JP6805834B2 - インプリントモールド - Google Patents
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Description
本発明のインプリントモールド用基板は、上記の何れかのインプリントモールドを得るための、前記台座の表面に凹凸パターンを有しないものである。
図7は、インプリントモールドの製造方法の一例を表わすフローチャートである。図8は、図7の非貫通穴形成工程のフローチャートである。図9は、図7の台座形成工程のフローチャートである。図10は、図7の非貫通穴形成工程の完了後のガラス基板20の断面図である。図11は、図7の台座形成工程の完了後のガラス基板20(インプリントモールド)の断面図である。図11において、二点鎖線は台座形成工程の開始前のガラス基板20の状態を示す。
TiO2がドープされた石英ガラス基板の第1主表面とその反対側の主表面(第2主表面)とを両面研磨機を用い、スエードタイプの研磨布、酸化セリウム研磨材を使用して順に研磨したのち、研磨材をコロイダルシリカに変更してさらに研磨し、大きさ152mm×152mm×厚み6.35mmの平板状のインプリントモールド用ガラス基板を得た。このガラス基板の特性を確認したところ、屈折率(ng)は1.491、屈折率(nF)は1.486、屈折率(ne)は1.482、屈折率(nd)は1.480、屈折率(nc)は1.478であった。また、波長365nmにおける透過率(T365)は、10mm換算の内部透過率で93.7%であった。
上記台座用のレジストパターンを形成したガラス基板について、四フッ化炭素(CF4)ガスを用いてドライエッチングを施し、図12に表す形状の台座の基部に曲率を有しないインプリントモールドを得た。このようにして例4〜9の6個のインプリントモールドを製造した。
Claims (9)
- 表面形状を転写材に転写するための転写面を有するインプリントモールドであって、
前記転写面は、周囲よりも突出する台座と、前記台座を取り囲む周辺面とを有し、
前記転写面と対向する第2の主表面に、前記台座が収まる非貫通穴を形成し、
前記台座の基部が凹状の曲率を有して前記周辺面と連続的に接続されたことを特徴とするインプリントモールド。 - 前記台座の側面が高さ方向全体に曲率を有して前記周辺面と接続されたことを特徴とする請求項1に記載のインプリントモールド。
- 前記曲率の曲率半径Rは、0.001mm以上0.1mm以下である請求項1または2に記載のインプリントモールド。
- 前記曲率の曲率半径Rは、前記台座の前記周辺面からの高さHに対して、
0.8H≦R≦1.2Hを満たす大きさである請求項1〜3のいずれか1項に記載のインプリントモールド。 - 前記曲率が、前記基部の外周全体で略均一である請求項1〜4のいずれか1項に記載のインプリントモールド。
- 前記台座の表面に凹凸パターンを有する請求項1〜5のいずれか1項に記載のインプリントモールド。
- SiO2を90質量%以上含むガラスからなることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載のインプリントモールド。
- 前記ガラスは、TiO2を10質量%以下含むことを特徴とする請求項7に記載のインプリントモールド。
- 請求項1〜8の何れか一項に記載のインプリントモールドを得るための、前記台座の表面に凹凸パターンを有しないインプリントモールド用基板。
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