JP4954525B2

JP4954525B2 - Ｘ線管

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Publication number: JP4954525B2
Application number: JP2005295704A
Authority: JP
Inventors: 知幸岡田; 務稲鶴
Original assignee: Hamamatsu Photonics KK
Current assignee: Hamamatsu Photonics KK
Priority date: 2005-10-07
Filing date: 2005-10-07
Publication date: 2012-06-20
Anticipated expiration: 2025-10-07
Also published as: KR20080052552A; TW200719379A; TWI419194B; KR101240779B1; EP1944789B1; WO2007043412A1; US20090154651A1; EP1944789A1; EP1944789A4; CN101283434A; CN100594576C; JP2007103315A; US7664229B2

Description

Ｘ線は物体に対して透過性の良い電磁波であり、物体の内部構造の非破壊・非接触観察に多用されている。Ｘ線管は、電子銃から出射された電子をターゲットに入射させてＸ線を発生するのが、通例である。Ｘ線管は、特許文献１に記載のように電子銃を収容する筒状部材が、ターゲットを収容する筒状部材に取り付けられている。電子銃から出射された電子は、ターゲットに入射し、ターゲットからＸ線が発生する。Ｘ線は、Ｘ線管のＸ線出射窓を透過し、外部の試料に照射される。試料を透過したＸ線は、各種Ｘ線画像撮像手段によって拡大透視画像として撮像される。

米国特許第５，０７７，７７１号明細書

ところで、撮像される拡大透視画像が不鮮明になる要因の一つとして、Ｘ線出射窓から見た場合におけるＸ線の発生領域の形状（以下、「Ｘ線の発生形状」という。）の楕円化が挙げられる。Ｘ線の発生形状は、ターゲットに電子が入射する際の電子ビームの断面形状（以下、「電子の入射形状」という。）に起因する。つまり、電子の入射形状が円形に近づくほど、Ｘ線の発生形状も円形に近づくことになる。そのため、特許文献１に記載のＸ線管では、ターゲットを含む陽極の先端にシールド（フード電極）を設け、当該フード電極に電子の入射形状を調整する働きを持たせ、Ｘ線の発生形状を可能な限り円形状にしようとされていた。

一方、撮像される拡大透視画像の拡大率をあげるためには、ターゲットへの電子入射位置（Ｘ線の焦点位置）からＸ線出射窓までの距離（ＦｏｃｕｓＯｂｊｅｃｔＤｉｓｔａｎｃｅ、以下「ＦＯＤ」という。）を短くする必要がある。しかしながら、陽極の先端にフード電極が設けられていると、ＦＯＤが長くなる。このように、従来のＸ線管においては、フード電極をつけない場合には、拡大透視画像の鮮明度の問題が生じ、フード電極をつけた場合には、拡大透視画像の拡大率の問題が生じるといった問題があった。

本発明は、鮮明な拡大透視画像の撮像を可能にすると共に、拡大透視画像の拡大率を上げることができるＸ線管を提供することを目的とする。

本発明は、陽極収容部内に配置された陽極のターゲットに、電子銃から出射された電子を入射させてＸ線を発生させ、そのＸ線をＸ線出射窓から取り出すＸ線管において、陽極から絶縁された陽極収容部は、少なくとも真空外囲器の一部を構成し、陽極収容部には、ターゲットの電子入射面を挟むように、ターゲットが取り付けられた陽極から離間して対向すると共に電子入射面に直交する面に対して平行となる一対の導電性平面部が、陽極収容部の内壁面の一部として設けられていることを特徴とする。

このように、ターゲットの電子入射面を挟むように対向すると共にターゲットの電子入射面に直交する面に対して平行となる一対の導電性平面部を陽極収容部に設けると、ターゲットの電子入射面と電子銃との間に形成される電界の作用により、電子の入射形状を円形に近づけることが可能になり、その結果としてＸ線の発生形状を円形に近づけることが可能となる。よって、鮮明な拡大透視画像を得ることができる。さらに、一方、フード電極を用いる必要がないために、ＦＯＤを短くすることができるので、拡大透視画像の拡大率を向上させることができる。

また、陽極収容部は、電子銃が取り付けられる筒状のヘッド部と、ヘッド部内に取り付けられ、内部にターゲットの電子入射面が配置される内筒管とを有し、一対の導電性平面部は、内筒管に設けられていると好適である。このようにすると、ヘッド部と別体の内筒管に導電性平面部が形成されているので、電子銃収容部が取り付けられるヘッド部に導電性平面部を直接形成する場合に比べて、導電性平面部の形成が容易になる。

また、陽極は、直状の本体部と、本体部の先端から本体部の軸線に沿って延在する突出部とを有し、突出部にターゲットの電子入射面が形成されていると好適である。このようにすると、陽極の突出部は直状の本体部の軸線に沿って延在し、その突出部にターゲットの電子入射面が形成されているため、突出部による電界的作用が加わり、さらに、電子の入射形状を円形に近づけることが可能になる。

また、電子銃に設けられた電子出射口は、円形に形成されていると好適である。このようにすると、電子の入射形状を円形に近づけることが一層容易になる。

本発明は、鮮明な拡大透視画像の撮像を可能にすると共に、拡大透視画像の拡大率を上げることができる。

以下、図面を参照して本発明に係るＸ線管の実施の形態について説明をする。

[第１実施形態]
図１〜図４に示すように、Ｘ線管１Ａは、密封型のＸ線管である。Ｘ線管１Ａは、陽極収容部としての管状の真空外囲器本体３を有し、真空外囲器本体３内には後述するターゲット５ｄを有する陽極５が収容されている。真空外囲器本体３は、陽極５を支持する略円筒状のバルブ７と、Ｘ線出射窓１０を有する略円筒状のヘッド部９と、バルブ７とヘッド部９とを連結するリング部材７ｂとからなり、真空外囲器本体３に電子銃収容部１１が溶接されて真空外囲器２となる。また、バルブ７とヘッド部９とは共通の管軸線Ｃ１となるようにリング部材７ｂに固定されている。ヘッド部９には、管軸線Ｃ１方向における一端にＸ線出射窓１０が設けられている。一方、ガラス（絶縁体）からなるバルブ７の管軸線Ｃ１方向における他端は、開口を閉じるように縮径していき、陽極５の基端部５ａの一部を外部に露出させた状態で、陽極５を真空外囲器本体３内の所望の位置に保持する。つまり、真空外囲器本体３は、その一端にＸ線出射窓１０を有するとともに、他端で陽極５を保持している。なお、以下の説明における上下は、真空外囲器本体３の管軸線Ｃ１方向における一端側（Ｘ線出射窓１０側）を「上」、真空外囲器本体３の管軸線Ｃ１方向における他端側（陽極５の保持側）を「下」とする。

バルブ７の上端部には、リング部材７ｂが融着されている。リング部材７ｂは、金属製の円筒部材であり、上端に環状のフランジが形成されている。リング部材７ｂの上端は、ヘッド部９の下端部に当接して溶接される。

ヘッド部９は、略円筒形状である金属製の部材であり、その外周に環状のフランジ部９ａが形成されている。ヘッド部９は、フランジ部９ａを挟んで下部９ｂと上部９ｃに分かれ、バルブ７との間で管軸線Ｃ１が共通するように下部９ｂの下端部にリング部材７ｂが溶接されている。ヘッド部９の上部９ｃには、その端部の開放を閉塞するようにＢｅ材からなるＸ線出射窓１０が設けられている。さらに、上部９ｃには、真空外囲器２内を真空にするための排気孔９ｅが形成され、排気孔９ｅが形成されたヘッド部９の内壁には図示しない排気管が固定されている。

ヘッド部９内には、略円筒形状である内筒管１３が取り付けられている。内筒管１３の管軸線方向における下端部１３ａは、バルブ７内の空間に入り込んでおり、その外周側には、ヘッド部９の下端に当接する当接部１３ｂが設けられている。

ヘッド部９の上部９ｃには、その外周に平面部９ｄが形成され（図１参照）、その平面部９ｄには、電子銃収容部１１を装着するためのヘッド部側貫通孔９ｆが形成されている。これに対し、ヘッド部９内に設けられた内筒管１３には、電子銃収容部１１を装着するために、ヘッド部側貫通孔９ｆよりも小径となる内筒管側貫通孔１３ｆが形成されている。そして、大径のヘッド部側貫通孔９ｆ側から見て、小径の内筒管側貫通孔１３ｆは、大径のヘッド部側貫通孔９ｆ内に位置すると共に、Ｘ線出射窓１０側に偏心して配置されている（図４参照）。

電子銃収容部１１は略円筒形状であり、その一端部には、縮径して突き出た円筒状の首部１１ａが設けられ、その首部１１ａから円筒部１１ｂが突き出している。首部１１ａはヘッド部９のヘッド部側貫通孔９ｆに嵌め込まれ、円筒部１１ｂは内筒管１３の内筒管側貫通孔１３ｆに嵌め込まれ、これによって、電子銃収容部１１の管軸線Ｃ３が真空外囲器本体３の管軸線Ｃ１と略直交するように、電子銃収容部１１と内筒管１３は、ヘッド部９に位置決めされる。電子銃収容部１１はヘッド部９に接合される。電子銃収容部１１内には、電子銃１５が収容されており、電子銃収容部１１を介して電子銃１５がヘッド部９に取り付けられている。

図３に示すように、電子銃１５は電子発生部２３と集束電極２５とを有しており、集束電極２５は円筒状であり、集束電極２５の先端は、電子銃収容部１１の円筒部１１ｂの内周面に嵌め込まれ、それによって、集束電極２５は電子銃収容部１１に位置決めされている。集束電極２５の先端の開口と円筒部１１ｂの開口は円形に形成されており、集束電極２５の先端の開口は、電子出射口１５ａとなっている。

電子発生部２３から電子が放出されると、その電子は集束電極２５によって集束作用を受け、電子出射口１５ａから出射されて、後述するターゲット５ｄに入射する。

バルブ７とヘッド部９と内筒管１３とは同心的に配置され、共通の管軸線Ｃ１を有している。陽極５は、管軸線Ｃ１上で直上に延在し、管軸線Ｃ１と共通する軸線Ｃ２を有する円柱状の本体部５ｆを有する。本体部５ｆは銅からなり、本体部５ｆの基端はバルブ７の他端７ａに接合されている。陽極５の先端部５ｂには、傾斜面５ｃが形成されている。傾斜面５ｃは、Ｘ線が管軸線Ｃ１上に位置するＸ線出射窓１０から取り出せるように、電子銃１５に対面する向きで、本体部５ｆの軸線Ｃ２に対して所定の角度を有している。傾斜面５ｃには、円板状のターゲット５ｄが、その電子入射面５ｅが傾斜面５ｃと平行になるように埋設されている（図７参照）。ターゲット５ｄはタングステンからなり、一方、陽極５は、ターゲット５ｄ以外銅からなる。電子銃１５の電子出射口１５ａから出射された電子は、電子入射面５ｅに入射し、Ｘ線を発生させる。

陽極５の先端部５ｂは内筒管１３に収容されている。内筒管１３は、導電性の金属からなる。図１、図４、図５及び図６に示すように、内筒管１３は、ヘッド部９内にバルブ７、ヘッド部９と同心的に配置され、共通の管軸線Ｃ１を有するように設けられている。内筒管１３の管軸線Ｃ１方向における下端側は、陽極５の基端部５ａ側に配置され、バルブ７内の空間に入り込んでいる。また、内筒管１３の内壁面には、内方に向けて盛り上がった同一形状の一対の導電性平面部１３ｄ，１３ｄが形成され、一対の導電性平面部１３ｄ，１３ｄは管軸線Ｃ１及び電子銃収容部１１の管軸線Ｃ３に関して対称をなす。一対の導電性平面部１３ｄ，１３ｄは、内筒管１３の内部に配置されたターゲット５ｄの電子入射面５ｅを挟むように対向し、ターゲット５ｄの電子入射面５ｅに直交する面に対して平行となっている。また、導電性平面部１３ｄ，１３ｄの長さは、少なくとも傾斜面５ｃに対応する領域を覆うだけの長さが必要である。

電子銃１５から出射された電子は、ヘッド部９内の各電極に印加された電圧によって、ヘッド部９内の空間に形成された電界によって形成された等電位面の法線方向に力を受けながら進行し、最終的にターゲット５ｄの電子入射面５ｅに入射してＸ線を発生させる。電子入射面５ｅに電子が入射する位置はＸ線の焦点位置となり、Ｘ線の焦点位置からＸ線出射窓１０までの距離がＦＯＤであり、ＦＯＤが短いほど拡大透視画像の拡大率が向上する。

次に、Ｘ線管１Ａにおける電子の焦点の大小、焦点形状及びＦＯＤについて、従来のＸ線管（米国特許第５，０７７，７７１号）からフード電極を取り除いたものと比較して説明する。

図１６〜図１９は、従来のＸ線管からフード電極を除去したＸ線管（以下、「従来のＸ線管」という。）１００を示す。この従来のＸ線管１００は、円筒ケース１０４の管軸線Ｃ１０上に円柱状の陽極１０１を配置し、陽極１０１の先端を斜めに切り欠いた形状の傾斜面１０２をターゲットとして、電子を入射させてＸ線を発生させる。

ここで、電子の入射形状Ｇ２は、一般的にその形状が円形に近くなるほど、結果としてのＸ線の発生形状Ｈ２は円形に近くなる傾向がある。なお、「電子の入射形状」とは、ターゲットに電子が入射する前の電子ビームの断面形状をいい、「Ｘ線の発生形状」とは、Ｘ線出射窓から見た場合におけるＸ線の断面形状をいう。つまり、図１６に示した断面図における、電子銃１０５から出射された電子の進行経路の延長線上にある電子ビームの焦点位置Ｐ３と、図１７に示した断面図における、電子銃１０５から出射された電子の進行経路の延長線上にある電子ビームの焦点位置Ｐ４とが略一致するように近づくほど（特に微小焦点化を求める場合にはターゲット上で略一致するように近づくほど）、電子の入射形状Ｇ２は、その形状が円形に近づき、Ｘ線の発生形状Ｈ２は円形に近くなる。

従来のＸ線管１００においては、図１６及び図１７において、電子ビームの焦点位置Ｐ３,Ｐ４が異なるために、図１９に示すように、電子の入射形状Ｇ２は楕円になり、その結果、Ｘ線の発生形状Ｈ２も楕円化し易くなる。

これに対し、図５及び図６に示すように、本実施の形態に係るＸ線管１Ａでは、ターゲット５ｄの電子入射面５ｅを挟むように対向すると共に電子入射面５ｅと直交する面に対して平行となる一対の導電性平面部１３ｄ，１３ｄを内筒管１３に設けている。そのため、従来のＸ線管１００に比べて、図５及び図６におけるそれぞれの電子ビームの焦点位置Ｐ１，Ｐ２をほぼ等しくできるために、図８に示すように、電子の入射形状Ｇ１は円形に近づき、その結果、Ｘ線の発生形状Ｈ１も円形状となり易い。

従来のＸ線管１００では、電子の入射形状Ｇ２が楕円となる結果、図１８（Ｂ）の一点鎖線で示すように、ターゲット上における電子の入射領域の形状Ｆ２は、Ｘ線出射窓１０３（図１６参照）からみて楕円に近い形状になる。その結果、Ｘ線の発生形状Ｈ２も楕円形となり、拡大透視画像が不鮮明になる。なお、図１８は、従来のＸ線管１００の陽極１０１の先端を拡大して示し、（Ａ）図は斜視図であり、（Ｂ）図は、（Ａ）図の（ｂ）矢視図である。

これに対し、Ｘ線管１Ａでは、電子の入射形状Ｇ１が円形に近づく結果、図７（Ｃ）に示すように、ターゲット上における電子の入射領域の形状Ｆ１をＸ線出射窓１０（図５参照）から見て円形にし易く、Ｘ線の発生形状Ｈ１が円形となることで、鮮明な拡大透視画像を得ることができる。なお、図７は陽極５の先端部を拡大して示し、（Ａ）図は先端部の斜視図、（Ｂ）図は、（Ａ）図における（ｂ）矢視図、（Ｃ）図は、（Ａ）図における（ｃ）矢視図である。

また、図１に示すように、Ｘ線管１Ａでは、ヘッド部９内に内筒管１３を取り付けることで、ヘッド部９と内筒管１３とを一体に形成する場合に比べて、導電性平面部１３ｄを容易に形成することができる。

また、Ｘ線管１Ａの電子銃１５に設けられた電子出射口１５ａ（図４参照）は、円形に形成されている。そのため、電子の入射形状を一層円形にし易くすることができる。

[第２実施形態]
図９〜図１３を参照し、第２実施形態であるＸ線管１Ｂについて説明する。なお、第２実施形態に係るＸ線管１Ｂにおいて、Ｘ線管１Ａと同一又は同等の構造については、同一符号を付して説明を省略する。

図９〜図１１に示すように、Ｘ線管１Ｂの陽極４０は、円柱状であって直状に延在し、真空外囲器本体３の管軸線Ｃ１と共通の軸線Ｃ４となる本体部４１を有し、本体部４１の先端には、軸線Ｃ４に沿って延在する突出部４７が形成されている。突出部４７は、ヘッド部９内に配置された断面略長方形状をなし、突出部４７の先端には、傾斜面４７ａが形成されている。傾斜面４７ａは、Ｘ線がＸ線出射窓１０から取り出せるように、電子銃１５に対面する向きで、本体部４１の軸線Ｃ４に対して所定の角度を有している。傾斜面４７ａには、円板状のターゲット４７ｂが埋設されており、ターゲット４７ｂの電子入射面４７ｄが傾斜面４７ａと平行になっている。ターゲット４７ｂはタングステンからなり、一方、陽極５は、ターゲット４７ｂ以外銅からなる。

陽極４０の突出部４７には、本体部４１の軸線Ｃ４と同一の方向に延在すると共に、電子入射面４７ｄを挟むように平行に配置された一対の側面４７ｃ，４７ｃが形成されている。さらに、一対の側面４７ｃ，４７ｃ間の幅は、この幅と同一の方向における本体部４１の幅（直径）よりも小さい。そのため、図１２及び図１３におけるそれぞれの電子ビームの焦点位置をほぼ等しくできるために、Ｘ線の発生形状Ｈ１は円形状となり易い。また、図１０及び図１１に示すように、Ｘ線管１Ｂでは、陽極４０の本体部４１を直状にし、突出部４７を本体部４１の先端から本体部４１の軸線Ｃ４に沿って延在させることで、陽極が折れ曲がっているような形状に比べて放電が起こり難く、高い動作安定性を得ることができる。

[第３実施形態]
図１４及び図１５を参照し、第３実施形態であるＸ線管１Ｃについて説明する。図１４は、陽極５０の突出部を拡大して示す斜視図である。また、図１５は、突出部の周囲に形成された等電位面を示す図であり、図１５の（Ａ）図は、突出部を中心に拡大して示す断面図であり、（Ｂ）図は、（Ａ）図のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。なお、第３実施形態に係るＸ線管１Ｃにおいて、Ｘ線管１Ａと同一又は同等の構造については、同一符号を付してその説明を省略する。

Ｘ線管１Ｃの陽極５０は、円柱状であって直状に延在し、真空外囲器本体３の管軸線Ｃ１と共通の軸線Ｃ５となる本体部５１を有し、陽極５０には、本体部５１の先端から本体部５１の軸線Ｃ５方向に延在する突出部５２が設けられている。突出部５２は、本体部５１の表面と面一に形成されて軸線Ｃ５に沿って直状に延在する曲面５２ａを有する。また、突出部５２において、本体部５１の軸線Ｃ５を挟むように曲面５２ａの反対側には、本体部５１の表面と連続する傾斜面５２ｂが形成されている。傾斜面５２ｂは、本体部５１の軸線Ｃ５上に位置するＸ線出射窓１０からＸ線が取り出されるように軸線Ｃ５に対して所定の角度を有している（図１５（Ａ）参照）。また、傾斜面５２ｂには、タングステンからなるターゲット５２ｃ（図１４参照）が設けられている。陽極５０の突出部５２は内筒管１３に収容され、内筒管１３には、ターゲット５２ｃの電子入射面５２ｄを挟むように対向すると共に電子入射面５２ｄに直交する面に対して平行となる一対の導電性平面部１３ｄ，１３ｄが形成されている。Ｘ線管１Ｃは、陽極５０を除いてＸ線管１Ａと同等の構造からなる。

Ｘ線管１Ｃも、Ｘ線管１Ａ、Ｘ線管１Ｂと同様に、従来のＸ線管１００（図１６〜図１８参照）に比べ、Ｘ線の発生形状Ｈ１は円形となり易い。

また、図１４に示すように、陽極５０の突出部５２は、本体部５１の表面と面一になる曲面５２ａを有することで、面一となる表面が全くない場合に比べて放電が起こり難く、高い動作安定性を得ることができる。

本発明は、前述した実施形態に限定されない。例えば、ターゲット５ｄ，４７ｄ，５２ｄの材質は、タングステンに限定されず、その他のＸ線発生用材料であってもよい。また、ターゲット５ｄ，４７ｄ，５２ｄを陽極５，４０，５０の一部に設ける場合に限定されず、陽極５，４０，５０の全体を所望のＸ線発生用材料で一体に形成し、陽極５，４０，５０自体がターゲットとなるようにしてもよい。さらに、真空外囲器本体（陽極収容部）３に陽極５，４０，５０が収容される場合の「収容」とは、ターゲット５ｄ，４７ｄ，５２ｄの全体を収容している場合に限定されず、例えば、陽極５，４０，５０自体がターゲットになる場合には、ターゲットの一部が真空外囲器本体（陽極収容部）３から露出している状態も含まれる。この場合、陽極５，４０，５０の傾斜面５ｃ，４７ａ，５２ｂがターゲットの電子入射面となる。また、陽極５，４０，５０は、途中で折れ曲がっていてもよい。また、管状の真空外囲器本体（陽極収容部）３とは、円形の管状に限定されず、矩形、その他の形状であってもよく、また、ストレートに伸びる管状に限定されず、カーブまたは屈曲した管状であってもよい。また、内筒管１３を設けない場合には、内筒管１３に設けた導電性平面部１３ｄ，１３ｄと同一の構造となる導電性平面部を、ヘッド部９の内壁面に直接設けるようにしてもよい。

本発明に係るＸ線管の第１実施形態を示す分解斜視図である。第１実施形態に係るＸ線管の斜視図である。第１実施形態に係るＸ線管の断面図である。図３のIV−IV線に沿う断面図である。第１実施形態に適用する陽極の突出部の周囲に形成された等電位面を示すための拡大断面図である。図５のVI−VI線に沿う断面図である。陽極の先端部を拡大して示し、（Ａ）図は先端部の斜視図、（Ｂ）図は、（Ａ）図における（ｂ）矢視図、（Ｃ）図は、（Ａ）図における（ｃ）矢視図である。陽極の先端部を拡大して示すと共に、電子の入射形状及びＸ線の発生形状を示す図である。本発明に係るＸ線管の第２実施形態を示し、陽極の突出部を拡大して示す斜視図である。第２実施形態に係るＸ線管の断面図である。図１０のXI−XI線に沿った断面図である。第２実施形態に適用するターゲットの突出部の周囲に形成された等電位面を示すために、突出部近傍を拡大して示す断面図である。図１２のXIII−XIIIに沿った断面図である。本発明に係るＸ線管の第３実施形態を示し、陽極の突出部を拡大して示す斜視図である。第４実施形態に適用するターゲットの突出部の周囲に形成された等電位面を示す図であり、（Ａ）図は、突出部近傍を拡大して示す断面図であり、（Ｂ）図は、（Ａ）図のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。従来のＸ線管のターゲット近傍を拡大して示す断面図である。図１６のXVII−XVII線に沿う断面図である。従来のＸ線管のターゲットの先端を拡大して示し、（Ａ）図は斜視図であり、（Ｂ）図は、（Ａ）図の（ｂ）矢視図である。従来のＸ線管における陽極の先端を拡大して示すと共に、電子の入射形状及びＸ線の発生形状を示す図である。

符号の説明

１Ａ，１Ｂ，１Ｃ…Ｘ線管、３…真空外囲器（陽極収容部）、５，４０，５０…陽極、５ｄ，４７ｂ，５２ｃ…ターゲット、５ｆ，４１，５１…本体部、９…ヘッド部、１３…内筒管、１３ｄ…導電性平面部、４７，５２…突出部、５ｅ，４７ｄ，５２ｄ…電子入射面、１５…電子銃、１５ａ…電子出射口、１０…Ｘ線出射窓、Ｃ１…管軸線、Ｃ２，Ｃ４，Ｃ５…本体部の軸線。

Claims

陽極収容部内に配置された陽極のターゲットに、電子銃から出射された電子を入射させてＸ線を発生させ、そのＸ線をＸ線出射窓から取り出すＸ線管において、
前記陽極から絶縁された前記陽極収容部は、少なくとも真空外囲器の一部を構成し、
前記陽極収容部内には、前記ターゲットの電子入射面を挟むように、前記ターゲットが取り付けられた前記陽極から離間して対向すると共に前記電子入射面に直交する面に対して平行となる一対の導電性平面部が、前記陽極収容部の内壁面の一部として設けられていることを特徴とするＸ線管。
前記陽極収容部は、前記電子銃が取り付けられる筒状のヘッド部と、前記ヘッド部内に取り付けられ、内部に前記ターゲットの前記電子入射面が配置される内筒管とを有し、一対の前記導電性平面部は、前記内筒管に設けられていることを特徴とする請求項１記載のＸ線管。
前記陽極は、直状の本体部と、前記本体部の先端から前記本体部の軸線に沿って延在する突出部とを有し、前記突出部に前記ターゲットの前記電子入射面が形成されていることを特徴とする請求項１または２記載のＸ線管。
前記電子銃に設けられた電子出射口は、円形に形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載のＸ線管。