JP6814640B2 - 測定装置 - Google Patents
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Description
以下、実験例に基づき詳述するが、これらは説明のために記述されるものであって、下記実験例に限定されるものではない。
図3に示すように、除振手段70を用いた場合は、除振をしなかった場合(比較例1)及び防振ゴムを用いた場合(比較例2)と比較して、5(Hz)以上の周波数帯域で加速度が低下していた。25(Hz)以上50(Hz)以下では、比較例2と比較して加速度は大幅に低下して約10分の1倍となっており、30(Hz)以上50(Hz)以下では10−6(m/s2)の値が測定された。また、0(Hz)以上5(Hz)未満では、比較例1及び比較例2と比較して加速度が大幅に上昇していた。このとき、顕微鏡61でワークWの上面を測定すると、図4に示すように、撮像画にリップル状のアーチファクトは発生していなかった。
除振をしなかった場合は、25(Hz)以上50(Hz)以下の周波数帯域で、加速度として約10−4(m/s2)が測定され、実施例と比較して大幅に上昇しており、高い周波数の振動が大きく発生していた。このとき、顕微鏡で実施例と同じ倍率でワークWの上面を測定すると、図5に示すように、位相シフト法の演算エラーによるリップル状のアーチファクトが大きく生じる撮像画が形成されていた。
測定機器と測定機器が設置される台との間に防振ゴムを用いた場合は、除振をしなかった場合と比較して、25Hz以上の周波数帯域で加速度が低下し、40(Hz)以上50(Hz)以下では大幅に低下して10−5(m/s2)の値が測定され約10分の1倍となっていた。また、13(Hz)以上20(Hz)以下では、除振をしなかった場合と比較して加速度が大幅に上昇していた。しかしながら、上述した通り、25(Hz)以上50(Hz)以下では、実施例と比較して加速度は大幅に上昇して約10倍となっており、高い周波数の振動が実施例よりも発生していた。このとき、顕微鏡で実施例と同じ倍率でワークWの上面を測定すると、位相シフト法の演算エラーによるリップル状のアーチファクトが生じる撮像画が形成されていた(図5参照)。
10 測定機器
11 基台
20 テーブル
30 移動手段
60 撮像手段
61 顕微鏡
70 除振手段
74 フレーム
75 吊り部
75a スプリング部(スプリング)
W ワーク
Claims (2)
- 測定するワークを載置するテーブルと、該テーブルに載置されたワークを上から測定する顕微鏡と、該テーブルをXYZ方向に移動させる移動手段と、該顕微鏡と該移動手段とを配設する基台とを備えた測定機器と、該測定機器の測定に影響のある振動の周波数帯域を抑える除振手段とを備える測定装置であって、
該除振手段は、該測定機器を覆う上壁プレートと該上壁プレートから鉛直方向に延在する支持柱とを含むフレームと、該測定機器の重心を中心として放射方向に4か所で該測定機器を該フレームの該上壁プレートから吊り下げる4つの吊り部と、を備え、
該吊り部は、スプリングを有し、
該基台と該支持柱との間に介在する緩衝材を有する測定装置。 - 該顕微鏡として、二光束干渉顕微鏡を用いた請求項1記載の測定装置。
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