるように、前記本体を前記ソケット支持フレームに対して位置付ける整列構成を更に含むことを特徴とする、請求項６に記載の検査装置。
   

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