KR101887071B1 - 검사장치의 슬라이더 조작기구 - Google Patents

검사장치의 슬라이더 조작기구 Download PDF

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Abstract

검사장치에서 검사 소켓을 검사회로기판에 결합 및 분리시키는 슬라이더를 조작하는 슬라이더 조작장치가 개시된다. 슬라이더 조작장치는 다수의 프로브가 지지된 검사소켓, 상기 프로브에 접촉하는 접점을 가진 검사회로기판, 및 상기 검사 소켓을 상기 검사회로기판에 결합 및 분리시키는 슬라이더를 가진 검사장치에서, 상기 검사소켓 상에 배치되는 지그본체와, 상기 지그본체에 승강 이동 가능하게 지지되고 상기 지그본체로부터 상기 슬라이더를 향해 하강하여 상기 슬라이더를 상기 검사소켓의 판면방향을 따라 슬라이딩 이동시키는 슬라이더 가압부를 포함한다.
이에 의하면 검사장치에서 매우 작은 검사소켓을 검사회로기판에 원터치로 결합 및 분리시키는 슬라이더를 용이하게 조작할 수 있다.

Description

검사장치의 슬라이더 조작기구{A slider operating mechanism of the testing device}
본 발명은 반도체와 같은 피검사체의 전기적 특성을 검사하는 검사장치에서, 검사소켓을 검사회로기판에 결합 및 분리하는 슬라이더를 조작하는 슬라이더 조작기구에 관하 것이다.
반도체 칩의 테스트용 검사 소켓은 반도체 칩의 단자와 테스트 신호를 인가하는 검사회로기판의 접점을 전기적으로 연결하기 위해 사용된다. 이러한 검사용 소켓의 내부에는 검사용 프로브가 내장되어 반도체 칩의 단자와 검사회로기판의 접점 사이를 전기적으로 연결한다. 검사작업이 안정적으로 수행되도록 하기 위해 검사용 소켓은 검사회로기판에 나사체결 등의 방법으로 고정된다.
그런데 이러한 체결방식으로 고정된 검사용 소켓은 보수 등의 필요에 따라 기판으로부터 분리되어야 할 경우가 있다. 이런 교체 작업시 고정 나사를 푼 후 검사용 소켓을 기판으로부터 분리하고 다시 새로운 소켓을 기판에 고정 나사로 고정하는 작업을 수행하여 그 교체 작업이 불편한 문제점이 있었다.
이러한 문제를 해결하기 위해 본 발명자는 락킹부를 가진 슬라이더로 검사소켓을 검사회로기판에 결합 및 분리하는 검사장치를 개발하였다(출원번호 제10-2016-0038495호). 이때, 사용되는 검사소켓은 예를 들면 20mm X 20mm X 4.5mm의 크기로서, 검사소켓장착프레임 내의 홈 내에 장착된다. 이와 같이 매우 작은 크기의 검사소켓을 작은 홈 내 장착한 상태에서 슬라이더를 수작업으로 조작하는 것은 또한 매우 불편하고 어렵다.
본 발명의 목적은 상술한 문제를 해결하기 위한 것으로, 검사장치에서 검사소켓을 검사회로기판에 결합 및 분리하는 슬라이더를 편리하게 조작할 수 있는 슬라이더 조작기구를 제공하는 데에 있다.
상기 본 발명의 과제를 해결하기 위한 슬라이더 조작기구는, 다수의 프로브가 지지된 검사소켓, 상기 프로브에 접촉하는 접점을 가진 검사회로기판, 및 상기 검사 소켓을 상기 검사회로기판에 결합 및 분리시키는 슬라이더를 가진 검사장치에서, 상기 검사소켓 상에 배치되는 본체와, 상기 본체에 승하강 이동 가능하게 지지되고 상기 본체로부터 상기 슬라이더를 향해 하강하여 상기 슬라이더를 상기 검사소켓의 판면방향을 따라 슬라이딩 이동시키는 슬라이더 가압부를 포함한다.
상기 슬라이더 가압부는 상기 슬라이더를 상기 검사소켓의 내측 방향으로 이동시키는 내향가압부와 상기 슬라이더를 상기 검사소켓의 외측 방향으로 가압하는 외향가압부를 포함할 수 있다.
상기 슬라이더는 상기 검사소켓의 외측에서 내측으로 상향 경사진 내향경사면과 상기 내향경사면에 이격되어 있고 검사소켓의 내측에서 외측으로 상향 경사진 외향경사면을 가지며, 상기 내향가압부는 상기 내향경사면에 접촉하는 내향가압면을 가지며, 상기 외향가압부는 상기 외향경사면에 접촉하는 외향경사면을 가질 수 있다.
상기 슬라이더는 검사소켓에 대해 검사회로기판을 결합하는 락킹과 분리하는 락킹해제 이동할 수 있다.
상기 검사회로기판은 판면으로부터 상방 돌출되도록 고정되며, 돌출방향을 따라 락킹물림부와 선단영역의 락킹멈춤부를 갖는 복수의 지지락킹핀이 마련되며,
상기 검사소켓은 상기 지지락킹핀이 통과하는 핀통과공을 포함하는 소켓 본체와, 상기 지지락킹핀이 삽입되는 핀안내공을 가지며 상기 소켓본체로부터 소정 높이 플로팅 가능하게 결합되는 플로팅플레이트를 포함하며,
상기 슬라이더는 상기 핀통과공과 상기 핀안내공에 삽입된 지지락킹핀의 락킹물림부에 맞물려 상기 락킹멈춤부에 의해 상방으로 이탈이 저지되는 락킹부를 가지며,
상기 슬라이더 가압부는 상기 락킹부가 상기 락킹물림부에 맞물리도록 상기 슬라이더를 락킹방향으로 가압하는 락킹가압부, 및 상기 락킹상태의 락킹부가 상기 락킹물림부로부터 해제되도록 상기 슬라이더를 상기 락킹방향의 반대방향으로 가압하는 언락킹가압부를 포함할 수 있다.
상기 검사소켓은 소켓지지프레임에 장착되며, 상기 본체는 상기 소켓지지프레임에 지지될 수 있다.
상기 본체와 상기 소켓장착프레임은 상호 정렬을 위한 정렬부를 포함할 수 있다.
본 발명의 슬라이더 조작기구에 의하면, 사용자는 작은 크기의 검사소켓을 검사회로기판에 결합 및 분리하는 슬라이더를 편리하고 쉽게 조작할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 슬라이더 조작기구를 적용하는 검사장치의 분해사시도,
도 2는 도 1의 검사소켓을 장착하는 소켓지지프레임을 나타내는 도,
도 3 및 4는 각각 본 발명의 실시예에 따른 슬라이더 조작기구의 사시도와 분해사시도, 및
도 5 및 6은 도 3의 슬라이더 조작기구를 동작을 설명하기 위한 도이다.
이하, 본 발명의 일 실시 예가 첨부된 도면을 참조하여 기재된다. 그러나 이는 본 발명의 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 실시예의 다양한 변경 (modification), 균등물 (equivalent), 및/또는 대체물 (alternative)을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 도면의 설명과 관련하여, 유사한 구성요소에 대해서는 유사한 참조 부호가 사용될 수 있다.
본 명세서에서, “가진다,” “가질 수 있다,”“포함한다,” 또는 “포함할 수 있다”등의 표현은 해당 특징 (예: 수치, 기능, 동작, 또는 부품 등의 구성요소)의 존재를 가리키며, 추가적인 특징의 존재를 배제하지 않는다.
본 명세서에서, “A 또는 B,”“A 또는/및 B 중 적어도 하나,”또는 “A 또는/및 B 중 하나 또는 그 이상”등의 표현은 함께 나열된 항목들의 모든 가능한 조합을 포함할 수 있다. 예를 들면, “A 또는 B,” “ A 및 B 중 적어도 하나,”또는 “ A 또는 B 중 적어도 하나”는, (1) 적어도 하나의 A를 포함, (2) 적어도 하나의 B를 포함, 또는 (3) 적어도 하나의 A 및 적어도 하나의 B 모두를 포함하는 경우를 모두 지칭할 수 있다.
본 명세서에서 “제 1,”“제 2,”“첫째,”또는“둘째,”등의 표현들은 다양한 구성요소들을, 순서 및/또는 중요도에 상관없이 수식할 수 있고, 해당 구성요소들을 한정하지 않는다. 이러한 표현들은 한 구성요소를 다른 구성요소와 구분하기 위해 사용될 수 있다. 예를 들면, 본 개시의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제 1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제 1 구성요소로 바꾸어 명명될 수 있다.
어떤 구성요소 (예: 제1 구성요소)가 다른 구성요소 (예: 제2 구성요소)에 "연결되어 (coupled with/to)" 있다거나 "접촉되어 (contacted to)" 있다고 언급된 때에는, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나, 다른 구성요소 (예: 제3 구성요소)를 통하여 연결될 수 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소 (예: 제1 구성요소)가 다른 구성요소 (예: 제2 구성요소)에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접촉되어" 있다고 언급된 때에는, 어떤 구성요소와 다른 구성요소 사이에 다른 구성요소 (예: 제 3 구성요소)가 존재하지 않는 것으로 이해될 수 있다.
본 명세서에서 사용된 표현 “~하도록 구성된 (또는 설정된)(configured to)”은 상황에 따라, 예를 들면, “~에 적합한 (suitable for),” “~하는 능력을 가지는 (having the capacity to),” “~하도록 설계된 (designed to),” “~하도록 변경된 (adapted to),” “~하도록 만들어진 (made to),”또는 “~를 할 수 있는 (capable of)”과 바꾸어 사용될 수 있다. 용어 “~하도록 구성 (또는 설정)된”은 하드웨어적으로 “특별히 설계된 (specifically designed to)”것만을 반드시 의미하지 않을 수 있다. 대신, 어떤 상황에서는, “~하도록 구성된 장치”라는 표현은, 그 장치가 다른 장치 또는 부품들과 함께 “~할 수 있는” 것을 의미할 수 있다.
본 명세서에서 사용된 용어들은 단지 특정일 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 다른 실시예의 범위를 한정하려는 의도가 아닐 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함할 수 있다. 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 개시의 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미가 있을 수 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의된 용어들은 관련 기술의 문맥상 의미와 동일 또는 유사한 의미가 있는 것으로 해석될 수 있으며, 본 명세서에서 명백하게 정의되지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. 경우에 따라서, 본 명세서에서 정의된 용어일지라도 본 개시의 실시 예들을 배제하도록 해석될 수 없다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시 예에 대하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 슬라이더 조작기구(300)가 적용되는 검사소켓유니트(1)의 분해사시도이다. 검사소켓유니트(1)는 검사회로기판(10)과 검사용 소켓(200)을 포함한다. 검사용 소켓(200)은 소켓본체(210), 플로팅플레이트(220), 탄성부재(230), 및 슬라이더(240)를 포함한다. 검사용 소켓(200)은 피검사체의 피검사접점(미도시)과 검사장치의 검사회로기판(10) 상에 형성된 검사접점(미도시) 사이를 전기적으로 연결한다. 본 발명의 실시 예에 따른 검사소켓유니트(1)의 검사용 소켓(200)은 지지락킹핀(100)과의 결합을 통해 검사회로기판(10)에 고정된다.
검사회로기판(10)은 전기적 신호 및 전원 등을 검사용 소켓(200)을 통해 피검사체(미도시)로 전송한다. 검사회로기판(10)은 피검사체로부터의 전기적 신호를 검사용 소켓(200)을 통해 수신한다. 검사회로기판(10)에는 검사용 소켓(200)의 프로브들(201)의 일단과 접촉되는 복수의 패드(미도시)이 배치되어있다. 검사회로기판(10)은 판면으로부터 상방 돌출되어 소켓(200)을 결합하기 위한 복수의 지지락킹핀들(100)을 포함한다.
지지락킹핀(100)은 돌출방향을 따라 형성된 락킹물림부(110)와 락킹멈춤부(120)를 가진다. 락킹멈춤부(120)는 락킹물림부(110)보다 돌출방향에 가로방향으로 더 확장된 걸림턱(130)을 가진다. 예컨대, 걸림턱(130)은 락킹물림부(110)를 락킹멈춤부(120)에 비해 단차지도록 형성함으로 형성될 수 있다. 지지락킹핀(100)은 돌출방향을 따라 갈라진 2개의 절개부(140)를 가진다. 절개부(140)는 돌출방향에 가로방향으로 탄성 변형될 수 있다. 도 1에서 지지락킹핀(100)은 2개로 분리되는 절개부(140)를 포함하는 것으로 도시되었지만, 3개 이상의 절개부를 포함할 수도 있다. 지지락킹핀(100)은 후술하는 검사용 소켓(200)의 슬라이더(240)와 결합됨으로써 검사회로기판(10)과 검사용 소켓(200)을 고정결합한다.
검사용 소켓(200)은 소켓본체(210), 플로팅플레이트(220), 탄성부재(230), 슬라이더(240), 결합부재(250), 및 가이드핀(260)을 포함한다. 검사용 소켓(200)은 소켓본체(210) 내부에 지지된 복수의 프로브들(201)을 통해 피검사체와 검사회로기판(10) 사이를 전기적으로 연결한다.
소켓본체(210)는 중앙에 아일랜드 형상의 프로브지지부(214)를 갖는 사각의 판형상이다. 프로브지지부(214)는 복수의 프로브들(210)을 지지한다. 소켓본체(210)는 프로브지지부(214)의 외곽에 지지락킹핀(100)이 통과하는 핀관통공(211), 탄성부재(230)의 일단이 삽입되는 탄성부재 수용홈(212), 및 결합부재(250)가 결합되는 결합부재 결합홈(213)을 가진다.
핀관통공(211)은 지지락킹핀(100)을 관통시키기 위해 소켓본체(210)의 각 모서리 영역에 형성된다. 핀관통공(211)은 지지락킹핀(100)의 개수에 대응하는 수만큼 형성된다.
탄성부재 수용홈(212)은 탄성부재(230)의 일측을 수용하기 위해 소켓본체(210)의 상면에 상방이 개방된 형태로 형성된다. 탄성부재 수용홈(212)의 바닥면에 탄성부재(230)의 일단이 접촉되어 지지된다.
결합부재 결합홈(213)은 소켓본체(210)에 플로팅플레이트(220)를 플로팅 상태로 결합부재(250)의 일단과 나사결합된다. 결합부재(250)는 결합공(213)보다 큰 머리, 결합공(213)을 통과하는 몸체 및 몸체의 일단에 형성된 나사로 구성될 수 있다. 플로팅플레이트(220)는 중앙부가 개방된 사각의 판 형상이다. 플로팅플레이트(220)의 개방된 중앙부에는 소켓본체(210)의 사각형의 프로브지지부(214)가 수용된다. 플로팅플레이트(220)는 지지락킹핀(100)이 삽입되는 핀안내공(221), 결합부재(250)의 몸체가 통과하는 결합부재 관통공(222) 및 가이드핀(260)과 결합되는 가이드핀 결합홈(223), 및 슬라이더(240)의 조작돌출부(244)를 수용하는 절취부(224)를 포함한다. 슬라이더(240)의 조작돌출부(244)는 상측에 이격된 제1 및 제2경사면(247),248)이 형성되어 있다. 제1 및 제2경사면(247),248)은 후술하는 각각 내향가압부(430)와 외향가압부(440)에 접촉한다.
핀안내공(221)은 지지락킹핀(100)의 단부를 삽입하도록 플로팅플레이트(220)를 각 모서리 영역을 관통하여 형성된다. 핀안내공(221)은 지지락킹핀(110)의 개수에 대응하는 수로 형성된다.
결합부재 관통공(222)은 소켓본체(210)와 플로팅플레이트(220)를 결합하는 결합부재(250)의 몸체를 수용한다.
가이드핀 결합홈(223)은 후술하는 가이드핀(260)의 일단과 결합된다. 가이드핀 결합홈(223)의 내면에는 나사산이 형성될 수 있다. 여기서, 가이드핀(260)은 후술하는 슬라이더(240)의 슬라이딩슬롯(242)에 끼워진 상태에서 플로팅플레이트(220)의 가이드핀 결합홈(223)에 고정된다.
탄성부재(230)는 소켓본체(210)의 탄성부재 수용홈(213)과 플로팅플레이트(220)의 탄성부재 수용홈(미도시) 사이에 개재된다. 탄성부재(230)는 탄성력일 가지는 스프링일 수 있다. 하지만 탄성부재(230)는 이에 한정되지 않고 탄성을 가지는 모든 소재일 수 있다.
절취부(224)는 플로팅플레이트(220)의 판면의 둘레부를 따라 내부로 함몰되어 형성된다. 절취부(224)는 검사용 소켓(200)과 지지락킹핀(100)의 락킹 동작시 슬라이더(240)의 조작돌출부(244)를 수용한다.
슬라이더(240)는 락킹부(241), 슬라이딩 슬롯(242), 및 조작돌출부(244)를 가진다. 슬라이더(240)는 플로팅플레이트(220)와 소켓본체(210) 사이에 개재된 상태에서 지지락킹핀(100)과 결합된다. 슬라이더(240)는 한 쌍으로 구성되어 플로팅플레이트(220)의 대향한 양 측변에 마주하도록 배치될 수 있다. 조작돌출부(244)는 검사용 소켓(200)과 지지락킹핀(100)의 락킹 동작시 플로팅플레이트(220)의 절취부(224)에 수용된다. 조작돌출부(244)는 도 5 및 6에 나타나 있는 바와 같이, 일측의 제1경사면(247)과 반대측의 제2경사면(248)을 갖는다. 조작돌출부(244)의 제1경사면(247)은 후술하는 내향가동부(434)의 하향경사면(435)이 하향 이동하여 접촉된다. 조작돌출부(244)의 제2경사면(248)은 후술하는 외향가동부(444)의 상향경사면(435)이 하향 이동하여 접촉된다. 슬라이더(240)는 조작돌출부(244)에 형성된 제2경사면(248)의 하측에 만곡 형상으로 절개되어 있다. 이 만곡부는 하향 이동하는 외향가동부(444)가 제2경사면(248)을 밀어낸 후 지나갈 수 있도록 하기 위한 것이다.
락킹부(241)는 지지락킹부(100)의 락킹물림부(110)와 맞물리기 위해 일부가 개방된 반원 형상이다. 락킹부(241)는 락킹물림부(110)와 맞물리는 물림면과 지지락킹핀(100)의 걸림턱에 맞물려 상기 슬라이더(240)의 이탈을 저지하는 이탈저지부(243), 및 락킹멈춤부(120)와 맞물리는 멈춤면(246)을 가진다. 락킹부(241)의 형상은 반원형상에 한정되지 않고 락킹물림부(110)의 형상에 대응하여 변경될 수 있다.
슬라이딩 슬롯(242)은 가이드핀(260)이 관통하여 판면방향으로 이동할 수 있도록 이동방향으로 긴 타원 형상으로 슬라이더(240)를 관통하여 형성된다.
결합부재(250)는 결합부재 관통공(222)를 통과하여 소켓본체(210)의 결합부재 결합홈(213)에 결합된다. 결합부재(250)는 소켓본체(210)에 대해 플로팅플레이트(220)를 플로팅 결합한다. 결합부재(250)는 상방으로 향하는 탄성력에 의한 플로팅플레이트(220)의 상방 이동을 소정 범위에서 제한한 상태에서 상하방 이동을 가능하게 한다.
가이드핀(260)은 장공의 슬라이딩 슬롯(242)을 통과하여 플로팅플레이트(220)의 가이드핀 결합홈(223)에 체결된다. 가이드핀(260)은 슬라이딩 슬롯을 통과할 수 없는 머리와, 슬라이딩 슬롯을 통과하는 몸체와, 몸체의 단부에 마련되어 가이드핀 결합홈(223)에 체결되는 단부를 가진다. 가이드핀(260)에 의해 슬라이더(240)는 플로팅플레이트(220)에 밀착되어 장공의 슬라이딩 슬롯을 따라 이동가능하게 결합된다. 도 1에서 가이드핀(260)이 슬라이더(240)에 형성된 슬라이딩 슬롯(240)을 통과하여 설치된다고 도시되었지만, 슬라이딩 슬롯(240)이 플로팅플레이트에 형성되고 가이드핀(260)이 슬라이더(240)에 결합될 수도 있다.
도 1에 도시된 검사용 소켓(200)은 소켓본체(210) 및 플로팅플레이트(220) 사이에 개재된 탄성부재(230) 및 결합부재(250)에 의해 하방으로 탄성가압된 상태로 결합된다. 즉, 플로팅플레이트(220)에는 소켓본체(210)와 결합시 상방으로 향하는 탄성력이 가해지고 있다. 이러한 상방으로 향하는 탄성력에 의한 플로팅플레이트의 상방이동은 결합부재(250)에 의해 저지된다. 하지만 플로팅플레이트(220)의 하방이동은 플로팅플레이트(220)를 하방으로 가압하여 소정 폭만큼 가능하다. 따라서, 소켓본체(210)와 플로팅플레이트(220)는 서로 밀착되지 않고 일정 범위에서 하방이동이 가능하도록 일정한 틈을 가지고 결합된다.
검사소켓유니트(1)는 검사회로기판에 검사용 소켓(200)을 간단한 동작으로 결합 및 분리할 수 있다. 부착은 플로팅플레이트(220)를 하방으로 가압한 상태에서, 플로팅플레이트(220)에 판면방향으로 슬라이딩 슬롯을 따라 이동가능하게 설치된 한 쌍의 슬라이더(240)를 플로팅플레이트(220)의 내부 방향으로 밀어넣어 수행한다. 분리는 플로팅플레이트(220)를 가압한 상태에서 슬라이더(240)를 소캣본체(210)의 외측으로 잡아당겨 수행한다.
도 2는 검사용 소켓(200)을 장착하는 소켓지지프레임(300)을 나타내는 도이다. 도시된 바와 같이, 소켓지지프레임(300)은 한정되지 않는 4개의 소켓장착부(310)를 포함하고 있다. 각 소켓장착부(310)에는 2개의 정렬핀(312)이 배치되어 있다. 소켓지지프레임(300)은 하부에 검사회로기판(400)이 배치되어 있다.
소켓장착부(310)는 검사용 소켓(200)을 안착시키는 개방된 직사각형 개공 형태이다. 소켓장착부(310)의 바닥에는 검사회로기판(10)의 패드 및 지지락킹핀들(도 1의 100)이 노출되어 있다. 검사용 소켓(200)은 슬라이더(240)가 직사각형 개공의 양 단변에 위치도록 소켓장착부(310)에 수용된다. 이때, 지지락킹핀(100)은 검사용 소켓(200)의 핀통과공(211)과 핀안내공(221)에 삽입이 이루어진다. 또한, 검사용 소켓(200)은 대략 정사각형 형태로서 직사각형의 개공 형태인 소켓장착부(310)에 삽입되면 단변측 양측에 적절한 여유 공간에 남게 된다. 이 잔여 공간은 슬라이더(240)를 조작할 수 있는 공간으로서 역할을 한다.
본 발명의 실시예에 따른 슬라이더 조작기구(400)는 검사용 소켓(200)이 소켓장착부(310)에 수용된 상태에서 검사용 소켓(200) 상에 장착 즉, 슬라이더 조작기구(400)의 정렬공(412)에 소켓지지프레임(300)의 정렬핀(312)에 삽입하여 장착된다.
도 3 및 4는 본 발명의 실시예에 따른 슬라이더 조작기구(400)를 나타내는 사시도 및 분해사시도이다. 슬라이더 조작기구(400)는 본체(410)와 슬라이더 가압부(420)를 포함한다.
슬라이더 가압부(420)는 슬라이더(240)를 검사용 소켓(200)의 판면을 따라 내측으로 가압하는 내향가압부(430)와 외측으로 가압하는 외향가압부(440)를 포함한다. 내향가압부(430)와 외향가압부(440)는 탄성적으로 승강 및 하강이 가능하도록 본체(410)에 지지되어 있다.
내향가압부(430)는 누르기 위해 노출되는 가압헤드(432)와 가압헤드(432)로부터 일체로 좁게 연장하는 내향가동부(434)를 포함한다. 내향가동부(434)는 단부에 내측에서 외측으로 하향 경사진 하향경사면(435)를 가진다. 가압헤드(432)는 본체(410)에 내향가압부(430)를 플로팅 장착을 위한 제1나사공(436)이 형성되어 있다. 제1나사공은 본체(410)를 향하도록 관통되어 있다. 내향가압부(430)의 플로팅 장착은 제1스프링(460)에 의해 수행된다. 제1나사(450)는 나사머리(452), 몸체(454) 및 나사단부(456)를 포함한다. 제1스프링(460)은 내향가압부(430)의 저면과 본체(410)(내향가압부가 수용되는 수용부의 바닥) 사이에 개재되어 탄성력을 제공한다. 제1나사(450)의 몸체(454)는 내향가압부(430)를 통과하고, 나사단부(456)는 본체(410)에 나사 고정된다. 결과적으로, 내향가압부(430)는 제1스프링(460)에 의해 몸체(454) 범위 내에서 본체(410)에 탄성적으로 플로팅 지지될 수 있다.
외향가압부(440)는 누르기 위해 노출되는 가압헤드(442)와 가압헤드(442)로부터 일체로 이격되어 연장하는 2개의 외향가동부(444)를 포함한다. 외향가동부(444)는 단부에 내측에서 외측으로 상향 경사진 상향경사면(445)을 가진다. 가압헤드(442)는 본체(410)에 외향가압부(440)를 플로팅 장착을 위한 제2나사공(446)이 형성되어 있다. 제2나사공은 본체(410)를 향하도록 관통되어 있다. 외향가압부(440)의 플로팅 장착은 제2스프링(480)에 의해 수행된다. 제2나사(470)는 나사머리(472), 몸체(474) 및 나사단부(476)를 포함한다. 제2스프링(480)은 외향가압부의 저면과 본체(410)(외향가압부가 수용되는 수용부의 바닥) 사이에 개재되어 탄성력을 제공한다. 제2나사(470)의 몸체(474)는 외향가압부(440)를 통과하고, 나사단부(476)는 본체(410)에 나사 고정된다. 결과적으로, 외향가압부(440)는 제2스프링(480)에 의해 몸체(474) 범위 내에서 본체(410)에 탄성적으로 플로팅 지지될 수 있다.
본체(410)는 소켓지지프레임(300)의 정렬핀(312)에 삽입되는 정렬공(412)을 가진다. 본체(410)는 중앙에 위치하여 외향가압부(440)를 장착하는 제1수용부(414) 및 제1수용부(414) 양측에 위치하여 2개의 내향가압부(430)를 장착하는 2개의 제2수용부(416)를 가진다. 제1수용부(414)는 외향가압부(440)의 가압헤드(442)를 수용하는 상측수용부와 외향가압부(440)의 외향가동부(444)가 통과하는 하측수용공으로 구성되어 있다. 제2수용부(416)는 내향가압부(430)의 가압헤드(432)를 수용하는 상측수용부와 내향가압부(430)의 내향가동부(434)가 통과하는 하측수용공으로 구성되어 있다.
이하, 도 1, 도 5 및 6을 참조하여 슬라이더 조작기구(400)의 동작을 상세히 설명한다.
도 1 및 5에 나타낸 바와 같이, 사용자가 슬라이더(240)를 소켓판면을 따라 내측으로 이동시켜 검사용 소켓(200)을 검사회로기판(10)에 결합하기 위해 양측 내향가압부(430)의 가압헤드(432)를 누르면 제1스프링(460)을 압축하면서 내향가동부(434)의 하향경사면(435)이 슬라이더(240)의 조작돌출부(244)의 제1경사면(247)에 접근한다. 이때, 내향가압부(430)의 가압헤드(432)를 누르면, 내향가압부(430)가 플로팅플레이트(220)를 동시에 가압한다. 하향경사면(435)이 제1경사면(247)에 접촉한 후 계속 진행하면 조작돌출부(244)를 소켓 측으로 밀어 검사용 소켓(200)이 검사회로기판(10)에 결합된다. 즉, 슬라이더(240)가 내향가압부(430)에 의해 소켓 내측으로 판면을 따라 슬라이동 이동되면, 슬라이더(240)의 락킹부(241)가 지지락킹핀(100)의 락킹물림부(110)에 물려 락킹된다. 이후 내향가압부(430)의 가압헤드(432)의 누름을 해제하면, 내향가압부(430)와 플로팅플레이트(220)는 탄성력에 의해 원래 위치로 복귀한다.
도 1 및 6에 나타낸 바와 같이, 사용자가 슬라이더(240)를 소켓 판면을 따라 외측으로 이동시켜 검사용 소켓(200)을 검사회로기판(10)에 분리하기 위해 중앙 외향가압부(440)의 가압헤드(442)를 누르면 제2스프링(470)을 압축하면서 외향가동부(444)의 상향경사면(445)이 슬라이더(240)의 조작돌출부(244)의 제2경사면(248)에 접근한다. 이때, 외향가압부(440)의 가압헤드(442)를 누르면, 외향가압부(440)가 플로팅플레이트(220)를 동시에 가압한다. 상향경사면(445)이 제2경사면(248)에 접촉한 후 계속 진행하면 조작돌출부(244)를 소켓 외측으로 밀어 검사용 소켓(200)가 검사회로기판(10)로부터 분리된다. 즉, 슬라이더(240)가 외향가압부(440)에 의해 소켓 외측으로 판면을 따라 슬라이동 이동되면, 슬라이더(240)의 락킹부(241)가 지지락킹핀(100)의 락킹물림부(110)로부터 벗어나 언락킹된다. 이후 외향가압부(440)의 가압헤드(442)의 누름을 해제하면, 외향가압부(440)와 플로팅플레이트(220)는 탄성력에 의해 원래 위치로 복귀한다.
이상과 같이 본 발명은 한정된 예시적 실시예와 도면을 통해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 예시적 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.
그러므로 본 발명의 범위는 설명된 예시적 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
100: 지지락킹핀
110: 락킹물림부
120: 락킹멈춤부
130: 절개부
200: 검사용 소켓
210: 소켓본체
220: 플로팅플레이트
230: 탄성부재
240: 슬라이더
250: 결합부재
260: 가이드핀
300: 소켓지지프레임
310: 소켓장착부
312: 정렬핀
400: 슬라이더 조작기구
410: 본체
420: 슬라이더 가압부
430: 내향가압부
440: 외향가압부

Claims (7)

  1. 다수의 프로브가 지지된 검사소켓, 상기 프로브에 접촉하는 접점을 가진 검사회로기판, 및 상기 검사 소켓을 상기 검사회로기판에 결합 및 분리시키는 슬라이더를 가진 검사장치에서,
    상기 검사소켓 상에 배치되는 본체와;
    상기 본체에 승하강 가능하게 지지되고 상기 본체로부터 상기 슬라이더를 향해 하강하여 상기 슬라이더를 상기 검사소켓의 판면방향을 따라 슬라이딩 이동시키는 슬라이더 가압부를 포함하며,
    상기 슬라이더 가압부는 상기 슬라이더를 상기 검사소켓의 내측 방향으로 이동시키는 내향가압부와 상기 슬라이더를 상기 검사소켓의 외측 방향으로 가압하는 외향가압부를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치의 슬라이더 조작기구.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 슬라이더는 상기 검사소켓의 외측에서 내측으로 상향 경사진 내향경사면과 상기 내향경사면에 이격되어 있고 검사소켓의 내측에서 외측으로 상향 경사진 외향경사면을 가지며,
    상기 내향가압부는 상기 내향경사면에 접촉하는 내향가압면을 가지며,
    상기 외향가압부는 상기 외향경사면에 접촉하는 외향경사면을 갖는 것을 특징으로 하는 검사장치의 슬라이더 조작기구.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 슬라이더는 검사소켓에 대해 검사회로기판을 결합하는 락킹과 분리하는 락킹해제 이동하는 것을 특징으로 검사장치의 슬라이더 조작기구.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 검사회로기판은 판면으로부터 상방 돌출되도록 고정되며, 돌출방향을 따라 락킹물림부와 선단영역의 락킹멈춤부를 갖는 복수의 지지락킹핀이 마련되며,
    상기 검사소켓은 상기 지지락킹핀이 통과하는 핀통과공을 포함하는 소켓 본체와, 상기 지지락킹핀이 삽입되는 핀안내공을 가지며 상기 소켓본체로부터 소정 높이 플로팅 가능하게 결합되는 플로팅플레이트를 포함하며,
    상기 슬라이더는 상기 핀통과공과 상기 핀안내공에 삽입된 지지락킹핀의 락킹물림부에 맞물려 상기 락킹멈춤부에 의해 상방으로 이탈이 저지되는 락킹부를 가지며,
    상기 슬라이더 가압부는 상기 락킹부가 상기 락킹물림부에 맞물리도록 상기 슬라이더를 락킹방향으로 가압하는 락킹가압부, 및 상기 락킹부가 상기 락킹물림부로부터 해제되도록 상기 슬라이더를 상기 락킹방향의 반대방향으로 가압하는 언락킹가압부를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치의 슬라이더 조작기구.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 검사소켓은 소켓지지프레임에 장착되며,
    상기 본체는 상기 소켓지지프레임에 지지되는 것을 특징으로 하는 검사장치의 슬라이더 조작기구.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 본체와 상기 소켓지지프레임은 상호 정렬을 위한 정렬부를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치의 슬라이더 조작기구.
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