JP6817911B2 - ウエハボート支持部、熱処理装置及び熱処理装置のクリーニング方法 - Google Patents
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Description
〔熱処理装置と、ウエハボート支持部及びウエハボートを含む要部の一例の構成〕
第1実施形態に係る熱処理装置について、図1〜図4を参照して説明する。図1は本実施形態に係る熱処理装置の一例を示した概略図である。図2は本実施形態に係る熱処理装置の一例を示した要部断面図であり、図1における蓋体、回転テーブル、保温筒、ウエハボート支持部及びウエハボートまでの構成に対応する。図3は本実施形態に係る熱処理装置の一例を示した要部断面図であり、蓋体、回転テーブル、保温筒及びボートウエハ支持部までの構成に対応する。図4(A)は本実施形態に係る熱処理装置のウエハボート支持部の一例を示した斜視図であり、図4(B)は断面図である。
続いて、熱処理装置にて実施される成膜処理について説明する。先ず、多数枚のウエハWをウエハボート28に棚状に載置し、処理容器4内にその下方より搬入(ロード)して、蓋体14で基板搬入出口15を閉じ、処理容器4を密閉する。そして処理容器4内が排気機構19によって所定の圧力の真空雰囲気となるように真空引きされると共に、ヒーター10により処理容器4内が所定の温度に加熱される。
図4(A)は、本実施形態に係る熱処理装置のウエハボート支持部の一例を示した斜視図であり、図4(B)は断面図である。ウエハボート支持部270を構成する支点27は、図2に示されるウエハボート28の底面を接触支持する平坦なウエハボート支持面27bを有する。このウエハボート支持面27b上にウエハボート28が戴置される。図2に示されるように、例えば、ウエハボート28の底面は、中央に円形の開口28aを有する円環形状を有し、支点27は、ウエハボート支持面27bの内側にウエハボート28の底面の開口28aと係止する係止構造部27aを有する。図4(A)に示されるように、係止構造部27aのウエハボート支持面27b側の側面は、ウエハボート28の底面の円形の開口28aの形状に合わせた曲面となっている。係止構造部27aとウエハボート28の下端面に形成された開口28aとが係合して、ウエハボート28がウエハボート支持部270(支点27)の上に支持される。
図5は、本実施形態に係る熱処理装置のウエハボート支持部の他の一例を示した斜視図である。図4(A)及び(B)に示される支点27と同様に、支点27は、ウエハボート支持面27b、係止構造部27a、吸引開口部27d、傾斜部27c、溝27fが設けられている。ここで、図5に示される支点27では、吸引開口部27dは、ウエハボート支持面27bの側方において横向きに開口している。具体的には、例えば、吸引開口部27dは、係止構造部27aの側面において横向きに開口しており、傾斜部27cまで延びるように形成されていてもよい。この点を除いて、図4(A)及び(B)の支点27と同様である。吸引開口部27dは図4(A)及び(B)の支点27と同様に排気系に接続されており、排気系で排気を行うと、吸引開口部27dによりウエハボート支持面27bに対して横方向から吸気して、吸引開口部27dの近傍に存在するパーティクルを除去することができる。
〔ウエハボート支持部及びウエハボートを含む要部の一例の構成〕
第2実施形態に係る熱処理装置について、図11〜図13を参照して説明する。図11は本実施形態に係る熱処理装置の一例を示した要部断面図であり、蓋体からウエハボートまでの構成に対応する。図12は本実施形態に係る熱処理装置の一例を示した要部断面図であり、図11中のウエハボート支持部270及びウエハボート28の部分に相当する。図13は本実施形態に係る熱処理装置の一例を示した要部断面図であり、図11中のウエハボート支持部の軸脚部20bと蓋体14の部分に相当する。
〔ウエハボート支持部及びウエハボートを含む要部の一例の構成〕
第3実施形態に係る熱処理装置について、図14及び図15を参照して説明する。図14は本実施形態に係る熱処理装置の一例を示した要部断面図であり、蓋体からウエハボートまでの構成に対応する。図15(A)は、図14に示される熱処理装置の一例を示した要部斜視図であり、図15(B)〜(C)はウエハボート支持部の一例を示した斜視図である。図14及び図15に示される構成を除いては、図1に示される第1実施形態の熱処理装置と実質的に同様の構成である。
本実施形態の熱処理装置の一例のウエハボート支持部及びウエハボートの構成について、図16を参照して説明する。図16は本実施形態に係る熱処理装置の一例を示した要部断面図である。本実施形態の熱処理装置において、処理容器の開閉をするための蓋体14に搭載された回転テーブル24がウエハボート支持部として機能する。ウエハボート支持部に相当する回転テーブル24が、保温筒26と一体に形成されたウエハボート28を保温筒26の下方から支持する。上記を除いては、第1実施形態と同様である。
本実施形態は、上記の各実施形態に係る熱処理装置であってクイックコネクタを用いた構成の熱処理装置とそのクリーニング方法を実施する工程の一例に関する実施形態である。
〔熱処理装置のクリーニング方法〕
本実施形態の熱処理装置のクリーニング方法は、上記の各実施形態の熱処理装置のクリーニング方法であり、ウエハボート支持部270を有する熱処理装置において、排気系において排気することにより、吸引開口部27dから吸気してパーティクルを吸引する。これにより、熱処理装置のクリーニングを行う。
(1)常時吸引してクリーニングする。
(2)排気系に設けられたバルブでコントロールして、バルブを開けたときに、吸引してクリーニングする。
(3)常時排気ではなく、ウエハボートを載せ換える工程に合わせて、パーティクル数が増加しやすいときに吸引してクリーニングする。
(4)熱処理装置のメンテナンス中のみクリーニングする。
10 ヒーター
12 天井板
13 マニホールド
14 蓋体(キャップ)
14a 流路
14c 貫通孔
14p Oリング
15 基板搬入出口
15a バルブ
15b 真空ポンプ
16 排気口
17 排気カバー部材
17j ガス出口
18 磁性流体シール
19 排気機構
20、20b 軸脚部
20c 回転軸
21 接続部材
24 回転テーブル
24a 流路
24b 凹部
24c 吸引開口部
26 保温筒
26a 支柱
26b 遮熱板
26c 流路
27 支点
27a 係止構造部
27b ウエハボート支持面
27c 傾斜部
27d 吸引開口部
27e 流路
27f 溝
27g 傾斜部
27h,27i パーティクル受け部
27j 段差
28 ウエハボート
28a 開口
30 ボートエレベータ
32 底板
41 ガス供給路
42 ガスノズル
43 ガス供給口
44A,44B,44C,44D 分岐路
45A,45B,45C,45D 供給源
46 ガス供給路
47A,47B 分岐路
48A,48B 供給源
53 凹部
54 プレート
55 固定筒
56 ベアリング
57 シール部材
58 カップ体
59 開口部
60a バルブ
60b 真空ポンプ
61 配管
62 ベアリング
63 シール部材
65 モータ
66 ベルト
100 制御部
270 ウエハボート支持部
Claims (19)
- 鉛直方向に間隔を空けて複数枚のウエハを配列支持可能なウエハボートを下方から支持するウエハボートの支持部であって、
前記ウエハボートの底面を接触支持する複数個の支点を有し、
各支点は、
ウエハボート支持面と、
前記ウエハボート支持面の周辺に設けられ、排気系に接続されて吸気によりパーティクルを吸引する吸引開口部とを有する
ウエハボート支持部。 - 前記吸引開口部は、前記ウエハボート支持面よりも前記支点の中央側に上向きに設けられている請求項1に記載のウエハボート支持部。
- 前記吸引開口部は、前記ウエハボート支持面の側方において横向きに開口している請求項1に記載のウエハボート支持部。
- 前記ウエハボートの底面が前記吸引開口部を塞がないように前記吸引開口部の縁部に傾斜部が設けられている請求項2または3に記載のウエハボート支持部。
- 前記ウエハボート支持面から前記吸引開口部にわたって表面に溝が形成されている請求項2〜4のいずれか1項に記載のウエハボート支持部。
- 前記吸引開口部は、前記ウエハボート支持面よりも前記支点の外周側の前記ウエハボート支持面の一側部に開口している請求項1に記載のウエハボート支持部。
- 前記吸引開口部は、前記ウエハボート支持面よりも前記支点の外周側の前記ウエハボート支持面の両側部に開口している請求項1に記載のウエハボート支持部。
- 前記吸引開口部は、前記ウエハボート支持面の外周に開口している請求項1に記載のウエハボート支持部。
- 前記吸引開口部の縁部に、下方ほど開口領域が小さくなる傾斜部が形成されている請求項2に記載のウエハボート支持部。
- 前記吸引開口部は、前記支点の側面に開口している請求項1に記載のウエハボート支持部。
- 前記吸引開口部の周辺にパーティクル受け部が形成されている請求項10に記載のウエハボート支持部。
- 前記パーティクル受け部は、平板状である請求項11に記載のウエハボート支持部。
- 前記パーティクル受け部は、下方ほど開口領域が小さくなる逆テーパー状の内壁面を有する形状である請求項11に記載のウエハボート支持部。
- 前記ウエハボート支持部は、熱処理装置用処理容器の開閉をするための蓋体に設けられた回転軸の上端に接続して設けられており、
前記吸引開口部は、前記回転軸の内部に形成された流路を通じて前記排気系に接続されている請求項1〜13のいずれか1項に記載のウエハボート支持部。 - 前記ウエハボート支持部は、前記ウエハボートを支持する機能を有する保温筒の上端に設けられており、
前記保温筒と前記ウエハボート支持部は熱処理装置用処理容器の開閉をするための蓋体に設けられており、
前記吸引開口部は、前記保温筒の内部に形成された流路を通じて前記排気系に接続されている請求項1〜13のいずれか1項に記載のウエハボート支持部。 - 熱処理装置用処理容器の開閉をするための蓋体に回転テーブルが搭載されており、前記回転テーブルの上に保温筒と一体に形成されたウエハボートが支持されており、
前記保温筒と一体に形成されたウエハボートと前記ウエハボート支持部に相当する前記回転テーブルとの接触面の周辺に、前記吸引開口部が設けられている請求項1〜13のいずれか1項に記載のウエハボート支持部。 - 前記ウエハボートの底面は、中央に円形の開口を有する円環形状を有し、
前記支点は、前記ウエハボート支持面の内側に前記開口と係止する係止構造部を有する請求項1〜15のいずれか1項に記載のウエハボート支持部。 - 処理容器と、
前記処理容器の開閉をするための蓋体と、
前記蓋体に搭載されたウエハボート支持部と、
鉛直方向に間隔を空けて複数枚のウエハを配列支持可能であり、前記ウエハボート支持部に下方から支持されたウエハボートを有しており、
前記ウエハボート支持部は、前記ウエハボートの底面を接触支持する複数個の支点を有し、
各支点は、
ウエハボート支持面と、
前記ウエハボート支持面の周辺に設けられ、排気系に接続されて吸気によりパーティクルを吸引する吸引開口部とを有する
熱処理装置。 - 処理容器と、前記処理容器の開閉をするための蓋体と、記蓋体に搭載されたウエハボート支持部と、鉛直方向に間隔を空けて複数枚のウエハを配列支持可能であり、前記ウエハボート支持部に下方から支持されたウエハボートを有しており、前記ウエハボート支持部は、前記ウエハボートの底面を接触支持する複数個の支点を有し、各支点は、ウエハボート支持面と、前記ウエハボート支持面の周辺に設けられ、排気系に接続されて吸気によりパーティクルを吸引する吸引開口部とを有する熱処理装置において、
前記排気系において排気することにより、前記吸引開口部から吸気してパーティクルを吸引する工程を有する熱処理装置のクリーニング方法。
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