JP6802890B1 - X線発生装置 - Google Patents
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Abstract
Description
[X線発生装置の構成]
[窓部の構成]
[作用及び効果]
[変形例]
Claims (6)
- 電子ビームを出射する電子銃と、
前記電子ビームが入射することによりX線を出射するターゲットと、
前記電子ビーム及び前記X線が通過する通路を有し、前記通路を真空引きされた状態に維持する筐体と、を備え、
前記筐体は、前記ターゲットから出射された前記X線を前記通路から外部に透過させる窓部を有し、
前記窓部は、
前記X線が通過する通過孔が形成された窓枠部と、
前記通過孔における前記外部側の開口である第1開口を覆った状態で前記窓枠部に気密に固定され、前記X線を透過させる第1窓部材と、
前記通過孔における前記通路側の開口である第2開口を覆った状態で前記窓枠部に固定され、前記X線を透過させる第2窓部材と、を含み、
前記窓部には、前記通過孔のうち前記第1窓部材と前記第2窓部材との間の領域と、前記通路と、を連通する通気部の少なくとも一部が設けられており、
前記通気部は、前記通路内から前記領域側を見た場合に見通せないように構成されている、X線発生装置。 - 前記通気部は、前記窓枠部と前記第2窓部材との間に形成された空間である離間部を含む、請求項1に記載のX線発生装置。
- 前記窓枠部は、前記外部側の第1表面、及び前記通路側の第2表面を有し、
前記第1窓部材は、前記第1表面のうち前記第1開口の周囲の領域に連続的に配置された第1接合部材によって、前記第1表面に固定されており、
前記第2窓部材は、前記第2表面のうち前記第2開口の周囲の領域に部分的に配置された第2接合部材によって、前記第2表面に固定されている、請求項2に記載のX線発生装置。 - 前記第2表面は、前記通路側に開口するように前記窓枠部に形成された凹部の底面であり、
前記通気部は、前記底面と前記第2窓部材との間に形成された空間である離間部、及び前記凹部の側面と前記第2窓部材との間に形成された空間である離間部を含む、請求項3に記載のX線発生装置。 - 前記窓枠部は、前記筐体のうち前記通路を画定する本体部とは別体に構成されており、
前記通気部は、前記第2窓部材と前記本体部との間に形成された空間である離間部を更に含む、請求項2〜4のいずれか一項に記載のX線発生装置。 - 前記窓枠部は、前記筐体のうち前記通路を画定する本体部とは別体に構成されており、
前記窓部は、前記本体部との間に前記窓枠部を挟んだ状態で前記本体部に取り付けられた押え部材を更に含む、請求項1〜5のいずれか一項に記載のX線発生装置。
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