TWI646334B - 測試裝置 - Google Patents

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申晶澈
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Abstract

揭露一種測試裝置。所述測試裝置包括：測試座，被配置成支撐多個探針；測試電路基板，包括用於接觸所述探針的接觸點；滑動件，使所述測試座耦合至所述測試電路基板及自所述測試電路基板分離；以及滑動件操作器，包括主體及滑動件按壓部，所述主體配置在所述測試座上，所述滑動件按壓部以能夠上下移動的方式支撐於所述主體上且自所述主體朝所述滑動件向下移動以使所述滑動件能夠沿所述測試座的表面方向滑動。

Description

測試裝置
本發明是有關於一種用於測試例如半導體等待測試物體的電性特性的測試裝置，且特別是有關於一種用於操作滑動件以使測試座耦合至測試電路基板及自所述測試電路基板分離的滑動件操作器。
用於測試半導體晶片的測試座被用於在半導體晶片的端子與用於施加測試訊號的測試電路基板的接觸點之間達成電性連接。此種測試座內部設置有測試探針，以使半導體晶片的端子可電性連接至測試電路基板的接觸點。為穩定地執行測試，藉由扣緊螺釘或類似方式將測試座耦合至測試電路基板。
另外，出於維修或類似原因，可能需要將藉由此種方式而耦合的測試座自基板分離。在此種情形中，使扣緊螺釘鬆開、將測試座自基板分離、將新的座耦合至所述基板等操作會造成不便。
為解決此問題，本發明人已提出一種藉由具有鎖定單元的滑動件來使測試座耦合至測試電路基板及自所述測試電路基板分離的測試裝置（韓國專利申請案第10-2016-0038495）。此時，具有例如20毫米（mm）´20毫米´4.5毫米的尺寸的測試座被安裝至測試座安裝框架中的凹槽。然而，在測試座安裝至小的凹槽的同時手動處理此種非常微小的測試座是非常不便且難以達成的。
本發明旨在解決前述問題，且本發明的態樣是提供一種具有滑動件操作器來方便地操作滑動件以使測試座耦合至測試電路基板及自所述測試電路基板分離的測試裝置。
根據本發明的實施例，提供一種測試裝置，所述測試裝置包括：測試座，被配置成支撐多個探針；測試電路基板，包括用於接觸所述探針的接觸點；滑動件，使所述測試座耦合至所述測試電路基板及自所述測試電路基板分離；以及滑動件操作器，包括主體及滑動件按壓部，所述主體配置在所述測試座上，所述滑動件按壓部以能夠上下移動的方式支撐於所述主體上且自所述主體朝所述滑動件向下移動以使所述滑動件能夠沿所述測試座的表面方向滑動。
所述滑動件按壓部可包括向內按壓部及向外按壓部，所述向內按壓部使所述滑動件朝所述測試座的內側移動，所述向外按壓部使所述滑動件朝所述測試座的外側移動。
所述滑動件可包括第一傾斜表面及第二傾斜表面，所述第一傾斜表面自所述測試座的外側至內側向上傾斜，所述第二傾斜表面與所述第一傾斜表面間隔開且自所述測試座的所述內側至所述外側向上傾斜，所述向內按壓部可包括將與所述第一傾斜表面接觸的第三傾斜表面，且所述向外按壓部可包括將與所述第二傾斜表面接觸的第四傾斜表面。
所述滑動件可移動以使所述測試電路基板被鎖定至所述測試座以及自所述測試座釋放。
所述測試電路基板可包括多個支撐鎖定銷，所述多個支撐鎖定銷被扣緊至所述測試電路基板的表面且自所述測試電路基板的所述表面向上突出，且所述支撐鎖定銷包括沿突出方向的鎖定保持器及沿所述突出方向位於前端部處的鎖定止擋件，所述測試座可包括：座主體，所述座主體具有銷貫穿孔，所述支撐鎖定銷穿過所述銷貫穿孔；以及浮動板，所述浮動板具有銷引導孔，所述支撐鎖定銷被插入所述銷引導孔中，且所述浮動板被耦合至所述座主體且在所述座主體上方預定高度處浮動，所述滑動件可包括鎖定部，所述鎖定部與被插入所述銷貫穿孔及所述銷引導孔中的所述支撐鎖定銷的所述鎖定保持器嚙合，且藉由所述鎖定止擋件阻止所述鎖定部向上分離，且所述滑動件按壓部可包括：鎖定按壓部，用於在鎖定方向上按壓所述滑動件以使所述鎖定部能夠嚙合所述鎖定保持器；以及解鎖按壓部，用於在與所述鎖定方向相反的方向上按壓所述滑動件以使被鎖定的所述鎖定部能夠自所述鎖定保持器釋放。
所述測試座可安裝至座支撐框架，且所述主體可支撐於所述座支撐框架上。
所述測試裝置可更包括用於使所述主體與所述座安裝框架相互對準的對準部。
以下，將參照附圖來闡述本發明的實施例。
圖1是根據示例性實施例的具有滑動件操作器300的測試裝置1的分解立體圖。測試裝置1包括測試電路基板10及測試座200。測試座200包括座主體210、浮動板220、彈性構件230、及滑動件240。測試座200電性連接待測試物體的接觸點（圖中未示出）與形成於測試裝置1的測試電路基板10上的接觸點（圖中未示出）。根據示例性實施例，測試裝置1的測試座200藉由與支撐鎖定銷100進行耦合而被扣緊至測試電路基板10。
測試電路基板10經由測試座200向待測試物體（圖中未示出）傳輸電性訊號、電力等。測試電路基板10經由測試座200自待測試物體接收電性訊號。測試電路基板10包括多個接墊（圖中未示出），所述多個接墊被配置成接觸測試座200的探針（圖中未示出）的第一端。測試電路基板10包括自板表面向上突出且與測試座200進行耦合的多個支撐鎖定銷100。
支撐鎖定銷100包括沿突出方向形成的鎖定保持器110及鎖定止擋件120。鎖定止擋件120在橫向於突出方向的方向上自鎖定保持器110擴張。舉例而言，鎖定止擋件120設置於來自鎖定保持器110的台階部中，形如保持凸出件（holding projection）。支撐鎖定銷100被沿突出方向劃分成兩個部份。支撐鎖定銷100可在橫向於突出方向的方向上彈性變形。在圖1中，支撐鎖定銷100被劃分成兩個部份，但並非僅限於此。替代地，支撐鎖定銷100可包括三或更多個切開部（cut-open portion）。支撐鎖定銷100被鎖定至測試座200的滑動件240（隨後將闡述），以使測試電路基板10與測試座200可耦合至彼此。
測試座200包括座主體210、浮動板220、彈性構件230、滑動件240、耦合構件250、及引導銷260。測試座200使用支撐於座主體210的內側的所述多個探針來電性連接待測試物體與測試電路基板10。
座主體210形如矩形板，在其中心處具有島狀的探針支撐件214。探針支撐件214支撐所述多個探針（圖中未示出）。座主體210包括銷貫穿孔211、彈性構件容置凹槽212、及耦合構件扣緊孔213，銷貫穿孔211設置在探針支撐件214的外圍（outskirt）處且容許支撐鎖定銷100從中穿過，彈性構件230的第一端被插入彈性構件容置凹槽212中，耦合構件250被扣緊至耦合構件扣緊孔213。
銷貫穿孔211形成於座主體210的每一隅角區域處以容許支撐鎖定銷100從中穿過。形成有與支撐鎖定銷100的數目一樣多的銷貫穿孔211。
彈性構件容置凹槽212形成於座主體210的上表面上且向上敞開以容置彈性構件230的第一側。亦即，彈性構件230的第一端與彈性構件容置凹槽212的底表面接觸且支撐於彈性構件容置凹槽212的所述底表面上。
耦合構件扣緊孔213以螺釘耦合的方式與耦合構件250的第一端進行耦合，以使浮動板220可在座主體210上方浮動。耦合構件250包括較耦合構件扣緊孔213大的頭部、穿過耦合構件扣緊孔213的主體、及旋緊於主體的一個端部上的螺釘。浮動板220形如矩形板，其中心部是敞開的。因此，座主體210的矩形的探針支撐件214容置於浮動板220的中心部中。浮動板220包括銷引導孔221、耦合構件貫穿孔222、引導銷耦合凹槽223、切割部224，支撐鎖定銷100被插入銷引導孔221中，耦合構件250的本體穿過耦合構件貫穿孔222，引導銷耦合凹槽223與引導銷260進行耦合，切割部224中容納滑動件240的操作凸出件（operating projection）244。滑動件240的操作凸出件244形成有在其上側處彼此間隔開的第一傾斜表面247與第二傾斜表面248。第一傾斜表面247及第二傾斜表面248分別與向內按壓部430及向外按壓部440接觸。
銷引導孔221被形成為穿透浮動板220的每一外圍，以使支撐鎖定銷100的端部可被插入其中。形成有與支撐鎖定銷110的數目一樣多的銷引導孔221。
耦合構件貫穿孔222容置用於耦合座主體210與浮動板220的耦合構件250的本體。
引導銷耦合凹槽223與隨後將闡述的引導銷260的第一端進行耦合。引導銷耦合凹槽223內可具有螺紋。引導銷260在被插入隨後將闡述的滑動件240的滑動狹槽242中的同時耦合至浮動板220的引導銷耦合凹槽223。
彈性構件230插置於座主體210的彈性構件容置凹槽212與浮動板220的彈性構件容置凹槽（圖中未示出）之間。彈性構件230可藉由彈簧來達成，但並非僅限於此。替代地，彈性構件230可以各種方式達成，只要彈性構件230具有彈力即可。
切割部224沿浮動板220的圓周向內凹陷。當測試座200與支撐鎖定銷100被鎖定時，切割部224容置滑動件240的操作凸出件244。
滑動件240包括鎖定部241、滑動狹槽242、及操作凸出件244。滑動件240在插置於浮動板220與座主體210之間的同時與支撐鎖定銷100進行耦合。滑動件240可形成有一對，所述一對滑動件240將配置於浮動板220的相對兩側上。當測試座200與支撐鎖定銷100被鎖定時，操作凸出件244被接納於浮動板220的切割部224中。如圖5及圖6中所示，操作凸出件244的一側處具有第一傾斜表面247，且另一側處具有第二傾斜表面248。隨著向內操作部434向下移動，操作凸出件244的第一傾斜表面247與向內操作部434的第三傾斜表面435接觸。隨著向外操作部444向下移動，操作凸出件244的第二傾斜表面248與向外操作部444的第四傾斜表面445接觸。滑動件240在形成於操作凸出件244中的第二傾斜表面248的下側處被切割成彎曲的。此彎曲部容許向外操作部444向下移動以推動並經過第二傾斜表面248。
鎖定部241被局部地切開而具有半圓形狀以與支撐鎖定部100的鎖定保持器110嚙合。鎖定部241具有嚙合表面、分離防止部243、及止擋表面，所述嚙合表面用於與鎖定保持器110嚙合，分離防止部243用於與支撐鎖定銷100的保持凸出件嚙合及防止滑動件240分離，所述止擋表面用於與鎖定止擋件120嚙合。鎖定部241的形狀並不限於半圓形狀，而是可依據鎖定保持器110的形狀來變化。
滑動狹槽242被形成為穿透滑動件240且具有細長橢圓形狀，以使引導銷260可穿過滑動狹槽242且在表面方向上移動。
耦合構件250穿過耦合構件貫穿孔222且與座主體210的耦合構件扣緊孔213進行耦合。耦合構件250使浮動板220與座主體210進行耦合，以使浮動板220在座主體210上方浮動。耦合構件250在對在向上方向上被彈性推進的浮動板220的向上移動加以限制的同時容許浮動板220上下移動。
引導銷260穿過細長的滑動狹槽242且接著耦合至浮動板220的引導銷耦合凹槽223。引導銷260包括頭部、本體、及螺釘端部，所述頭部被防止穿過滑動狹槽，所述本體被容許穿過滑動狹槽242，且所述螺釘端部旋緊於所述本體的端部上且耦合至引導銷耦合凹槽223。藉由使用引導銷260，滑動件240被扣緊成與浮動板220緊密接觸且可沿細長的滑動狹槽移動。圖1示出引導銷260穿過形成於滑動件240中的滑動狹槽242，但並非僅限於此。替代地，滑動狹槽可形成於浮動板中且引導銷260可被扣緊至滑動件240。
參照圖1，測試座200被耦合成藉由插置於座主體210與浮動板220之間的彈性構件230及耦合構件250在向下方向上被彈性推進。亦即，浮動板220在與座主體210進行耦合的同時在向上方向上被彈性推進。因向上的彈性而造成的浮動板的向上移動受到耦合構件250的約束。另一方面，當向下按壓浮動板220時，容許浮動板220在預定範圍內向下移動。因此，座主體210與浮動板220不彼此緊密接觸而是以留下一定空間的方式進行耦合，以使浮動板220可在預定範圍內向下移動。
測試裝置1容許測試座200輕易地耦合至測試電路基板10及自測試電路基板10分離。為使測試座200耦合至測試電路基板10，在浮動板220的表面方向上可沿滑動狹槽242移動的一對滑動件240會在浮動板220被按下的狀態中在浮動板220的向內方向上被推動。為使測試座200自測試電路基板10分離，滑動件240會在浮動板220被按下的狀態中在座主體210的向外方向上被拉動。
圖2是測試座200所安裝至的座支撐框架300的立體圖。如圖中所示，座支撐框架300包括四個座安裝部310且並不限定於此。每一座安裝部310設置有兩個對準銷312。在座支撐框架300下方，配置測試電路基板10。
座安裝部310形如矩形開口孔，測試座200位於其中。在座安裝部310的底部上，測試電路基板10的接墊及支撐鎖定銷100（參見圖1）被暴露出。測試座200容置於座安裝部310中，以使滑動件240可位於矩形開口孔的相對的短邊緣處。此時，支撐鎖定銷100被插入測試座200的銷貫穿孔211及銷引導孔221中。此外，當具有近似矩形形狀的測試座200被插入形如矩形開口孔的座安裝部310中時，在所述相對的短邊緣側處會留下恰當的空間。此留下的空間將充當供滑動件240在其中進行操作的空間。
根據示例性實施例，滑動件操作器400是藉由在測試座200容置於座安裝部310中的狀態中將滑動件操作器400的對準孔412放置於座支撐框架300的對準銷312上而安裝至測試座200。
圖3及圖4是根據示例性實施例的滑動件操作器400的立體圖及分解圖。滑動件操作器400包括主體410及滑動件按壓部420。
滑動件按壓部420包括向內按壓部430及向外按壓部440，向內按壓部430用於沿測試座200的表面方向向內按壓滑動件240，向外按壓部440用於沿測試座200的表面方向向外按壓滑動件240。向內按壓部430及向外按壓部440支撐於主體410上且可彈性地上下移動。
向內按壓部430包括被暴露出以供按壓的按壓頭432、及自按壓頭432整體地且狹窄地延伸的向內操作部434。向內操作部434具有在其端部處自內側朝外側向下傾斜的第三傾斜表面435。按壓頭432形成有第一螺釘孔436，以使向內按壓部430可在主體410上方浮動且安裝至主體410。第一螺釘孔436以穿透的形式朝主體410形成。為使向內按壓部430浮動，使用第一彈簧460。第一螺釘450包括螺釘頭452、本體454、及螺釘端部456。第一彈簧460插置於向內按壓部430的底部與主體410（即，用於容置向內按壓部的容置部的底部）之間並提供彈性。第一螺釘450的本體454穿過向內按壓部430，且螺釘端部456以螺釘耦合的方式耦合至主體410。如此一來，向內按壓部430在與本體454對應的範圍內藉由第一彈簧460在主體410上彈性浮動。
向外按壓部440包括被暴露出以供按壓的按壓頭442、及自按壓頭442整體地延伸且彼此間隔開的兩個向外操作部444。向外操作部444具有在其端部處自內側朝外側向上傾斜的第四傾斜表面445。按壓頭442形成有第二螺釘孔446，以使向外按壓部440可在主體410上方浮動且安裝至主體410。第二螺釘孔446以穿透的方式朝主體410形成。為使向外按壓部440浮動，使用第二彈簧480。第二螺釘470包括螺釘頭472、本體474、及螺釘端部476。第二彈簧480插置於向外按壓部440的底部與主體410（即，用於容置向外按壓部的容置部的底部）之間並提供彈性。第二螺釘470的本體474穿過向外按壓部440，且螺釘端部476以螺釘耦合的方式耦合至主體410。如此一來，向外按壓部440在與本體474對應的範圍內藉由第二彈簧480在主體410上彈性浮動。
主體410具有將放置於座支撐框架30的對準銷312上的對準孔412。主體410包括形成於其中心處且容置向外按壓部440的第一容置部414及形成於第一容置部414的相對兩側處且分別容置所述兩個向內按壓部430的兩個第二容置部416。第一容置部414具有上部容置部及下部容置孔，向外按壓部440的按壓頭442容置於所述上部容置部中，向外按壓部440的向外操作部444穿過所述下部容置孔。第二容置部416具有上部容置部及下部容置孔，向內按壓部430的按壓頭432容置於所述上部容置部中，且向內按壓部430的向內操作部434穿過所述下部容置孔。
以下將參照圖1、圖5、及圖6來詳細闡述滑動件操作器400的操作。
如圖1及圖5中所示，若使用者按壓相對的向內按壓部430的按壓頭432以沿座的表面向內移動滑動件240以使測試座200可耦合至測試電路基板10，則在壓縮第一彈簧460的同時向內操作部434的第三傾斜表面435會靠近滑動件240的操作凸出件244的第一傾斜表面247移動。在向內按壓部430的按壓頭432被按壓的同時，向內按壓部430會按壓浮動板220。若第三傾斜表面435與第一傾斜表面247接觸並繼續移動，則操作凸出件244會朝座推動，以使測試座200可耦合至測試電路基板10。亦即，若向內按壓部430使滑動件240沿所述表面朝座的內側滑動，則滑動件240的鎖定部241會與支撐鎖定銷100的鎖定保持器110嚙合且鎖定至支撐鎖定銷100的鎖定保持器110。接著，若向內按壓部430的按壓頭432從按壓中被釋放，則向內按壓部430及浮動板220藉由彈性而返回至自身的原始位置。
如圖1及圖6中所示，若使用者按壓中心的向外按壓部440的按壓頭442以沿座的表面向外移動滑動件240以使測試座200可自測試電路基板10分離，則在壓縮第二彈簧470的同時向外操作部444的第四傾斜表面445會靠近滑動件240的操作凸出件244的第二傾斜表面248移動。在向外按壓部440的按壓頭442被按壓的同時，向外按壓部440會按壓浮動板220。若第四傾斜表面445與第二傾斜表面248接觸並繼續移動，則操作凸出件244會朝座的外側推動，以使測試座200可自測試電路基板10分離。亦即，若向外按壓部440使滑動件240沿所述表面朝座的外側滑動，則滑動件240的鎖定部241會自支撐鎖定銷100的鎖定保持器110離開且自支撐鎖定銷100的鎖定保持器110解鎖。接著，若向外按壓部440的按壓頭442從按壓中被釋放，則向外按壓部440及浮動板220藉由彈性而返回至自身的原始位置。
如上所述，根據滑動件操作器的示例性構造，操作滑動件以使小尺寸測試座耦合至測試電路基板及自測試電路基板分離是方便且容易的。
儘管已示出並闡述了若干示例性實施例，然而熟習此項技術者應知，在不背離本發明的原理及精神的條件下可對該些示例性實施例作出改變。
因此，本發明的範圍並非必須限於前述示例性實施例，而是在隨附申請專利範圍及其等效範圍中界定。
1‧‧‧測試裝置
10‧‧‧測試電路基板
100‧‧‧支撐鎖定銷
110‧‧‧鎖定保持器
120‧‧‧鎖定止擋件
200‧‧‧測試座
210‧‧‧座主體
211‧‧‧銷貫穿孔
212‧‧‧彈性構件容置凹槽
213‧‧‧耦合構件扣緊孔
214‧‧‧探針支撐件
220‧‧‧浮動板
221‧‧‧銷引導孔
222‧‧‧耦合構件貫穿孔
223‧‧‧引導銷耦合凹槽
224‧‧‧切割部
230‧‧‧彈性構件
240‧‧‧滑動件
241‧‧‧鎖定部
242‧‧‧滑動狹槽
243‧‧‧分離防止部
244‧‧‧操作凸出件
247‧‧‧第一傾斜表面
248‧‧‧第二傾斜表面
250‧‧‧耦合構件
260‧‧‧引導銷
300‧‧‧座支撐框架
310‧‧‧座安裝部
312‧‧‧對準銷
400‧‧‧滑動件操作器
410‧‧‧主體
412‧‧‧對準孔
414‧‧‧第一容置部
416‧‧‧第二容置部
420‧‧‧滑動件按壓部
430‧‧‧向內按壓部
432、442‧‧‧按壓頭
434‧‧‧向內操作部
435‧‧‧第三傾斜表面
436‧‧‧第一螺釘孔
440‧‧‧向外按壓部
444‧‧‧向外操作部
445‧‧‧第四傾斜表面
446‧‧‧第二螺釘孔
450‧‧‧第一螺釘
452、472‧‧‧螺釘頭
454、474‧‧‧本體
456、476‧‧‧螺釘端部
460‧‧‧第一彈簧
470‧‧‧第二螺釘
480‧‧‧第二彈簧
藉由結合附圖閱讀對示例性實施例的以下說明，以上及/或其他態樣將變得顯而易見且更易於理解，在附圖中： 圖1是根據示例性實施例的具有滑動件操作器的測試裝置的分解立體圖。 圖2是圖1所示測試座所安裝至的座支撐框架的立體圖。 圖3及圖4是根據示例性實施例的滑動件操作器的立體圖及分解圖。 圖5及圖6是用於闡釋圖3所示滑動件操作器的操作的圖。

Claims (7)

  1. 一種測試裝置，包括：測試座，被配置成支撐多個探針；測試電路基板，包括用於接觸所述探針的接觸點；滑動件，使所述測試座耦合至所述測試電路基板及自所述測試電路基板分離；以及滑動件操作器，包括主體及滑動件按壓部，所述主體配置在所述測試座上，所述滑動件按壓部以能夠上下移動的方式支撐於所述主體上且自所述主體朝所述滑動件向下移動以使所述滑動件能夠沿所述測試座的表面方向滑動。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的測試裝置，其中所述滑動件按壓部包括向內按壓部及向外按壓部，所述向內按壓部使所述滑動件朝所述測試座的內側移動，所述向外按壓部使所述滑動件朝所述測試座的外側移動。
  3. 如申請專利範圍第2項所述的測試裝置，其中所述滑動件包括第一傾斜表面及第二傾斜表面，所述第一傾斜表面自所述測試座的外側至內側向上傾斜，所述第二傾斜表面與所述第一傾斜表面間隔開且自所述測試座的所述內側至所述外側向上傾斜，所述向內按壓部包括將與所述第一傾斜表面接觸的第三傾斜表面，且所述向外按壓部包括將與所述第二傾斜表面接觸的第四傾斜表面。
  4. 如申請專利範圍第1項所述的測試裝置，其中所述滑動件移動以使所述測試電路基板被鎖定至所述測試座以及自所述測試座釋放。
  5. 如申請專利範圍第2項所述的測試裝置，其中所述測試電路基板包括多個支撐鎖定銷，所述多個支撐鎖定銷被扣緊至所述測試電路基板的表面且自所述測試電路基板的所述表面向上突出，且所述支撐鎖定銷包括沿突出方向的鎖定保持器及沿所述突出方向位於前端部處的鎖定止擋件，所述測試座包括：座主體，所述座主體具有銷貫穿孔，所述支撐鎖定銷穿過所述銷貫穿孔；以及浮動板，所述浮動板具有銷引導孔，所述支撐鎖定銷被插入所述銷引導孔中，且所述浮動板被耦合至所述座主體且在所述座主體上方預定高度處浮動，所述滑動件包括鎖定部，所述鎖定部與被插入所述銷貫穿孔及所述銷引導孔中的所述支撐鎖定銷的所述鎖定保持器嚙合，且藉由所述鎖定止擋件阻止所述鎖定部向上分離，且所述滑動件按壓部包括：向內按壓部，用於在鎖定方向上按壓所述滑動件以使所述鎖定部能夠嚙合所述鎖定保持器；以及向外按壓部，用於在與所述鎖定方向相反的方向上按壓所述滑動件以使被鎖定的所述鎖定部能夠自所述鎖定保持器釋放。
  6. 如申請專利範圍第1項所述的測試裝置，其中所述測試座安裝至座支撐框架，且所述主體支撐於所述座支撐框架上。
  7. 如申請專利範圍第6項所述的測試裝置，更包括用於使所述主體與所述座安裝框架相互對準的對準銷與對準孔。
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