JP6789548B2 - 金属部材製造方法 - Google Patents

金属部材製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP6789548B2
JP6789548B2 JP2016093344A JP2016093344A JP6789548B2 JP 6789548 B2 JP6789548 B2 JP 6789548B2 JP 2016093344 A JP2016093344 A JP 2016093344A JP 2016093344 A JP2016093344 A JP 2016093344A JP 6789548 B2 JP6789548 B2 JP 6789548B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
crucible
metal
metal member
melt
opening
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2016093344A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2017200867A (ja
Inventor
有為 横田
有為 横田
吉川 彰
彰 吉川
圭 鎌田
圭 鎌田
育宏 庄子
育宏 庄子
俊介 黒澤
俊介 黒澤
雄二 大橋
雄二 大橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
C&A CORPORATION
Tohoku University NUC
Original Assignee
C&A CORPORATION
Tohoku University NUC
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by C&A CORPORATION, Tohoku University NUC filed Critical C&A CORPORATION
Priority to JP2016093344A priority Critical patent/JP6789548B2/ja
Publication of JP2017200867A publication Critical patent/JP2017200867A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6789548B2 publication Critical patent/JP6789548B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Crucibles And Fluidized-Bed Furnaces (AREA)

Description

本発明は、イリジウム,白金などより構成した機能性合金材料から構成する金属部材を作製する金属部材製造方法に関する。
イリジウム−白金合金などの機能性合金材料をもちいた金属部材は、工業用材料、宝飾材料、医療用材料などの様々な分野で利用されているが、多くの分野において機械的強度の高さが要求される。このため、機械的強度を有する様々な機能性合金材料が開発されてきた。しかし、高い機械的強度を有する機能性合金材料の多くは、加工性が悪く、熱間加工などでも加工できず、また、加工できても加工コストが高いために製品価格が高くなってしまうといった欠点がある。
上記機能性合金材料による金属部材の製造には、一般的に連続鋳造法が用いられている。連続鋳造法では、溶融原料から大型の鋳造装置を用い、大型のインゴットを作製した後に、作製したインゴットから必要な形状に加工する必要がある。
しかし、上述した連続鋳造法では、大型の連続鋳造装置の導入に莫大な費用が掛かる上、さらに連続鋳造装置で作製した大型のインゴットを必要な形状に加工するまで数多くの加工プロセスを経る必要となる。さらに、機能性が高い金属材料(合金)で、一部の製品のみに使用されることから大量生産の必要がない場合であっても、大型のインゴットから目的形状に加工する必要があり、結果として製造コストが上昇し、製品価格が高くなる要因となっていた。
一方、マイクロ引き下げ法によれば、大型のインゴットを形成することがないので、製造コストの上昇を抑制することが可能となる。マイクロ引き下げ法は、形状制御しながらの一方向凝固により金属部材を形成している(特許文献1,特許文献2参照)。例えば、マイクロ引き下げ法を用いてイリジウムまたはイリジウム合金からなる金属線材が作製されている(特許文献3参照)。
マイクロ引き下げ法では、貴金属坩堝底部に設けた穴から毛細管現象により、坩堝内の無機材料の原料融液が漏れだし、漏れだした融液が貴金属坩堝の底面に濡れ広がるため、これを引き下げることで、直接坩堝底面の形状の単結晶による部材を作製することが可能である。
特開昭61−291487号公報 特開平4−280891号公報 特開2015−190012号公報
しかし、これまでのマイクロ引き下げ法による形状制御しながらの部材・部品作製は、貴金属坩堝を用いた無機材料の試料作製に限られており、合金などの金属材料においては貴金属坩堝と金属融液が反応するなどの理由で成功していなかった。
無機材料と異なり、金属融液は、貴金属坩堝との濡れが悪く、毛細管現象で坩堝下部に出てくることがない。このため、従来の技術では、金属の形状を制御したファイバー部材を形成することが困難である。さらに、無機材料のファイバー作製に用いられる貴金属坩堝を用いると、溶融した金属と坩堝本体とが反応してしまい、部材の作製を行うことができない。また、従来の技術では、坩堝底部に設けた穴の形状に線材が形成できないなど、形状の制御が容易ではないという問題があった。
本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、マイクロ引き下げ法などにより合金などの金属材料による所望の形状の部材が作製できるようにすることを目的とする。
本発明に係る金属部材製造方法は、作製する金属部材の断面形状を制御する開口部が形成された坩堝を用意する第1工程と、坩堝の開口部が形成されている領域の坩堝外側端部を、金属部材を構成する金属材料の凝固点以下にして坩堝内に金属材料の融液を収容した融液収容状態とする第2工程と、融液収容状態で、坩堝内の金属材料の融液を開口部より引き出すことで、固液界面が開口部の内部に形成された状態とし、開口部の形状を断面形状とした金属部材を作製する第3工程とを備え、坩堝は、金属材料の融液との濡れ角が60°以上となるセラミックスから構成する。
上記金属部材製造方法において、第1工程では、開口部が底面に形成された坩堝を用意し、第2工程では、坩堝の開口部を備える底部を、金属部材を構成する金属材料の凝固点以下にして坩堝内に金属材料の融液を収容した融液収容状態とし、第3工程では、融液収容状態で、坩堝内の金属材料の融液を開口部より引き下げることで、固液界面が開口部の内部に形成された状態とし、開口部の形状を断面形状とした金属部材を作製すればよい。
上記金属部材製造方法において、坩堝は、ZrO2、Al23、MgO、CaO、SiO2、HfO2、Y23、SiC、BNの少なくとも1つから構成されていればよい。例えば、坩堝は、ジルコニアを含有するセラミックスから構成すればよい。
上記金属部材製造方法において、金属材料は、Na、Mg、Al、Ca、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Ge、Nb、Mo、Ru、Rh、Ta、Ir、Pt、Auの少なくとも1つからなる金属または合金である。
以上説明したことにより、本発明によれば、マイクロ引き下げ法などにより合金などの金属材料による所望の形状の部材が作製できるようにする。
図1は、本発明の実施の形態における金属部材製造方法を説明するためのフローチャートである。 図2は、濡れ角を説明するための説明図である。 図3は、本発明の実施の形態における金属部材製造方法を実施する装置の構成を示す断面図である。 図4は、坩堝の底の引き出し穴から育成した直径1mmのIr線が下方向に引き下げられている状態を撮像した結果を示す写真である。 図5は、坩堝の底の引き出し穴からPt−Au合金の融液が濡れだしている状態を撮像した結果を示す写真である。 図6は、本発明の実施の形態における金属部材製造方法で得られたIr線材の状態を撮影した写真である。 図7は、本発明の実施の形態における金属部材製造方法で得られたIr−Pt合金線材の状態を撮影した写真である。 図8は、本発明の実施の形態における金属部材製造方法で得られたPt−Ni合金線材の状態を撮影した写真である。 図9は、本発明の実施の形態における金属部材製造方法で得られたIr線材の断面を走査型電子顕微鏡で観察した結果を示す写真である。 図10は、本発明の実施の形態における金属部材製造方法で得られたIr線材の断面を走査型電子顕微鏡で観察した結果を示す写真である。
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。図1は、本発明の実施の形態における金属部材製造方法を説明するためのフローチャートである。
この金属部材製造方法は、まず、第1工程S101で、作製する金属部材の断面形状を制御する開口部を底面に形成した坩堝を用意する。坩堝は、金属材料の融液との濡れ角が60°以上となるセラミックスから構成する。坩堝は、例えば、ジルコニア(ZrO2)セラミックス(ジルコニアを含有するセラミックス)から構成すればよい。濡れ角は、図2の(a),(b)に示すように、坩堝101の表面と溶融金属102の界面(表面)とのなす各αで定義される角度である。
次に、第2工程S102で、坩堝の開口部を備える底部を、金属部材を構成する金属材料の凝固点以下にし、坩堝内に金属の融液を収容した融液収容状態とする。例えば、坩堝の開口部を備える底部にかけての温度勾配を、10℃/cm以上とすればよい。金属材料は、例えばイリジウム(Ir)である。また、金属材料は、Irと白金(Pt)との合金、Ptとニッケル(Ni)の合金、Ptと金(Au)の合金である。なお、「底部」は、大地の側を下側とした状態におけるものである。
次に、第3工程S103で、上述した融液収容状態で、坩堝内の金属の融液を開口部より引き下げることで、固液界面が開口部の内部に形成された状態とし、開口部の形状を断面形状とした金属部材を作製する。例えば、温度勾配は、0.01mm/min以上の速度で引き下げればよい。
ここで、金属部材は、例えば、金属線、金属板、金属パイプである。開口部を100mm以下の円形状の穴とすることで、穴の形状を断面形状とした金属線が形成できる。また、開口部をスリットとすることで、スリットの形状を断面形状とした金属板が形成できる。また、開口部をパイプ状の穴とすることで、パイプ状の穴の形状を断面形状とした金属パイプが形成できる。例えば、所定の直径の穴の中央部の棒状部材を配置することで、パイプ状の穴とすることができる。
なお、上述では、マイクロ引き下げ法を例に説明したが、これに限るものではない。作製する金属部材の断面形状を制御する開口部は、坩堝の底部(底面)に限らず、側面、斜め上側の領域、上端部など、様々な領域に形成されていてもよい。従って、金属材料の凝固点以下にする領域も、坩堝の開口部が形成されている領域の坩堝外側端部とすればよい。また、引き下げに限らず、形成した開口部の位置に合わせて金属材料の融液を引き出せばよい。
上述した実施の形態によれば、セラミックスからなる坩堝を用いているので、材料となる金属の融液と反応することがない。また、坩堝を金属材料の融液との濡れ角が60°以上となるセラミックスから構成し、加えて、坩堝の開口部が形成されている領域の坩堝外側端部の温度を、金属部材を構成する金属材料の凝固点以下にして坩堝内に金属の融液を収容しているので、固液界面が開口部の内部に形成されるようになり、開口部の形状を断面形状とする金属部材が容易に作製できる。
例えば、特許文献1および特許文献2では、坩堝下部を原料融液の凝固点よりも高温に加熱し、原料融液を坩堝下部まで引き出した状態で作製を行っているが、これでは坩堝材に対して濡れが悪い金属の形状を制御した金属部材を作製することができない。また、特許文献3では、合金融液と坩堝材の濡れ角を考慮に入れていないため、やはり形状を制御した金属部材が作製できない。これに対し、本発明によれば、上述したように、坩堝底部における開口部の形状を断面形状とする金属部材が容易に作製できる。
また、本発明によれば、大型のインゴットから何回もの加工プロセスを経て目的の形状の金属部材を形成する必要が無いので、この点でも、目的の金属部材が容易に作製できる。
以下、実施例を用いてより詳細に説明する。以下では、難加工性の金属材料として、Ir金属およびIr−Pt合金を採用し、これら金属材料より線材を作製した。
はじめに、装置について図3を用いて説明する。図3は、高周波誘導加熱によるマイクロ引き下げ装置である。この装置は、坩堝201、アフターヒータ202、支持台203、断熱壁204、固定部205、高周波誘導コイル206、チャンバー207、導入口208、排出口209を備える。
坩堝201は、ジルコニアセラミックスから構成されて底部には直径1mmの引き出し穴(開口部)を備える。また、坩堝201の下側には、アフターヒータ202が配置されている。アフターヒータ202は、支持台203上に固定されている。アフターヒータ202の上に坩堝201が載置されている。支持台203の上には、坩堝201の周囲を取り巻く断熱壁204が設けられている。なお、坩堝201の下部に領域においては断熱壁204に観察用の窓部が設けられ、引き出し穴より引き出す状態が観察可能とされている。
また、断熱壁204の周囲を取り巻く状態に高周波誘導コイル206が配置されている。断熱壁204の内側がホットゾーンとなる。坩堝201の底部において高い温度勾配が形成されるように断熱壁204が配置構成されている。上述した各部分は、非磁性のステンレス鋼から構成されたチャンバー207内に配置されている。支持台203は、チャンバー207の底部に固定部205で固定されている。また、チャンバー207には、導入口208および排出口209が設けられており、必要に応じて大気圧、真空、不活性ガス等雰囲気を制御することができる。
坩堝201内に収容した金属材料221を、高周波誘導コイル206の加熱により溶融する。また、坩堝201内の溶融した金属材料221に対し、坩堝201の引き出し穴より種となる金属線222を接触させてこれを引き下げることで、種となる金属線222が接触している溶融した金属材料221を引き下げて形成制御した金属線223を作製する。この際、固液界面を251内部に形成させる。
次に、金属線の形成について説明する。上述した装置を用い、まず、原料として、純度99.9%以上の約75gのIrペレット、Ir−Pt合金ペレット、Pt−Ni合金ペット、もしくはPt−Au合金ペレットを用いた。Irペレットを用いてIrによる金属線を作製する。Ir−Pt合金ペレットを用いてIr−Ptによる合金の金属線を作製する。Pt−Ni合金ペットを用いてPt−Niによる合金の金属線を作製する。Pt−Au合金ペットを用いてPt−Auによる合金の金属線を作製する。
まず、3枚のペレットを坩堝201に収容し、チャンバー207を密閉状態とし、導入口208を閉状態として排出口209に接続しているロータリーポンプなどの排気機構(不図示)を動作させてチャンバー207を真空排気する。チャンバー207内が所定の圧力(真空度)に達した時点で、導入口208より高純度のN2ガスを導入し(1リットル/分)、チャンバー207内をN2ガス雰囲気の大気圧状態とする。
次に、高周波誘導コイル206を動作させ、高周波誘導加熱により坩堝201内のペレットを融点以上の温度に過熱して溶融させる。
次に、坩堝201の引き出し穴の直下に用意しておいたIrからなる直径0.9mmの種となる金属線222を、引き出し穴より坩堝201内部に約5mm挿入する。ここで、アフターヒータ202を動作させることなどにより、坩堝201の引き出し穴を備える底部の温度は、金属材料の凝固点以下として高い温度勾配を形成させ、坩堝201内には金属の融液が収容されている融液収容状態とする。
上述した融液収容状態を維持したまま、挿入した種となる金属線222を直下に引き下げる。上述したように高い温度勾配が形成される状態に温度制御し、固液界面251が、引き出し穴の内部に形成される状態としている。このため、種となる金属線222を引き出すと共に引き出される坩堝201内の溶融金属は、引き出し穴の内部の固液界面251を通過すると固化し、逐次に金属線が形成されていく。引き下げ速度を10mm/minとして坩堝201内の金属原料を一方向凝固成長させる。なお、引き下げ速度は、0.01mm/min以上とすればよい。
上述した引き下げの状態は、断熱壁204に設けられている観察用の窓部により観察可能とされている。例えば、デジタルスチルカメラにより、窓部から観察される引き下げ(育成)状態が撮像可能とされている。この撮像結果を図4に示す。図4に示すように、坩堝201の底の引き出し穴から直径1mmのIr線(育成したIr線)が坩堝の下方向に引き下げられている。
ここで、Pt−Au合金を用いて同様に実施した結果、Pt−Au合金の融液はジルコニアセラミックスに対する濡れ角が60°より小さいことから、図5に示すように、金属融液が坩堝底から濡れだしてきたため、育成したPt−Au合金線の形状制御ができなかった。なお、Pt−Au合金の場合、種となる金属線222としてPt線を用いている。
前述した条件で所定の時間Ir線を引き下げた後、Ir線の引き下げを止め、高周波電源の出力を徐々に下げることで坩堝201内の高周波誘導電流を徐々に低下させ、坩堝201内の温度を下げ、処理を停止した。結果として、図6に示すような直径1mmのIr線材が得られた。上述同様にすることで、図7に示すように、直径1mmのIr−Pt合金線材が得られた。また、上述同様にすることで、図8に示すように、直径1mmのPt−Ni合金線材が得られた。
作製したIr線を切断し、引き下げた方向と平行な方向および垂直な方向のそれぞれで研磨した試料を作製し、作製した試料の断面を走査型電子顕微鏡で観察した。観察の結果、図9の平行方向の断面、図10の垂直方向の断面に示すような、直径1mmを有した円柱状の線材となっていることが分かった。
溶融したIrとジルコニアセラミックスとの間の濡れ角αは、90°≦α≦180°であるため、200mm/min以上の育成速度で線材作製が可能であった。溶融したPt−Ni合金とジルコニアセラミックスとの間の濡れ角αは、60°≦α≦90°であるため、50mm/minの育成速度が線材作製の際の最大速度であった。このように、濡れ角が大きいほど、育成速度を速くすることが可能である。なお、溶融したIr−Pt合金とジルコニアセラミックスとの間の濡れ角αは、90°≦α≦180°である。
以上に説明したように、本発明によれば、金属材料の融液との濡れ角が60°以上となるセラミックスから構成した坩堝を用い、坩堝の開口部を備える底部の温度を、金属部材を構成する金属材料の凝固点以下にした状態で引き下げることようにしたので、マイクロ引き下げ法などにより合金などの金属材料による所望の形状の部材が作製できるようになる。本発明は、発明者らの鋭意の検討の結果、坩堝を構成する材料と金属材料の融液との濡れ角が、形状制御に大きく影響することを初めて見いだしたことによりなされたものである。
なお、本発明は以上に説明した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想内で、当分野において通常の知識を有する者により、多くの変形および組み合わせが実施可能であることは明白である。
例えば、前述したIr金属、Pt−Ni合金、Ir−Pt合金に限らず、Na、Mg、Al、Ca、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Ge、Nb、Mo、Ru、Rh、Ta、Ir、Pt、Auの少なくとも1つからなる金属または合金においても同様に濡れ角が60°以上となるZrO2、Al23、MgO、CaO、SiO2、HfO2、Y23、SiC、BNの少なくとも1つから坩堝を構成することで、マイクロ引き下げ法などによる形状を制御した線材などの金属部材が作製できる。
101…坩堝、102…溶融金属、201…坩堝、202…アフターヒータ、203…支持台、204…断熱壁、205…固定部、206…高周波誘導コイル、207…チャンバー、208…導入口、209…排出口、221…金属材料、222…種となる金属線、223…金属線、251…固液界面。

Claims (5)

  1. 作製する金属部材の断面形状を制御する開口部が形成された坩堝を用意する第1工程と、
    前記坩堝の前記開口部が形成されている領域の前記坩堝外側端部を、前記金属部材を構成する金属材料の凝固点以下にして前記坩堝内に前記金属材料の融液を収容した融液収容状態とする第2工程と、
    前記融液収容状態で、前記坩堝内の前記金属材料の融液を前記開口部より引き出すことで、固液界面が前記開口部の内部に形成された状態とし、前記開口部の形状を断面形状とした金属部材を作製する第3工程と
    を備え、
    前記坩堝は、前記金属材料の融液との濡れ角が60°以上となるセラミックスから構成する
    ことを特徴とする金属部材製造方法。
  2. 請求項1記載の金属部材製造方法において、
    前記第1工程では、前記開口部が底面に形成された坩堝を用意し、
    前記第2工程では、前記坩堝の前記開口部を備える底部を、前記金属部材を構成する金属材料の凝固点以下にして前記坩堝内に前記金属材料の融液を収容した融液収容状態とし、
    前記第3工程では、前記融液収容状態で、前記坩堝内の前記金属材料の融液を前記開口部より引き下げることで、固液界面が前記開口部の内部に形成された状態とし、前記開口部の形状を断面形状とした金属部材を作製する
    ことを特徴とする金属部材製造方法。
  3. 請求項1または2記載の金属部材製造方法において、
    前記坩堝は、ZrO2、Al23、MgO、CaO、SiO2、HfO2、Y23、SiC、BNの少なくとも1つから構成されていることを特徴とする金属部材製造方法。
  4. 請求項3記載の金属部材製造方法において、
    前記坩堝は、ジルコニアを含有するセラミックスから構成することを特徴とする金属部材製造方法。
  5. 請求項1〜4のいずれか1項に記載の金属部材製造方法において、
    前記金属材料は、Na、Mg、Al、Ca、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Ge、Nb、Mo、Ru、Rh、Ta、Ir、Pt、Auの少なくとも1つからなる金属または合金である
    ことを特徴とする金属部材製造方法。
JP2016093344A 2016-05-06 2016-05-06 金属部材製造方法 Active JP6789548B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016093344A JP6789548B2 (ja) 2016-05-06 2016-05-06 金属部材製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016093344A JP6789548B2 (ja) 2016-05-06 2016-05-06 金属部材製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2017200867A JP2017200867A (ja) 2017-11-09
JP6789548B2 true JP6789548B2 (ja) 2020-11-25

Family

ID=60264950

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016093344A Active JP6789548B2 (ja) 2016-05-06 2016-05-06 金属部材製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6789548B2 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3647441B1 (en) * 2017-06-27 2023-11-22 C&A Corporation Metal member
CN109881127A (zh) * 2017-12-06 2019-06-14 宜兴市乐华冶金辅助材料有限公司 一种管道链板输送机的触臂材料
CN109402736B (zh) * 2018-08-23 2021-04-27 中国科学院长春应用化学研究所 利用微下拉法生长稀土晶体光纤的优化方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0857595A (ja) * 1994-08-18 1996-03-05 Nippon Steel Corp 双ロール式連続鋳造機の接触制限板
JP2007112700A (ja) * 2005-09-22 2007-05-10 Nec Tokin Corp 結晶育成用坩堝及び単結晶及び単結晶の育成方法
JP6100708B2 (ja) * 2014-02-04 2017-03-22 トヨタ自動車株式会社 引上式連続鋳造装置
JP2015167987A (ja) * 2014-03-10 2015-09-28 トヨタ自動車株式会社 引上式連続鋳造装置及び引上式連続鋳造方法
JP6243275B2 (ja) * 2014-03-28 2017-12-06 田中貴金属工業株式会社 イリジウム又はイリジウム合金からなる金属線材
JP6606638B2 (ja) * 2014-07-14 2019-11-20 株式会社福田結晶技術研究所 Fe−Ga基合金単結晶の育成方法及び育成装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2017200867A (ja) 2017-11-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6789548B2 (ja) 金属部材製造方法
JP5969230B2 (ja) 多結晶シリコンロッド
TW463224B (en) Method for producing silicon single crystal and apparatus for producing the same, and single crystal and wafer produced with the method
CN105316527B (zh) 一种镍锰镓超弹性形状记忆合金丝及其制备方法
JP6998460B2 (ja) チューブ状単結晶体の製造装置および製造方法
TW201937013A (zh) 矽融液的對流圖案控制方法及矽單結晶的製造方法
JP2003095783A (ja) 酸化物系共晶体のバルクの製造装置と製造方法
JP2008239352A (ja) 単結晶製造装置及び製造方法
JP6390568B2 (ja) 酸化ガリウム単結晶育成用ルツボおよび酸化ガリウム単結晶の製造方法
KR20180032176A (ko) 탄탈산리튬 결정의 제조 장치 및 탄탈산리튬 결정의 제조 방법
TWI231319B (en) Single crystal manufacturing apparatus and method
JP3849639B2 (ja) シリコン半導体単結晶の製造装置及び製造方法
JP7061911B2 (ja) 単結晶体の製造方法および単結晶体製造装置
JP6958854B2 (ja) 磁歪材料の製造方法
KR100702381B1 (ko) 갈륨 철 산화물 혼합 결정의 결정 제조 방법
JP2013010656A (ja) 単一分極化されたニオブ酸リチウム単結晶の製造方法
US20120285373A1 (en) Feed Tool For Shielding A Portion Of A Crystal Puller
JP7275674B2 (ja) ニオブ酸リチウム単結晶の育成方法
JPS63103889A (ja) 単結晶引上装置
JPS58181792A (ja) 単結晶シリコン引上装置
JP2001316195A (ja) 酸化物単結晶の製造装置および製造方法
JP6583196B2 (ja) シリコン単結晶の製造方法及び製造装置
JP2023132268A (ja) 酸化物単結晶の育成装置と酸化物単結晶の育成方法
JP6992488B2 (ja) 単結晶育成用ルツボ
US20220243357A1 (en) Production apparatus for gallium oxide crystal and production method for gallium oxide crystal

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190422

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20200131

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200225

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20200427

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20201020

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20201026

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6789548

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250