JP2007265931A - 検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Abstract
低入射エネルギー、且つ広視野での帯電制御機能を用いた検査を可能にし、電子線照射による損傷を受けやすい半導体パターンの高感度検査を実現することである。
【解決手段】
SEM式ウェハ検査装置において、帯電制御機能を用いた検査を行う際、加速電圧−減速電圧で決まる入射エネルギーと、減速電圧−制御電圧で決まるバイアス電圧が変わらない様、加速電圧・制御電圧・減速電圧を連動して変える。これにより、制御電極近傍で発生する静電レンズ作用を抑えつつウェハの帯電を制御することができる。その結果、低入射エネルギー、且つ広視野での帯電制御機能を用いた検査が可能になり、電子線照射による損傷を受けやすい半導体パターンの高感度検査が実現できる。
加速電圧−減速電圧で決まる入射エネルギーと、減速電圧−制御電圧で決まるバイアス電圧が変わらない様、加速電圧・制御電圧・減速電圧を連動して変える。
【選択図】 図1
Description
(解像度(ビーム径))
ここで、ビーム径とは走査画像の視野中心のビームの大きさで、ビーム径が小さければ小さいほど、解像度が高い画質を実現できることを意味している。通常は、Va/Va_opt=1.0の条件で光学系を動作させるが、制御電極を用いて帯電を制御する場合は、先に説明した静電レンズの収差の影響でビーム径が急激に増大し、画質が劣化してしまう。本発明では、この静電レンズの収差を抑えるため、加速電圧の動作条件をVa/Va_opt<1.0とし(例えば、0.5、0.2)、帯電制御に有効なバイアス電圧の範囲で最小のビーム径が実現できるよう、加速電圧、制御電圧、減速電圧を連動して制御する。
(解像度の均一性(軸外ビーム径/軸上ビーム径))
ここで、軸外ビーム径とは走査画像の端のビームの大きさで、軸外ビーム径/軸上ビーム径が1に近いほど、走査領域内の解像度が均一であることを意味している。この場合も、通常の光学系では、Va/Va_opt=1.0の条件で光学系を動作させるが、先の解像度と同じで、本発明では加速電圧の動作条件をVa/Va_opt<1.0(例えば、0.5、0.2)とすることで、走査領域内の解像度をより均一にすることができる。
(有効視野(偏向感度))
ここで、偏向感度とは電子ビームを走査させる偏向器の感度で、この偏向感度が高く且つ、先の軸外ビーム径/軸上ビーム径が1に近いほど、有効な視野が広がることを意味する。上記と同様、本発明を適用する場合、偏向感度は制御電極による静電レンズ効果の低減と加速電圧低下の相乗効果で飛躍的に偏向感度が増大し、検査速度の大幅な向上を実現することができる。
上記の制御を行うことで、1keV未満の低入射エネルギーで帯電を制御し、且つ解像度の高い画像を取得することができた。更に有効視野が広がることによる検査速度の向上を実現することができた。以下に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に説明する。
(装置構成)
図1は本発明の検査装置を説明するための構成要素を示したものであり、大きく分けて電子光学系5、ステージ部6、画像処理部7、制御部8で構成される。電子光学系5は電子源1、引出し電極9、アノード電極4、コンデンサレンズa10、アライメントコイルa11、制限絞り12、コンデンサレンズb13、アライメントコイルb14、ExB偏向器15、偏向器16、アライメントコイルc17、対物レンズ18、検出器19、アース電極20、制御電極3で構成される。ステージ部6はウェハ2、ウェハホルダ21、絶縁材料22、ステージ23で構成される。ここで、電子光学系5及びステージ部6は図面には示されていないが真空排気装置により、常に真空に排気されていることとする。画像処理部7は画像形成装置24、画像処理装置25、画像表示装置26で構成される。また、制御部8は電子銃電源27、電子光学系制御電源28、制御電源、減速電源、ステージ制御装置31、電子光学系制御装置32で構成される。ここで画像表示装置26は、画像の表示だけでなく、情報処理装置(パーソナルコンピュータ等)のユーザインターフェースとしての機能を備えている。つまり、画像表示装置26はオペレータが入力した情報を記憶し、記憶した情報に基づき装置各部を一括して制御する機能を備えている。
(障壁電位の補正方法)
ここで、本発明の帯電の制御方法において表面の帯電に影響を与える障壁電位について図6を用いて説明する。図6は図1の示した電子光学系のウェハ2近傍を模式的に示したもので、バイアス電圧と障壁電位の違いを説明するための図である。ウェハ2には減速電圧(Vr=-5000V)が印加されており、ウェハ2直上の制御電極3には制御電圧(Vc=-5010V)が印加されている。また、障壁電位とバイアス電圧の関係を明確にするため、3Vおきに等電位線を模式的に図示した。なお、制御電極3とアース電極20の間には無数の等電位線があるため、途中を省略して図示した。ここで障壁電位は、1次電子41がウェハ2に入射する軸上に存在し、ウェハ2から発生する2次電子のうち高エネルギー成分を透過させ、低エネルギー成分をウェハ2に再配分させるエネルギーフィルタの機能を果たす。図6中では障壁電位は-5004Vであり、-5000Vのウェハから放出された2次電子33は、放出時のエネルギーが約4eV以上のものは障壁電位を透過し、4eV未満のものはウェハ2に再配分される。
本発明においてバイアス電圧が0V未満の条件を用いる場合、ウェハ2表面の帯電は障壁電位で決まり、バイアス電圧と障壁電位の関係は制御電極3及びアース電極20近傍の構造で大きく変わるため、バイアス電圧と障壁電位の関係を常に管理しておく必要がある。図7は本発明の構成で、バイアス電圧と検出器19で検出される2次電子信号量の関係を図示したものであり、この関係を測定することでバイアス電圧と障壁電位の関係を管理することができる。なお、縦軸の相対信号量は、バイアス電圧が+極性で、信号量がバイアス電圧に依存しなくなる信号量を100%とし、各測定点における信号量を規格化したものである。 ここで、相対信号量が100%の条件はウェハ2から放出された2次電子のほぼ全てが検出器に捕捉される条件で、軸上に障壁電位が存在しない条件を意味している。
バイアス電圧と障壁電位の関係は、上記の相対信号量が最大となるバイアス電圧を測定し、印加するバイアス電圧と相対信号量が最大となるバイアス電圧の差で障壁電位を管理することができる。つまり、上記方法を用いることで、加速電圧を変えた場合も適切な障壁電位が形成できるようバイアス電圧を調整することが可能になる。また帯電制御に有効なバイアス電圧の範囲は、相対信号量が最小になるバイアス電圧でおおよそ決まる。例えば、加速電圧が10kVの場合は、バイアス電圧が-380Vで相対信号量が最小となるので、帯電制御に有効な範囲はおおよそ±380Vということになる。なお、このバイアス電圧の範囲は上記の手順で求めた有効な範囲(前述の例では±380V)とほぼ等しい範囲が設定されていればよく、前述の例において有効な範囲を±500Vと設定しても、本発明を用いた帯電の制御で、過剰な帯電による像質劣化等の問題が発生しない限り、帯電の制御に有効な範囲を見直す必要はない。
(本発明の制御を用いた最適条件の導出方法)
次に、加速電圧・制御電圧・減速電圧をパラメータとして連動させたときの、最適な検査条件の導出方法の一例を図で説明する。
ここで、本発明の効果を図9に示す。図9は本発明を利用した加速電圧5kVと利用しない10kVの半導体パターンのSEM画像で、バイアス電圧として帯電を制御しないバイアス電圧が+5000Vの場合と帯電を制御するバイアス電圧が0Vの画像を示す。バイアス電圧+5000Vの場合、加速電圧10kVでも5kVでも画像の解像度に大きな差は見られないが、バイアス電圧0Vの場合、加速電圧10kVで明らかに解像度の劣化が見られたものが、加速電圧5kVにすることにより、解像度の劣化が大幅に抑制できていることがわかる。
(レシピの作成)
次に、上記で説明した最適な検査条件を決める手順について説明する。図10は最適な検査条件を決める手順を示したものであり、ユーザはレシピ作成の際この手順に基づき最適条件を決める。ここでレシピとは、検査を行う際必要となる光学条件や被検査試料の情報及び検査結果等のデータを意味し、図1中の画像表示装置26内のメモリに格納される。
以下、レシピの作成手順に従い、本発明の最適な光学条件の設定手順を説明する。まず、レシピの作成を始めるに当たり、他のレシピと区別をつける為、検査するウェハの基本情報を入力する。これは、図10中で「1.品種、工程の名称を入力」に相当し、検査するウェハの品種、工程等の被検査試料を特徴づける要素をユーザが入力する。ここで、入力した情報は後にレシピを分類し、メモリからレシピデータを読み出す際の基準となる。ユーザはウェハの基本情報を入力した後、帯電を制御した検査が必要か否か判断する(「2.帯電制御が必要」の工程)。帯電を制御した検査が必要な場合、ユーザは「3.入射エネルギーの入力」工程で電子ビームの入射エネルギーを選択し、「4.バイアス電圧の入力」で検査中のウェハ表面の帯電に相当するバイアス電圧を入力する。そして、「5.最適加速電圧の設定」では、ユーザが装置内に記憶された図8のグラフをもとに最適な加速電圧を設定する。また、この工程は前記の3、4の入力値をもとに装置が自動的に最適な加速電圧を設定しても良い。上記、一連の工程で本発明を実現するために必要な光学条件が設定される。
「11.欠陥抽出パラメータの入力」は検査を行う際、装置が検知した特異点が欠陥であるか否かを判定する閾値を決める工程であり、装置のユーザが任意に設定することができる。ここで、装置が被検査試料の特異点を検知する方法は、同一のパターンのレイアウトで、かつ被検査試料内の異なる領域の画像同士を比較し特異点を抽出する。上記の1から12の工程を経てレシピデータとして必要な情報を設定し、最後に「12.レシピデータの保存」を行い、レシピの作成を終了する。装置のユーザは上記の手順に従い、レシピを作成することで、本発明の帯電を制御した検査を実現することが可能になる。
(GUI画面)
図11は本発明を検査装置に適用した場合のGUI画面の一例を示したもので、図10に示した「3.入射エネルギーを入力」「4.バイアス電圧を入力」「5.最適加速電圧を設定」「8.光学条件を設定」のフローを行う際、表示される画面である。画面は光学系の設定の入力画面、光学特性データの表示画面、光学系の特性の結果出力画面で構成される。ユーザは光学系の設定の入力画面で、所望の入射エネルギー、バイアス電圧、プローブ電流を入力し、光学系の特性の結果出力画面内の更新ボタンを押すことで結果を更新することができ、光学特性の表示画面と結果出力画面の結果をもとに、入力した数値が適切であるかを判断することができる。適切である場合は、保存のボタンを押した後、終了ボタンを押し次のレシピ作成の工程に進む。一方、適切でない場合は、上記と同じ手順で結果を確認し、ユーザが適切な光学条件が得られたと判断するまで、この手順を繰り返すことができる。最適な光学条件の判断基準は、入射エネルギーとバイアス電圧とプローブ電流をユーザが指定し、ビーム径及び軸外ビーム径/軸上ビーム径が共に最小になる加速電圧が採用される。
6…ステージ部、7…画像処理部、8…制御部、9…引き出し電極、
10…コンデンサレンズa、11…アライメントコイルa、12…制限絞り、
13…コンデンサレンズb、14…アライメントコイルb、15…ExB偏向器、
16…偏向器、17…アライメントコイルc、18…対物レンズ、19…検出器、
20…アース電極、21…ウェハホルダ、22…絶縁材料、23…ステージ、
24…画像形成装置、25…画像処理装置、26…画像表示装置、27…電子銃電源、
28…電子光学系制御電源、29…制御電圧電源、30…減速電圧電源、
31…ステージ制御装置、32…電子光学系制御装置、33…2次電子、
34…光学特性データの表示画面、35…光学系の設定の入力画面、
36…光学系の特性の結果表示画面、37…ボタン、
38…加速電圧10kVにおいて相対信号量が最大となるバイアス電圧、
39…加速電圧5kVにおいて相対信号量が最大となるバイアス電圧、41…1次電子、
42…解像度特性画面、43…視野内均一性の特性画面、44…最適加速電圧の特性画面。
Claims (12)
- 試料を載置する試料ステージと、該試料に対して電子線を走査し、当該走査により発生する2次電子を検出して2次電子信号として出力する電子光学系と、該2次電子信号を処理して前記試料を検査する情報処理装置とを備え、
前記電子光学系は、電子源と、該電子源で発生した電子を加速する引き出し電極と、前記試料上に配置された帯電制御電極と、前記試料に減速電圧を印加するための減速電極を備えた検査装置において、
前記減速電極に印加する電圧を調整する機能と、
前記制御電極に印加する電圧を調整する機能と、
前記試料に入射する電子線のエネルギーと、前記試料上に形成した電界と、前記試料に入射する電子線のプローブ電流がほぼ一定になるように、前記加速電圧、前記減速電圧、前記制御電圧を連動して制御する機能とを備えた電子光学系制御手段を有することを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記入射エネルギー、前記試料上の電界、及び前記プローブ電流を一定に保ちつつ、かつ前記電子線のプローブ径が最適になるよう、該加速電圧、該減速電圧、該制御電圧を連動して調整する機能を備えた検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記情報処理装置には、絶縁物試料に対して損傷が発生せず、かつ2次電子の放出効率が1以上となるような前記電子線の入射エネルギーの値が格納され、
該格納された価に基づき、前記引き出し電極、帯電制御電極および減速電極への印加電圧を制御することを特徴とする検査装置。 - 請求項3に記載の検査装置において、
前記制御電圧と該減速電圧の差で前記試料の表面電位を制御することを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記加速電圧、減速電圧、制御電圧を連動して制御したときの、前記電子線のプローブ径または電子線を走査したときの走査端での電子線のプローブ径の大きさを表示する表示画面を備えたことを特徴とする検査装置。 - 請求項5に記載の検査装置において、
前記情報処理手段は、前記プローブ径を格納する記憶装置を備えたこと特徴とする検査装置。 - 請求項1から6のいずれか1項に記載の検査装置において、
前記試料が、回路パターンの形成された半導体ウェハ、チップ、または当該ウェハを割断したウェハ欠片であることを特徴とする検査装置。 - 被検査試料に対して電子線を照射し、当該照射により発生した2次電子を検出して得られる画像信号を処理することにより、該被検査試料の検査を行う検査方法において、
電子源より放出された電子を加速電圧まで加速し、
前記被検査試料に減速電圧を印加することにより前記電子線の入射エネルギーを調整し、
前記試料直上に配置された制御電極に制御電圧を印加することにより前記被検査試料上に任意の電界を形成し、
前記試料に入射するエネルギーと、前記試料上に形成する電界と、前記被検査試料に入射する該電子線のプローブ電流がほぼ一定になるように、前記加速電圧、減速電圧、制御電圧を連動して制御することを特徴とする検査方法。 - 請求項8に記載の検査方法において、
前記試料に入射するエネルギーと、試料上に形成する電界と、被検査試料に入射する該電子線のプローブ電流とを一定に保ちつつ、前記電子線のプローブ径が最適になるように前記加速電圧、減速電圧、制御電圧とを連動して制御することを特徴とする検査方法。 - 請求項8に記載の検査方法において、
前記電子線の入射エネルギーを、2次電子の放出効率が1以上、かつ前記被検査該試料の損傷が発生しない大きさに制御することを特徴とする検査方法。 - 請求項10に記載の検査方法において、
前記制御電圧と減速電圧の差で前記被検査試料の表面電位を制御することを特徴とした検査方法。 - 請求項8に記載の検査方法において、
該試料が半導体装置であり、半導体装置に形成されたパターンの形状不良及び電気特性不良を検知することを特徴とした検査方法。
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US11/692,263 US7652248B2 (en) | 2006-03-30 | 2007-03-28 | Inspection apparatus and inspection method |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009170150A (ja) * | 2008-01-11 | 2009-07-30 | Hitachi High-Technologies Corp | 検査計測装置および検査計測方法 |
JP2010140688A (ja) * | 2008-12-10 | 2010-06-24 | Jeol Ltd | 電子線装置及び電子線装置の動作方法 |
WO2011058950A1 (ja) * | 2009-11-13 | 2011-05-19 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子線を用いた試料観察方法及び電子顕微鏡 |
JP2013033739A (ja) * | 2012-09-07 | 2013-02-14 | Hitachi High-Technologies Corp | 検査計測装置および検査計測方法 |
WO2018025849A1 (ja) * | 2016-08-02 | 2018-02-08 | 松定プレシジョン株式会社 | 荷電粒子線装置及び走査電子顕微鏡 |
WO2018134870A1 (ja) * | 2017-01-17 | 2018-07-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査電子顕微鏡および走査電子顕微鏡による試料観察方法 |
WO2018154800A1 (ja) * | 2017-02-23 | 2018-08-30 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 計測装置及び観測条件の設定方法 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5164317B2 (ja) * | 2005-08-19 | 2013-03-21 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子線による検査・計測方法および検査・計測装置 |
JP2011077331A (ja) * | 2009-09-30 | 2011-04-14 | Tokyo Electron Ltd | 検査装置及び検査方法 |
WO2013096873A1 (en) | 2011-12-22 | 2013-06-27 | Modular Bionics Inc. | Neural interface device and insertion tools |
US10674914B1 (en) * | 2015-06-24 | 2020-06-09 | Modular Bionics Inc. | Wireless neural interface system |
EP3174085A1 (en) * | 2015-11-30 | 2017-05-31 | FEI Company | Filter assembly for discriminating secondary and backscattered electrons in a non-transmission charged particle microscope |
US10086192B2 (en) | 2016-07-07 | 2018-10-02 | Modular Bionics Inc. | Neural interface insertion and retraction tools |
CN106920723A (zh) * | 2017-03-06 | 2017-07-04 | 聚束科技(北京)有限公司 | 一种扫描聚焦系统及电子束控制方法 |
JP6954885B2 (ja) * | 2018-11-26 | 2021-10-27 | 日本電子株式会社 | 荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置の制御方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63308510A (ja) * | 1987-06-10 | 1988-12-15 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 荷電ビ−ム測長法および測長装置 |
JP2004227879A (ja) * | 2003-01-22 | 2004-08-12 | Hitachi Ltd | パターン検査方法及びパターン検査装置 |
JP2004319519A (ja) * | 1998-11-27 | 2004-11-11 | Hitachi Ltd | 電子ビームを用いた検査方法及び検査装置 |
JP2004342470A (ja) * | 2003-05-16 | 2004-12-02 | Hitachi High-Technologies Corp | 半導体検査装置および半導体査方法 |
JP2005183881A (ja) * | 2003-12-24 | 2005-07-07 | Jeol Ltd | 荷電粒子ビームを用いた半導体ウェハ試料の検査方法および装置 |
JP2005292076A (ja) * | 2004-04-05 | 2005-10-20 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子ビームによる検査方法および検査装置 |
JP2006054094A (ja) * | 2004-08-11 | 2006-02-23 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査型電子顕微鏡 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6172363B1 (en) * | 1996-03-05 | 2001-01-09 | Hitachi, Ltd. | Method and apparatus for inspecting integrated circuit pattern |
JP3440448B2 (ja) * | 1996-11-12 | 2003-08-25 | 日本電子株式会社 | 熱電界放射型電子銃 |
US6504393B1 (en) | 1997-07-15 | 2003-01-07 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for testing semiconductor and integrated circuit structures |
JP3441955B2 (ja) * | 1998-02-23 | 2003-09-02 | 株式会社日立製作所 | 投射方式の荷電粒子顕微鏡および基板検査システム |
JP3724949B2 (ja) * | 1998-05-15 | 2005-12-07 | 株式会社東芝 | 基板検査装置およびこれを備えた基板検査システム並びに基板検査方法 |
JP4093662B2 (ja) * | 1999-01-04 | 2008-06-04 | 株式会社日立製作所 | 走査形電子顕微鏡 |
US6252412B1 (en) * | 1999-01-08 | 2001-06-26 | Schlumberger Technologies, Inc. | Method of detecting defects in patterned substrates |
JP2000314710A (ja) * | 1999-04-28 | 2000-11-14 | Hitachi Ltd | 回路パターンの検査方法及び検査装置 |
US6538249B1 (en) * | 1999-07-09 | 2003-03-25 | Hitachi, Ltd. | Image-formation apparatus using charged particle beams under various focus conditions |
JP2005259396A (ja) * | 2004-03-10 | 2005-09-22 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥画像収集方法およびその装置 |
US7176468B2 (en) * | 2004-09-16 | 2007-02-13 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Method for charging substrate to a potential |
-
2006
- 2006-03-30 JP JP2006092771A patent/JP2007265931A/ja active Pending
-
2007
- 2007-03-28 US US11/692,263 patent/US7652248B2/en active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63308510A (ja) * | 1987-06-10 | 1988-12-15 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 荷電ビ−ム測長法および測長装置 |
JP2004319519A (ja) * | 1998-11-27 | 2004-11-11 | Hitachi Ltd | 電子ビームを用いた検査方法及び検査装置 |
JP2004227879A (ja) * | 2003-01-22 | 2004-08-12 | Hitachi Ltd | パターン検査方法及びパターン検査装置 |
JP2004342470A (ja) * | 2003-05-16 | 2004-12-02 | Hitachi High-Technologies Corp | 半導体検査装置および半導体査方法 |
JP2005183881A (ja) * | 2003-12-24 | 2005-07-07 | Jeol Ltd | 荷電粒子ビームを用いた半導体ウェハ試料の検査方法および装置 |
JP2005292076A (ja) * | 2004-04-05 | 2005-10-20 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子ビームによる検査方法および検査装置 |
JP2006054094A (ja) * | 2004-08-11 | 2006-02-23 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査型電子顕微鏡 |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009170150A (ja) * | 2008-01-11 | 2009-07-30 | Hitachi High-Technologies Corp | 検査計測装置および検査計測方法 |
JP2010140688A (ja) * | 2008-12-10 | 2010-06-24 | Jeol Ltd | 電子線装置及び電子線装置の動作方法 |
WO2011058950A1 (ja) * | 2009-11-13 | 2011-05-19 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子線を用いた試料観察方法及び電子顕微鏡 |
JP5406308B2 (ja) * | 2009-11-13 | 2014-02-05 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子線を用いた試料観察方法及び電子顕微鏡 |
JP2013033739A (ja) * | 2012-09-07 | 2013-02-14 | Hitachi High-Technologies Corp | 検査計測装置および検査計測方法 |
JPWO2018025849A1 (ja) * | 2016-08-02 | 2019-06-13 | 松定プレシジョン株式会社 | 荷電粒子線装置及び走査電子顕微鏡 |
WO2018025849A1 (ja) * | 2016-08-02 | 2018-02-08 | 松定プレシジョン株式会社 | 荷電粒子線装置及び走査電子顕微鏡 |
WO2018134870A1 (ja) * | 2017-01-17 | 2018-07-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査電子顕微鏡および走査電子顕微鏡による試料観察方法 |
JPWO2018134870A1 (ja) * | 2017-01-17 | 2019-11-07 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査電子顕微鏡および走査電子顕微鏡による試料観察方法 |
WO2018154800A1 (ja) * | 2017-02-23 | 2018-08-30 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 計測装置及び観測条件の設定方法 |
JP2018137160A (ja) * | 2017-02-23 | 2018-08-30 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 計測装置及び観測条件の設定方法 |
KR20190085044A (ko) * | 2017-02-23 | 2019-07-17 | 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈 | 계측 장치 및 관측 조건의 설정 방법 |
KR102267218B1 (ko) * | 2017-02-23 | 2021-06-21 | 주식회사 히타치하이테크 | 계측 장치 및 관측 조건의 설정 방법 |
US11043358B2 (en) | 2017-02-23 | 2021-06-22 | Hitachi High-Tech Corporation | Measuring apparatus and method of setting observation condition |
CN110168696B (zh) * | 2017-02-23 | 2021-07-30 | 株式会社日立高新技术 | 测量装置和观测条件的设定方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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