JP6798996B2 - 光集積回路の特性評価及びパッケージ化のためのマルチポート光学プローブ - Google Patents
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Description
Claims (16)
- 光集積回路(PIC)チップに対して光学的に結合するための装置であって、
PICチップと、
前記PICチップに対して光学的に結合するように構成されたインターポーザユニットとを含み、
前記インターポーザユニットは、1以上のフレキシブル光導波路部材を含み、
前記フレキシブル光導波路部材は、その先端部を介して、前記PICチップと前記インターポーザユニットとを光学的に結合するように構成されており、
前記PICチップは、前記フレキシブル光導波路部材の前記先端部の前記PICチップのオンチップ光導波路に対する横方向、縦方向、及び長さ方向の受動的な位置合わせを容易にするための位置合わせ要素を含み、
前記インターポーザユニットが、前記PICチップと電気接続するための電気接点をさらに含み、
前記電気接点が、前記フレキシブル光導波路部材とは別個に設けられた1以上の第1の平面電気接点を含み、前記1以上の第1の平面電気接点は、前記PICチップに設けられた第2の平面電気接点と平面的に接触するように適合され、
前記位置合わせ要素が、前記フレキシブル光導波路部材の前記先端部の前記PICチップの前記オンチップ光導波路の端面に対する縦方向の受動的な位置合わせを提供するための面を含み、
前記第2の平面電気接点が、前記縦方向の受動的な位置合わせを提供する前記面の上に設けられ、前記第1の平面電気接点の厚さ及び前記第2の平面電気接点の厚さが、前記縦方向の受動的な位置合わせのために適合されていることを特徴とする装置。 - 前記インターポーザユニットが、1以上の光ファイバのアレイのピッチを、前記PICチップの前記オンチップ光導波路のピッチと整合させるように構成されていることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記インターポーザユニットが、偏光調節、光分離、波長多重化、波長逆多重化、波長選択ルーティング、波長選択スイッチング、スイッチング、干渉分光、1以上の共振器による共鳴の提供、及び光学的な遅延、分割、または混合の提供からなる群より選択される少なくとも1つの機能を提供するように構成されていることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記フレキシブル光導波路部材の後方反射を減少させるために、前記フレキシブル光導波路部材の端面が、前記フレキシブル光導波路部材の光軸に対して傾けられていることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記フレキシブル光導波路部材の後方反射を減少させるために、前記フレキシブル光導波路部材の端面に抗反射コーティングが設けられていることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記PICチップの前記オンチップ光導波路の後方反射を減少させるために、前記PICチップの前記オンチップ光導波路の端面が、前記オンチップ光導波路の光軸に対して傾けられていることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記PICチップの前記オンチップ光導波路の後方反射を減少させるために、前記PICチップの前記オンチップ光導波路の端面に抗反射コーティングが設けられていることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記フレキシブル光導波路部材の端面から反射された光が、前記PICチップの前記オンチップ光導波路の端面から離れる方向に向かい、かつ
前記PICチップの前記オンチップ光導波路の端面から反射された光が、前記フレキシブル光導波路部材の端面から離れた方向に向かうように、
前記フレキシブル光導波路部材の端面、及び前記PICチップの前記オンチップ光導波路の端面は、互いに対して角度をなして配置されていることを特徴とする請求項1に記載の装置。 - 1以上の前記電気接点が、1以上の前記フレキシブル光導波路部材に設けられた電気接点を含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記インターポーザユニットが、オフチップ電気接点のピッチを、前記PICチップのオンチップ電気接点のピッチと整合させるように構成されていることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記インターポーザユニットが、前記PICチップの前記オンチップ光導波路の第1のモードサイズと、前記フレキシブル光導波路部材に光学的に結合された1以上の光ファイバの第2のモードサイズとのモードを整合させるための要素をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記フレキシブル光導波路部材の前記先端部と前記PICチップとの光学的結合が、前記PICチップの検査のために用いられる一時的な接続であることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記フレキシブル光導波路部材の前記先端部と前記PICチップとの光学的結合が恒久的な光学的結合であることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記恒久的な光学的結合が、屈折率整合接着剤、接着剤、及びはんだからなる群より選択される接着性材料を使用してなされることを特徴とする請求項13に記載の装置。
- 前記恒久的な光学的結合が、前記PICチップ及び前記インターポーザユニットを、前記フレキシブル光導波路部材が圧縮状態に保たれ、前記フレキシブル光導波路部材がその弾性的復元力によって所定の位置への固定が維持されるように配置することによりなされることを特徴とする請求項13に記載の装置。
- 前記位置合わせ要素が、
前記フレキシブル光導波路部材の前記先端部の前記PICチップの前記オンチップ光導波路の端面に対する横方向の位置合わせを提供する横方向テーパと、
前記フレキシブル光導波路部材の前記先端部の前記PICチップの前記オンチップ光導波路の端面に対する縦方向の位置合わせを提供するように選択された深さと、
前記フレキシブル光導波路部材の前記先端部の前記PICチップの前記オンチップ光導波路の端面に対する長さ方向の位置合わせを提供するストッパ部と
を有する溝部を含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。
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