JP7285307B2

JP7285307B2 - ソケット用のチップ固定装置

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Publication number: JP7285307B2
Application number: JP2021204896A
Authority: JP
Inventors: 呉惠榮; 林宗毅; 許守昇
Original assignee: Chroma ATE Inc
Current assignee: Chroma ATE Inc
Priority date: 2020-12-18
Filing date: 2021-12-17
Publication date: 2023-06-01
Anticipated expiration: 2041-12-17
Also published as: US20220200185A1; KR20220088345A; TWI752760B; JP2022097451A; TW202225702A; KR102654985B1

Description

本発明は、ソケット用のチップ固定装置に関し、特に、テスト対象のチップがソケットと共に移送されるときに、テスト対象のチップがソケットから抜け落ちることを防止し得る、ソケット用のチップ固定装置に関する。

チップテスト機器の従来のソケットは、テスト基板上に配置されており、テスト対象のチップがソケットにおけるプローブと完全に接触し得ることを確実にするためには、テスト中にテスト対象のチップを押圧するために、押圧ヘッドが使用されなければならず、また、押圧ヘッドは、テスト工程全体を通してテスト対象のチップを押圧し続けなければならない。実際、固定されたソケットと押圧ヘッドとのグループは、かなりの空間を占有し、単一の大型テスト機器に配設され得る固定されたソケットと押圧ヘッドとのグループ数は、依然として制限される。

機械空間の問題を克服するために、既存のテスト機器製造業者は、３次元的に配置され得るソケットを開発することに力を注いでいる。即ち、ソケットにテスト対象のチップが装填されると、ソケットは、特定の位置に移送され得るか、又はスタック状に置かれ得、次いで、バーンインテストが行われる。ソケットの移送工程中のソケット内のテスト対象のチップの安定性が課題となる。

ソケット内のＩＣを押し付けるためにラッチが配置されている関連ソケットが、「ＩＣパッケージ用ソケット」と題する米国特許出願公開第ＵＳ２００２／０１７７３４７Ａ１号に開示されている。換言すれば、この特許文献によれば、専用のソケットのみがラッチを装備しており、これらラッチは、他のソケットのために使用されることができない。更に、当該特許出願のソケットは、ラッチの前端傾斜面がＴ字状のばね支持部材によって押圧され、ラッチの前端突出部を傾いている表面に沿って摺動させ、ＩＣに当接させるように作動する。

しかしながら、この構成によれば、Ｔ字状のばね支持部材がラッチを押すケースと、ラッチの前端突出部が、傾いている表面に沿って摺動するケースとの何れにおいても、ＩＣ又はソケットを汚染し得るスクラップが長期にわたる表面摩擦下で生成されることになる。当該特許文献の図面の開示によれば、Ｔ字状のばね支持部材によってラッチを押すやり方により、干渉が容易に生じ得、ソケットをスムーズに動作させることが困難であり得る。

本発明の主な目的は、テスト対象のチップがソケットと共に移送されるときに、テスト対象のチップがソケットから抜け落ちることを効果的に防止し得、且つ、異なる仕様及びサイズを有する様々なタイプのソケット及びチップと任意に適合し得る、ソケット用のチップ固定装置を提供することである。

上記目的を達成するために、本発明のソケット用のチップ固定装置は、テスト対象のチップを収容するためのチップスロットを含むソケット上に配置されている。本発明のチップ固定装置は、主に、固定ベース本体と、少なくとも１つの可動止め具と、を備える。固定ベース本体は、貫通開口部と、ソケット収容凹部と、を含む。ソケットは、ソケット収容凹部に取り付けられ、ソケットのチップスロットは、貫通開口部に対応し、固定ベース本体の上面から露出されている。各可動止め具は、ストッパーを含み、固定ベース本体に取り付けられており、ストッパーが第１の位置と第２の位置との間で移動されるように制御され、第１の位置は、非テスト期間の間、ストッパーがソケットのチップスロットの真上にある位置を指し、第２の位置は、テスト期間の間、ストッパーがソケットのチップスロットの真上にない位置を指し、ストッパーが第１の位置にあるとき、ストッパーとテスト対象のチップの上面との間の距離が、ソケットのチップスロットの深さよりも小さくなる。

従って、本発明のソケット収容凹部は、異なる仕様及びサイズを有する様々なタイプのソケットを設置するために使用され得、可動止め具は、外力の有無に依存して、テスト対象のチップがチップスロットから抜け落ちることを防止するために、非テスト期間の間、ストッパーをソケットのチップスロットの真上の位置に駆動し得るか、又はテスト期間の間、ストッパーをソケットのチップスロットの真上の位置から離れるように駆動し得る。

上記目的を達成するために、本発明のソケット用のチップ固定装置は、テスト対象のチップを収容するためのチップスロットを含むソケット上に配置されている。本発明のチップ固定装置は、主に、固定ベース本体と、２つの可動止め具と、を備える。固定ベース本体は、貫通開口部と、ソケット収容凹部と、を含む。ソケットは、ソケット収容凹部に取り付けられ、ソケットのチップスロットは、貫通開口部に対応し、固定ベース本体の上面から露出されている。２つの可動止め具は、貫通開口部内に配置されており、それぞれソケットのチップスロットの２つの対向する側部に対応する。各可動止め具がストッパーを含み、２つの可動止め具は、これらストッパーを第１の位置と第２の位置との間で移動させるように制御され、第１の位置は、テスト対象のチップがチップスロットから離脱できないように、非テスト期間の間、２つの可動止め具のストッパーがそれぞれテスト対象のチップの真上の２つの対向する側部にある位置を指し、第２の位置は、テスト対象のチップがチップスロットから離脱できるように、テスト期間の間、ストッパーがソケットのチップスロットの真上にない位置を指し、ストッパーが第１の位置にあるとき、ストッパーとテスト対象のチップの上面との間の距離が、ソケットのチップスロットの深さよりも小さくなる。

本発明のチップ固定装置の別の態様は、異なる仕様及びサイズを有する様々なタイプのソケットを設置するためのソケット収容凹部が設けられているのみならず、追加として、ソケットのチップスロットの２つの対向する側部に２つの可動止め具が設けられており、これは、テスト対象のチップがソケットから抜け落ちないことをより確実にするために、テスト対象のチップをチップの両側から挟持し得る。

上記目的を達成するために、本発明のソケット用のチップ固定装置は、テスト対象のチップを収容するためのチップスロットを含むソケット上に配置されている。本発明のチップ固定装置は、主に、固定ベース本体と、２つの可動止め具と、二対のロッカーアームと、２つの第１の連接棒と、２つの第２の連接棒と、を備える。固定ベース本体は、ソケット収容凹部と、貫通開口部と、４つのアーム収容凹部と、２つの第１の長穴と、２つの第２の長穴と、を含む。貫通開口部及びアーム収容凹部は、固定ベース本体の上面及び下面を貫通する。ソケットは、ソケット収容凹部に取り付けられ、ソケットのチップスロットは、貫通開口部に対応し、固定ベース本体の上面から露出されている。４つのアーム収容凹部は、それぞれ貫通開口部の四隅に設けられている。２つの第１の長穴及び２つの第２の長穴は、それぞれ、固定ベース本体の両側端面を貫通しており、ソケットの両側に位置する。２つの可動止め具は、それぞれ、貫通開口部内に配置されており、ソケットのチップスロットの２つの対向する側部に対応する。各可動止め具は、ストッパーを含む。２つの可動止め具は、固定ベース本体に取り付けられており、ストッパーを第１の位置と第２の位置との間で移動させるように制御される。二対のロッカーアームは、それぞれ、２つの可動止め具の両側に配置され、４つのアーム収容凹部に収容されており、各ロッカーアームは、固定端と可動端とを含む。各第１の連接棒は、それぞれの第１の長穴を通って延在し、それぞれのロッカーアームの固定端と、それぞれの可動止め具とに枢動可能に連結されており、各第２の連接棒は、それぞれの第２の長穴を通って延在し、それぞれの可動止め具に枢動可能に連結されている。第２の位置は、ロッカーアームが可動止め具を駆動して、ストッパーをソケットのチップスロットの真上に位置しないように移動させるように、テスト期間の間、二対のロッカーアームの可動端が外力によって押された位置を指し、第１の位置は、非テスト期間の間、ストッパーがソケットのチップスロットの真上に位置するように、外力が解除された位置を指し、ストッパーが第１の位置にあるとき、ストッパーとテスト対象のチップの上面との間の距離は、ソケットのチップスロットの深さよりも小さい。

本発明のチップ固定装置の別の態様には、異なる仕様及びサイズを有する様々なタイプのソケットを設置するためのソケット収容凹部が設けられている。加えて、ロッカーアームは、可動止め具を第１の位置と第２の位置との間で移動させるために使用される。ロッカーアームが外力によって駆動される（例えば、ロッカーアームがテストヘッドによって押圧される）と、ロッカーアームは、テストヘッドがチップスロットにおけるテスト対象のチップと接触するように、可動止め具を駆動して、ストッパーをソケットのチップスロットの真上の位置から離れるように移動させる。一方、外力が解除されると、即ち、テストヘッドがロッカーアームから離れると、ストッパーは、チップがチップスロットから抜け落ちることを防止するために、ソケットのチップスロットの真上の位置に戻る。

図１は、本発明のソケット用のチップ固定装置の斜視図である。図２は、本発明のソケット用のチップ固定装置の分解図である。図３は、ストッパーが第１の位置にある状態での、本発明のソケット用のチップ固定装置の断面図である。図４は、ストッパーが第２の位置にある状態での、本発明のソケット用のチップ固定装置の断面図である。

本発明のソケット用のチップ固定装置がこの実施形態において詳細に説明される前に、以下の説明では、同様の構成要素は、同じ参照番号によって示されることに特に留意されたい。更に、本発明の図面は、例示のみを目的としており、必ずしも一定の縮尺で描かれておらず、全ての詳細が必ずしも図面に提示されている訳ではない。

図１及び図２を参照する。図１は、本発明のソケット用のチップ固定装置の斜視図であり、図２は、本発明のソケット用のチップ固定装置の分解図である。これら図に示されるように、この実施形態のソケット用のチップ固定装置１は、任意の仕様及びサイズを有するソケットＳと適合し得るソケットプレートと見なされ得る。具体的には、この実施形態のソケット用のチップ固定装置１は、主に、固定ベース本体２と、２つの可動止め具３と、二対のロッカーアーム４と、２つの第１の連接棒５１と、２つの第２の連接棒５２と、２つの第３の連接棒５３と、２つの復元ばね６と、を含む。

固定ベース本体２は、ソケット収容凹部２０と、貫通開口部２１と、４つのアーム収容凹部２２と、２つの第１の長穴２３と、２つの第２の長穴２４と、を含み、貫通開口部２１及びアーム収容凹部２２は、固定ベース本体２の上面及び下面を貫通し、ソケット収容凹部２０は、様々なソケットＳを設置するために使用され得、ソケットＳのチップスロットＳＣは、貫通開口部２１に対応し、固定ベース本体２の上面から露出されている。４つのアーム収容凹部２２は、それぞれ貫通開口部２１の四隅に設けられており、各アーム収容凹部２２の両側には、アーム収容凹部２２と連通している垂直な案内凹部２５がそれぞれ設けられている。

一方、２つの第１の長穴２３及び２つの第２の長穴２４は、固定ベース本体２の前端面及び後端面を貫通しており、ソケットＳの両側に位置し、第１の長穴２３は、水平長穴であり、第２の長穴２４は、第１の長穴２３に隣接するその一端が固定ベース本体２の上面に向かって延在する斜め長穴である。

２つの可動止め具３は、貫通開口部２１内に配設されており、それぞれソケットＳのチップスロットＳＣの両側に対応し、各可動止め具３は、ストッパー３１を含む。各可動止め具３は、本体部３０１と、片持ち梁部３０２と、を含む。本体部３０１には、２つの貫通孔３０３、３０４が形成されている。２つの可動止め具３の各片持ち梁部３０２の自由端には、ストッパー３１が設けられている。

２つのロッカーアーム４は、それぞれ各可動止め具３の両側に配置されており、即ち、二対のロッカーアーム４は、４つのアーム収容凹部２２に配置されており、各ロッカーアーム４は、固定端４１と可動端４２とを含む。各可動端４２には、被案内突起部４２１がその各側面上に設けられている。被案内突起部４２１は、アーム収容凹部２２の両側にある垂直な案内凹部２５に収容されており、垂直な案内凹部２５によって案内されて、上方又は下方に移動され得る。

２つの第１の連接棒５１は、それぞれ固定ベース本体２の両側にある第１の長穴２３を通って延在し、ロッカーアーム４の固定端４１と、可動止め具３の貫通孔３０３とに枢動可能に連結されており、２つの第２の連接棒５２は、それぞれ固定ベース本体２の両側にある第２の長穴２４を通って延在し、ソケット収容凹部２０に隣接する、可動止め具３の他方の貫通孔３０４に枢動可能に連結されている。２つの第３の連接棒５３は、固定ベース本体２に取り付けられており、可動止め具３の片持ち梁部３０２の下のソケットＳの両側に位置する。

各可動止め具３の本体部３０１には、復元ばね６を収容するための、片持ち梁部３０２から離れた側にある収容凹部３２が設けられている。即ち、復元ばね６は、貫通開口部２１内に配置されており、固定ベース本体２と可動止め具３との間に位置する。

ストッパー３１が第１の位置にある状態での、本発明のソケット用のチップ固定装置１の断面図である図３を参照する。図３は、ソケット用のチップ固定装置１が、ソケットＳと共に、ソケットＳにテスト対象のチップＩＣが装填された後に移送されることになる通常状態を示す断面図である。図に示されるように、復元ばね６は、本体部３０１がソケットＳの側端面に当接するように、可動止め具３の本体部３０１をソケットＳに向かって付勢する。

この時、ロッカーアーム４の可動端４２の被案内突起部４２１は、垂直な案内凹部２５内で、固定ベース本体２の上面の近くに位置する。第１の長穴２３及び第２の長穴２４にそれぞれ位置する第１の連接棒５１及び第２の連接棒５２は、ソケットＳの一方の側部の近くにある。可動止め具３の片持ち梁部３０２の下面は、第３の連接棒５３に当接している。より具体的には、この時、ストッパー３１は、テスト対象のチップＩＣがチップスロットＳＣから抜け落ちること防止するために、ソケットＳのチップスロットＳＣの真上に位置する。

この実施形態では、ストッパー３１が第１の位置にあるとき、ストッパー３１とテスト対象のチップＩＣの上面との間の距離は、ソケットＳのチップスロットＳＣの深さよりも小さいことに特に留意されたく、即ち、ストッパー３１の端部は、テスト対象のチップＩＣの上面から隙間によって離間されており、テスト対象のチップＩＣの上面に接触していない。従って、ストッパー３１によりテスト対象のチップＩＣの表面にひっかき傷が付くのを防止し得る。

ストッパー３１が第２の位置にある状態での、本発明のソケット用のチップ固定装置１の断面図である図４を参照する。図に示されるように、この実施形態の押圧ヘッド７は、テストヘッド７１と、４つの押圧棒と７２と、を含み、テストヘッド７１は、ソケットＳのチップスロットＳＣに対応し、即ち、テスト対象のチップＩＣに対応し、４つの押圧棒７２は、それぞれ４つのアーム収容凹部２２におけるロッカーアーム４の可動端４２に対応する。

テスト動作を行う場合、押圧ヘッド７が下降させられ、ロッカーアーム４の可動端４２は、可動止め具３が変位されるように、その上に押圧力を加えている押圧棒７２によって押圧される。第１の長穴２３及び第２の長穴２４における第１の連接棒５１及び第２の連接棒５２の案内を用いて、ロッカーアーム４は、可動止め具３を駆動して、ストッパー３１をソケットＳのチップスロットＳＣの真上の位置から離れるように移動させる。可動止め具３は、ソケットＳから水平方向に離れるように変位されるように、第１の長穴２３によって案内される。可動止め具３は、ソケットＳの上に位置するストッパー３１がチップスロットＳＣの真上の位置から完全に離れるように、ソケットＳから斜め上方に離れて変位されるように、第２の長穴２４によって案内され、テストヘッド７１は、テスト対象のチップＩＣと接触するように下降させられ得る。

テストが完了した場合、押圧ヘッド７が上昇され、テストヘッド７１がチップＩＣから後退し、４つの押圧棒７２が徐々に上昇され、即ち、押圧力が解除される。この時、可動止め具３は、復元ばね６の付勢力によって、図３に示される第１の位置へ付勢される。換言すれば、ストッパー３１は、チップＩＣがチップスロットＳＣから抜け落ちること防止するために、ソケットＳのチップスロットＳＣの真上の位置に戻る。一方、チップがピックアンドプレースされるとき、ピックアンドプレース機構（図示せず）には、押圧棒が設けられており、可動止め具３は、同様にチップスロットＳＣの真上の位置から離れるように移動される。これは、ピックアンドプレース機構が、テストが行われたチップを取り外し、別のテスト対象のチップを置くことを容易にする。

要約すると、先行技術と比較して、本発明のソケット用のチップ固定装置は、少なくとも以下の利点を有する：
（１）本発明のチップ固定装置は、独立した構成要素であり、これは、異なる仕様及びサイズを有する様々なタイプのソケットと任意に組み合わされ得、再利用され得、様々なタイプのテスト対象のチップ又はソケットに対応するチップ固定装置を再設計し、置き換え及び再設置する必要がない、
（２）本発明のチップ固定装置は、単純構造を有し、組み立て及び保守整備が容易であり、耐久性及び安定性があり、並びにテスト対象のチップが移送工程中にソケットのチップスロットから抜け落ちることを効果的に防止することが可能である、
（３）ストッパーは、テスト対象のチップと直接接触しておらず、従って、ストッパーによりテスト対象のチップにひっかき傷が付くのを防止し得る、
（４）テスト対象のチップが異なる厚さを有する場合、異なる厚さを有するチップに適合させるためには、ストッパーを取り替えるだけでよい、及び
（５）本発明のチップ固定装置は、追加のアクチュエータを装備する必要がなく、既存のテスト機器は大きく修正される必要がなく、追加として既存のテスト機器の押圧ヘッドに押圧棒を取り付けることは、ソケット内のテスト対象のチップが、既存の動作モードで固定又は解除されることを可能にする。

本発明の好ましい実施形態は、例示的であるにすぎず、特許請求される発明は、図面及び明細書に開示される詳細に限定されない。従って、以下の請求項の文言によって許可される全範囲を有するものとして意図される。

以下に、本願出願の当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
［１］ソケット上に配置され、前記ソケットがテスト対象のチップを収容するためのチップスロットを含む、前記ソケット用のチップ固定装置であって、前記チップ固定装置は、
貫通開口部と、ソケット収容凹部と、を含み、前記ソケットが前記ソケット収容凹部内に組み立てられており、前記ソケットの前記チップスロットが、前記貫通開口部に対応し且つ固定ベース本体の上面から露出している、固定ベース本体と、
それぞれがストッパーを含み、前記固定ベース本体内に組み立てられ、前記ストッパーを第１の位置と第２の位置との間で移動させるように制御されている少なくとも１つの可動止め具と、
を備え、
前記第１の位置は、非テスト期間の間、前記ストッパーが前記ソケットの前記チップスロットの真上にある位置を指し、前記第２の位置は、テスト期間の間、前記ストッパーが前記ソケットの前記チップスロットの真上にない位置を指し、
前記ストッパーが前記第１の位置にあるとき、前記ストッパーと前記テスト対象のチップの上面との間の距離が、前記ソケットの前記チップスロットの深さよりも小さい、チップ固定装置。
［２］少なくとも１つのロッカーアームと、少なくとも１つの第１の連接棒と、少なくとも１つの第２の連接棒と、を更に備え、
前記固定ベース本体は、少なくとも１つのアーム収容凹部と、少なくとも１つの第１の長穴と、少なくとも１つの第２の長穴と、を含み、前記少なくとも１つのロッカーアームは、前記少なくとも１つのアーム収容凹部に収容されており、
前記少なくとも１つの第１の連接棒は、前記少なくとも１つの第１の長穴を通って延在し、前記少なくとも１つのロッカーアームの一端と、前記少なくとも１つの可動止め具とに枢動可能に連結されており、
前記少なくとも１つの第２の連接棒は、前記少なくとも１つの第２の長穴を通って延在し、前記少なくとも１つの可動止め具に枢動可能に連結されている、［１］に記載のチップ固定装置。
［３］前記少なくとも１つの第１の長穴は、水平長穴であり、前記少なくとも１つの第２の長穴は、斜め長穴であり、前記少なくとも１つの第１の長穴に隣接する前記少なくとも１つの第２の長穴の一端が、前記固定ベース本体の前記上面に向かって延在する、［２］に記載のチップ固定装置。
［４］前記固定ベース本体は、前記少なくとも１つのアーム収容凹部と連通している垂直な案内凹部を更に含み、前記少なくとも１つのロッカーアームは、固定端と可動端とを含み、前記少なくとも１つの第１の連接棒は、前記固定端に枢動可能に連結されており、前記可動端には、前記垂直な案内凹部に収容され、前記垂直な案内凹部によって案内されて、上方又は下方に移動される被案内突起部が設けられている、［２］に記載のチップ固定装置。
［５］前記固定ベース本体と前記少なくとも１つの可動止め具との間に配置され、前記ストッパーを前記第１の位置に向かって移動させるように駆動するための付勢力を加える、少なくとも１つの復元ばねを更に備える、［４］に記載のチップ固定装置。
［６］前記少なくとも１つの可動止め具は、本体部と、片持ち梁部と、を含み、前記本体部には、２つの貫通孔が形成されており、前記少なくとも１つの第１の連接棒及び前記少なくとも１つの第２の連接棒は、それぞれ前記２つの貫通孔に枢動可能に連結されており、前記ストッパーは、前記片持ち梁部上に組み立てられている、［２］に記載のチップ固定装置。
［７］前記固定ベース本体内に組み立てられている第３の連接棒を更に備え、前記ストッパーが前記第１の位置にあるとき、前記少なくとも１つの可動止め具の前記片持ち梁部の下面が、前記第３の連接棒に当接する、［６］に記載のチップ固定装置。
［８］ソケット上に配置され、前記ソケットがテスト対象のチップを収容するためのチップスロットを含む、前記ソケット用のチップ固定装置であって、前記チップ固定装置は、
貫通開口部と、ソケット収容凹部と、を含み、前記ソケットが前記ソケット収容凹部内に組み立てられており、前記ソケットの前記チップスロットが、前記貫通開口部に対応し且つ固定ベース本体の上面から露出している、固定ベース本体と、
前記貫通開口部内に配置されており、それぞれ前記ソケットの前記チップスロットの２つの対向する側部に対応し、それぞれがストッパーを含み、前記ストッパーを第１の位置と第２の位置との間で移動させるように制御されている２つの可動止め具と、
を備え、
前記第１の位置は、前記テスト対象のチップが前記チップスロットから離脱できないように、非テスト期間の間、前記２つの可動止め具の前記ストッパーがそれぞれ前記テスト対象のチップの真上の２つの対応する側部にある位置を指し、前記第２の位置は、前記テスト対象のチップが前記チップスロットから離脱できるように、テスト期間の間、前記ストッパーが前記ソケットの前記チップスロットの真上にない位置を指し、
前記ストッパーが前記第１の位置にあるとき、前記ストッパーと前記テスト対象のチップの上面との間の距離が、前記ソケットの前記チップスロットの深さよりも小さい、チップ固定装置。
［９］ソケット上に配置され、前記ソケットがテスト対象のチップを収容するためのチップスロットを含む、前記ソケット用のチップ固定装置であって、前記チップ固定装置は、
ソケット収容凹部と、貫通開口部と、４つのアーム収容凹部と、２つの第１の長穴と、２つの第２の長穴と、を含み、前記貫通開口部及び前記アーム収容凹部が固定ベース本体の上面及び下面を貫通しており、前記ソケットが前記ソケット収容凹部内に組み立てられており、前記ソケットの前記チップスロットが、前記貫通開口部に対応し且つ前記固定ベース本体の前記上面から露出されており、前記４つのアーム収容凹部がそれぞれ前記貫通開口部の四隅に配置されており、前記２つの第１の長穴及び前記２つの第２の長穴が、それぞれ前記固定ベース本体の両側端面を貫通しており且つ前記ソケットの両側に位置する、固定ベース本体と、
前記貫通開口部内に配置されており、それぞれ前記ソケットの前記チップスロットの２つの対向する側部に対応し、それぞれがストッパーを含み、前記ストッパーを第１の位置と第２の位置との間で移動させるように制御されている、２つの可動止め具と、
それぞれ前記２つの可動止め具の両側に配置されており、前記４つのアーム収容凹部に収容され、各ロッカーアームが固定端と可動端とを含む、二対のロッカーアームと、
各第１の連接棒が、それぞれの前記第１の長穴を通って延在し、それぞれの前記ロッカーアームの前記固定端と、それぞれの前記可動止め具とに枢動可能に連結されており、各第２の連接棒が、それぞれの前記第２の長穴を通って延在し、それぞれの前記可動止め具に枢動可能に連結されている、２つの第１の連接棒及び２つの第２の連接棒と、
を備え、
前記第２の位置は、前記ロッカーアームが前記可動止め具を駆動して、前記ストッパーを前記ソケットの前記チップスロットの真上に位置しないように移動させるように、テスト期間の間、前記二対のロッカーアームの前記可動端が外力によって押された位置を指し、前記第１の位置は、前記ストッパーが前記ソケットの前記チップスロットの真上に位置するように、非テスト期間の間、前記外力が解除された位置を指し、
前記ストッパーが前記第１の位置にあるとき、前記ストッパーと前記テスト対象のチップの上面との間の距離が、前記ソケットの前記チップスロットの深さよりも小さい、チップ固定装置。

Claims

ソケット上に配置され、前記ソケットがテスト対象のチップを収容するためのチップスロットを含む、前記ソケット用のチップ固定装置であって、前記チップ固定装置は、
貫通開口部と、ソケット収容凹部と、を含み、前記ソケットが前記ソケット収容凹部内に組み立てられており、前記ソケットの前記チップスロットが、前記貫通開口部に対応し且つ固定ベース本体の上面から露出している、固定ベース本体と、
それぞれがストッパーを含み、前記固定ベース本体内に組み立てられ、前記ストッパーを第１の位置と第２の位置との間で移動させるように制御されている少なくとも１つの可動止め具と、
を備え、
前記第１の位置は、非テスト期間の間、前記ストッパーが前記ソケットの前記チップスロットの真上にある位置を指し、前記第２の位置は、テスト期間の間、前記ストッパーが前記ソケットの前記チップスロットの真上にない位置を指し、
前記ストッパーが前記第１の位置にあるとき、前記ストッパーと前記テスト対象のチップの上面との間の距離が、前記ソケットの前記チップスロットの深さよりも小さく、
少なくとも１つのロッカーアームと、少なくとも１つの第１の連接棒と、少なくとも１つの第２の連接棒と、を更に備え、
前記固定ベース本体は、少なくとも１つのアーム収容凹部と、少なくとも１つの第１の長穴と、少なくとも１つの第２の長穴と、を含み、前記少なくとも１つのロッカーアームは、前記少なくとも１つのアーム収容凹部に収容されており、
前記少なくとも１つの第１の連接棒は、前記少なくとも１つの第１の長穴を通って延在し、前記少なくとも１つのロッカーアームの一端と、前記少なくとも１つの可動止め具とに枢動可能に連結されており、
前記少なくとも１つの第２の連接棒は、前記少なくとも１つの第２の長穴を通って延在し、前記少なくとも１つの可動止め具に枢動可能に連結されている、チップ固定装置。
前記少なくとも１つの第１の長穴は、水平長穴であり、前記少なくとも１つの第２の長穴は、斜め長穴であり、前記少なくとも１つの第１の長穴に隣接する前記少なくとも１つの第２の長穴の一端が、前記固定ベース本体の前記上面に向かって延在する、請求項１に記載のチップ固定装置。
前記固定ベース本体は、前記少なくとも１つのアーム収容凹部と連通している垂直な案内凹部を更に含み、前記少なくとも１つのロッカーアームは、固定端と可動端とを含み、前記少なくとも１つの第１の連接棒は、前記固定端に枢動可能に連結されており、前記可動端には、前記垂直な案内凹部に収容され、前記垂直な案内凹部によって案内されて、上方又は下方に移動される被案内突起部が設けられている、請求項１に記載のチップ固定装置。
前記固定ベース本体と前記少なくとも１つの可動止め具との間に配置され、前記ストッパーを前記第１の位置に向かって移動させるように駆動するための付勢力を加える、少なくとも１つの復元ばねを更に備える、請求項３に記載のチップ固定装置。
前記少なくとも１つの可動止め具は、本体部と、片持ち梁部と、を含み、前記本体部には、２つの貫通孔が形成されており、前記少なくとも１つの第１の連接棒及び前記少なくとも１つの第２の連接棒は、それぞれ前記２つの貫通孔に枢動可能に連結されており、前記ストッパーは、前記片持ち梁部上に組み立てられている、請求項１に記載のチップ固定装置。
前記固定ベース本体内に組み立てられている第３の連接棒を更に備え、前記ストッパーが前記第１の位置にあるとき、前記少なくとも１つの可動止め具の前記片持ち梁部の下面が、前記第３の連接棒に当接する、請求項５に記載のチップ固定装置。
ソケット上に配置され、前記ソケットがテスト対象のチップを収容するためのチップスロットを含む、前記ソケット用のチップ固定装置であって、前記チップ固定装置は、
ソケット収容凹部と、貫通開口部と、４つのアーム収容凹部と、２つの第１の長穴と、２つの第２の長穴と、を含み、前記貫通開口部及び前記アーム収容凹部が固定ベース本体の上面及び下面を貫通しており、前記ソケットが前記ソケット収容凹部内に組み立てられており、前記ソケットの前記チップスロットが、前記貫通開口部に対応し且つ前記固定ベース本体の前記上面から露出されており、前記４つのアーム収容凹部がそれぞれ前記貫通開口部の四隅に配置されており、前記２つの第１の長穴及び前記２つの第２の長穴が、それぞれ前記固定ベース本体の両側端面を貫通しており且つ前記ソケットの両側に位置する、固定ベース本体と、
前記貫通開口部内に配置されており、それぞれ前記ソケットの前記チップスロットの２つの対向する側部に対応し、それぞれがストッパーを含み、前記ストッパーを第１の位置と第２の位置との間で移動させるように制御されている、２つの可動止め具と、
それぞれ前記２つの可動止め具の両側に配置されており、前記４つのアーム収容凹部に収容され、各ロッカーアームが固定端と可動端とを含む、二対のロッカーアームと、
各第１の連接棒が、それぞれの前記第１の長穴を通って延在し、それぞれの前記ロッカーアームの前記固定端と、それぞれの前記可動止め具とに枢動可能に連結されており、各第２の連接棒が、それぞれの前記第２の長穴を通って延在し、それぞれの前記可動止め具に枢動可能に連結されている、２つの第１の連接棒及び２つの第２の連接棒と、
を備え、
前記第２の位置は、前記ロッカーアームが前記可動止め具を駆動して、前記ストッパーを前記ソケットの前記チップスロットの真上に位置しないように移動させるように、テスト期間の間、前記二対のロッカーアームの前記可動端が外力によって押された位置を指し、前記第１の位置は、前記ストッパーが前記ソケットの前記チップスロットの真上に位置するように、非テスト期間の間、前記外力が解除された位置を指し、
前記ストッパーが前記第１の位置にあるとき、前記ストッパーと前記テスト対象のチップの上面との間の距離が、前記ソケットの前記チップスロットの深さよりも小さい、チップ固定装置。