JPH08128498A

JPH08128498A - アクティブ除振装置

Info

Publication number: JPH08128498A
Application number: JP26665094A
Authority: JP
Inventors: Masaki Kurihara; 雅樹栗原; Ikumori Ootake; 生司大竹; Tadashi Otaka; 正大高
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1994-10-31
Filing date: 1994-10-31
Publication date: 1996-05-21

Abstract

(57)【要約】【目的】本発明の目的は、電子顕微鏡装置のように、
機器本体の絶対加速度ではなく、その部材間の相対変位
を問題としている場合には、床振動に対して、アクティ
ブ除振装置に支持された定盤とこの定盤に搭載された機
器の加速度を検出し、このデータに基づいて上下方向に
加力できるように配置したアクチュエータを制御して、
機器の高さ方向の２点間の相対加速度を低減する高精度
でかつ安価なアクティブ除振装置を提供することにあ
る。【構成】ばね部材と振動減衰部材とからなるパッシブ
除振部材と、これに並列に設けた上下方向に加力できる
複数本のアクチュエータ３と、機器４６の振動を検出し
てアクチュエータ３を制御するコントローラ１２とから
構成される。【効果】本発明によれば、床振動に対して、機器の部
材間の相対変位を大幅に低減することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はアクティブ除振装置に係
り、特に、精密機器を床振動に対して振動的に絶縁し、
機器の部材間の相対変位あるいは相対加速度を低減する
のに好適なアクティブ除振装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】電子顕微鏡装置のような精密機器では、
一般に、機器が設置される床面の振動が原因で画像精度
あるいは性能が低下する恐れがあるため、除振装置で支
持された定盤上に設置される。除振装置としては、水平
方向および上下方向に剛性の低い弾性体のばね部材、例
えば、コイルばね、空気ばね、もしくは防振ゴムなど
と、減衰効果を有する粘性ダンパ等の振動減衰部材との
組み合わせが用いられることが多い。

【０００３】除振装置は、床面からの微振動を振動絶縁
することによって、定盤およびこれに搭載された機器の
応答の絶対加速度を低減（除振）する装置である。しか
しながら、パッシブ除振装置は必ず固有振動数を持ち、
しかもその固有振動数を下げるには限度がある。一般
に、パッシブ除振装置の固有振動数は、１〜３Ｈｚ程度
となり、１.５〜４Ｈｚ以下の床振動に対しては、パッ
シブ除振装置による振動絶縁効果は得られない。これが
パッシブ除振装置の問題点である。

【０００４】そこで、このような問題点を解決する方法
として、床振動の微振動に対して、定盤の振動を能動的
に抑制する方法が考えられ、この方法の従来技術として
は、例えば、特開平１−３０７５３７号公報、および特
開平２−２２８７１２号公報に記載されているように、
アクチュエータを用い、定盤上の絶対加速度等をフィー
ドバックして能動的に定盤の振動の絶対加速度を抑制す
るアクティブ除振装置がある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】アクティブ除振装置に
おける従来技術の原理によれば、床振動に対して機器を
搭載する定盤の振動を大幅に低減する効果が得られる
が、しかしながら、高精度な振動制御を行おうとする
と、定盤の水平方向、上下方向および回転方向の６自由
度の絶対加速度を抑制するためには、少なくとも８軸の
アクチュエータが必要であり、さらに、この多入力多出
力の制御を効果的に実行するために、振動を検出する検
出器、この検出器によるデータに基づいてアクチュエー
タを制御するために高速に演算することのできるＤＳＰ
（Digital Signal Processor）、検出器のアナログデー
タをディジタルデータに変換するＡ／Ｄ変換器、ＤＳＰ
のディジタル信号をアナログ信号に変換するＤ／Ａ変換
器等を用いたディジタル制御方式が採用されている。

【０００６】従って、アクティブ除振装置は非常に高価
な装置となってしまう問題点がある。さらに、従来のア
クティブ除振装置の問題点は、除振装置に搭載される精
密機器の振動特性を考慮していないために、高精度な除
振・制振性能が制約されてしまうことである。

【０００７】さて、電子顕微鏡装置のような精密機器で
は、機器本体の絶対加速度ではなく、電子銃あるいは対
物レンズと試料との間のように、機器のある部材間の相
対変位のみを高精度に低減できれば良い場合が多い。

【０００８】本発明の目的は、定盤とこの定盤に搭載さ
れた機器の振動データを検出することによって、機器の
ある部材間の相対振動量（相対変位あるいは相対加速
度）を高精度に低減する安価なアクティブ除振装置を提
供することである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のアクティブ除振装置は、機器を搭載する定
盤を、ばね部材からなるパッシブ除振部材と、前記定盤
を上下方向へ加力するアクチュエータとを並列に配置し
て支持し、前記アクチュエータを前記機器の振動に基づ
いて制御することにより、前記機器の部材間の相対変位
を低減することを特徴とするものである。

【００１０】具体的には、ばね部材と振動減衰部材とか
らなるパッシブ除振部材と、これに並列に設けられた上
下方向用のアクチュエータ部材とから構成されるアクテ
ィブ除振部材と、定盤と精密機器の加速度あるいは変位
を検出できる検出器を配置し、この検出データに基づい
てアクチュエータ部材を制御するコントローラからなる
アクティブ除振装置を設けることによって上記目的を達
成することができる。

【００１１】すなわち、パッシブ除振部材は精密機器を
支持すると共に、水平方向の絶対加速度の除振を行う。
アクチュエータ部材としては、積層型圧電素子とこれの
高さを調整する高さ調整部材を用いるほかに、床振動が
制御対象外の高振動数成分を含む場合には、これを除去
するための高振動数成分遮断部材をも用いる。このアク
チュエータ部材を、検出器のデータを用いて精密機器の
部材間の水平方向の相対加速度あるいは、相対変位、並
びに上下方向の絶対加速度を抑制するように、コントロ
ーラで制御することによって上記目的は達成される。

【００１２】

【作用】一般的に、パッシブ除振装置による電子顕微鏡
装置等の精密機器の支持は、その重心高さ、並びに重心
を通る鉛直面に対する対称位置では行われていないた
め、水平方向もしくは上下方向に加振されると、これら
の方向の振動と回転振動は連成することになる。また、
パッシブ除振装置による水平、および上下方向の固有振
動数は、機器本体の固有振動数より、十分に低く設定さ
れるため、床振動入力に対しても、その応答は、機器が
ほぼ剛体で、除振装置が変形する振動モードが主体的と
なり、並進モードと回転モードとが合わさった振動モー
ドとなる。このとき、機器の電子銃などの内部構造部材
と試料が載る試料台との間の相対変位は、除振装置の傾
斜による回転振動モードが起因する高さ方向に不等分布
の慣性力によって生じる機器構造体等の変形が支配的と
なる。

【００１３】そこで、本発明の上記構成によれば、特
に、定盤と機器の複数点の水平方向の振動状態を検出す
る加速度計の検出器と、上下方向用のアクチュエータ部
材が配置されている定盤上の各点の上下方向の振動状態
を検出する加速度計あるいは変位計の検出器とからの信
号を用いることにより、ディジタルコントローラで上下
方向用アクチュエータを制御し、上下方向の絶対加速
度、さらに、今問題としている機器の内部構造部材と試
料台との間の相対加速度あるいは相対変位を抑制するよ
うに、すなわち、機器の高さ方向の加速度分布が均一に
なるように、定盤の傾斜を抑制することができる。

【００１４】

【実施例】以下、本発明のいくつかの実施例を、図面を
参照して説明する。まず、本発明の一実施例を図１、図
２および図３により説明する。図１に示した実施例は、
電子顕微鏡装置４６に本発明のアクティブ除振装置を適
用した例である。この実施例では、床１上に設置された
架台２上に複数個のアクティブ除振部材３が設けられて
いる。

【００１５】図３に示されるように、このアクティブ除
振部材３は、水平方向および上下方向に除振効果のある
パッシブ除振部材３３と、これに並列に設けられた上下
方向用のアクチュエータ部材３４とから構成されてい
る。この複数個のアクティブ除振部材３は定盤４を支持
する。さらに、定盤４上に電子顕微鏡装置４６の本体が
搭載される。

【００１６】電子顕微鏡装置４６の電磁レンズホルダ９
内には、電子ビームを放射する電子銃１０と、電子ビー
ムを収束させる電磁レンズとが設けられており、電磁レ
ンズホルダ９内は、真空ポンプ５ｂにより真空にされ
る。また、チャンバー６内にある試料台８を、チャンバ
ー６の外部から任意の水平および上下方向に移動させる
ためのステージ７がチャンバー６に設けられており、チ
ャンバー６内は真空ポンプ５ａにより真空にされる。

【００１７】また、図１に示すように、アクティブ除振
部材３を制御するために、例えば、アクティブ除振部材
３に設置されている定盤４上の点の上下方向の加速度、
もしくは変位等、および制御対象の電子顕微鏡装置４６
本体の振動モード等の振動パラメータを把握するための
加速度等を検出する検出器１１を、必要に応じて複数個
設け、さらに、チャンバー６内の試料台８の加速度を検
出する検出器１１を設けている。

【００１８】これらの検出器１１からの信号は、Ａ／Ｄ
変換器１４を通してＤＳＰ（ディジタル・シグナル・プ
ロセッサー）部材１５に入力され、このＤＳＰ部材１５
には、アクティブ除振部材３のアクチュエータ部材３４
を制御する実行用プログラムが書き込まれており、ＤＳ
Ｐ部材で高速に計算された信号は、Ｄ／Ａ変換器１６、
増幅器１７を経て、アクチュエータ部材３４を制御す
る。なお、計算機１３はアクチュエータ部材３４の制御
開始、終了、ＤＳＰ部材１５に実行用プログラムを書き
込み、修正および制御状態の監視を行う際のモニタ等の
機能を持つ。

【００１９】また、図２に示した実施例は、パッシブ除
振装置１８を有する電子顕微鏡装置４６全体を、架台２
の下部から、本発明によるアクティブ除振部材３で支持
したものである。

【００２０】次に、図３により、本発明におけるアクテ
ィブ除振部材の実施例を説明する。アクティブ除振部材
３は、主にパッシブ除振部材３３と、これに並列に設け
られた上下方向用のアクチュエータ部材３４とから構成
される。本実施例では、防振ゴムや積層ゴムなどのゴム
部材２１が、スペーサ部材２０を介して下部板部材１９
上に取付けられている。

【００２１】さらに、アクチュエータ部材３４の基本構
成は、能動的伸縮部材としての積層型圧電素子２９、高
さ調整部材２３および高振動数成分遮断部材３１からな
る。積層型圧電素子２９は両端にブロック部材２８ａ、
２８ｂが取付けられ、ブロック部材２８ａは、下部板部
材１９に捩込まれた高さ調整部材２３上に、スラスト軸
受け部材２５を介して支持される。高さ調整部材２３の
上部に設けられた凸部材に挿入された心出し部材３５
は、高さ調整部材２３の水平方向に設けられた穴部に差
し込まれた押し部材３６により、ブロック部材２８ａの
溝部にはめ合わされる。

【００２２】また、スラスト軸受け部材２４は、多数の
ボールベアリング２６と、これらを収納しているケーシ
ング部材２５と、このケーシング部材２５に埋め込まれ
たリング状の磁石部材２７とから構成される。ケーシン
グ部材２５はリング状をしており、水平面に対して半割
れ構造となっている。ケーシング部材２５の断面は、ボ
ールベアリング２６がケーシング部材２５から外にでな
いように、凹形となっている。そして、この凹形部のつ
ば部とボールベアリング２６との間には適当な間隙を設
けて、架台２と定盤４との水平方向の相対変位を吸収で
きるようにしている。

【００２３】そのために、アクチュエータ部材３４の高
さ調整時において、ボールベアリング２６は、ケーシン
グ部材２５に埋め込まれたリング状の磁石部材２７によ
り、凹形部の中央に位置させることができ、また、心出
し部材３５によって、ボールベアリング２６から上部に
位置する積層型圧電素子２９等の水平方向の位置決めが
可能となる。

【００２４】アクチュエータ部材３４の高さ調整は、高
さ調整部材２３を回転させることによって行う。すなわ
ち、高さ調整部材２３を回転させると、下部板部材１９
に捩込まれた高さ調整部材２３が上下し、このとき、ス
ラスト軸受け部材２４により、ブロック部材２８ａに上
下変位のみを与えて、積層型圧電素子２９へのねじり荷
重の伝達を防止できる。

【００２５】高さ調整部材２３により押し上げられた積
層型圧電素子２９は、ブロック部材２８ｂ、高振動数成
分遮断部材３１ａ、さらに補強部材３２を介して定盤４
に適当な荷重になるまで押し付られる。高さ調整後には
ナット部材２２により固定する。さらに、押し部材３６
を高さ調整部材２３から外して、心出し部材３５を下げ
ることによって、ブロック部材２８ｂの水平移動に対す
る拘束を解除する。これにより、スラスト軸受け部材２
４のボールベアリング２６と、ケーシング部材２５との
間には間隙があるので、アクチュエータ部材３４は定盤
４の水平移動を拘束しなくなり、パッシブ除振部材３３
による水平方向の除振効果が得られる。

【００２６】なお、高振動数成分遮断部材３１ａは、床
振動のうち制御対象外の高振動数成分を除去するために
用いられている。また、ブロック部材２８ｂには積層型
圧電素子２９を保護するカバー部材３０が設けられてい
る。また、能動的伸縮部材として、本実施例では、積層
型圧電素子を用いているが、磁歪アクチュエータを用い
ることもできる。

【００２７】次に、図１および図３を用いて、本実施例
の作用を説明する。床振動により、アクティブ除振部材
３で支持される定盤４と電子顕微鏡装置４６本体とは、
水平、上下方向に加振されるが、一般に、電子顕微鏡装
置４６は重心で支持されていないため、定盤４には水平
面に対して傾斜する振動モードが加わる。その結果、例
えば、電磁レンズホルダ９内の電子銃１０と試料台８と
の間に、相対変位が生じようとする。

【００２８】このとき、アクチュエータ部材３４が配置
されている定盤４の各点の上下方向の加速度もしくは変
位、および制御対象の電子顕微鏡装置４６の水平方向の
加速度等を検出する検出器１１、並びに電子銃１０およ
び試料台８の水平方向の加速度等を検出する検出器１１
の出力信号が、Ａ／Ｄ変換器１４を通してＤＳＰ部材１
５に入力され、この信号、並びに電子銃１０と試料台８
との間の相対変位あるいは相対加速度とアクチュエータ
のパワーの２乗値等を評価関数として、この評価関数を
最小にするように決定したフィードバックゲインを用い
て、ＤＳＰ部材１５はアクチュエータ部材３４による制
御力に対応した電圧を瞬時に計算し、この計算された制
御電圧は、Ｄ／Ａ変換器１６およびを増幅器１７を通し
て、アクチュエータ部材３４を駆動する。

【００２９】このアクチュエータ部材３４による制御力
は、電子銃１０と試料台８との相対変位あるいは相対加
速度を低減するように、定盤４の傾斜を抑制する。な
お、スラスト軸受け部材２４に設けた間隙により、積層
型圧電素子２９は水平方向の荷重を受けないようにする
ことができる。

【００３０】なお、通常の除振機器系においては、水平
方向と、鉛直軸を含む回転方向の振動が連成するため、
フィードバックゲインを決定する際の評価関数として、
水平方向の絶対振動量を考慮することによって、上下方
向のアクチュエータだけで水平方向の絶対振動量を抑制
することは可能である。

【００３１】図４に、アクティブ除振部材の別の実施例
を示す。このアクティブ除振部材は図３のアクティブ除
振部材３において、中空なゴム部材２１を用いるととも
に、スペース部材２０を容器形状にして、その中に粘性
流体３７を満たし、ゴム部材２１の定盤４側部に棒部材
３８を取付け、この棒部材３８の先端が粘性流体３７に
浸されるようにする。そのため、床振動によって棒部材
３８と粘性流体３７間の相対変位が粘性抵抗力を発生さ
せ、この粘性抵抗力は減衰効果として作用し、パッシブ
な振動減衰部材を構成する。

【００３２】さらに、図５から図８に、それぞれ別の実
施例を示す。図５に示した実施例は、図４のアクティブ
除振部材３におけるパッシブな振動減衰部材として、ゴ
ム部材の上下方向の両端間に粘弾性部材３９を設けたも
のである。

【００３３】また、図６に示した実施例は、パッシブ除
振部材３３としてコイルばね部材４１と粘弾性部材３９
を用いたものである。コイルばね部材４１は高振動数成
分の除振効果が少ないため、ゴム等の弾性体を用いた高
振動成分遮断部材３１ｂと、この高振動成分遮断部材３
１ｂを保護するために金属製のリング部材４２とを設け
ている。

【００３４】図７に示した実施例は、コイルばね部材４
１、並びに粘性流体３７と棒部材３８を用いた振動減衰
部材からなるパッシブ除振部材３３を構成したものであ
る。

【００３５】また、図８に示した実施例は、コイルばね
部材４１と棒部材３８を、粘性流体３７を満たした容器
部材４３内に配置したものである。これにより、コイル
ばね部材４１および棒部材３８は、粘性流体３７ととも
に振動減衰部材を構成する。

【００３６】また、図９に、さらに別の実施例を示す。
図９に示した実施例は、パッシブ除振部材３３の中空の
ゴム部材２１の中央に、図３に示したアクチュエータ部
材３４を配置することによって、一体型のコンパクトな
アクティブ除振部材３としたものである。

【００３７】なお、高さ調整部材２３は、積層型圧電素
子２９を適当な荷重で定盤側に押し付けるための部材で
あり、この際、積層型圧電素子２９を荷重計として利用
することが可能である。

【００３８】

【発明の効果】上述のとおり本発明によれば、床振動入
力を振動絶縁する機器用のアクティブ除振装置におい
て、パッシブ除振部材と上下方向用アクチュエータ部材
とを並列に用いることによって、機器の部材間の相対変
位を大幅に低減させることができるとともに、低コスト
のアクティブ除振装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明のアクティブ除振装置を電子顕
微鏡装置に適用した一実施例の縦断面図である。

【図２】図２は、本発明のアクティブ除振装置を電子顕
微鏡装置に適用した別の実施例の横断面図である。

【図３】図３は、本発明のパッシブ除振部材とアクチュ
エータ部材からなる独立型のアクティブ除振部材の実施
例の縦断面図である。

【図４】図４は、本発明のパッシブ除振部材とアクチュ
エータ部材からなる独立型のアクティブ除振部材の別の
実施例の縦断面図である。

【図５】図５は、本発明のパッシブ除振部材とアクチュ
エータ部材からなる独立型のアクティブ除振部材の別の
実施例の縦断面図である。

【図６】図６は、本発明のパッシブ除振部材とアクチュ
エータ部材からなる独立型のアクティブ除振部材の別の
実施例の縦断面図である。

【図７】図７は、本発明のパッシブ除振部材とアクチュ
エータ部材からなる独立型のアクティブ除振部材の別の
実施例の縦断面図である。

【図８】図８は、本発明のパッシブ除振部材とアクチュ
エータ部材からなる独立型のアクティブ除振部材の別の
実施例の縦断面図である。

【図９】図９は、本発明のパッシブ除振部材とアクチュ
エータ部材からなる一体型のアクティブ除振部材の実施
例の縦断面図である。

【符号の説明】

１床２架台３アクティブ除振部材４定盤５、５ａ、５ｂ真空ポンプ６チャンバー７ステージ８試料台９電磁レンズホルダ１０電子銃１１検出器１２コントローラ１３計算機１４Ａ／Ｄ変換器１５ＤＳＰ（ディジタル・シグナル・プロセッサー）１６Ｄ／Ａ変換器１７増幅器１８パッシブ除振装置１９下部板部材２０スペーサ部材２１ゴム部材２２ナット部材２３高さ調整部材２４スラスト軸受け部材２５ケーシング部材２６ボールベアリング２７磁石部材２８、２８ａ、２８ｂブロック部材２９積層型圧電素子３０カバー部材３１、３１ａ、３１ｂ高振動数成分遮断部材３２補強部材３３パッシブ除振部材３４アクチュエータ部材３５心出し部材３６押し部材３７粘性流体３８棒部材３９粘弾性部材４０台座部材４１コイルばね部材４２リング部材４３容器部材４４上部板部材４６電子顕微鏡装置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】機器を搭載する定盤を、ばね部材からな
るパッシブ除振部材と、前記定盤を上下方向へ加力する
アクチュエータとを並列に配置して支持し、前記アクチ
ュエータを前記機器の振動に基づいて制御することによ
り、前記機器の部材間の相対変位を低減することを特徴
とするアクティブ除振装置。
【請求項２】床と、機器を搭載する定盤との間に設け
た、弾性体であるばね部材、あるいは前記ばね部材およ
び振動減衰部材から構成されるパッシブ除振部材と、前
記定盤を上下方向へ加力するアクチュエータ部材と、前
記アクチュエータ部材を制御するコントローラとからな
るアクティブ除振装置において、前記パッシブ除振部材
と、前記上下方向用アクチュエータ部材とを並列に配置
し、前記上下方向用アクチュエータ部材として、能動的
伸縮部材および高さ調整部材、並びに必要に応じて弾性
体の高振動数成分遮断部材を用いることを特徴とするア
クティブ除振装置。
【請求項３】床と、機器を搭載する定盤との間に設け
た、弾性体であるばね部材、あるいは前記ばね部材およ
び振動減衰部材から構成されるパッシブ除振部材と、前
記定盤を上下方向へ加力するアクチュエータ部材と、前
記アクチュエータ部材を制御するコントローラとからな
るアクティブ除振装置において、前記パッシブ除振部材
のばね部材は中空部を有し、前記中空部に前記上下方向
用アクチュエータ部材を並列に配置し、前記上下方向用
アクチュエータ部材として、能動的伸縮部材と高さ調整
部材、並びに必要に応じて弾性体の高振動数成分遮断部
材を用いることを特徴とするアクティブ除振装置。
【請求項４】請求項１、２または３に記載のアクティ
ブ除振装置において、前記アクチュエータ部材に用いる
能動的伸縮部材は、積層型圧電素子あるいは磁歪アクチ
ュエータであることを特徴とするアクティブ除振装置。
【請求項５】請求項１、２または３に記載のアクティ
ブ除振装置において、前記パッシブ除振部材のばね部材
として、ゴム部材を用いることを特徴とするアクティブ
除振装置。
【請求項６】請求項１、２または３に記載のアクティ
ブ除振装置において、前記パッシブ除振部材のばね部材
として、コイルばね部材を用い、前記コイルばね部材と
直列に必要に応じて弾性体の高振動数成分遮断部材を設
けることを特徴とするアクティブ除振装置。
【請求項７】請求項１、２または３に記載のアクティ
ブ除振装置において、前記アクチュエータ部材の高さ調
整部材のねじ部頭部に、スラスト軸受け部材を直列に設
け、前記スラスト軸受け部材は、ボールベアリングと、
前記ボールベアリングに接する上部および下部に配置し
た二つ割れのケーシング部材とから構成され、前記ケー
シング部材の上部および下部の部材は、断面凹型のリン
グ状で、凹型のつば部と前記ボールベアリングとの間に
適当な間隙を有することを特徴とするアクティブ除振装
置。
【請求項８】請求項１、２または３に記載のアクティ
ブ除振装置において、前記アクチュエータ部材の高さ調
整部材のねじ部頭部に、スラスト軸受け部材を直列に設
け、前記スラスト軸受け部材は、ボールベアリングと、
前記ボールベアリングに接する上部および下部に配置し
た二つ割れのケーシング部材とから構成され、前記ケー
シング部材の上部および下部の部材は、断面凹型のリン
グ状で、凹型のつば部と前記ボールベアリングとの間に
適当な間隙を有し、前記ボールベアリングが前記凹型の
凹部中央に位置するように、前記ケーシング部材に磁石
が埋め込まれていることを特徴とするアクティブ除振装
置。
【請求項９】請求項１、２または３に記載のアクティ
ブ除振装置において、前記パッシブ除振部材として中空
部を有するゴム部材を用い、前記ゴム部材の上部の機器
側と連結した棒部材を、前記中空部に貫通させ、前記ゴ
ム部材の下部に設けた容器部材内の粘性流体に挿入する
ことを特徴とするアクティブ除振装置。
【請求項１０】請求項１、２または３に記載のアクテ
ィブ除振装置において、前記パッシブ除振部材として中
空部を有するゴム部材を用い、前記中空部に前記ゴム部
材の上部と下部とで支持される粘弾性部材を設けること
を特徴とするアクティブ除振装置。
【請求項１１】請求項１、２または３に記載のアクテ
ィブ除振装置において、前記パッシブ除振部材のコイル
ばね部材の中央に設けられ、前記コイルばね部材の上部
の機器側で支持された棒部材を、前記コイルばね部材の
下部に設けた容器部材内の粘性流体に挿入することを特
徴とするアクティブ除振装置。
【請求項１２】請求項１、２または３に記載のアクテ
ィブ除振装置において、前記パッシブ除振部材のコイル
ばね部材を、前記コイルばね部材の下部に設けた容器部
材内の粘性流体に挿入することを特徴とするアクティブ
除振装置。
【請求項１３】請求項１、２または３に記載のアクテ
ィブ除振装置において、前記パッシブ除振部材のコイル
ばね部材を、前記コイルばね部材の中央の上部と下部と
で粘弾性体により支持することを特徴とするアクティブ
除振装置。
【請求項１４】請求項１、２または３に記載のアクテ
ィブ除振装置において、前記アクティブ部材の高さ調整
部材により、前記アクチュエータ部材に用いた積層型圧
電素子を適当な荷重で定盤側と床側との間に押し付ける
際、前記積層型圧電素子を荷重計として用いることを特
徴とするアクティブ除振装置。
【請求項１５】請求項１、２または３に記載のアクテ
ィブ除振装置において、前記パッシブ除振部材と前記ア
クチュエータ部材とにより、電子顕微鏡装置の本体を搭
載する定盤もしくは電子顕微鏡の最下部を、直接支持す
ることを特徴とするアクティブ除振装置。
【請求項１６】請求項１、２または３に記載のアクテ
ィブ除振装置を有することを特徴とする電子ビーム露光
装置。
【請求項１７】請求項１、２または３に記載のアクテ
ィブ除振装置を有することを特徴とする縮小投影露光装
置。