JP6798902B2 - 圧電磁器板および板状基体ならびに電子部品 - Google Patents
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図1(a)に示す圧電磁器板1は、対向するほぼ平行な一対の辺1a、他の一対の辺1bを有する長方形状の一対の主面1cと、対向する一対の第1側面1dおよび対向する一対の第2側面1eを有している。一対の第1側面1dを構成する主面1c側の辺は、主面1cの辺1aである。これにより、一対の第1側面1dはほぼ平行となっている。
SEM)でたとえば倍率3000倍で観察し、撮影した写真を画像処理して算出すればよい。なお、圧電磁器板1の断面または表面は、必要に応じ、研磨加工、および粒界エッチング加工(サーマルエッチング、ケミカルエッチング)などの処理を施してもよい。
本実施形態の圧電磁器板1は、主面1cの面方向(xy方向)の変形が小さいものとなる。例えば、図4(a)に示すように、主面1cが四角形状の圧電磁器板1の、焼き上げ側面である第1側面1dの長さ方向(x軸方向)の中央における一対の第1側面1d間の長さをLcとし、第1側面1dの長さ方向(x軸方向)の端における一対の第1側面1d間の長さをLeとし、LeとLcとの差をΔLとする。このとき、本実施形態の圧電磁器板1では、Lcに対するΔLの比率(ΔL/Lc)を1.0%以下、0.2%以下、特には0.1%以下とすることができる。
また、本実施形態の圧電磁器板1は、反りが小さく、平面度に優れたもの、すなわち厚さ方向(z方向)の変形が小さいものとなる。平面度は、主面1c全面の形状(凹凸)を測定し、その最大値と最小値との差をΔFとし、ΔFを主面の最大長さLmaxで規格化した数値(ΔF/Lmax)とする(図5を参照)。本実施形態の圧電磁器板1では、平面度を0.2%以下、特には0.1%以下とすることができる。なお、差ΔFは、凹凸の最大値から最小値を差し引いた値である。主面1c全面の形状(凹凸)は、例えば、レーザー三次元測定器で測定できる。
、外側すなわち焼き上げ側面近傍の粒径が小さいものとなり、D2/D1が0.9より小さくなる傾向があった。
図6は、電子部品の第1の実施形態を示すもので、この電子部品は、圧電磁器板1内に内部電極5を有する板状基体8を具備している。そして、板状基体8表面に形成された複数の表面電極10と、ビアホール導体11とを具備している。ビアホール導体11は、内部電極5に接続され、圧電磁器板1の厚み方向(z軸方向)に延びて板状基体8表面に引き出されている。そして、圧電磁器板1は、一対の第1側面1d、および一対の第2側面1eが、それぞれ焼き上げ面である。
確認できる。
本実施形態の圧電磁器板1は、緻密性という点から、気孔率が0.6%以下であることが好ましい。このように緻密な圧電磁器板1とすることで、機械的損失を小さくすることができ、圧電特性の劣化やばらつきの少ない圧電磁器板1となる。
上述のPZT系の圧電材料について、詳細に説明する。上述のPZT系の圧電材料は、LiやB等を含む非晶質相やPZT系結晶以外の結晶相(異相)が結晶粒界3に実質的に存在しない。そのため、これらの残留に起因する絶縁抵抗の経時的変化や圧電特性の低下が小さいものとなる。
PZT系第1成分:
Pb1−x−ySrxBayTi1−a−b−c(Zn1/3Sb2/3)a(M11/3Nb2/3)bZrcO3・・・(1)
なお、PZT系第1成分の組成式(1)において、x、y、a、b、cは、以下の関係式を満たす。
0≦y≦0.14(ただし、x+y≧0.04)、
0.01≦a≦0.12、
0≦b≦0.015
0.42≦c≦0.58、
ここで、PbのSrによる置換量xを0≦x≦0.14としたのは、Pbの一部をSrで置換することによりキュリー温度を高く維持できるからである。また、PbのBaによる置換量yを0≦y≦0.14としたのは、Pbの一部をBaで置換することによりキュリー温度を高く維持でき、高い圧電歪定数d31を得ることができるからである。
。MPBでは圧電歪定数が極大値を示す。本実施形態の圧電磁器板1を圧電アクチュエータとして用いる場合には、このMPB及びその近傍の組成を用いることになる。このMPBはx、y、a、bの値により変化するため、cの値はx、y、a、bの組成範囲内でMPBを捉えうる組成範囲である。
上述のKNN系の圧電材料について、詳細に説明する。上述のKNN系の圧電材料を用いた場合、圧電磁器板1における結晶粒子の平均粒径は、0.3〜2.0μmであること
が好ましい。結晶粒子の平均粒径が小さすぎると圧電特性が低下し、大きすぎるとヒステリシスが大きくなって電子部品として駆動した際に発熱しやすくなる。結晶粒子の平均粒径を0.3〜2.0μmの範囲とすることで、必要な圧電特性を維持するとともに電子部品として駆動した際の発熱が抑制できる。
KNN系第1成分:
{(K1−dNad)1−eLie}f(Nb1−g−hTagSbh)O3・・・(2)
なお、KNN系第1成分の組成式(2)において、d、e、f、g、hは、以下の関係式を満たす。
0.02≦e≦0.06、
0.980≦f≦1.005
0.04≦g≦0.15
0≦h≦0.10、
KNNは、ペロブスカイト構造を有し、KNbO3とNaNbO3との固溶比率により結晶構造が変化する境界を含む領域、いわゆるMPB(Morphotoropic Phase Boundary)が存在する。MPBでは圧電歪定数が極大値を示す。
KNN系第2成分:
Bii(M21−jM3j)O3・・・(3)
なお、KNN系第2成分の組成式(3)において、i、jは以下の関係式を満たす。
1/3≦j≦2/3、
また、KNN系第1成分とKNN第2成分との合量に対する、KNN系第2成分のモル
比率をβとしたとき、βは0.001以上0.005以下である。
ことができる。なお、βが0.001より小さいと所望の効果が得られず、βが0.005より大きいと導入された歪が大きくなりすぎて圧電特性が低下する。
本実施形態の圧電磁器板1は、以下のようにして作製することができる。例えば、PZT系圧電材料を用いた場合、PZT系第1成分を含む仮焼粉末と、PZT系第2成分(Zn酸化物、Cu酸化物およびBi酸化物)を含む粉末との混合原料を、周知のシート成形法で成形し、グリーンシートを得る。KNN系圧電材料を用いた場合、KNN系第1成分を含む仮焼粉末と、KNN系第2成分(Bi酸化物、M2の酸化物、および必要に応じM3の酸化物)を含む粉末との混合原料を、周知のシート成形法で成形し、グリーンシートを得る。
重量が小さい等の優れた特徴を有している。特に、より低電圧で、より大きな変位や発生力が得られる積層圧電アクチュエータは、車載インジェクタの燃料噴射弁の開閉用カメラのオートフォーカス用、圧電スピーカ等の音響部品として実用化されている。
離Lfが、面重心から焼き上げ側面までの距離Loに対し95%の位置とした。また、SEM写真の倍率は3000倍とした。算出したD1、D2およびD2/D1を表1〜3に示す。
1c・・・主面
1d・・・第1側面
1e・・・第2側面
2・・・結晶粒子
5・・・内部電極
7・・・外部電極
8・・・板状基体
9・・・圧電磁器層
10・・・表面電極
11・・・ビアホール導体
17・・・外部電極
Claims (9)
- 複数の結晶粒子を有するとともに、
一対の主面および該主面間に位置する側面を具備し、
少なくとも一つの前記側面が焼き上げ面であり、
前記主面の面重心近傍に位置する前記結晶粒子の平均粒径をD1とし、前記焼き上げ面である前記側面の近傍に位置する前記結晶粒子の平均粒径をD2としたとき、前記D1に対する前記D2の比(D2/D1)が、0.9〜1.1の範囲である、圧電磁器板であって、
前記圧電磁器板を構成する圧電材料の組成は、以下に示す組成式(1)で表される第1成分と、ZnおよびCuのうちいずれか1種とBiとを含む第2成分と、を含み、
Pb 1−x−y Sr x Ba y Ti 1−a−b−c (Zn 1/3 Sb 2/3 ) a (M1 1/3 Nb 2/3 ) b Zr c O 3 ・・・(1)
但し、M1はCuおよびNiのうち少なくともいずれか一方の元素であり、x、y、a、b、cは、以下の関係式を満たす。
0≦x≦0.14
0≦y≦0.14(ただし、x+y≧0.04)
0.01≦a≦0.12
0≦b≦0.015
0.42≦c≦0.58
前記第1成分100質量%に対する酸化物換算による前記第2成分の質量比をα%と表したとき、αは0.1以上2.0以下であり、
前記主面の面積が、360mm 2 以上であり、厚さが150μm以下である、圧電磁器板。 - 複数の結晶粒子を有するとともに、
一対の主面および該主面間に位置する側面を具備し、
少なくとも一つの前記側面が焼き上げ面であり、
前記主面の面重心近傍に位置する前記結晶粒子の平均粒径をD1とし、前記焼き上げ面である前記側面の近傍に位置する前記結晶粒子の平均粒径をD2としたとき、前記D1に対する前記D2の比(D2/D1)が、0.9〜1.1の範囲である、圧電磁器板であって、
前記圧電磁器板を構成する圧電材料の組成は、以下に示す組成式(2)で表される第1成分と、以下に示す組成式(3)で表される第2成分と、を含み、
{(K 1−d Na d ) 1−e Li e } f (Nb 1−g−h Ta g Sb h )O 3 ・・・(2)
但し、d、e、f、g、hは、以下の関係式を満たす。
0.50≦d≦0.54、
0.02≦e≦0.06、
0.980≦f≦1.005
0.04≦g≦0.15
0≦h≦0.10、
Bi i (M2 1−j M3 j )O 3 ・・・(3)
但し、M2は、Mg、Cu、FeおよびZnからなる元素群から選ばれる少なくとも1種、M3は、Nb、Ta、Sb、Ti、Zr、Hf、Ge、SnおよびCeからなる元素群から選ばれる少なくとも1種であり、i、jは以下の関係式を満たす。
2/3≦i≦1、
1/3≦j≦2/3、
前記第1成分と前記第2成分との合量に対する、第2成分のモル比率をβとしたとき、βは0.001以上0.005以下であって、
前記主面の面積が、360mm 2 以上であり、厚さが150μm以下である、圧電磁器板。 - 前記一対の主面のうち少なくとも一方が、焼き上げ面である、請求項1または2に記載の圧電磁器板。
- 前記D1および前記D2が、0.3〜4.0μmの範囲である、請求項1〜3のいずれかに記載の圧電磁器板。
- 前記主面の面積が、1000mm2以上である、請求項1〜4のいずれかに記載の圧電磁器板。
- 請求項1〜5のいずれかに記載の圧電磁器板内に内部電極を有する、板状基体。
- 請求項6に記載の板状基体の表面に配置された表面電極と、
前記内部電極に接続され、前記圧電磁器板の厚み方向に延びて前記板状基体の表面に引き出されたビアホール導体と、を具備する、電子部品。 - 前記側面の全てが焼き上げ面である、請求項7に記載の電子部品。
- 請求項6に記載の板状基体と、前記内部電極に接続された外部電極とを具備するとともに、
前記圧電磁器板が、加工面を有する前記側面を具備し、該加工面に前記外部電極が配置されている、電子部品。
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