JP6782795B2 - 走査電子顕微鏡および走査電子顕微鏡による試料観察方法 - Google Patents
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- 一次電子を放出する電子源と、
試料を載置する試料台と、
一次電子を試料上で走査させる偏向器と、
一次電子を試料に収束させる対物レンズと、
一次電子の試料への照射を制御する一次電子制御機構と、
前記対物レンズと前記試料台との間の電界を制御する電界制御機構と、
一次電子が試料へ照射されることによって生じた二次電子を検出する検出器と、
前記一次電子制御機構により前記電子源から放出される一次電子が前記試料台に載置された試料に照射される第1期間において、前記電界制御機構は前記対物レンズに印加される電位に対して前記試料台に印加される電位が負極性となるよう制御し、前記一次電子制御機構により前記電子源から放出される一次電子が前記試料台に載置された試料に照射されない第2期間において、前記電界制御機構は前記対物レンズに印加される電位に対して前記試料台に印加される電位が正極性となるよう制御する制御部とを有する走査電子顕微鏡。 - 請求項1において、
前記対物レンズと前記検出器との間に設けられ、前記検出器で検出する二次電子のエネルギーを選択するエネルギーフィルタと、
前記エネルギーフィルタが選択する二次電子のエネルギーを制御するエネルギーフィルタ制御機構とを有し、
前記制御部は前記第2期間の長さを調整可能な走査電子顕微鏡。 - 請求項1において、
前記一次電子制御機構は、ブランキング電極と、絞りと、前記ブランキング電極に電圧を印加する第1電源とを有し、
前記第1電源は、前記制御部により前記ブランキング電極に印加する電圧を制御され、前記第1期間において前記電子源から放出される一次電子は前記絞りを通過し、前記第2期間において前記電子源から放出される一次電子は前記ブランキング電極により偏向され前記絞りに衝突する走査電子顕微鏡。 - 請求項1において、
前記電界制御機構は前記試料台に電圧を印加する第2電源であり、
前記第2電源は、前記制御部により、前記第1期間において前記試料台に前記対物レンズの電位に対して負極性の電圧を印加し、前記第2期間において前記試料台に前記対物レンズの電位に対して正極性の電圧を印加するよう制御される走査電子顕微鏡。 - 請求項1〜4のいずれか一項において、
前記制御部は、前記第2期間として前記偏向器による1ラインの走査から次の1ラインの走査に移行する間、または1フレームの走査が完了し、次のフレームの走査開始までの間、または観察視野での走査が完了し、次の観察視野に移動するまでの間のいずれかとして設定される走査電子顕微鏡。 - 試料台に載置された試料に一次電子を照射する第1期間と一次電子を前記試料に照射しない第2期間とを有する、エネルギーフィルタを備えた走査電子顕微鏡による試料観察方法であって、
前記エネルギーフィルタが選択する二次電子のエネルギーを設定し、
前記第2期間の長さを設定し、
前記試料に二次電子の放出効率が1以下になる条件で一次電子を照射し、
前記第2期間において、前記第2期間における前記試料台と対物レンズとの間の電界が前記第1期間における前記試料台と前記対物レンズとの間の電界と逆方向になるように制御し、
前記第1期間において一次電子を前記試料の上を走査させ、前記エネルギーフィルタを選択的に通過した二次電子を検出して画像を形成する試料観察方法。 - 請求項6において、
前記第1期間において、前記対物レンズに印加される電位に対して前記試料台の電位が負極性となるよう制御し、前記第2期間において、前記対物レンズに印加される電位に対して前記試料台に印加される電位が正極性となるよう制御する試料観察方法。 - 請求項7において、
前記エネルギーフィルタが選択する二次電子のエネルギーを、前記第1期間における前記対物レンズに対する前記試料台の電圧値に基づき設定する試料観察方法。 - 請求項6〜8のいずれか一項において、
前記第2期間として1ラインの走査から次の1ラインの走査に移行する間、または1フレームの走査が完了し、次のフレームの走査開始までの間、または観察視野での走査が完了し、次の観察視野に移動するまでの間のいずれかとして設定する試料観察方法。
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