JP6571907B1 - 電子銃、x線発生装置およびx線撮像装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (12)
- 電子放出部を有するカソードと、前記電子放出部から放出された電子を引き出す引出電極と、前記引出電極によって引き出された電子を収束させる収束電極とを備える電子銃であって、
前記収束電極は、管形状を有する外側電極と、前記外側電極の内側に配置された内側電極とを含み、前記内側電極は、柱状の第1空間を規定し、前記カソードの側の第1面と前記第1面の反対側の第2面とを有し、前記外側電極の内側面および前記内側電極の前記第2面は、第2空間を規定し、
前記内側電極は、電子を通過させる電子通過孔と、前記第1空間と前記第2空間とを連通させる連通部とを有する、
ことを特徴とする電子銃。 - 前記外側電極は、前記連通部を取り囲んでいる、
ことを特徴とする請求項1に記載の電子銃。 - 前記内側電極は、前記電子通過孔を有する板部と、管形状を有する管形状部とを有し、前記管形状部の一端が前記板部に接続され、
前記連通部は、前記管形状部に設けられている
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の電子銃。 - 前記管形状部の外側面と前記外側電極の前記内側面との間に第3空間が規定され、前記内側電極の前記連通部は、前記第3空間を介して前記第1空間と前記第2空間とを連通させる、
ことを特徴とする請求項3に記載の電子銃。 - 前記引出電極は、電子を通過させる通過孔と、前記通過孔から離隔して配置された貫通孔とを有する、
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の電子銃。 - 前記第1空間は、第1部分と、前記第1部分と前記引出電極の間の第2部分とを含み、前記収束電極の軸に直交する方向における前記第2部分の寸法は、前記収束電極の軸に直交する方向における前記第1部分の寸法より大きい、
ことを特徴とする請求項5に記載の電子銃。 - 前記第2部分の前記寸法は、前記カソードの側に向かって大きくなる、
ことを特徴とする請求項6に記載の電子銃。 - 前記通過孔と前記貫通孔との最短距離は、前記貫通孔の半径の5倍以上かつ50倍以下である、
ことを特徴とする請求項5乃至7のいずれか1項に記載の電子銃。 - 前記引出電極は、前記収束電極に固定されている、
ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の電子銃。 - 前記引出電極は、前記収束電極に電気的に接続されている、
ことを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の電子銃。 - 請求項1乃至10のいずれか1項に記載の電子銃と、
前記電子銃からの電子が衝突することによってX線を発生するターゲットを有するアノードと、
を備えることを特徴とするX線発生装置。 - 請求項11に記載のX線発生装置と、前記X線発生装置から放射され物体を透過したX線を検出するX線検出装置と、を備えることを特徴とするX線撮像装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2018/048608 WO2020136912A1 (ja) | 2018-12-28 | 2018-12-28 | 電子銃、x線発生装置およびx線撮像装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6571907B1 true JP6571907B1 (ja) | 2019-09-04 |
JPWO2020136912A1 JPWO2020136912A1 (ja) | 2021-02-18 |
Family
ID=67844745
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019536613A Active JP6571907B1 (ja) | 2018-12-28 | 2018-12-28 | 電子銃、x線発生装置およびx線撮像装置 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10971322B2 (ja) |
EP (1) | EP3905299A4 (ja) |
JP (1) | JP6571907B1 (ja) |
KR (1) | KR102361378B1 (ja) |
CN (1) | CN113316833B (ja) |
TW (1) | TWI730553B (ja) |
WO (1) | WO2020136912A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114008733B (zh) * | 2019-06-24 | 2022-10-28 | 佳能安内华股份有限公司 | X射线产生管、x射线产生装置以及x射线成像装置 |
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-
2018
- 2018-12-28 JP JP2019536613A patent/JP6571907B1/ja active Active
- 2018-12-28 EP EP18944979.6A patent/EP3905299A4/en active Pending
- 2018-12-28 KR KR1020217019806A patent/KR102361378B1/ko active IP Right Grant
- 2018-12-28 WO PCT/JP2018/048608 patent/WO2020136912A1/ja unknown
- 2018-12-28 CN CN201880100506.6A patent/CN113316833B/zh active Active
-
2019
- 2019-12-20 TW TW108146822A patent/TWI730553B/zh active
-
2020
- 2020-05-01 US US16/864,934 patent/US10971322B2/en active Active
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Also Published As
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KR102361378B1 (ko) | 2022-02-09 |
EP3905299A4 (en) | 2022-04-06 |
JPWO2020136912A1 (ja) | 2021-02-18 |
WO2020136912A1 (ja) | 2020-07-02 |
US20200258710A1 (en) | 2020-08-13 |
CN113316833B (zh) | 2022-10-04 |
US10971322B2 (en) | 2021-04-06 |
TW202038279A (zh) | 2020-10-16 |
CN113316833A (zh) | 2021-08-27 |
KR20210087546A (ko) | 2021-07-12 |
TWI730553B (zh) | 2021-06-11 |
EP3905299A1 (en) | 2021-11-03 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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