JP6466127B2

JP6466127B2 - 防振装置

Info

Publication number: JP6466127B2
Application number: JP2014207403A
Authority: JP
Inventors: 秀一郎茶圓
Original assignee: HERZ CO., LTD.
Current assignee: HERZ CO., LTD.
Priority date: 2014-10-08
Filing date: 2014-10-08
Publication date: 2019-02-06
Anticipated expiration: 2034-10-08
Also published as: JP2016075375A

Description

本発明は防振装置に関する。

特許文献１には、水平に固定配置された下板と、この下板に対して上方に所定間隔で水平に配置され且つ構造物等の被支持物を支持する上板と、これらの下板及び上板の間に水平に配置され中心に貫通孔を備えた中間板と、この中間板の貫通孔を通って上記下板と上板を互いに連結する一つの第一の粘弾性体と、上記下板と中間板との間にて鉛直方向に延びるように粘弾性体の周りに配置される少なくとも三つ以上の第一の圧縮コイルバネと、上記中間板と上板との間にて水平方向に関して第一の圧縮コイルバネと同じ位置にて鉛直方向に延びるように少なくとも三つ以上の第二の圧縮コイルバネと、を含んでおり、対応する第一及び第二の圧縮コイルバネが、それぞれ第一の粘弾性体の中心線の周りに点対称または等角度間隔に配置されている防振装置であって、上記下板と中間板との間で、水平方向に関して第一の圧縮コイルバネと干渉しない位置にて、下板と中間板とを互いに連結するように鉛直方向に延びる複数個の第二の粘弾性体が配置されていることを特徴とする、防振装置が記載されている。

特許文献２には、形板状の機器搭載用ベンチ、当該機器搭載用ベンチを下面の四隅で支持する制振器、上記機器搭載用ベンチの振動を測定する振動センサ、上記機器搭載用ベンチを動かすアクチュエータ、上記振動センサからの振動情報によりアクチュエータに対して制御出力を演算するコントローラから成るアクティブ型防振台において、上記各制振器としてコイルばねを鉛直方向に設け、当該コイルばねの近傍に上記アクチュエータ及び上記振動センサを夫々設けたことを特徴とする、アクティブ型防振台が記載されている。

特開２００８−２００１２号公報特開２００２−１９５３４３号公報

従来の技術においては、水平方向における防振性能が十分ではなかった。

本発明は、水平方向における防振性能を向上させることができる防振装置を提供することを目的とする。

請求項１に係る本発明は、
第１の円の円周上に配置された複数の第１の粘弾性体であって、上下方向と接地面に対して水平な方向とに伸縮する複数の前記第１の粘弾性体によって円周方向の運動を許容するように支持されている支持部と、
防振対象物が載置される載置部と、
前記支持部と前記載置部とを連結している連結機構と、
を有し、
前記連結機構は、前記第１の円の同心円である第２の円の円周上に配置されていて、前記支持部の円周方向の運動を打ち消すように、前記支持部に対する前記載置部の円周方向の運動を許容する複数の第２の粘弾性体を有する防振装置である。

請求項２に係る本発明は、
前記連結機構は、前記載置部を吊架する吊架部をさらに有し、
前記吊架部は、複数の前記第２の粘弾性体によって重力方向下方から支持されている
請求項１記載の防振装置である。

請求項３に係る本発明は、前記連結機構は、前記載置部を吊架する吊架部をさらに有し、前記吊架部は、複数の前記第２の粘弾性体によって吊架されている請求項１記載の防振装置である。

請求項４に係る本発明は、
複数の前記第２の粘弾性体は、
それぞれが前記載置部を吊り下げ、
一端部側が前記載置部にそれぞれに連結されていて、
前記一端部側から他端部側にそれぞれに延びる線分が一点で交差するように配置されている
請求項１記載の防振装置である。

請求項５に係る本発明は、
複数の前記第２の粘弾性体は、
それぞれが前記載置部を吊り下げ、
一端部側が前記載置部にそれぞれに連結されていて、
他端部側が一点で支持されるように配置されている
請求項１記載の防振装置である。
請求項６に係る本発明は、複数の前記第２の粘弾性体は、それぞれが、少なくとも前記載置部を吊下する板バネからなる請求項１記載の防振装置である。
請求項７に係る本発明は、
複数の前記第２の粘弾性をなす板バネは、それぞれが、
一端側が、前記載置部側に連結されていて、
他端部側が、前記支持部側の略垂直な面に装着されている請求項６記載の防振装置である。

本発明によれば、水平方向における防振性能を向上させることができる。

本発明の第１の実施形態に係る防振装置を示す斜視図である。図１に示す防振装置を示し、図２（ａ）は平面図であり、図２（ｂ）は側面図である。図１に示す防振装置の動作を説明する図であり、図３（ａ）は振動が加えられていない状態にある防振装置を示す図であり、図３（ｂ）は振動が加えられた状態にある防振装置を示す図である。本発明の第２の実施形態に係る防振装置を示す斜視図である。図４に示す防振装置を示し、図５（ａ）は図５（ｂ）におけるＡ−Ａ線断面を示す断面図であり、図５（ｂ）は側面図である。本発明の第３の実施形態に係る防振装置を示す斜視図である。図６に示す防振装置を示し、図７（ａ）は図７（ｂ）におけるＢ−Ｂ線断面を示す図であり、図７（ｂ）は側面図である。本発明の第４の実施形態に係る防振装置を示す斜視図である。図８に示す防振装置を示し、図９（ａ）は平面図であり、図９（ｂ）は側面図である。本発明の第５の実施形態に係る防振装置を示す斜視図である。図１０に示す防振装置を示し、図１１（ａ）は平面図であり、図１１（ｂ）は側面図である。本発明の第６の実施形態に係る防振装置を示す斜視図である。図１２に示す防振装置を示し、図１３（ａ）は図１３（ｂ）におけるＣ−Ｃ線断面を示す断面図であり、図１３（ｂ）は側面図である。図１２に示す防振装置の動作を説明する図であり、図１４（ａ）は振動が加えられていない状態にある防振装置を示す図であり、図１４（ｂ）は振動が加えられた状態にある防振装置を示す図である。本発明の第７の実施形態に係る防振装置を示し、図１５（ａ）は図１５（ｂ）におけるＤ−Ｄ線断面を示す断面図であり、図１５（ｂ）は側面図である。比較例に係る防振装置を示し、図１６（ａ）は図１６（ｂ）におけるＥ−Ｅ線断面を示す断面図であり、図１６（ｂ）は側面図である。本発明の効果を示すグラフである。

次に、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１及び図２には、本発明の第１の実施形態に係る防振装置１０が示されている。図１及び図２に示されているように、防振装置１０は、支持部１００と、載置部２００と、連結機構３００と、脚部材４０２とを有する。

支持部１００は、例えば４個の脚部材４０２によって重力方向における下方から円周方向の運動を許容するように支持されている。また、支持部１００は、底板１０２と、天板１０４とを有し、底板１０２と天板１０４とが例えば４個の柱部材１１０によって連結されることで枠体を形成している。また、天板１０４には、例えば４個の貫通孔１０６が形成されている。４個の貫通孔１０６は、１つの円９５２の円周上に配置されるように形成されている。

脚部材４０２は、設置面９２０（図３を参照）に対する支持部１００の円周方向の運動を許容する第１の粘弾性体４００として用いられていて、例えば、円柱形状のゴム塊やコイルスプリングを用いることができる。脚部材４０２は、少なくとも重力方向に伸縮する粘弾性体であればよく、ゴム塊やコイルスプリングに替えて他の部材を用いてもよい。脚部材４０２は、それぞれの上端部が底板１０２の下端部に装着されている。また、防振装置１０が設置面９２０に設置された状態において、それぞれの下端部が設置面９２０に接触する。

４個等の複数の脚部材４０２は１つの円９５４の円周上に配置されている。また、円９５４は円９５２と同心円となっている。脚部材４０２は、支持部１００の円周方向の運動を許容するものであれば、その数は４個であることを要せず、少なくとも１つがあればよい。

脚部材４０２を１つとする場合、支持部１００の設置面９２０に対する円周方向の運動を許容するために、脚部材４０２は単に上下方向に伸縮するのみならず、設置面９２０に平行な方向にも伸縮し、変形することができる粘弾性体であることを要する。

載置部２００には防振対象物９００が載置される。防振対象物９００としては、例えばコンピュータや通信機器に用いられる電子デバイスの回路パターンを形成する露光機、青色レーザを用いた光学測定に使われる光学素子の高精度な形状を読み取る三次元形状測定装置、遺伝子解析などに用いられる電子顕微鏡のようにナノメートルの精度が問題となる機器等を挙げることができる。載置部２００は、底板２０２と、天板２０４とを有し、天板２０４と底板２０２とが例えば４個の柱部材２１０によって連結されることで枠体を形成している。図２（ｂ）に示すように、防振対象物９００は、底板２０２の重力方向における上向きの面に載置される。

連結機構３００は、支持部１００と載置部２００とを連結している。また、連結機構３００は、載置部２００を吊り下げるように支持する吊架部として用いられている吊架板３０２と、例えば４個の吊り下げ部材３５２と、例えば１個の脚部材３５４とを有する。

吊り下げ部材３５２は、支持部１００に対する載置部２００の円周運動を許容する第２の粘弾性体３５０として用いられている。吊り下げ部材３５２としては、例えば、粘弾性体であるコイルスプリングを用いることができる。吊り下げ部材３５２は、それぞれが貫通孔１０６を貫通するように配置されていて、それぞれの上端部が吊架板３０２の重力方向における下向きの面に装着されていて、それぞれの下端部が天板２０４の重力方向における上向きの面に接続されている。

４個の吊り下げ部材３５２は互いに同じ長さであることが望ましい。また、４個の吊り下げ部材３５２の上端部は円９５４の円周上に配置された状態となるように吊架板３０２に装着されている。また、４個の吊り下げ部材３５２の下端部は、それぞれが円９５４の円周上に配置されている。また、防振装置１０に振動が加えられていない状態において、４個の吊り下げ部材３５２は互いに水平な状態となるように配置されている。

吊り下げ部材３５２は粘弾性体であればよく、コイルスプリングに替えて、例えば紐状のゴム部材等を用いることができる。

脚部材３５４は、吊り下げ部材３５２と同様に支持部１００に対する載置部２００の円周運動を許容する第２の粘弾性体３５０として用いられていて、吊架板３０２を重力方向下方から支持している。また、この実施形態においては、脚部材３５４が１つである。脚部材３５４としては、例えば円柱形状のゴム塊やコイルスプリングを用いることができる。脚部材３５４が１つである場合、脚部材３５４は、重力方向及び水平方向に伸縮し、変形する部材であることを要する。

脚部材３５４は、上端部が吊架板３０２の重力方向における下向きの面に装着されていて、下端部が天板２０４の重力方向における上向きの面に装着されている。また、脚部材３５４は、同心円である円９５２、円９５４の中心に位置するように配置されている

図３は、防振装置１０の動作を説明する図であり、図３（ａ）は振動が加えられていない状態にある防振装置１０を示す図であり、図３（ｂ）は振動が加えられた状態にある防振装置１０を示す図である。例えば、設置面９２０が水平方向に振動する等の理由によって、図３（ａ）に示されている状態にある防振装置１０に水平方向の振動が加えられると、４個の脚部材４０２のそれぞれが、矢印ａで示すように重力方向に伸縮し、変形する。そして、４個の吊り下げ部材３５２のそれぞれが重力方向に伸縮し変形することで、矢印ｂで示すように、支持部１００は設置面９２０に対して円９５４の中心を中心とした円周方向の運動をする。

この際、載置部２００に対して重力が作用している状態で支持部１００が円周方向の運動をすることで、４個の吊り下げ部材３５２が伸縮するとともに、脚部材３５４が水平方向及び重力方向に変形する。そして、４個の吊り下げ部材３５２が伸縮し、脚部材３５４が水平方向及び重力方向に変形することで、矢印ｃで示すように、載置部２００は支持部１００に対して脚部材３５４を中心とする（円９５２の中心を中心とする）円周方向の運動をする。そして、この載置部２００の円周方向の運動は、支持部１００の円周方向の運動を打ち消すものとなる。このように、この第１の実施形態に係る防振装置１０においては、防振装置１０に加えられた水平方向の振動を、設置面９２０に対する支持部１００の円周方向の運動と支持部１００に対する載置部２００の円周方向の運動との２つの円周方向の運動に変換することで打ち消している。

以上の説明においては、吊り下げ部材３５２と脚部材３５４との双方が粘弾性体である場合を例として説明をしたものの、連結機構３００は、少なくとも１つの第２の粘弾性体３５０を有すればよい。このため、脚部材３５４が粘弾性体である場合、吊り下げ部材３５２は粘弾性であることを要せず、吊り下げ部材３５２として伸び縮みしない紐状の部材や棒状の部材を用いることができる。また、連結機構３００は、少なくとも１つの第２の粘弾性体を有すればよいため、吊り下げ部材３５２が粘弾性体である場合、脚部材３５４は粘弾性体であることを要しない。

図４及び図５には、本発明の第２の実施形態に係る防振装置１０が示されている。以下、第２の実施形態に係る防振装置１０の第１の実施形態に係る防振装置１０との違いについて説明をする。

先述の第１の実施形態に係る防振装置１０は、第１の粘弾性体４００として用いられている脚部材４０２を４個有していた。これに対して、この第２の実施形態に係る防振装置１０は、脚部材４０２を８個有している。そして、８個の脚部材４０２は１つの円９５６の円周上に等間隔で配置されている。円９５６は、４個の貫通孔１０６が円周上に配置される円である円９５２と同心円上に配置された状態となっている。以上で説明をした部分以外は、先述の第１の実施形態に係る防振装置１０と同一であるため説明を省略する。

図６及び図７には、本発明の第３の実施形態に係る防振装置１０が示されている。以下、第３の実施形態に係る防振装置１０の第１の実施形態に係る防振装置１０との違いを説明する。

先述の第１の実施形態に係る防振装置１０は、第１の粘弾性体４００として用いられている脚部材４０２を４個有していた。これに対して、この第３の実施形態に係る防振装置１０は、第２の実施形態に係る防振装置１０と同様に脚部材４０２を８個有している。そして、８個の脚部材４０２は１つの円９５６の円周上に等間隔で配置されている。

また、先述の第１の実施形態に係る防振装置１０は、第２の粘弾性体３５０として４個の吊り下げ部材３５２と１個の脚部材３５４とを有していた。これに対して、この第３の実施形態に係る防振装置１０は、第２の粘弾性体３５０として１個の吊り下げ部材３５２と８個の脚部材３５４とを有している。８個の脚部材３５４は、１つの円９５８の円周上に配置されている。

吊り下げ部材３５２が１つであるため、第１の実施形態に係る防振装置１０においては天板１０４に４個が形成されていた貫通孔１０６が、この第３の実施形態においては１個が形成されている。貫通孔１０６は円９５８の中心に位置するように形成されている。以上で説明をした部分以外は、先述の第１の実施形態に係る防振装置１０と同一であるため、説明を省略する。

この第３の実施形態に係る防振装置１０においても、先述の第１の実施形態に係る防振装置１０と同様に、連結機構３００は少なくとも１つの第２の粘弾性体３５０を有すればよい。このため、脚部材３５４が粘弾性体である場合、吊り下げ部材３５２は粘弾性であることを要せず、吊り下げ部材３５２が粘弾性体である場合、脚部材３５４は粘弾性体であることを要しない。

図８及び図９には、本発明の第４の実施形態に係る防振装置１０が示されている。以下、第４の実施形態に係る防振装置１０の第１の実施形態に係る防振装置１０との違いを説明する。

先述の第１の実施形態に係る防振装置１０は、第１の粘弾性体４００として用いられている脚部材４０２を４個有していた。これに対して、この第４の実施形態に係る防振装置１０は、先述の第２の実施形態に係る防振装置１０、先述の第３の実施形態に係る防振装置１０と同様に脚部材４０２を８個有している。そして、８個の脚部材４０２は１つの円９５６（図８、図９において図示を省略、図５、図７を参照）の円周上に等間隔で配置されている。

また、先述の第１の実施形態に係る防振装置１０は、吊架部として用いられている吊架板３０２と、第２の粘弾性体３５０として用いられている４個の吊り下げ部材３５２と、同じく第２の粘弾性体３５０として用いられている１個の脚部材３５４とを有していた。これに対して、この第４の実施形態に係る防振装置１０は、吊架部として用いられている吊架部材３０４と、第２の粘弾性体として用いられている例えばコイルスプリング等の１個の吊り下げ部材３５２と、同じく第２の粘弾性体として用いられている例えば８個の板バネ部材３５６とを有している。

吊架部材３０４は、例えば円柱形状の部材であり、吊架部材３０４の重力方向における下側の面に１個の吊り下げ部材３５２が装着されている。また、吊り下げ部材３５２が１つであるため、第１の実施形態に係る防振装置１０においては天板１０４に４個が形成されていた貫通孔１０６が、この第３の実施形態においては１個が形成されている。

板バネ部材３５６としては、例えば楔形であり板状である金属が用いられている。それぞれの板バネ部材３５６の一端部は、天板１０４の重力方向における上向きの面に、この上向きの面から突出するように装着された突出部１０８の上向きの面に装着されている。また、板バネ部材３５６の他端部は、吊架部材３０４の上向きの面に装着されている。そして、この第４の実施形態に係る防振装置１０においては、載置部２００を吊架する吊架部として用いられている吊架部材３０４が、第２の粘弾性体３５０として用いられている複数の板バネ部材３５６によって吊架されている。

板バネ部材３５６は、少なくとも２つあればよく、例えば２〜７個のいずれか等、８個以外であってもよい。また、この第４の実施形態に係る防振装置１０においても、先述の第１の実施形態に係る防振装置１０と同様に、連結機構３００は少なくとも１つの第２の粘弾性体３５０を有すればよい。このため、板バネ部材３５６が粘弾性体であるため、吊り下げ部材３５２は、必ずしも粘弾性体であることを要しない。このため、吊り下げ部材３５２としてコイルスプリング等を用いることに替えて、伸び縮みしない紐状の部材や棒状の部材を用いることができる。以上で説明をした部分以外は、先述の第１の実施形態に係る防振装置１０と同一であるため、説明を省略する。

図１０及び図１１には、本発明の第５の実施形態に係る防振装置１０が示されている。以下、第５の実施形態に係る防振装置１０の第４の実施形態に係る防振装置１０との違いを説明する。

前述の第４の実施形態に係る防振装置１０においては、板バネ部材３５６は、それぞれの一端部が突出部１０８の上向きの面に装着されていて、それぞれの他端部が吊架部材３０４の上向きの面に装着されていた。これに対して、この第５の実施形態においては、板バネ部材３５６は、それぞれの一端部が突出部１０８の吊架部材３０４に対向する側の面と逆側の面である略垂直な面に装着されていて、それぞれの他端部が吊架部材３０４の略垂直な面に装着されている。以上で説明をした部分以外は、先述の第４の実施形態に係る防振装置１０と同一であるため、説明を省略する。

図１２及び図１３には、本発明の第６の実施形態に係る防振装置１０が示されている。以下、第６の実施形態に係る防振装置１０の第１の実施形態に係る防振装置１０との違いを説明する。

先述の第１の実施形態に係る防振装置１０は、第１の粘弾性体４００として用いられている脚部材４０２を４個有していた。これに対して、この第６の実施形態に係る防振装置１０は、先述の第２の実施形態に係る防振装置１０等と同様に脚部材４０２を８個有している。そして、８個の脚部材４０２は１つの円９５６（図１２、図１３において図示を省略、図５、図７を参照）の円周上に等間隔で配置されている。

また、先述の第１の実施形態に係る防振装置１０は、吊架部として用いられている吊架板３０２と、第２の粘弾性体３５０として用いられている４個の吊り下げ部材３５２と、同じく第２の粘弾性体３５０として用いられている１個の脚部材３５４とを有していた。これに対して、この第６の実施形態に係る防振装置１０は、吊架板３０２と脚部材３５４とは有せず、第２の粘弾性体として用いられている４個の吊り下げ部材３５２を有している。

吊り下げ部材３５２は載置部２００を吊り下げている。より具体的には、吊り下げ部材３５２の一端部３５２ａが載置部２００の天板２０４の上側の面に装着され、吊り下げ部材３５２の他端部３５２ｂが支持部１００の天板１０４の下側の面に装着されるようにして４個の吊り下げ部材３５２が載置部２００を吊り下げている。

また、４個の吊り下げ部材３５２は、一端部３５２ａから他端部３５２ｂへとそれぞれに延びる線分Ｌが点Ｐの一点で交差するように配置されている。吊り下げ部材３５２は、少なくとも３個があればよく、例えば、３個、５個等４個以外の数であってもよい。吊り下げ部材３５２の数が４個以外の数である場合においても、それぞれの吊り下げ部材３５２の一端部３５２ａから他端部３５２ｂへとそれぞれに延びる線分Ｌが点Ｐの一点で交差するように複数の吊り下げ部材３５２を配置することを要する。以上で説明をした部分以外は、先述の第１の実施形態に係る防振装置１０と構成が同一であるため、同一である構成の説明を省略する。

図１４は、第６の実施形態に係る防振装置１０の動作を説明する図であり、図１４（ａ）は振動が加えられていない状態にある防振装置１０を示す図であり、図１４（ｂ）は振動が加えられた状態にある防振装置１０を示す図である。例えば、設置面９２０が水平方向に振動する等の理由によって、図１４（ａ）に示されている状態にある防振装置１０に水平方向の振動が加えられると、複数個の脚部材４０２のそれぞれが、矢印ａで示すように重力方向に伸縮し、変形する。そして、４個の吊り下げ部材３５２のそれぞれが重力方向に伸縮し変形することで、矢印ｂで示すように、支持部１００は設置面９２０に対して円周方向の運動をする。

この際、載置部２００に対して重力が作用している状態で支持部１００が円周方向の運動をすることで、４個の吊り下げ部材３５２が伸縮する。そして、４個の吊り下げ部材３５２が伸縮することで、矢印ｃで示すように、載置部２００は点Ｐを仮想の中心として円周方向の揺動運動をする。そして、この載置部２００の円周方向の揺動運動は、支持部１００の円周方向の運動を打ち消すものとなる。このように、この第６の実施形態に係る防振装置１０においては、防振装置１０に加えられた水平方向の振動を、設置面９２０に対する支持部１００の円周方向の運動と、点Ｐを仮想中心とした載置部２００の円周方向の揺動運動との２つの運動に変換することで打ち消している。

図１５には、本発明の第７の実施形態に係る防振装置１０が示されている。以下、第７の実施形態に係る防振装置１０の第６の実施形態に係る防振装置１０との違いを説明する。

前述の第６の実施形態に係る防振装置１０においては、４個の吊り下げ部材３５２は、４個の吊り下げ部材３５２の一端部３５２ａから他端部３５２ｂへとそれぞれに延びる線分Ｌが点Ｐの一点で交差するように配置されていて、点Ｐは天板１０４よりも上方に位置していた（図１３（ｂ）を参照）。これに対して、この第７の実施形態に係る防振装置１０においては、４個の吊り下げ部材３５２は、一端部３５２ａが載置部２００の天板２０４の上側の面にそれぞれに装着されていて、他端部３５２ｂが支持部１００の天板１０４上の一点である点Ｐで支持されている。

この第７の実施形態に係る防振装置１０においては、防振装置１０に水平方向の振動が加えられることによって支持部１００が円周方向の運動を開始すると（図１４を参照）、それぞれの吊り下げ部材３５２が伸縮することによって載置部２００は点Ｐを中心とする回転運動を開始する。そして、この載置部２００の回転運動は、支持部１００の回転運動を打ち消すものとなる。以上で説明をした部分以外は、先述の第６の実施形態に係る防振装置１０と同一であるため説明を省略する。

図１６には、比較例に係る防振装置１０が示されている。以下、比較例に係る防振装置１０の第６の実施形態に係る防振装置１０との違いを説明する。

前述の第６の実施形態に係る防振装置１０においては、４個の吊り下げ部材３５２は、４個の吊り下げ部材３５２の一端部３５２ａから他端部３５２ｂへとそれぞれに延びる線分Ｌが点Ｐの一点で交差するように配置されていた。これに対して、この比較例においては、４個の吊り下げ部材３５２が互いに平行となっている。

この比較例に係る防振装置１０においては、防振装置１０に水平方向の振動が加えられることによって支持部１００が円周方向の運動を開始した際に、それぞれの吊り下げ部材３５２が伸縮するものの、載置部２００の動きは円周方向の運動とはならならず、支持部１００の動きを打ち消すものとはならない。

図１７は、本発明の効果を示すグラフであり、本発明の第６の実施形態に係る防振装置１０（図１２〜図１４を参照）の振動伝達率を、比較例に係る防振装置１０（図１６を参照）の振動伝達率と比較するとともに、アクティブ防振台の振動伝達率と比較して示したものである。図１７において、横軸は設置面９２０の水平方向における振動の周波数を示していて、縦軸は設置面９２０の水平方向における振動に対する載置部２００の水平方向における振動の比を示している。より具体的には、縦軸は、
振動伝達率（ｄＢ）＝２０×Ｌｏｇ_１０（載置部２００の振動／設置面９２０の振動）
を示している。

また、図１７において、線Ｌ１は本発明の第６の実施形態に係る防振装置１０の振動特性を示していて、線Ｌ２は比較例に係る防振装置１０の振動特性を示していて、線Ｌ３は、一般的なアクティブ防振台の振動特性を示している。ここで、アクティブ振動台とは、振動センサで振動を検知し、検知した振動を打ち消すように防振対象物が載置されている載置部をアクチュエータで動かす装置である。

図１７に示されているように、周波数が３（Ｈｚ）前後で、本発明の第６の実施形態に係る防振装置１０の振動伝達率が比較例に係る防振装置の振動伝達率よりも大きな値となっているものの、周波数が０．１〜１．１（Ｈｚ）、３〜１０（Ｈｚ）において、本発明の第６の実施形態に係る防振装置１０の振動伝達率は、比較例に係る防振装置の振動伝達率、一般的なアクティブ防振台の振動伝達率よりも低い値となっている。

以上で述べたように、本発明は、防振装置に適用することができる。

１０・・・防振装置
１００・・・支持部
２００・・・載置部
３００・・・連結機構
３０２・・・吊架板
３０４・・・吊架部材
３５０・・・第１の粘弾性体
３５２・・・吊り下げ部材
３５４・・・脚部材
３５６・・・板バネ部材
４００・・・第２の粘弾性体
４０２・・・脚部材
９００・・・防振対象物

Claims

第１の円の円周上に配置された複数の第１の粘弾性体であって、上下方向と接地面に対して水平な方向とに伸縮する複数の前記第１の粘弾性体によって円周方向の運動を許容するように支持されている支持部と、
防振対象物が載置される載置部と、
前記支持部と前記載置部とを連結している連結機構と、
を有し、
前記連結機構は、前記第１の円の同心円である第２の円の円周上に配置されていて、前記支持部の円周方向の運動を打ち消すように、前記支持部に対する前記載置部の円周方向の運動を許容する複数の第２の粘弾性体を有する防振装置。
前記連結機構は、前記載置部を吊架する吊架部をさらに有し、
前記吊架部は、複数の前記第２の粘弾性体によって重力方向下方から支持されている
請求項１記載の防振装置。
前記連結機構は、前記載置部を吊架する吊架部をさらに有し、
前記吊架部は、複数の前記第２の粘弾性体によって吊架されている
請求項１記載の防振装置。
複数の前記第２の粘弾性体は、
それぞれが前記載置部を吊り下げ、
一端部側が前記載置部にそれぞれに連結されていて、
前記一端部側から他端部側にそれぞれに延びる線分が一点で交差するように配置されて
いる
請求項１記載の防振装置。
複数の前記第２の粘弾性体は、
それぞれが前記載置部を吊り下げ、
一端部側が前記載置部にそれぞれに連結されていて、
他端部側が一点で支持されるように配置されている
請求項１記載の防振装置。
複数の前記第２の粘弾性体は、それぞれが、少なくとも前記載置部を吊下する板バネか
らなる請求項１記載の防振装置。
複数の前記第２の粘弾性をなす板バネは、それぞれが、
一端側が、前記載置部側に連結されていて、
他端部側が、前記支持部側の略垂直な面に装着されている請求項６記載の防振装置。