JP6833542B2 - テープ回収方法およびテープ回収装置 - Google Patents

Description

本発明は、半導体ウエハ、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ ｅｍｉｔｔｉｎｇ ｄｉｏｄｅ）、電子回路などの各種基板に貼りつける粘着テープの供給過程などにおいて、不要となった長尺状のテープを回収するためのテープ回収方法およびテープ回収装置に関する。

半導体ウエハ（以下、適宜「ウエハ」という）は、その表面に多数の素子の回路パターンが形成されている。例えば、バンプや微細回路がウエハ表面に形成されている。そこで、裏面研削時および搬送時に当該回路面の汚染および損傷を防止するために、保護用の粘着テープが貼り付けられる。

ここでウエハの表面に粘着テープを貼り付けるために用いる、テープ貼付け装置の従来構成について説明する。従来のテープ貼付け装置１０１は図３３に示すように、テープ供給部１０３、セパレータ剥離部１０５、保持テーブル１０７、テープ貼付け部１０９、テープ切断機構１１１、テープ回収部１１３、およびセパレータ回収部１１５などを備えている。

テープ供給部１０３は、回路保護用のセパレータ付き粘着テープＴＳが巻回された原反ロールの装填された供給ボビンから、当該粘着テープＴＳを繰り出し案内する。セパレータ剥離部１０５は、繰り出された粘着テープＴＳからセパレータＳを剥離する。保持テーブル１０７は、回路形成面が上向きの状態となっているウエハＷを吸着保持する。テープ貼付け部１０９は一例として貼り付けローラであり、図３３において左方向へ水平移動する。当該水平移動によって、テープ貼付け部１０９は、セパレータＳが剥離された粘着テープＴを、保持テーブル１０７上のウエハＷに貼り付ける。

テープ切断機構１１１はカッタ１１１ａを備えており、符号Ｐで示す鉛直軸周りにテープ切断機構１１１が回転することによって、粘着テープＴはウエハＷの外形に沿って切り抜かれる。切り抜かれた後の不要な不要テープＴｎは、テープ回収部１１３を構成する巻き取り軸においてロール状に巻き取られて回収される。また粘着テープＴから剥離されたセパレータＳは、セパレータ回収部１１５を構成する巻き取り軸においてロール状に巻き取られて回収される。

このようなテープ貼付け装置において、テープ供給部１０３における粘着テープＴの装填量が一定量を下回った場合、またはテープ回収部１１３に回収される不要テープＴｎの量などが一定量を上回った場合はロールを交換する必要がある。従来のテープ貼付け装置１０１ではロールの交換を行う場合、オペレータは煩雑な作業を手動で行う必要がある。

すなわちテープ供給部１０３においては、原反ロールから繰り出される粘着テープＴの切断、原反ロールの交換、切断された粘着テープＴの接合、および粘着テープＴの繰り出し再開といった一連の作業を要する。そしてテープ回収部１１３などにおいては、不要なテープＴｎの切断、ロール状に回収された不要テープＴｎの除去、巻き取り軸に対する不要テープＴｎの接合、および不要テープＴｎの巻き取り再開といった一連の作業を要する。従来の装置ではこれら一連の作業を行う間、テープ貼付け装置の運転を中断させる必要がある。

近年ではテープ貼付け装置の運転中断による貼付け効率の低下を回避すべく、ロールの交換作業、特に切断された粘着テープＴの末端同士を接合させる作業を自動で行うための試みが行われている。その一例として、以下のようなテープ接合方法が提案されている（例えば、特許文献１を参照）。すなわち、先行しているセパレータ付き粘着テープＴの末端に粘着部材を貼り付け、粘着テープＴの繰り出し方向に対して当該粘着部材を離反移動させることによって、粘着テープＴとセパレータＳとを所定長さにわたって剥離させる。そしてセパレータが剥離された粘着テープＴの当該末端を、新たな原反ロールから供給される後続のセパレータ付き粘着テープＴの先端部分に貼り付けることにより、セパレータ付き粘着テープＴの末端同士を自動で接合できる。

特開２０１４−１３３６１６号公報

しかしながら、上記従来装置では次のような問題がある。

すなわち、従来の自動接合方法は、テープ供給部において適用することを前提としており、テープ回収部やセパレータ回収部に適用することが困難である。従来の装置では、例えばテープ回収部において、長尺の不要テープを軸に巻き取って回収する。このような従来の回収方法では、不要テープを切断した後、ロール状に巻き取り回収された不要テープを軸ごと取り出して新しい軸に交換する必要がある。

新しい軸にはテープ等が巻回されていないので、従来の自動接合方法を適用することは困難である。そのため、不要テープの回収量が規定量以上となるたびに、ロール状に回収された不要テープの除去をはじめとする、一連の煩雑な操作を手動で行う必要がある。その結果、オペレータの負担が増大する。また、装置を停止させた後に不要テープの除去など一連の操作を行い、当該操作の完了後に装置を再開するので装置の作動効率が低下する。さらに、巻き取り回収する構成では大型の巻き取り軸を設置する必要があるので、粘着テープ貼付け装置が大型化するという問題も懸念される。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、繰り出される長尺テープの回収工程をより高度に自動化できるテープ回収方法およびテープ回収装置を提供することを主たる目的とする。

この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、本発明に係るテープ回収方法は、長尺状に繰り出されるテープを半導体ウエハに貼りつける貼付け過程と、前記テープを前記半導体ウエハの形状に沿って切り抜く切り抜き過程と、長尺状に繰り出され、前記ウエハの形状に沿って切り抜かれた後の不要となった部分の前記テープの先端から所定の長さの領域を、テープ保持機構によって平坦な状態で保持する保持過程と、平坦な状態で保持されている前記テープを枚葉に切断する切断過程と、枚葉に切断された前記テープが平坦となっている状態を維持しつつ、前記テープ保持機構を前記テープとともにテープ回収ボックスの上方から前記テープ回収ボックスの底部近傍へと移動させる不要テープ搬送過程と、前記テープ保持機構が前記テープ回収ボックスの底部近傍へと移動した状態で、前記テープ保持機構による前記テープの保持を解除することによって、枚葉に切断された前記テープを平坦な状態で前記テープ回収ボックスに積層収納させる不要テープ回収過程と、を備えていることを特徴とするものである。

（作用・効果）この方法によれば、長尺状のテープにおける先端から所定の長さの領域を平坦な状態で保持し、当該平坦状態のテープを枚葉に切断する。そして当該平坦な状態を維持しつつ枚葉状のテープをテープ回収ボックスに積層収納させる。この場合、テープを回収する動作において、回収ボックスの収納量が規定量を超えた場合に当該回収ボックスを交換する操作を除く大部分過程を自動化できるので、装置の作動効率を向上できる。

また、テープ回収ボックスに収納されている枚葉状のテープの各々は整然かつ無駄なく積層されるので、テープの収納量に対してテープが占める体積を最小限に抑えられる。その結果、テープ回収ボックスの交換頻度を低下させることができるので、装置の稼働効率を大きく向上できる。また、テープ回収ボックスにおいて枚葉状のテープが積み上がる速度は一定となるので、計画的な交換作業を実行することが容易となる。

また、上述した発明において、前記保持過程では、保持機構が前記テープの先端から所定の長さの領域を平坦な状態で保持し、前記切断過程では、前記保持機構が平坦となっている前記テープを保持している状態で前記テープを枚葉に切断し、前記収納過程において、枚葉に切断された前記テープを保持している前記保持機構は前記テープとともに前記テープ回収ボックスへ誘導されることが好ましい。

（作用・効果）この構成によれば、保持機構がテープを平坦に保持した状態でテープは枚葉に切断され、さらに切断された当該テープは保持機構とともに平坦な状態を維持しつつ積層収納される。この場合、長尺状のテープは保持機構に保持された状態で積層収納までの一連の過程に供される。従って、テープを確実に平坦状態で積層収納させることができる。

また、上述した発明において前記テープ保持機構は前記テープを吸着することによって前記テープを平坦な状態で保持することが好ましい。この構成によれば、テープ保持機構はテープを吸着するので、より容易かつ確実にテープを平坦な状態で保持できる。

この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとってもよい。
すなわち、本発明に係るテープ回収装置は、長尺状に繰り出されるテープを半導体ウエハに貼りつける貼付け機構と、前記テープを前記半導体ウエハの形状に沿って切り抜く切り抜き機構と、長尺状に繰り出され、前記ウエハの形状に沿って切り抜かれた後の不要となった部分の前記テープの先端から所定の長さの領域を、平坦な状態で保持するテープ保持機構と、平坦な状態で保持されている前記テープを枚葉に切断するテープ切断機構と、前記枚葉に切断された前記テープを収納するテープ回収ボックスと、前記枚葉に切断された前記テープを、平坦な状態を維持させつつ、前記テープ保持機構を前記テープとともに前記テープ回収ボックスの上方から前記テープ回収ボックスの底部近傍へと移動させる不要テープ搬送機構と、前記テープ保持機構が前記テープ回収ボックスの底部近傍へと移動した状態で、前記テープ保持機構による前記テープの保持を解除することによって、枚葉に切断された前記テープを平坦な状態でテープ回収ボックスに積層収納させる不要テープ回収機構と、を備えることを特徴とするものである。

（作用・効果）この構成によれば、長尺状のテープにおける先端から所定の長さの領域を平坦な状態で保持し、当該平坦状態のテープを枚葉に切断する。そして当該平坦な状態を維持しつつ枚葉状のテープをテープ回収ボックスに積層収納させる。この場合、テープ回収ボックスを交換する操作を除く大部分の過程を自動化できるので、装置の作動効率を向上できる。

また、テープ回収ボックスに収納されている枚葉状のテープの各々は整然かつ無駄なく積層されるので、テープの収納量に対してテープが占める体積を最小限に抑えられる。その結果、テープ回収ボックスの交換頻度を低下させることができるので、装置の稼働効率を大きく向上できる。また、テープ回収ボックスにおいて枚葉状のテープが積み上がる速度は一定となるので、計画的な交換作業を実行することが容易となる。

また、上述した発明において、前記テープ切断機構は、前記テープ保持機構が保持している前記テープを枚葉に切断し、前記テープ誘導機構は、枚葉に切断された前記テープを保持している前記テープ保持機構を前記テープとともに前記テープ回収ボックスへ誘導することが好ましい。

（作用・効果）この構成によれば、この構成によれば、保持機構がテープを平坦に保持した状態でテープは枚葉に切断され、さらに切断された当該テープは保持機構とともに平坦な状態を維持しつつ積層収納される。この場合、長尺状のテープは保持機構に保持された状態で積層収納までの一連の過程に供される。従って、テープを確実に平坦状態で積層収納させることができる。

また、前記テープ回収ボックスは複数設けられ、前記不要テープ搬送機構が枚葉に切断された前記テープを移動させる対象となる前記テープ回収ボックスを別の前記テープ回収ボクスに切り替える切り替え機構を備えることが好ましい。

（作用・効果）この構成によれば、不要テープ搬送機構が枚葉に切断されたテープを移動させる対象となるテープ回収ボックスを別のテープ回収ボックスに切り替えることができる。すなわちテープ回収ボックスに収納されるテープの量が規定量以上となった場合であってもテープ回収ボックスを切りかえ、テープの回収作業を続行させつつ、規定量となったテープ回収ボックスを交換できる。そのため、装置の運転を中断する時間を大幅に低減できるので、装置の稼働効率をさらに向上できる。

また、上述した発明において、前記テープ保持機構は、前記テープに当接する扁平面と、当該扁平面を介して前記テープを吸着保持する吸着孔とを備えることが好ましい。この構成によれば、保持機構は扁平面を介してテープに当接しつつ、当該テープを吸着するので、より容易かつ確実にテープを平坦な状態で保持できる。

本発明のテープ回収方法およびテープ回収装置によれば、テープを回収する過程の大部分を自動化できるので、オペレータの負担を低減できる。また、テープ回収ボックスの交換頻度を低減できるので、装置の稼働効率を向上できる。また、テープ回収ボックスにおいて枚葉状のテープが積み上がる速度は一定となるので、計画的な交換作業を実行することが容易となる。

実施例に係る粘着テープ貼付け装置の基本構成を示す正面図である。 実施例に係るテープ供給部の構成を示す図である。（ａ）はテープ供給部の斜視図であり、（ｂ）はテープ供給部の正面図である。 実施例に係る掴み代形成ユニットの構成を示す図である。 実施例に係るテープ接合ユニットの構成を示す図である。 実施例に係るテープ回収部の構成を示す図である。 実施例に係るセパレータ回収部の構成を示す図である。 実施例に係る粘着テープ貼付け装置の動作を示すフローチャートである。（ａ）はウエハに粘着テープを貼り付ける動作の概要を示すフローチャートであり、（ｂ）はステップＳ７の動作の詳細を説明するフローチャートであり、（ｃ）は不要テープを回収する動作の詳細を説明するフローチャートである。 実施例に係るステップＳ２の動作を示す図である。（ａ）は貼付けローラが初期位置にある状態を示す図であり、（ｂ）は貼付けローラが終端位置に移動した状態を示す図である。 実施例に係るステップＳ３の動作を示す図である。 実施例に係るステップＳ４の動作を示す図である。 実施例に係るステップＳ７−１の動作を示す図である。 実施例に係るステップＳ７−１の動作を示す図である。 実施例に係るステップＳ７−１の動作を示す図である。 実施例に係るステップＳ７−１の動作を示す図である。 実施例に係るステップＳ７−１の動作を示す図である。 実施例に係るステップＳ７−２の動作を示す図である。 実施例に係るステップＳ７−３の動作を示す図である。 実施例に係るステップＳ７−４の動作を示す図である。（ａ）は先行テープを挟持する前の状態を示す図であり、（ｂ）は先行テープを挟持した後の状態を示す図であり、（ｃ）は掴み代を把持した状態を示す図である。 実施例に係るステップＳ７−５の動作を示す図である。 実施例に係るステップＳ７−６の動作を示す図である。 実施例に係るステップＳ７−７の動作を示す図である。（ａ）は原反ロールを切り替える前の状態を示す図であり、（ｂ）は原反ロールを切り替えた後の状態を示す図である。 実施例に係るステップＳ７−８の動作を示す図である。（ａ）は後行テープを繰り出す前の状態を示す図であり、（ｂ）は後行テープを繰り出した後の状態を示す図である。 実施例に係るステップＳ７−９の動作を示す図である。（ａ）は後行テープの先端を先行テープの後端で挟んで接合する状態を示す図であり、（ｂ）は接合後のテープを繰り出す状態を示す図である。 実施例に係るステップＳ５−１の動作を示す図である。（ａ）はテープ保持部材が終端位置へ移動する状態を示す図であり、（ｂ）はテープ保持部材が不要テープを保持する状態を示す図であり、（ｃ）はテープ保持部材が不要テープを引き出す状態を示す図である。 実施例に係るステップＳ５−２の動作を示す図である。 実施例に係るステップＳ５−３の動作を示す図である。（ａ）は実施例に係るカッタ刃の動作を示す図であり、（ｂ）はカッタ刃の動作について、変形例の一例を示す図である。 実施例に係るステップＳ５−４の動作を示す図である。 実施例に係るステップＳ５−５の動作を示す図である。 実施例に係る回収ボックスを交換する動作を示す図である。 実施例に係る粘着テープ接合方法について、従来例と比較する図である。（ａ）は従来例において吸着部材をテープに吸着させる状態を示す図であり、（ｂ）従来例において吸着部材を離反させる状態を示す図であり、（ｃ）は粘着力の高いテープを用いる場合における従来例の問題点を示す図であり、（ｄ）は実施例の構成を示す図である。 実施例に係る粘着テープ回収方法について、従来例と比較する図である。（ａ）は従来例の問題点を示す図であり、（ｂ）は実施例の構成を示す図である。 変形例に係る粘着テープ接合装置の構成を示す図である。（ａ）は粘着テープの先端部におけるテープ保持部材の構成を示す図であり、（ｂ）は変形例におけるステップＳ７−９の構成を示す図である。 従来例に係る粘着テープ接合装置の構成を示す図である。

以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。図１は、実施例に係るテープ接合装置を備える、粘着テープ貼付け装置１の基本構成を示す正面図である。なお粘着テープ貼付け装置１を示す図において、各種構成を支持する支持手段、および各種構成を駆動させる駆動手段などについては図示を省略している。

本実施例では、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と略称する）などの各種基板に貼り付ける表面保護用の粘着テープＴをセパレータＳが添接された長尺で供給し、下流側で所定系状に切断する場合を例にとって説明する。すなわち、本実施例では長尺の粘着テープ同士を接合する。

なお、本実施例において「上流」および「下流」とは粘着テープの繰り出し方向に沿うものとして定義される。すなわち「上流」とは粘着テープの繰り出し方向において、後述するテープ供給部に近い側を意味するものとする。また、セパレータＳが添接された状態の粘着テープＴを、テープＴＳとする。

＜全体構成の説明＞
実施例に係る粘着テープ貼付け装置１は図１に示すように、テープ接合装置３、保持テーブル５、テープ貼付けユニット７、テープ切断ユニット９、テープ分離ユニット１１、テープ回収部１３、およびセパレータ回収部１５を備えている。テープ接合装置３は、先行しているテープＴＳの後端に別のテープＴＳの先端を接合する。テープ接合装置３の具体的な構成については後述する。

保持テーブル５は、回路形成面が上向きとなっているウエハＷを載置して保持する。実施例では保持テーブル５として、ウエハＷを吸着保持するチャックテーブルを用いるが、保持テーブル５の構成としてはこれに限られない。また、この保持テーブル５の上面には、後述するテープ切断ユニット１１に備えたカッタ刃９ｃをウエハＷの外形に沿って旋回移動させて粘着テープＴを切断するために、カッタ走行溝５ａが形成されている。

テープ貼付けユニット７は、保持テーブル５に載置されて吸着保持されたウエハＷの回路面に粘着テープＴを貼付ける。テープ貼付けユニット７は図１に示すように、図示しないレールに沿って左右水平に往復移動する可動台７ａと、可動台７ａに接続されたブラケットに軸支された貼付けローラ７ｂとを備えている。

テープ切断ユニット９は、駆動昇降可能な可動台９ａの下部に、保持テーブル５の中心上に位置する縦軸心Ｐ周りに駆動旋回可能に支持アーム９ｂが装備される。また、この支持アーム９ｂの遊端側に、刃先を下向きにしたカッタ９ｃが装着されている。つまり、支持アーム９ｂが縦軸心Ｐを旋回中心として旋回することにより、カッタ９ｃがウエハＷの外周に沿って移動して粘着テープＴを切り抜くよう構成されている。

テープ分離ユニット１１は、カッタ９ｃによって切り抜かれてウエハＷの表面に貼り付けられた粘着テープＴｗと、切り抜かれた後の不要な不要テープＴｎとを分離させる。テープ分離ユニット１１は、不要な不要テープＴｎのテンションを維持するガイドローラ１１ａと、ニップローラ１２とを備えている。ニップローラ１２は昇降移動を可能とするピンチローラ１２ａと、モータによって駆動する送りローラ１２ｂによって構成される。テープ分離ユニット１１は、図示しないレールに沿って左右水平に往復移動が可能となるように構成されている。

＜テープ接合装置の構成＞
ここで、テープ接合装置３の構成について説明する。テープ接合装置３は図１に示すように、テープ供給部１７と、掴み代形成ユニット１９と、テープ接合ユニット２１とを備えている。テープ供給部１７の構成については図２の各図を用いて説明する。図２（ａ）はテープ供給部１７の斜視図であり、図２（ｂ）はテープ供給部１７の正面図である。

テープ供給部１７は図２（ａ）に示すように、回転プレート２３に複数のボビン２５が立設され、テープＴＳの原反ロール２８を、各々のボビン２５に装填するように構成されている。実施例では２つのボビン２５Ａおよび２５Ｂが回転プレート２３に立設されているものとする。ボビン２５Ａに装填されている原反ロールには符号２８Ａを付し、ボビン２５Ｂに装填される原反ロールには符号２８Ｂを付して両者を区別する。

回転プレート２３は駆動機構２４によって中心軸２６の軸周りに回転するように構成されている。回転プレート２３の回転によって、各々のボビン２５は供給位置と待機位置とを相互に移動可能となっている。図２の各図では、ボビン２５Ａが供給位置に配置されており、かつボビン２５Ｂが待機位置に配置されている状態を示している。

なお、待機位置に配置されている原反ロール２８は、図示しない開閉扉を通して粘着テープ貼付け装置１の外部へ取り出すことができるように構成される。オペレータは当該原反ロール２８を取り出すとともに、新たな原反ロール２８を待機位置にセットできる。また、テープ供給部１７において、待機位置は供給位置と比べて粘着テープ貼付け装置１の中央部から離れた位置となるように構成される。一般的に、高温となっている構成、カッタ、および可動部などは粘着テープ貼付け装置１の中央部に多く設けられる。そのため、待機位置に切り換えられた原反ロール２８を交換する際に、オペレータは高温部や可動部などに近づくことを回避できる。

各々のボビン２５には、テープ保持部材２７とガイドローラ２９とが配備されている。ボビン２５に装填された原反ロール２８から引き出されたテープＴＳの先端は、ガイドローラ２９によってテンションが維持されつつ、テープ保持部材２７に導かれる。テープ保持部材２７は一例として２枚の板状部材によって構成されており、板状部材の各々によってテープＴＳが挟持される。

掴み代形成ユニット１９は図３に示すように、剥離ユニット３１と、押出部材３３と、圧着ローラ３５とを備えている。剥離ユニット３１は、テープＴＳを粘着テープＴおよびセパレータＳに剥離させる。剥離ユニット３１は、ガイドローラ３７と送りローラ３９によって構成される。

ガイドローラ３７は、テープＴＳおよび剥離後の粘着テープＴのテンションを維持する。送りローラ３９は左右水平に往復移動できるように構成されている。剥離後のセパレータＳは、送りローラ３９に巻回されてセパレータ回収部１５へ案内される。

押出部材３３は粘着テープＴの繰り出し方向Ｌに対して略垂直な方向Ｒ（図３においてはｙ方向）に駆動可能となるように構成されており、外装部３３ａと、突起部３３ｂを備えている。突起部３３ｂは内板３３ｃの上面に配設されており、内板３３ｃは弾性部材３３ｄを介して外装部３３ａの底面と接続されている。外装部３３ａおよび内板３３ｃはそれぞれ独立して方向Ｒに押し上げられるように構成されている。そして内板３３ｃが押し上げられることによって、突起部３３ｂは外装部３３ａの外側へ突出するように構成されている。

押出部材３３が方向Ｒに駆動することにより、粘着テープＴの一部は突起部３３ｂの当接によって方向Ｒに突出される。圧着ローラ３５は、方向Ｒに突出された粘着テープＴに圧接することによって突出した粘着テープＴ同士を圧着させ、掴み代Ｈを形成させる。押出部材３３および圧着ローラ３５の具体的な動作、並びに掴み代Ｈの形成過程については後述する。

テープ接合ユニット２１は図４に示すように、カッタユニット４１と、保持ユニット４３と、把持ユニット４５とを備えている。カッタユニット４１は、可動台４１ａとカッタ刃４１ｂとを備えている。

可動台４１ａは図示しない駆動機構によって、方向Ｒに駆動可能となっている。また可動台４１ａは、テープＴＳの幅方向（図４ではｚ方向）に駆動可能に構成されている。可動台４１ａの先端部にはカッタ刃４１ｂが備えられている。カッタ刃４１ｂは符号Ｃで示す所定の位置において、テープＴＳを幅方向にわたって切断する。カッタ刃４１ｃが先行のテープＴＳを切断することにより、後続のテープＴＳと接合するための末端部分が先行のテープＴＳに形成される。

保持ユニット４３は一例として方向Ｒに駆動可能となっており、当該駆動によってセパレータＳの側からテープＴＳに当接するように構成される。保持ユニット４３は間隙部４４を有しており、カッタユニット４１は間隙部４４を介してテープＴＳに近づき、所定の位置ＣにおいてテープＴＳを切断できるように構成される。

把持ユニット４５は方向Ｒに駆動可能となっている。把持ユニット４５は方向Ｒに駆動することにより粘着テープＴの側からテープＴＳに当接するように構成される。すなわち保持ユニット４３および把持ユニット４５は、それぞれテープＴＳを挟み込むように駆動することによってテープＴＳを安定に保持する。また、保持ユニット４３および把持ユニット４５の各々は、真空吸着可能に構成されることが好ましい。この場合、テープＴＳに当接した後に真空吸着を行うことによって、テープＴＳをより安定に保持することができる。

把持ユニット４５は、繰り出し方向Ｌに並列される複数の部材によって構成され、当該複数の部材の間に少なくとも１つの間隙部４６を有している。実施例において、把持ユニット４５は２つの部材４５ａおよび部材４５ｂを有しており、部材４５ａおよび４５ｂの間に間隙部４６が形成されているものとする。

部材４５ａおよび部材４５ｂは、方向Ｒへ互いに同じ方向へ同期的に駆動できるとともに、繰り出し方向Ｌにおいて互いに逆方向へ駆動するように構成されている。当該部材が逆方向へ駆動することにより、掴み代形成ユニット１９によって形成された掴み代Ｈを把持ユニット４５は安定に把持する。粘着テープＴに掴み代Ｈを形成させて当該掴み代Ｈを把持ユニット４５が把持する構成により、粘着テープＴの粘着力が強い場合であっても、テープＴＳの後端部において粘着テープＴとセパレータＳとを確実に剥離できる。

＜テープ回収部の構成＞
次に、テープ回収部１３の構成について説明する。テープ回収部１３は図５に示すように、テープ保持部材５１と、テープ押圧部材５３と、カッタユニット５５と、テープ回収ユニット５７とを備えている。

テープ保持部材５１は、可動台５１ａと保持部材５１ｂとを備えている。可動台５１ａは左右水平方向に往復移動可能となるように構成されている。保持部材５１ｂは、可動台５１ａに接続されている。保持部材５１ｂは、不要な不要テープＴｎの厚み方向に可動することにより、不要テープＴｎを表裏面の両側から挟んで保持する。保持部材５１ｂは不要テープＴｎを挟持する構成に限られず、不要テープＴｎを吸着保持する構成などを用いてもよい。保持部材５１ｂが不要テープＴｎを保持した状態で可動台５１ａが図５で示す右方向へ移動することにより、ガイドローラ５０によってテープ回収部１３へ案内されている不要テープＴｎは、水平方向へ引き出された状態で安定に保持される。

テープ押圧部材５３は、可動台５３ａと押圧板５３ｂとを備えている。可動台５３ａは、図５に示される待機位置と、後述する回収ボックスＦの回収位置との間にわたって上下方向に往復移動可能となるように構成されている。押圧板５３ｂは可動台５３ａに接続されており、裏面（図の下側）は扁平となっている。そして扁平となっている裏面のうち、少なくともテープ吸着部分には吸着孔が設けられている。すなわち、テープ保持部材５１によって引き出された不要テープＴｎは、押圧板５３ｂの扁平面によって、水平方向に広がった平坦な状態で安定に吸着保持される。

そして後述するカッタユニット５５によって不要テープＴｎが切断された後、可動台５３ａが回収位置に配置されている回収ボックスＦへ移動することにより、枚葉に切断された不要テープＴｎは、水平に広がった平坦な状態で回収ボックスへ収納される。

カッタユニット５５は、可動台５５ａとカッタ刃５５ｂとを備えている。可動台５５ａは、不要テープＴｎの幅方向および厚み方向の各々へ駆動できるように構成されている。カッタ刃５５ｂは可動台５５ａの先端に接続されており、刃先が不要テープＴｎを向くように構成されている。すなわち、可動台５５ａの駆動に従ってカッタ刃５５ｂは不要テープＴｎを幅方向に切断する。すなわち、保持部材５１ｂおよび押圧板５３ｂによって不要テープＴｎは水平方向に広がった状態で安定保持され、当該状態を維持しつつカッタ刃５５ｂによって枚葉に切断される。

テープ回収ユニット５７は、回転テーブル５８と、複数の回収ボックスＦとを備えている。実施例では２つの回収ボックスＦ１およびＦ２を備えているものとする。回転テープル５８は中心軸Ｖの軸周りに回転するように構成されている。回転テーブル５８の回転により、回収ボックスＦの各々は回収位置と待機位置とを相互に移動する。図５において、回収ボックスＦ１が回収位置に配置され、回収ボックスＦ２が待機位置に配置されている状態を示している。

回収位置はテープ押圧部材５３の真下に位置しており、枚葉に切断された不要テープＴｎは、回収位置に配置されている回収ボックスＦに収納される。また待機位置は回収位置と比べてテープ貼付け装置１の中心部からより遠い位置となるように構成され、待機位置に配置される回収ボックスＦは、図１に示す開閉扉５９を通して粘着テープ貼付け装置１の外部へ取り出し可能となっている。

＜セパレータ回収部の構成＞
セパレータ回収部１５の構成は、テープ回収部１３の構成と共通する。すなわち図６に示すように、セパレータ回収部１５はセパレータ保持部材６１と、セパレータ押圧部材６３と、カッタユニット６５と、セパレータ回収ユニット６７とを備えている。

セパレータ保持部材６１は、可動台６１ａと保持部材６１ｂとを備えている。保持部材６１ｂがセパレータＳを保持した状態で可動台６１ａが図６で示す左方向へ移動することにより、ガイドローラ６０によってセパレータ回収部１５へ案内されているセパレータＳは、水平方向へ引き出された状態で安定に保持される。

セパレータ押圧部材６３は、可動台６３ａと押圧板６３ｂとを備えている。可動台６３ａは上下方向に往復移動可能となるように構成されている。押圧板６３ｂは扁平となっている裏面のうち、少なくともセパレータ吸着部分に吸着孔が設けられており、セパレータ保持部材６１によって引き出されたセパレータＳは、押圧板６３ｂによって、水平方向に広がった平坦な状態で吸着保持される。

カッタユニット６５は、可動台６５ａとカッタ刃６５ｂとを備えている。可動台６５ａは、セパレータＳの幅方向および厚み方向の各々へ駆動できるように構成されている。カッタ刃５５ｂは可動台５５ａの先端に接続されており、セパレータＳを幅方向にわたって枚葉に切断する。

セパレータ回収ユニット６７は、回転テーブル６８と、複数の回収ボックスＧとを備えている。実施例では２つの回収ボックスＧ１およびＧ２を備えているものとする。回転テープル６８は中心軸Ｗの軸周りに回転するように構成されている。回転テーブル６８の回転により、回収ボックスＧの各々は回収位置Ｇｃと待機位置Ｇｓとを相互に移動する。

図６において、回収ボックスＧ１が回収位置Ｇｃに配置され、回収ボックスＧ２が待機位置Ｇｓに配置されている状態を示している。枚葉に切断されたセパレータＳは、回収位置に配置されている回収ボックスＧに収納される。待機位置Ｇｓに配置される回収ボックスＧは、図１に示す開閉扉６９を通して粘着テープ貼付け装置１の外部へ取り出し可能となっている。

＜貼付け動作の概要＞
ここで、粘着テープ貼付け装置１を用いて回路面保護用の粘着テープＴをウエハＷに貼付けるための一連の基本動作を説明する。図７（ａ）は、保護用の粘着テープＴをウエハＷに貼付ける工程を説明するフローチャートである。

貼付け指令が出されると、所定の収納部に収納されているウエハＷは、アライメントステージで位置合わせされた後、図示しないウエハ搬送機構によって保持テーブル５に載置される。保持テーブル５に載置されたウエハＷは旋回され、ウエハＷの中心が保持テーブル５の中心の上にあるように位置合わせされた状態で吸着保持される。（ステップＳ１）。

このとき、テープ貼付けユニット７、テープ切断ユニット９、およびテープ剥離ユニット１１の各々は図８（ａ）に示す初期位置に移動している。すなわち、テープ貼付けユニット９は保持テーブル５の右側に移動しており、テープ剥離ユニット１１は保持テーブル５の左側に移動している。また、テープ切断ユニット９は保持テーブル５の上方で待機している。

なお、テープ供給部１７の供給位置に装填されている原反ロール２８Ａからセパレータ付き粘着テープＴＳが下流へと繰り出し供給され、テープＴＳは剥離ユニット３１によって粘着テープＴおよびセパレータＳに剥離される。そして粘着テープＴはテープ貼付けユニット７およびテープ剥離ユニット１１に案内されている。

次に、図８（ｂ）に示すように、テープ貼付けユニット７の貼付けローラ７ｂは粘着テープＴを下方に押圧しながらウエハＷ上を前方（図８では左方向）に転動し、点線で示す初期位置から実線で示す終端位置へと移動する。これによって、粘着テープＴがウエハＷの表面全体に貼付けられる（ステップＳ２）。

粘着テープＴがウエハＷに貼り付けられた後、図９に示すように、上方に待機していたテープ切断ユニット９が下降され、点線で示す初期位置から実線で示す切断位置へと移動する。そしてテープ切断ユニット９が切断位置へ下降することによって、保持テーブル５のカッタ走行溝５ａにおいてカッタ９ｃが粘着テープＴに突き刺される。

カッタ９ｃが粘着テープＴに突き刺されると、支持アーム９ｂが縦軸心Ｐを旋回中心として旋回する。これに伴ってカッタ９ｃがウエハ外周縁に摺接しながら旋回移動し、粘着テープＴがウエハの外形に沿って切断される（ステップＳ３）。

ウエハの外形に沿った粘着テープＴの切断が終了すると、テープ切断ユニット９は元の待機位置まで上昇される。そして、テープ貼付けユニット７は終端位置から初期位置へと復帰する。貼付けユニット１７が初期位置へ復帰するとともに、図１０に示すように、テープ剥離ユニット１１が前方（図１０では右方向）へ移動する。すなわちテープ剥離ユニット１１は、図１０において点線で示す初期位置から実線で示す終端位置へ右方向に移動する。

テープ剥離ユニット１１は終端位置へ移動しつつ、粘着テープＴのうち、ウエハＷ上で切り抜き切断されて残った不要テープＴｎを巻き上げて剥離する（ステップＳ４）。なお、粘着テープＴのうち、ウエハＷの表面に貼り付けられている部分については符号Ｔｗを付して不要テープＴｎと区別する。

剥離ユニット２１が剥離作業の終了位置に達すると、テープ剥離ユニット１１は終了位置から初期位置に復帰する。このとき、不要テープＴｎが巻き取られてテープ回収部１３へ案内されて回収されるとともに、一定量のテープＴＳがテープ供給部１７から繰り出される（ステップＳ５）。

ステップＳ５までの各処理が終了すると、保持テーブル５における吸着が解除される。吸着解除の後、粘着テープＴｗが貼り付けられたウエハＷはウエハ搬送機構によって搬送されて図示しないウエハ回収部に回収される（ステップＳ６）。以上で１回の粘着テープ貼付け処理が完了する。

なお、粘着テープ貼付け処理の完了後、テープ供給部１３の供給位置に配置されているテープＴＳの原反ロール２８（供給用テープ）の装填量に応じて以下の工程を分岐する。供給用テープの装填量が予め定められた規定量以下となった場合、テープＴＳの自動交換が行われる（ステップＳ７）。供給用テープの装填量が規定量以上であることが各種センサなどを用いて確認することによって、以後、上記動作を順次繰返してゆく。

＜テープの交換工程の説明＞
ここで、ステップＳ７に係る、テープＴＳを自動で交換する工程について説明する。供給用テープの装填量が規定量以下となった場合、ステップＳ７に係るテープの交換工程は、図７（ｂ）のフローチャートで示す、ステップＳ７−１からステップ７−８までの工程に従って行われる。図７（ｂ）に示す工程により、テープ供給部１７の供給位置に配置されている原反ロール２８は、新たな原反ロール２８に交換されるとともに、新たな原反ロール２８から繰り出される後行の（上流側の）テープＴＳの先端と、先行の（下流側の）テープＴＳの後端とが自動的に接合される。

なお、テープ供給部１７の実施例では供給位置にはボビン２５Ａおよび原反ロール２８Ａが当初配置されており、装填量が規定値以下となった原反ロール２８Ａを、新たな原反ロール２８Ｂに交換する場合を例にとって説明する。

ステップＳ７−１（掴み代の形成）
テープの交換を実行するにあたり、掴み代形成ユニット１９によって粘着テープＴに掴み代を形成させる工程が実行される。掴み代形成ユニット１９の各構成について、初期位置は図３に示す通りである。すなわち、テープＴＳは剥離ユニット３１によってセパレータＳが剥離され、粘着テープＴの粘着面が露出する。押出部材３３は粘着テープＴの粘着面側に配置され、圧着ローラ３５は粘着テープＴの非粘着面側に配置されている。

ステップＳ７−１において、まず図１１に示すように、内板３３ｃは外装部３３ａと独立して方向Ｒへ移動し、突起部３３ｂを押し上げる。内板３３ｃが突起部３３ｂを押し上げることによって、突起部３３ｂの先端部は外装部３３ａより外部に押し出される。

次に、突起部３３ｂの先端部が外装部３３ａより外部に押し出された状態で、押出部材３３が方向Ｒに移動する。その結果、図１２に示すように、突起部３３ｂによって粘着テープＴの一部（粘着テープＴｐ）が、繰り出し方向Ｌと略垂直な方向である方向Ｒへ押し出される。

突起部３３ｂが粘着テープＴｐを方向Ｒへ押し出した状態において、外装部３３ａは方向Ｌへ延びる粘着テープＴに当接している。そのため、突起部３３ｂが押し上げられる位置が方向Ｒにずれることを回避できる。また、突起部３３ｂが粘着テープＴｐを方向Ｒへ押し出された状態において、方向Ｌへ繰り出されている粘着テープＴは、外装部３３ａおよび圧着ローラ３５で挟み込まれるように保持されていることが好ましい。

この場合、突起部３３ｂが粘着テープＴｐを方向Ｒへ押し出す際に、粘着テープＴｐを除く粘着テープＴの延びる方向が方向Ｌからずれることを回避できる。従って、後述する掴み部Ｈの形成エラーの発生や、掴み部Ｈの形状および大きさが当初想定された形状等と異なる事態の発生を回避できる。

押出部材３３によって粘着テープＴｐが方向Ｒへ押し出された後、押し出された粘着テープＴｐが圧着ローラ３５によって圧着されて掴み代Ｈが形成される。具体的には、まず図１３に示すように、圧着ローラ３５の各々は、互いに近づくように、繰り出し方向Ｌにおいてそれぞれ逆方向へ移動する。その結果、方向Ｒへ押し出された粘着テープＴｐの非粘着面が圧着ローラ３５によって両側から挟み込まれる。

粘着テープＴｐが圧着ローラ３５に挟まれると、図１４に示すように、内板３３ｃによる突起部３３ｂの押し上げが解除され、伸びていた弾性部材３３ｄが元に戻ることによって突起部３３ｂは外装部３３ａの内部に収納される。

突起部３３ｂの収納によって突起部３３ｂは粘着テープＴから離反するので、粘着テープＴｐの圧着が可能となる。すなわち、圧着ローラ３５は図１５に示すように、さらに粘着テープＴｐの両側から圧接していく。また、粘着テープＴｐを圧接するとともに、押出部材３３を粘着テープＴから離反させる。その結果、粘着テープＴｐの粘着面同士が圧着されて掴み代Ｈが形成される。

このように、所定の掴み代形成位置Ｔｆにおいて粘着テープＴｐを方向Ｒに突出させ、さらに当該粘着テープＴｐを繰り出し方向Ｌにおいて互いに逆方向から挟み込んで圧接することによって掴み代が形成される。その結果、掴み代Ｈの形状は、方向Ｌに繰り出されている粘着テープＴにおける長さＰａの領域において、方向Ｒへ長さＰｂだけ突出した形状となる。そして、繰り出し方向Ｌにおける長さＰａについては粘着テープＴの厚み程度の短い長さとなる一方、方向Ｌに略垂直である方向Ｒにおける長さＰｂについては突起部３３ｂの形状に応じて任意の長さとすることができる。

ステップＳ７−２（セパレータの再添接）
掴み代が形成された後、セパレータの再添接を行う。すなわち図１６に示すように、セパレータＳを巻回している送りローラ３９を、粘着テープＴの繰り出し方向Ｌにおける前方（図１６の左方向）に転動させる。このとき、送りローラ３９は、粘着テープＴにおいて掴み代Ｈが形成される所定位置Ｔｆを越えて転動するように構成される。

送りローラ３９が点線で示す初期位置から実線で示す終端位置まで転動することによって、掴み代Ｈの基端部を含む粘着テープＴの所定長さにわたってセパレータＳが再添接される。掴み代Ｈの基端部にセパレータＳが添接されることにより、掴み代Ｈを形成する粘着テープＴの粘着面同士が剥離することを防止できる。その結果、粘着テープＴの粘着面同士の剥離による掴み代Ｈの崩壊を防止できるので、掴み代Ｈをより安定に維持できる。

ステップＳ７−３（掴み代の送り出し）
セパレータの再添接が終了した後、掴み代の送り出しを行う。すなわち、テープＴＳを繰り出すことにより、掴み代Ｈをテープ接合ユニット２１までへ送り出す。実施例では原反ロール２８により近い位置でテープＴＳの切断および接合を行うため、テープ接合ユニット２１の位置は掴み代形成位置Ｔｆより上流の位置となるように構成されている（図１）。そこで図１７に示すように、テープＴＳの繰り出し方向を方向Ｌから方向Ｌｒに逆流させることによって、掴み代Ｈを形成位置Ｔｆから上流へ送り出してテープ接合ユニット２１まで移動させる。

ステップＳ７−４（掴み代の保持）
掴み代形成ユニット１９からテープ接合ユニット２１へ送り出された掴み代Ｈは、図１８（ａ）に示すように、把持ユニット４５に形成されている間隙部４６の位置まで移動する。掴み代Ｈがテープ接合ユニット２１へ送り出された後、掴み代の保持を行う。すなわち図１８（ｂ）に示すように、保持ユニット４３および把持ユニット４５を方向Ｒへ移動させることにより、テープＴＳを保持ユニット４３および把持ユニット４５によって挟持する。各ユニットによって挟持することにより、繰り出し方向ＬにおけるテープＴＳのずれが防止されるこのとき、保持ユニット４３はセパレータＳを吸着保持する。

また、把持ユニット４５は粘着テープＴを吸着保持する。当該吸着保持により、テープＴＳはより安定に保持される。そして、テープＴＳの挟持とともに、把持ユニット４５による掴み代Ｈの保持が行われる。すなわち図１８（ｃ）に示すように、部材４５ａおよび部材４５ｂを繰り出し方向Ｌにおいて互いに逆方向へ移動させ、間隙部４６において掴み代Ｈを挟み込むように把持する。掴み代Ｈは繰り出し方向Ｌに略垂直な方向へ所定の長さ突出しているので、掴み代の把持によって、把持ユニット４５は粘着テープＴをより安定に保持できる。

ステップＳ７−５（先行テープの切断）
掴み代を保持した後、先行テープの切断を行う。先行テープとは、供給位置に配置されている原反ロール２８（実施例では原反ロール２８Ａ）から繰り出されているテープＴＳを意味する。すなわち図１９に示すように、カッタユニット４１の可動台４１ａを方向Ｒに駆動させ、カッタ刃４１ｂをテープＴＳに突き刺させる。

そして可動台４１ａをテープＴＳの幅方向に駆動させることによって、カッタ刃４１ｂは符号Ｃで示す所定の位置において、先行するテープＴＳを幅方向にわたって切断する。先行テープがカッタ刃４１ｂによって切断されることにより、先行するテープＴＳは原反ロール２８Ａから切り離される。そして、新たな原反ロール２８から繰り出されるテープと接合するための末端部分が、先行するテープＴＳの後端に形成される。

ステップＳ７−６（先行テープ後端の剥離）
先行テープの切断を行った後、先行テープ後端の剥離を行う。すなわち図２０に示すように、セパレータＳを吸着保持している保持ユニット４３と、粘着テープＴの吸着保持および掴み代Ｈの保持を行っている把持ユニット４５とを、それぞれ方向Ｒにおいて逆方向に離反させる。保持状態を維持しつつ両ユニットを離反させることによって、先行しているテープＴＳの後端Ｂａにおいて粘着テープＴとセパレータＳとを剥離させる。

テープＴＳの一方の面を吸着して剥離を行う従来構成と異なり、実施例ではテープＴＳの面に対して略垂直な方向に突出する掴み代Ｈを形成し、当該掴み代を把持ユニット４５が保持する構成となっている。一方の面を吸着保持する構成と比べて、略垂直な方向に突出する掴み代Ｈを掴んで保持する構成の方が、テープＴＳをより安定して保持できる。そのため実施例の構成では、粘着テープＴとセパレータＳとの間の粘着力が強い場合であっても、先行テープの後端において確実に粘着テープＴとセパレータＳとを剥離できる。

ステップＳ７−７（原反ロールの切り換え）
先行テープの後端を剥離した後、原反ロールの切り換えを行う。すなわち図２１の各図に示すように、テープ供給部１７の回転プレート２３を適宜回転させ、供給位置に配置される原反ロール２８を切り換える。回転プレート２３の回転により、供給位置に配置される原反ロール２８は、装填量が減少している原反ロール２８Ａから（図２１（ａ））、装填量が十分に多い原反ロール２８Ｂへと切り換えられる（図２１（ｂ））。

なお、図２１以降において、ボビン２５Ａに配備されているテープ保持部材２７には符号２７Ａを付し、ボビン２５Ｂに配備されているテープ保持部材２７には符号２７Ｂを付して両者を区別する。また、図２２および図２３において、先行テープに係るテープＴＳ、粘着テープＴおよびセパレータＳには符号ａをそれぞれ後に付し、後行テープに係るテープＴＳ、粘着テープＴおよびセパレータＳには符号ｂをそれぞれ後に付して両者を区別する。

ステップＳ７−８（後行テープの繰り出し）
原反ロールの切り換えが完了した後、後行テープの繰り出しを行う。供給位置にある原反ロールを原反ロール２８Ｂに切り換えた時点では、後行テープＴＳｂの先端はテープ保持部材２７Ｂに挟持されている（図２２（ａ））。そこで先行テープＴＳａと後行テープＴＳｂを接合させるべく、原反ロール２８Ｂからテープ保持部材２７Ｂを経由して、後行テープＴＳｂを繰り出させる（図２２（ｂ））。その結果、後行テープＴＳｂの先端Ｆｗは、先行テープＴＳａの後端Ｂａと接合が可能な位置まで繰り出される。

ステップＳ７−９（テープの接合）
後行テープが十分に繰り出された後、テープの接合を行う。すなわち図２３（ａ）に示すように、セパレータＳａを吸着保持している保持ユニット４３と、粘着テープＴａを吸着保持している把持ユニット４５とを方向Ｒへ移動させ、後行テープＴＳｂの先端Ｆｗを先行している粘着テープＴａおよびセパレータＳａで挟み込む。挟み込みが行われた後、粘着テープＴａの後端と粘着テープＴｂの先端、およびセパレータＳａの後端とセパレータＳｂの先端との間で接合を行わせることによって、先行テープＴＳａと後行テープＴＳｂとの接合が完了する。

実施例では図２２の各図に示すように、テープＴＳの先端において、両面テープを例とする粘着材ｇが予め貼り付けられている構成を備えている。そのため、粘着テープＴａの後端と粘着テープＴｂの先端、およびセパレータＳａの後端とセパレータＳｂの先端は、保持ユニット４３および把持ユニット４５によって押圧されることで、粘着材ｇを介して接合される。

先行テープＴＳａと後行テープＴＳｂとの接合が完了した後、図２３（ｂ）に示すように、保持ユニット４３および把持ユニット４５を、実線で示す初期位置へと復帰させる。そして、接合された両テープを方向Ｌへ繰り出させる。以上でステップＳ７に係る一連の動作が完了する。すなわち、原反ロール２８Ａから原反ロール２８Ｂの交換、および原反ロール２８Ａから繰り出されるテープＴＳａと原反ロール２８Ｂから繰り出されるテープＴＳｂの端部同士の接合が、自動で実行される。

なお、ステップＳ７−７において供給位置から待機位置へ切り換えられた原反ロール２８Ａは、図示しない開閉扉を通して粘着テープ貼付け装置１の外部へ取り除くことができる。そしてオペレータは原反ロール２８Ａを取り除くとともに、新たな原反ロール２８Ｃを待機位置にセットする。原反ロール２８Ｂの装填量が減少した場合、再度ステップＳ７の各工程を行うことにより、原反ロール２８ＢのテープＴＳから原反ロール２８ＣのテープＴＳへの切り換えを自動で実行できる。その結果、オペレータによる作業を大幅に低減できる。

＜テープ回収工程の説明＞
次に、ステップＳ５などにおいて、テープ回収部１３が不要テープＴｎを回収する具体的な動作について説明する。図７（ｃ）はテープ回収部１３が不要テープＴｎを回収するテープ回収工程の各動作を説明するフローチャートである。なお、テープ回収部１３が備えている各構成の初期位置は、図５に示す通りであるものとする。また、テープ回収ユニット５７において、回収ボックスＦ１が回収位置Ｆｃに配置され、回収ボックスＦ２が待機位置Ｆｓに配置されているものとする。

ステップＳ５−１（テープの引き出し）
実施例に係るテープ回収工程では、まずテープの引き出しを行う。すなわちガイドローラ５０によってテープ回収部１３へ案内されている不要テープＴｎを、所定の長さだけ引き出させる。具体的には図２４（ａ）に示すように、テープ保持部材５１は点線で示す初期位置から、実線で示す終端位置へと移動する。終端位置は、不要テープＴｎが繰り出されている位置であれば適宜設定してよい。

終端位置へ移動したテープ保持部材５１は、テープ回収部１３へ案内されている不要テープＴｎを保持する。実施例では図２４（ｂ）に示すように、保持部材５１ｂが不要テープＴｎの厚み方向に可動することにより、不要テープＴｎを表裏面の両側から挟んで保持する構成となっている。テープ保持部材５１が不要テープＴｎを安定に保持する構成であれば、保持部材５１ｂによって把持する構成に限ることはなく、テープ保持部材５１は不要テープＴｎを吸着保持する構成などであってもよい。

そして、テープ保持部材５１は図２４（ｃ）に示すように、不要テープＴｎを保持した状態で終端位置から初期位置へと復帰する。テープ保持部材５１が初期位置へと復帰することによって、不要テープＴｎは終端位置から初期位置までの所定長さＫの分、符号Ｍで示す方向に引き出される。実施例では方向Ｍは水平方向となるように構成されているが、方向Ｍは適宜変更してよい。

ステップＳ５−２（テープを平坦状態で保持）
所定長さの分、不要テープＴｎが引き出された後、引き出された不要テープＴｎを平坦な状態で保持させる。すなわち図２５に示すように、テープ押圧部材５３は点線で示す初期位置から実線で示す吸着位置へと移動する。

そしてテープ押圧部材５３は、押圧板５３ｂが有する扁平な裏面全体を介して、引き出された不要テープＴｎを吸着保持する。このとき、不要テープＴｎは繰り出し方向および幅方向について平坦な状態となるように保持される。なお、不要テープＴｎを平坦に保持する構成は適宜変更してよく、一例として、押圧板５３ｂが有する扁平な裏面の外周部分において不要テープＴｎを吸着保持する構成を適用してもよい。

ステップＳ５−３（テープを枚葉に切断）
不要テープＴｎを平坦状態で保持した後、テープを枚葉に切断する。すなわち図２６（ａ）に示すように、カッタユニット５５は点線で示す初期位置から実線で示す切断位置へ、不要テープＴｎの厚み方向に移動する。そして切断位置においてカッタ刃５５ｂは不要テープＴｎに突き刺される。その後、可動台５５ａが不要テープＴｎの幅方向（図ではｚ方向）へ移動することによって、カッタ刃５５ｂは不要テープＴｎを枚葉に切断する。なお、カッタ刃５５ｂをＲ方向に移動させて不要テープＴｎに突き刺させてから幅方向に移動させる構成に限ることはない。一例として図２６（ｂ）に示すように、不要テープＴｎの側面に待機させているカッタ刃５５ｂを不要テープＴｎの幅方向に移動させることにより、カッタ刃５５ｂの刃先が不要テープＴｎを枚葉に切断する構成でもよい。この場合、可動台５５ａは方向Ｒへ移動する構成を省略できる。

ステップＳ５−４（枚葉テープの収納）
不要テープＴｎを引き出し、当該引き出された部分が枚葉に切断された後、枚葉テープの収納を行う。まず、カッタユニット５５を初期位置へ復帰させるとともに、テープ保持部材５１による不要テープＴｎの保持を解除させる。そして図２７に示すように、枚葉に切断された不要テープＴｎを吸着保持した状態で、テープ押圧部材５３をさらに下降させる。

下降したテープ押圧部材５３は、点線で示されている吸着位置から、実線で示されている、回収ボックスＦ１の底面近傍まで移動する。そして回収ボックスＦ１の底面近傍において不要テープＴｎの吸着保持を解除する。吸着保持が解除された不要テープＴｎは、回収ボックスＦ１の底面または既に回収ボックスＦ１に収納されている不要テープＴｎａの上に、平坦な状態で収納される。

回収ボックスＦ１の底面近傍または既に収納済である不要テープＴｎａの上面近傍において平坦な不要テープＴｎの吸着保持が解除されるので、枚葉に切断された不要テープＴｎの各々を、平坦な状態で積層させて収納できる。すなわち、吸着保持解除から積層収納までの間に、枚葉の不要テープＴｎが湾曲など変形することを回避できる。

なお、不要テープＴｎの各々を平坦な状態で積層できるならば、回収ボックスＦ１の底面近傍などにおいて吸着保持を解除する構成に限ることはない。すなわち、下降したテープ押圧部材５３は吸着保持している不要テープＴｎを、回収ボックスＦ１の底面または収納済の不要テープＴｎａの表面に押圧させた状態で吸着保持を解除することがより好ましい。枚葉に切断された不要テープＴｎを回収ボックスに積層収納させた後、テープ押圧部材５３を上昇させて初期位置へ復帰させる。

以後、回収位置Ｆｃに配置されている回収ボックスＦ１において、収納されている不要テープＴｎの量が予め定められた規定量以上であるか否かに応じて工程を分岐する。規定量を下回る場合はステップＳ５−１に戻ってステップＳ５−１からステップＳ５−４の一連の動作を繰り返して不要テープＴｎの回収を続行する。規定量以上である場合はステップＳ５−５へ進み、回収ボックスＦの切り換えを行う。

ステップＳ５−５（回収ボックスの切り換え）
回収ボックスＦの切り換えを行う場合、図２８に示すように、回収ボックスＦの各々を載置している回転テーブル５８を中心軸Ｖの軸周りに回転させる。回転テーブル５８の回転によって、規定量以上の不要テープＴｎを収納している回収ボックスＦ１は、回収位置Ｆｃから待機位置Ｆｓへと移動する。その一方で、空になっている回収ボックスＦ２は待機位置Ｆｓから回収位置Ｆｃへと移動する。

回収位置Ｆｃに配置されている回収ボックスＦを回収ボックスＦ１から回収ボックスＦ２に切り換えることにより、枚葉の不要テープＴｎを回収ボックスＦ２に収納可能となる。すなわち、回収位置Ｆｃに配置されている回収ボックスＦを空の回収ボックスＦ２に切り換えた時点で、ステップＳ５−１に戻って不要テープＴｎの回収工程を再開できる。

そして実施例では、不要テープＴｎの回収工程を再開しつつ、許容量を超えた回収ボックスＦの交換を行うことができる。すなわち図２９に示すように、オペレータは開閉扉５９を開けることによって、待機位置に移動した回収ボックスＦ１を粘着テープ貼付け装置１の外部に取り出す。そして、オペレータは回収ボックスＦ１の代わりに、空になっている新たな回収ボックスＦ３を回転テーブル５８における待機位置Ｆｓに載置する。

待機位置Ｆｓは、回収位置Ｆｃと比べてテープ貼付け装置１の中心部からより遠い位置となるように構成される。そのため、待機位置Ｆｓに移動した回収ボックスＦの取り出しおよび交換を行う際に、オペレータが高温部や可動部などに近づくことを回避できる。

また、回収ボックスＦ２を回収位置Ｆｃへ移動させ、不要テープＴｎの回収を再開した状態で回収ボックスＦ１から回収ボックスＦ３への交換ができる。すなわち、回転テーブル５８を回転させる工程を除いてテープ回収部１３の動作を停止させる必要がないので、テープ回収部１３の稼働効率を向上できる。

＜セパレータ回収部の動作の説明＞
ここで、セパレータ回収部１５の動作について説明する。図６に示すセパレータ回収部１５の構成は図５に示すテープ回収部１３と共通しており、セパレータ回収部１５の動作もテープ回収部１３の動作と共通している。

すなわち剥離ユニット３１によって粘着テープＴから剥離されたセパレータＳは、ガイドローラ６０によってセパレータ回収部１５へ案内される。セパレータ保持部材６１は、案内されたセパレータＳの末端を把持し、当該セパレータＳの末端を予め定められた方向へ（実施例では図６の左方向）所定の長さだけ引き出す。

セパレータＳを引き出した後、セパレータ押圧部材６３が下降する。そして押圧板６３ｂの扁平面全体を介し、引き出されたセパレータＳを平坦な状態で吸着保持する。カッタユニット６５のカッタ刃６５ｂは、平坦な状態で保持されているセパレータＳを枚葉に切断する。

セパレータ押圧部材６３は枚葉に切断されたセパレータＳを吸着した状態でさらに下降し、回収位置Ｇｃに配置されている回収ボックスＧ１の底面近傍まで移動する。そしてセパレータ押圧部材６３は、回収ボックスＦ１の底面近傍においてセパレータＳの吸着保持を解除する。吸着保持が解除されたセパレータＳは、平坦なセパレータＳ同士が多数積層した状態で、回収ボックスＧ１に収納される。

セパレータＳを平坦な状態で回収ボックスＧ１に収納させた後、カッタユニット６５およびセパレータ押圧部材６３を初期位置へ復帰させ、以降はセパレータＳを枚葉に切断して平坦な状態で積層収納させる工程を繰り返す。回収位置Ｇｃに配置されている回収ボックスＧのセパレータ収納量が規定値以上となった場合、回転テーブル６８を中心軸Ｗの軸周りに回転させて回収ボックスＧ２を回収位置Ｇｃへ移動させた後にセパレータＳの回収工程を再開させる。

オペレータは回収位置Ｇｃから待機位置Ｇｓへ移動した回収ボックスＧ１を、開閉扉６９を開けて取り出し、新たな回収ボックスＧを待機位置Ｇｓへ配置する。このような実施例に係る回収工程では、回転テーブル６８を回転させる工程を除いてセパレータ回収部１５の動作を停止させる必要がない。すなわち、収納量が規定値を超えた回収ボックスを交換する場合であってもセパレータ回収部１５の動作を続行できるので、セパレータ回収部１５の稼働効率を向上できる。

＜実施例の構成による効果＞
実施例では先行する粘着テープの一部を、当該粘着テープの繰り出し方向に対して略垂直な方向に突出させて掴み代を形成させ、当該掴み代より後端側の部分を切断する。そして掴み代を保持した状態で、先行テープの後部において粘着テープとセパレータとを離反する方向に移動させて両者を剥離する。最後に、後行テープの前部を、剥離された先行の粘着テープおよびセパレータの間に移動させ、先行の粘着テープおよびセパレータで後行テープの前部を挟み込んで接合する。

異なるテープ同士を自動で接合させる従来方法としては次のようなものが挙げられる。すなわち図３０（ａ）に示すように、まず吸着部材Ｊで先行の粘着テープＴａを吸着させる。そして、図３０（ｂ）に示すように先行のセパレータＳａと吸着部材Ｊとを離反移動させることによってセパレータＳａと粘着テープＴａとを剥離させる。最後に、剥離された粘着テープＴａの後部とセパレータＳａの後部で、後行テープＴＳｂの前部を挟み込んで接合する。

しかしながら、このような従来の自動接合方法では粘着テープＴａの粘着力が強く、粘着テープＴａとセパレータＳａとの接着力が吸着部材Ｊの吸着力を上回る場合がある。この場合、図３０（ｃ）に示すように、吸着部材Ｊを離反移動させても粘着テープＴａの後部とセパレータＳａの後部とを剥離できないので、先行テープＴＳａと後行テープＴＳｂとの接合が困難となる。

このような従来の方法に対し、実施例では図３０（ｄ）に示すように、保持部材Ｎが掴み代Ｈを保持しつつ離反移動させる。掴み代Ｈは粘着テープＴａの一部であるので、保持部材Ｎを離反移動させても掴み代Ｈが粘着テープＴａから断裂されることを回避できる。

また、掴み代Ｈの形状は、方向Ｌに繰り出されている粘着テープＴにおける長さＰａの領域において、方向Ｒへ長さＰｂだけ突出した形状となる。長さＰａについては粘着テープＴの厚み程度の短い長さとなる。そのため、保持部材Ｎが掴み代Ｈを保持して方向Ｒへ離反移動させることにより、繰り出し方向Ｌにおける比較的狭い範囲Ｐａに対して強い牽引力を作用させることができる。その結果、粘着テープＴａとセパレータＳａの境界面において、単位面積あたりに作用する力の大きさを飛躍的に高めることができる。従って、先行テープＴＳａの後端Ｂａにおいて確実に粘着テープＴａとセパレータＳａとを剥離できる。

一方、方向Ｒにおける長さＰｂについては、粘着テープＴを押し出す突起部３３ｂの形状に応じて任意の長さとすることができる。すなわち、長さＰｂを十分に長く設定できるので、保持部材Ｎは掴み代Ｈを確実かつ強固に保持できる。その結果、図３０（ｃ）に示すような、先行テープの後端Ｂａにおける剥離エラーの発生をより確実に回避できる。

さらに、掴み代Ｈは方向Ｒへ十分な長さで突出した形状であるので、保持部材Ｎとして多様な構成を適用できる。その一例として、マニピュレーターなどの構成を適用できる。そのため、保持部材Ｎは掴み代Ｈをより安定に保持できるとともに、掴み代Ｈを保持しつつ、複雑かつ精密な操作を粘着テープＴに実行できる。

また所定の位置Ｔｆにおいて粘着テープＴの一部を方向Ｒへ押し出し、押し出された粘着テープＴの一部を繰り出し方向Ｌにおいて互いに逆方向から圧着させるという単純な操作によって、当該所定の位置に掴み代Ｈを形成できる。従って、掴み代の形成位置Ｔｆの位置精度を向上できる。

また、実施例では不要な粘着テープやセパレータを回収する場合、長尺の粘着テープ等を所定の長さで枚葉に切断する。そして切断された枚葉の粘着テープ等を、広がった平坦な状態で積層させて収納する。

図３３に示すような従来の回収方法では、テープ回収部において、長尺の不要テープ等を軸に巻き取って回収する。このような従来の構成では、巻き取り回収される不要テープの量が一定量を上回った場合、まず装置の運転を停止させてから不要テープを切断し、ロール状に巻き取り回収された不要テープを軸ごと取り出して新しい軸に交換する。そして上流の不要テープを新しい軸に巻き付けて接続させた後、運転を再開する。

従来の構成ではこれら一連の煩雑な操作を手動で行う必要があるので、オペレータの負担が増大する。また装置の運転を長時間停止させる必要があるので作業効率の向上が困難となる。また、巻き取り回収する構成では大型の巻き取り軸を設置する必要があるので、粘着テープ貼付け装置が大型化するという問題も懸念される。

巻き取り軸を用いることなく、長尺の不要テープ等を回収する構成として、長尺のテープを枚葉に切断して枚葉状のテープを回収ボックスに投下させて収納する方法が考えられる。しかしながらこのような比較例の構成では、回収頻度が上昇するので作業効率が低下するという問題が懸念される。

このような問題について検討を重ねた結果、枚葉状に切断されたテープの変形が原因であることが判明した。すなわち、長尺のテープは多数のガイドローラなどに巻回案内されるので、当該長尺テープを枚葉に切断されると枚葉状のテープ片は湾曲した形状に変形しやすい。そのため、図３１（ａ）に示すように、枚葉状の不要テープＴｎを回収ボックスＦに投下して回収させると、回収ボックスＦの内部において不要テープＴｎはカール状など様々な形状に変形するので、複数枚の不要テープＴｎが乱雑な状態で収納される。

この場合、回収ボックスＦに収納される不要テープＴｎが積み上がる高さＨｎは、比較的早く上昇する。すなわち、不要テープＴｎの収納量に対して、不要テープＴｎが占める体積が大きいので回収ボックスＦの交換頻度が上昇し、結果として装置の稼働効率が低下する。また、各々の不要テープＴｎの形状は一定でないので、積み上がる高さＨｎが上昇する速さは不定となる。そのため、回収ボックスＦを取り出して交換するタイミングの予測が困難となるので、計画的な作業を実行することが非常に困難となる。

一方、本願発明では図３１（ｂ）に示すように、長尺の不要テープＴｎを平坦に広げた状態で枚葉に切断した後、当該平坦な状態を維持しつつ枚葉状の不要テープＴｎを積層させて回収ボックスに収納する。このような本願発明に係る構成では不要テープＴｎは整然かつ無駄なく積層されるので、不要テープＴｎの収納量に対して不要テープＴｎが占める体積は最小限に抑えられる。回収ボックスＦの交換頻度を低下させることができるので、装置の稼働効率を大きく向上できる。また、不要テープＴｎが積み上がる高さＨｎの上昇速度は一定となるので、計画的な作業を実行することが容易となる。

本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。

（１）実施例において、掴み代が形成された粘着テープＴを把持して好適に粘着テープＴとセパレータＳとを後端部において剥離し、テープＴＳの末端同士を接合させる工程を例にとって説明した。しかし、掴み代が形成された粘着テープＴを利用する方法は、粘着テープ接合方法に限られない。すなわち、繰り出されている長尺の粘着テープを所定の位置へ搬送する方法を例とする、多様な粘着テープのハンドリング方法に対して粘着テープＴに掴み代Ｈを形成させる工程を適用できる。ここで「搬送」とは、粘着テープ全体を搬送する動作に限らず、掴み代を含む粘着テープの一部を所定の位置へ移動させる動作も含むものとする。

掴み代を介して粘着テープを所定位置へ搬送する過程は、以下の通りである。まず、繰り出し方向Ｌに繰り出されている粘着テープの一部Ｔｐを、方向Ｌに対して略垂直な方向Ｒへ突出させる（図１２参照）。次に、方向Ｒに突出した粘着テープの一部Ｔｐを、方向Ｌおよび方向Ｌと逆の方向から圧着ローラ５３によって圧着させる（図１３および図１４を参照）。当該圧着の結果、粘着テープＴの一部が方向Ｒに突出した形状を有する、掴み代Ｈが形成される（図１５を参照）。そして掴み代Ｈを把持することにより（図１８（ｃ）を参照）、粘着テープＴを所定の位置へ搬送する（図２０を参照）。

掴み代Ｈは、図１５および図３０（ｃ）に示すように、所定の掴み代形成位置Ｔｆにおいて、粘着テープＴの繰り出し方向と略垂直な方向Ｒに突出した形状を備える。方向Ｒへの突出長さＰｂは任意かつ十分な長さに予め設定できるので、掴み代Ｈを容易かつ強固に保持できる。さらに、方向Ｌへ延びる長尺の粘着テープＴにおいて、方向Ｒに突出している掴み代Ｈはハンドリング対象領域の目標として容易かつ確実に確認できる。従って、長尺の粘着テープＴにおいて実際にハンドリング行う位置が予定の位置からずれることを確実に回避できる。

一方、繰り出し方向Ｌにおける掴み代Ｈの長さＰａは、粘着テープＴの厚み程度に短い。また、押出部材３３の位置を適宜設定することにより、掴み代形成位置Ｔｆの位置精度をより向上できる。そのため、掴み代Ｈを保持して粘着テープＴに各種ハンドリングを行うことにより、幅広の部材を当接させて粘着テープＴを吸着させる構成や方向Ｌに延びる長尺の粘着テープＴを直接ピッキングする構成などと比べて、長尺の粘着テープＴにおいてハンドリング操作を及ぼす領域を精密に設定できる。

特に本実施例に係る掴み代を形成させる構成は、片面に粘着層を有する片面テープに対して各種ハンドリングを行う場合において特に有利な効果を奏する。すなわち、図１２に示すように、押圧部材３３などを用いることにより、繰り出し方向Ｌへ繰り出される長尺状の粘着テープＴの非粘着面側（図１２では上側）を方向Ｒへ突出させる。そして圧着ローラ５３により、突出した粘着テープの一部Ｔｐを、非粘着面側から挟んで圧着させて掴み代Ｈを形成させる。

このとき、圧着ローラ５３は粘着テープＴの非粘着面に圧接するので、圧着ローラ５３に非粘着処理を行うことなく、圧着ローラ５３が粘着テープＴに粘着することを回避できる。また圧着ローラ５３は、繰り出し方向Ｌと、当該方向Ｌと逆方向から圧着するので掴み代Ｈは好適に方向Ｌと略垂直な方向Ｒへ突出した形状となる。

そして掴み代Ｈを形成させた後、把持ユニット４５などを用いて掴み代Ｈを把持することにより、粘着テープＴに対して搬送、切断、および剥離などの各種ハンドリングを実行する（図１９および図２０）。掴み代Ｈは粘着テープＴの非粘着面が外側となるように方向Ｒへ突出しているので、把持ユニット４５はいずれも粘着テープの非粘着面を把持する。そのため、非粘着処理を行うことなく、把持ユニット４５が粘着テープＴに粘着することを回避できる。

さらに、掴み代Ｈを形成させて当該掴み代Ｈを把持することにより、把持ユニット４５を、粘着テープＴの一方の面にのみ設ける構成とすることができる。一般的に粘着テープを搬送等のために把持する場合、粘着テープの表面側および裏面側の両方に把持機構を設けて粘着テープを表面と裏面から挟持する必要がある。その結果、占有部分の広さなどの観点から、把持機構の構成や目的に制限がかかる。

一方、本発明では掴み代が突出している方の面のみに把持ユニットを設けることができるので、把持ユニット４５が占める部分をより小さくできるとともに、把持ユニット４５の構成を単純化できる。また、粘着テープＴの一方の面から当該粘着テープを強固に保持し、粘着テープＴに対して所定の一方向へ強い力を作用させることができる。

従って、ウエハに貼り付けられた粘着テープを剥離する工程や長尺のテープが繰り出されているラインの形状を変更させる工程などに本願構成を好適に適用できる。この場合、掴み代を形成させたテープに対して当該テープの片面から把持ユニットを近づけて当該掴み代を把持し、テープのうち少なくとも掴み代を含む部分を任意の位置へ移動させることによって、上記各工程を好適に遂行できる。

（２）実施例および各変形例において、粘着テープ貼付け装置を用いて本発明に係るテープ接合装置およびテープ回収装置を説明したが、本発明に係るテープ接合装置およびテープ回収装置は、テープ貼付け装置の他にも多様なテープ処理装置に適用できる。テープ処理装置の例としては、ウエハに貼り付けられている各種テープを剥離するテープ剥離装置、またはウエハをリングフレームにマウントするために用いるマウント装置（マウンター）などが挙げられる。

（３）実施例および各変形例において、掴み代Ｈを形成させる工程において、粘着テープＴを突起部３３ｂで押し出すことによって粘着テープＴの一部を方向Ｒに突出させたが、掴み代Ｈを形成させる構成はこれに限られない。すなわち、粘着テープＴの一部を外部へ引き出すことによって、粘着テープＴの一部を方向Ｒへ突出させてもよい。引き出す構成の例としては、マジックハンド状の部品で粘着テープＴの一部を把持して引き出す構成や、真空装置などを用いて粘着テープＴの一部を吸着して引き出す構成が挙げられる。

（４）実施例および各変形例において、テープ供給部１７に配設される原反ロール２８は２つに限ることはなく、３つ以上配設してもよい。またテープ回収部１３の回収ボックスＦおよびセパレータ供給部１５の回収ボックスＧについても３つ以上配設する構成であってもよい。

（５）実施例および各変形例において、掴み代Ｈは剥離後の粘着テープＴを突出させたが、掴み代Ｈを形成させる場所はテープＴＳの粘着テープＴ側に限られない。すなわち剥離後のセパレータＳを突出させ、セパレータＳの側に掴み代Ｈを形成させてもよい。

セパレータＳの側に掴み代Ｈを形成させる構成としては、方向Ｒに突出させたセパレータＳを逆方向から圧接し、熱や超音波を加えて突出したセパレータＳ同士を接合させる方法が挙げられる（図１２（ｂ）を参照）。その他の方法としては、方向Ｒに突出させたセパレータＳ同士を、ホッチキスの要領でホッチキス針を例とする接合材を打ち込んで接合させる方法が挙げられる。また、テープＴＳにおいて、粘着テープＴの側とセパレータＳの側の両方で掴み代Ｈをそれぞれ形成させてもよい。

（６）実施例および各変形例では、テープ回収工程に係るステップＳ５−２ないしステップＳ５−４の各工程において、不要テープＴｎを押圧板５３ｂの扁平面の全体で吸着する。しかし、不要テープＴｎを平坦に広がった状態で保持できるならばこのような構成に限られない。その他の例としては、押圧板５３ｂの扁平面の四隅に吸着孔を配設し、当該四隅で不要テープＴｎを吸着保持する構成が挙げられる。また、吸着保持する構成に限ることはなく、機械的な構成を用いて不要テープＴｎをクランプすることで、不要テープＴｎを平坦な状態で保持する構成などを適用してもよい。

（７）実施例および各変形例において、ステップＳ７−９に係る先行テープＴＳａと後行テープＴＳｂを接合させる工程は、図２２（ｂ）に示すような、テープ保持部材２７の位置を固定した状態で後行テープＴＳｂの先端Ｆｗを繰り出させる構成に限られない。すなわち、後行テープＴＳｂの先端Ｆｗをテープ保持部材２７が保持した状態を維持しつつ、後行テープＴＳｂを繰り出してもよい。

（８）実施例および各変形例において、新たな原反ロール２８におけるテープＴＳの先端は、図２２（ａ）に示すように、２つのテープ保持部材２７によって挟持される構成であったがこれに限られない。すなわち図３２（ａ）に示すように、予めテープＴＳの先端の一部がセパレータＳと粘着テープＴに剥離され、剥離された粘着テープＴが一方のテープ保持部材２７に巻回され、剥離されたセパレータＳが他方のテープ保持部材２７に巻回される構成であることがより好ましい。

このような変形例において先行テープＴＳａの後部と後行テープＴＳｂの前部とを接合させる場合、図３２（ｂ）に示すように、後行テープＴＳｂの先端Ｆｗを挟持しているテープ保持部材２７が先端Ｆｗとともに繰り出し方向へ移動する。そして先行の粘着テープＴａの後部と後行の粘着テープＴｂの前部とが接合され、かつ先行のセパレータＳａの後部と後行のセパレータＳｂの前部とが接合される。

このような変形例に係る接合工程では先行テープＴＳａと後行テープＴＳｂとが接触する面積をより広くできるので、両テープを強固に接合できる。さらに後行テープＴＳｂにおける粘着面が外側に露出するので、後行テープＴＳｂの先端を先行テープＴＳａで挟み込むことにより、露出した後行テープＴＳｂの粘着面は先行テープＴＳａの粘着面と好適に接触する。その結果、両テープが接合する力をより高めることができる。

（９）実施例および各変形例において、ステップＳ７−９に係る先行テープＴＳａと後行テープＴＳｂとを接合させる工程は、図２３（ａ）に示すような、粘着材ｇを用いて両側から押圧接合させる方法に限られない。他の方法の例としては、保持ユニット４３またはその他の構成にヒータを配設することにより、両者を加熱して接合させる構成や、超音波発生装置を用いて両者を超音波接合させる構成などが挙げられる。

１ … 粘着テープ貼付け装置
３ … テープ接合装置
５ … 保持テーブル
７ … テープ貼付けユニット
９ … テープ切断ユニット
１１ … テープ分離ユニット
１３ … テープ回収部
１５ … セパレータ回収部
１７ … テープ供給部
１９ … 掴み代形成ユニット
２１ … テープ接合ユニット
３１ … 剥離ユニット
３３ … 押出部材
３５ … 圧着ローラ
４１ … カッタユニット
４３ … 保持ユニット
４５ … 把持ユニット
５１ … テープ保持部材
５３ … テープ押圧部材
５５ … カッタユニット
５７ … テープ回収ユニット
Ｔ … 粘着テープ
ＴＳａ… 先行テープ
ＴＳｂ… 後行テープ
Ｓ … セパレータ
Ｆ … 回収ボックス
Ｇ … 回収ボックス
Ｈ … 掴み代

Claims (5)

1. 長尺状に繰り出されるテープを半導体ウエハに貼りつける貼付け過程と、
   前記テープを前記半導体ウエハの形状に沿って切り抜く切り抜き過程と、
   長尺状に繰り出され、前記ウエハの形状に沿って切り抜かれた後の不要となった部分の前記テープの先端から所定の長さの領域を、テープ保持機構によって平坦な状態で保持する保持過程と、
   平坦な状態で保持されている前記テープを枚葉に切断する切断過程と、
   枚葉に切断された前記テープが平坦となっている状態を維持しつつ、前記テープ保持機構を前記テープとともにテープ回収ボックスの上方から前記テープ回収ボックスの底部近傍へと移動させる不要テープ搬送過程と、
   前記テープ保持機構が前記テープ回収ボックスの底部近傍へと移動した状態で、前記テープ保持機構による前記テープの保持を解除することによって、枚葉に切断された前記テープを平坦な状態で前記テープ回収ボックスに積層収納させる不要テープ回収過程と、
   を備えていることを特徴とするテープ回収方法。
2. 請求項１に記載のテープ回収方法において、
   前記テープ保持機構は前記テープを吸着することによって前記テープを平坦な状態で保持する
   ことを特徴とするテープ回収方法。
3. 長尺状に繰り出されるテープを半導体ウエハに貼りつける貼付け機構と、
   前記テープを前記半導体ウエハの形状に沿って切り抜く切り抜き機構と、
   長尺状に繰り出され、前記ウエハの形状に沿って切り抜かれた後の不要となった部分の前記テープの先端から所定の長さの領域を、平坦な状態で保持するテープ保持機構と、
   平坦な状態で保持されている前記テープを枚葉に切断するテープ切断機構と、
   前記枚葉に切断された前記テープを収納するテープ回収ボックスと、
   前記枚葉に切断された前記テープを、平坦な状態を維持させつつ、前記テープ保持機構を前記テープとともに前記テープ回収ボックスの上方から前記テープ回収ボックスの底部近傍へと移動させる不要テープ搬送機構と、
   前記テープ保持機構が前記テープ回収ボックスの底部近傍へと移動した状態で、前記テープ保持機構による前記テープの保持を解除することによって、枚葉に切断された前記テープを平坦な状態で前記テープ回収ボックスに積層収納させる不要テープ回収機構と、
   を備えることを特徴とするテープ回収装置。
4. 請求項３に記載のテープ回収装置において、
   前記テープ回収ボックスは複数設けられ、
   前記不要テープ搬送機構が枚葉に切断された前記テープを移動させる対象となる前記テープ回収ボックスを別の前記テープ回収ボックスに切り替える切り替え機構を備える
   ことを特徴とするテープ回収装置。
5. 請求項３または請求項４に記載のテープ回収装置において、
   前記テープ保持機構は、
   前記テープに当接する扁平面と、
   当該扁平面を介して前記テープを吸着保持する吸着孔とを備える
   ことを特徴とするテープ回収装置。

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