JP6781677B2 - 電子部品の実装装置と実装方法、およびパッケージ部品の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は実施形態による電子部品の実装装置の構成を示す平面図、図2は図1に示す実装装置の正面図、図3は図1に示す実装装置の右側面図、図4は図1に示す実装装置の構成を示すブロック図である。図1ないし図3において、図1を基準として、実装装置1における左右方向をX方向、前後方向をY方向、上下方向をZ方向とする。これらの図に示す実装装置1は、半導体チップt等の電子部品を供給する部品供給部10と、支持基板Wが載置されるステージ21を備えるステージ部20と、部品供給部10から半導体チップtを取り出す移載部30と、移載部30が取り出した半導体チップtを受取ってステージ21に載置された支持基板Wに実装する実装部40と、各部10、20、30、40の動作を制御する制御部50とを具備している。
部品供給部10は、実装装置1のベース部1a上の手前側中央に配置されている。部品供給部10は、支持基板Wに実装する電子部品としての半導体チップtを供給する。部品供給部10は、半導体チップt毎に個片化された半導体ウエーハTが貼着された樹脂シートSを保持するウエーハリング11と、ウエーハリング11を着脱自在に保持し、不図示のXY移動機構によりXY方向に移動可能なウエーハリングホルダ12と、移載部30によって半導体チップtを取り出すときに、取り出される半導体チップtをウエーハリング11の下側から突き上げる不図示の突き上げ機構とを備えている。突き上げ機構は、移載部30による半導体チップtの取り出しポジションに固定的に設けられている。突き上げ機構としては、公知の構成を有する機構、例えば特開2010−056466号公報に記載の機構を有するものを用いることができる。
ステージ部20は、ベース部1a上の後方中央に配置されている。ステージ部20は、複数の実装領域を有する支持基板Wが載置されるステージ21と、ステージ21をXY方向に移動させるステージ移動装置としてのXY移動機構22とを備える。XY移動機構22は、ステージ21上に載置された支持基板WのX方向に沿う実装領域の各行が後に詳述するX方向に沿う一直線上に設定された一定の実装ラインに順に位置付けられるように、ステージ21を移動させる。XY移動機構22は、ステージ21に載置される最も大きな支持基板Wを、X方向においては支持基板WのX方向の寸法の2分の1より若干大きい(1/2X+α)範囲で移動させることができる移動ストロークを有し、Y方向においては支持基板WのY方向の寸法より若干大きい(Y+α)範囲で移動させることができる移動ストロークを有する。ステージ21は、不図示の吸引吸着機構によって、載置された支持基板Wを吸着保持することが可能なように構成されている。
移載部30は、左右一対の移載部30A、30Bと、中間ステージ31と、ウエーハリング保持装置32とを備えており、2つの移載部30A、30Bを左右反転した状態で配置したものである。2つの移載部30A、30Bは、部品供給部10を挟むようにベース部1a上の前方両側に分けて配置されており、左右が反転していることを除いて、同一構成を有している。以下においては、左側の移載部30Aの構成を説明し、右側の移載部30Bの構成の説明は省略する。
実装部40は、左右一対の移載部30A、30Bと同様に、同一構成を有する2つの実装部40A、40Bを備えている。2つの実装部40A、40Bは、ステージ部20を挟むようにベース部1a上の後方両側に左右反転した状態で分けて配置されている。以下においては、左右一対の実装部40についても、左側の実装部40Aの構成のみを説明し、右側の実装部40Bの構成の説明は省略する。
制御部50は、記憶部51に記憶された制御情報に基づいて、部品供給部10、ステージ部20、移載部30、実装部40の動作を制御し、半導体チップtを含む電子部品を支持基板Wの各実装領域に順次実装する。記憶部51には、後述するステージ21の移動位置誤差の取得工程により得られたステージ21の移動位置誤差を補正するステージ補正データや、実装ツール43a、43bの移動位置誤差の取得工程により得られた実装ツール43a、43bの移動位置誤差を補正するツール補正データが記憶されており、これらの補正データに基づいてステージ21および実装部40の移動が制御される。また、記憶部51には、支持基板Wに対して半導体チップtを実装するための、移載部30や実装部40等に対する動作プログラム等も記憶されている。
次に、実装装置1を用いた半導体チップt等の電子部品の実装工程について説明する。支持基板Wの各実装領域に半導体チップt等の電子部品を実装するにあたって、グローバル認識方式のみを適用する場合、実装領域の位置認識は行われないため、各実装領域に対する半導体チップtの位置決め精度は、支持基板Wのグローバルマーク等の認識精度とステージ21のXY移動機構22の機械加工精度等、並びに実装ツール43a、43bのX方向移動装置42a、Y方向移動装置41a、Z方向移動装置43c、43dの機械加工精度等に頼ることになる。しかしながら、ステージ21や実装ツール43a、43bの移動をガイドするガイドレール等を、所望の範囲にわたって±7μm以下の精度で仕上げることは、金属加工上実質的に不可能である。ましてや、所望の長さを有するガイドレールを金属フレーム等に±7μm以下の直進性とうねりで組み付けることは、尚更不可能である。そこで、ステージ21の移動位置誤差を測定し、ステージ21の移動を補正するデータを取得(キャリブレーション)する。また、実装ツール43a、43bの移動位置誤差を実装ライン上において測定し、実装ツール43a、43bの移動を補正するデータを取得(キャリブレーション)する。
ステージ21の移動位置誤差を補正するデータは、図6および図7に示すような校正基板71を使用して取得する。校正基板71は、例えばガラス製の基板に位置認識用のドットマーク72が予め設定された間隔で行列状に設けられたものである。校正基板71のドットマーク72は、例えば縦600mm×横600mmの範囲内に3mm間隔で設けられている。ドットマーク72は、金属薄膜等で形成されており、エッチングやスパッタリング等の成膜技術を用いて形成することができる。ドットマークの直径は、例えば0.2mmである。このような校正基板71をステージ21上に正確にセットする。校正基板71のセット方法は特に限定されないが、例えば以下に示すような方法により実施される。ここで、校正基板71は支持基板Wと同じ大きさを有し、ドットマークが設けられた範囲は支持基板W上の全ての実装領域を含む範囲と同じ大きさとされている。
上述したような校正基板71を作業者の手作業によってステージ21上にセットする。校正基板71のセットは、校正基板71をステージ21上に載置した後、校正基板71の平行調整(ドットマーク72の並び方向をXY方向に合わせる調整)を行うことにより実施される。平行調整は、支持基板Wのグローバルマークの撮像に用いる基板認識カメラ43fのうち、例えば左の実装ヘッド43の基板認識カメラ43fを利用して行う。まず、ステージ21上に載置された校正基板71上において、図6に示すように、校正基板71の左手前の角部に位置するドットマーク72が基板認識カメラ43fの撮像視野Vの中心となるようにステージ21の位置を調整する。
次に、上記した方法でステージ21上にセットされた校正基板71のドットマーク72の位置を、左右の実装ヘッド43が備える基板認識カメラ43fを用いて認識し、ステージ21の移動位置誤差およびそれに基づく補正データを取得する。ドットマーク72の認識は、左右の基板認識カメラ43fをそれぞれ所定の位置で停止させた状態で校正基板71を移動させることによって行う。校正基板71上のドットマーク72の撮像は、例えば図7に示すように、校正基板71の後方(ベース部1aの後方側に位置する側)左端に位置するドットマーク72からX方向右側に向けてドットマーク72の配置間隔である3mmピッチでピッチ移動を開始し、前方(ベース部1aの前方側に位置する側)に向けて順次折返しながら行う。この際、校正基板71上のドットマーク72のうち、左半分の領域に設けられたドットマーク72を左側の基板認識カメラ43fを用いて撮像し、右半分の領域に設けられたドットマーク72を右側の基板認識カメラ43fを用いて撮像する。
半導体チップtの接合に用いられるダイアタッチフィルムの接合性を向上させるため、ステージ21にヒータを設けて支持基板Wを加熱することがある。このような場合、ステージ21に載せる前と後とで支持基板Wの温度が変わる(上がる)ため、支持基板Wがその分だけ熱膨張する。支持基板Wが熱膨張すると、ステージ21と実装ヘッド55を精度良く移動させたとしても、支持基板Wが延びた分だけ実装位置がずれてしまう。
ステージ21を移動させるときには、ステージ21の移動位置誤差の取得工程で求めたステージ補正データのうち、左側の実装ヘッド43が備える基板認識カメラ43fを用いて取得したステージ補正データを参照し、ステージ21の移動位置を補正する。制御部50は、ステージ21に載置された支持基板W上のX方向に沿う実装領域の各行が順次実装ライン上に位置するようにXY移動機構22を制御する。このとき、制御部50は記憶部51に記憶された実装領域の位置情報(XY座標)と上述したステージ補正データを参照し、実装領域の行を実装ライン上に位置付けるときに必要な補正値を算出する。そして、実装領域の行を実装ライン上に位置付けるときのステージ21の移動位置を、算出した補正値分だけ補正する。ステージ21がヒータを有する場合には、上記した支持基板Wの熱膨張量に基づく係数を、ステージ21の補正データに乗ずるようにすることが好ましい。
実装ツール43a、43bのXY方向の移動位置誤差を補正するデータ(第1のツール補正データ)は、ステージ21のキャリブレーションと同様に、校正基板71を使用して取得する。従って、上述したキャリブレーション工程(1)と連続して行うとよい。この補正データの取得は、ステージ21を例えば原点位置に停止させた状態で、実装ラインを中央とするY方向に所定の幅を有する領域(図7に破線の斜線で示す領域であって、以下「補正データ取得領域Dt」という。)内に位置するドットマーク72の位置を、左右の実装ヘッド43が備える基板認識カメラ43fを個別に移動させながら認識することで行う。それぞれの実装ヘッド43の基板認識カメラ43fは、X方向に関しては実装ヘッド43のX方向における移動可能な範囲の全域で、Y方向に関しては設定された所定の幅の範囲内において補正データ取得領域Dt内のドットマーク72の撮像を行う。
左右の実装ヘッド43を移動させる際の移動位置の補正について説明する。まず、左側の実装ヘッド43を実装ライン上の実装位置に移動させるときには、実装ツール43a、43bの移動位置誤差の取得工程で求めた第1のツール補正データのうち、左側の実装ヘッド43が備える基板認識カメラ43fを用いて取得したツール補正データを参照して、実装ツール43a、43bの移動位置を補正する。制御部50は、実装ツール43a、43bに保持された半導体チップtを実装ライン上に位置付けられた実装領域の行のうち、所定の実装領域に実装すべく実装ヘッド43のX方向移動装置42aおよびY方向移動装置41aを制御する。このとき、制御部50は、記憶部51に記憶された当該実装領域の位置情報(XY座標)と上述した第1のツール補正データを参照し、当該実装領域の中心に半導体チップtの中心が一致するように位置付けるのに必要な補正値を算出する。そして、半導体チップtを実装領域に実装するときの実装ツール43a、43bの移動位置を、算出した補正値分だけ補正する。
実装ツール43a、43bのZ方向の移動位置誤差を補正するデータ(第2のツール補正データ)は、キャリブレーション工程(1)、(2)の後、ステージ補正データおよび第1のツール補正データを適用した状態で、支持基板Wまたは試験用の支持基板Wsに対し実装ライン上において所定のピッチで半導体チップtまたは試験用のチップtsを実装し、実装したチップの目標位置に対する位置ずれを測定することで取得する。
各実装ツール43a、43bの移動位置の補正について説明する。各実装ツール43a、43bを実装ライン上の実装領域に移動させるときには、記憶部51に記憶された第2のツール補正データである実装ライン上の目標位置と当該目標位置に対する実装位置ずれとの関係を表す相関データを参照し、当該実装領域に対応する実装位置ずれの値から補正値を算出する。そして、実装ツール43a、43bを実装領域に移動させるときの実装ヘッド43の移動位置を算出した補正値分だけ補正する。なお、第2のツール補正データの中に、実装領域の位置に一致する目標位置が存在しない場合には、例えば実装領域の位置に隣接する2つの目標位置における実装位置ずれを、一次式または多項式によって補間して、実装領域の位置に対応する実装位置ずれの補正値を算出するようにしても良い。
上記したキャリブレーション工程(1)〜(3)の後に、半導体チップt等の電子部品の支持基板Wへの実装工程を実施する。
まず、不図示の収納部からウエーハリングホルダ12に未使用のウエーハリング11を搬入し、ウエーハリング11をウエーハリングホルダ12上に固定する。この際、図8に示すように、左側の移載部30Aに設けられたウエーハリング保持装置32の支持アーム32aを図示右方向に移動させ、チャック部32bをウエーハリング11の保持位置へ移動させる。この状態で、2点鎖線で示す位置に移動して、収納部内のウエーハリング11の後端部を把持し、実線で示す位置まで移動させることで、収納部からウエーハリング11を引き出し、ウエーハリングホルダ12上にウエーハリング11を移動させる。ウエーハリングホルダ12上にウエーハリング11を位置付けたら、チャック部32bによるウエーハリング11の把持を解除し、支持アーム32aを図示左方向に移動させてチャック部32bを待機位置へ移動させる。ウエーハリングホルダ12上に位置付けられたウエーハリング11は、部品供給部10が備える不図示のエキスパンド機構によって樹脂シートSが引き伸ばされた状態で保持される。
(2−1:支持基板Wの供給)
不図示の搬送ロボットによって保持された支持基板Wがステージ21に供給される。不図示の搬送ロボットは、支持基板Wを載置して保持する搬送アームを備えており、支持基板Wを実装装置1の左側から左側の実装部40Aの支持フレーム41の門の下の空間を通してステージ21上に搬入する。支持基板Wをステージ21上に供給した後、搬送アームは実装装置1上から退避する。支持基板Wの供給工程は、ウエーハリング11の搬入工程(1)と並行して行なってもよいし、個別に行なってもよい。
ステージ21上に載置された支持基板Wのグローバルマークを検出し、支持基板Wの位置を認識する。例えば図9に示すように、支持基板Wの4隅のうち、3つの角部に設けられたグローバルマークA、B、Cを、順次左右の実装ヘッド43が備える基板認識カメラ43fを用いて撮像する。具体的には、支持基板Wの左後方(図9では左上)に位置するグローバルマークAが左側の実装ヘッド43の基板認識カメラ43fの真下に位置するように、左側の実装ヘッド43とステージ21とを相対的に移動させ、グローバルマークAを撮像する。次いで、支持基板Wの右後方(図9では右上)に位置するグローバルマークBが右側の実装ヘッド43の基板認識カメラ43fの真下に位置するように、右側の実装ヘッド43とステージ21とを相対的に移動させ、グローバルマークBを撮像する。最後に、支持基板Wの右前方(図9では右下)に位置するグローバルマークCが右側の実装ヘッド43の基板認識カメラ43fの真下に位置するように、右側の実装ヘッド43とステージ21とを相対的に移動させ、グローバルマークCを撮像する。このようにして撮像した撮像画像に基づいて3つのグローバルマークA、B、Cの位置を検出し、検出した3つのグローバルマークA、B、Cの位置に基づいて支持基板WのXY方向の位置ずれとθ方向(水平回転方向)の位置ずれを求める。支持基板Wの位置ずれは、各種公知の方法により求めることができ、その方法は特に限定されない。
(3−1:半導体チップtの位置検出)
ウエーハリングホルダ12にウエーハリング11が保持されると、ウエーハリング11上で最初に取り出される半導体チップtが取り出しポジションに位置付けられる。取り出しポジションは、図10に示す状態のウエーハリングホルダ12の中央に設定されている。ウエーハリング11上の半導体チップtを取り出す順序は、記憶部51に予め記憶されており、この順序にしたがって制御部50がウエーハリングホルダ12の移動を制御する。従って、最初の半導体チップtが取り出された後は、記憶部51に記憶されている順序にしたがってウエーハリングホルダ12がウエーハリング11をピッチ移動させる。
2つの半導体チップtの位置ずれが認識されると、取り出しポジションに位置付けられた半導体チップtの直上に、左側の移載ヘッド37の左の吸着ノズル37aが移動される。次いで、Z方向移動装置37cを駆動させて吸着ノズル37aを下降させ、吸着ノズル37aの吸着面を半導体チップtの上面(電極形成面)に当接させる。吸着ノズル37aが半導体チップtに当接したら、吸着ノズル37aに半導体チップtを吸着保持させる。吸着ノズル37aに吸着力を作用させるタイミングは、吸着ノズル37aが半導体チップtに当接する前でも、当接と同時でも、または当接した後でも、適宜のタイミングに設定すればよい。
中間ステージ31の載置部31a、31b上に半導体チップtが載置されると、左側の実装部40Aの実装ヘッド43が中間ステージ31に向けて移動され、図11に示すように、左右の実装ツール43a、43bを載置部31a、31bの上方位置に位置付ける。左右の実装ツール43a、43bが載置部31a、31b上に位置付けられると、Z方向移動装置43c、43dを駆動して実装ツール43a、43bを下降させ、実装ツール43a、43bを半導体チップtにそれぞれ当接させる。実装ツール43a、43bが半導体チップtに当接したら、実装ツール43a、43bに半導体チップtを吸着保持させる。この吸着保持のタイミングは、実装ツール43a、43bが半導体チップtに当接する前でも、当接と同時でも、または当接した後でも、適宜のタイミングに設定すればよい。実装ツール43a、43bが半導体チップtを吸着保持したら、Z方向移動装置43c、43dによって実装ツール43a、43bを元の高さまで上昇させる。これによって、2つの半導体チップtを同時に実装ツール43a、43bで受け取る。
(4−1:半導体チップtの位置検出および移動)
実装ツール43a、43bが半導体チップtを受け取ると、載置部31a、31bの上方に配置された撮像ユニット44のチップ認識カメラ44a、44bによって、実装ツール43a、43bに吸着保持された半導体チップtが撮像される。この撮像は、実装ツール43a、43bの透視可能な部材を透過して行われる。チップ認識カメラ44a、44bの撮像画像に基づいて、実装ツール43a、43bに吸着保持された半導体チップtの位置を検出する。この位置検出は、上述した工程(3)の(3−1)と同様に公知の画像認識技術を用いて実施することができる。検出した半導体チップtの位置に基づいて、半導体チップtの位置ずれを求める。
実装ヘッド43は、左右の実装ツール43a、43bのうち、まず左の実装ツール43aに保持された半導体チップtを実装する実装領域上に、左の実装ツール43aに保持された半導体チップtを位置付けるべく移動する。この場合、左の実装ツール43aに保持されている半導体チップtは、支持基板Wに最初に実装される半導体チップtであるから、実装ライン上に位置付けられた実装領域の行のうち、最も左側に位置する実装領域上に左の実装ツール43aが移動される。
支持基板W上の全ての実装領域に対して半導体チップtの実装が完了したら、移載部30および実装部40が一旦停止され、半導体チップtの実装が完了した支持基板Wのステージ21からの搬出と、新たな支持基板Wのステージ21上への搬入が行われる。ステージ21からの支持基板Wの搬出は、上述の工程(2)で説明した搬送ロボットとは異なる搬送ロボットによって行われる。この搬送ロボットは、実装装置1の右側から右側の実装部40Bの支持フレーム41の門の下の空間を通して搬送アームを侵入させ、ステージ21上の支持基板Wを受け取った後、支持フレーム41の門の下の空間を通して支持基板Wを搬出する。搬出した支持基板Wは、後述する封止工程S2へと搬送される。新たな支持基板Wは、上述した工程(2)と同様にしてステージ21上にセットされる。
上述したように支持基板Wに対する半導体チップtの実装を繰り返し行うことで、ウエーハリング11上の半導体チップtが無くなった場合、ウエーハリング11が新たなウエーハリング11と交換される。この交換は、上述の工程(1)と同様に、左側の移載部30Aに設けられたウエーハリング保持装置32を用いて行われる。すなわち、ウエーハリング11上の半導体チップtが無くなると、部品供給部10が備えるエキスパンド機構(不図示)によるウエーハリング11の保持が解除される。この後、ウエーハリング保持装置32が工程(1)とは逆の動作でウエーハリング11をウエーハリングホルダ12上から収納部(不図示)内へと収納し、次いで工程(1)の動作で新たなウエーハリング11を収納部からウエーハリングホルダ12上に供給する。
上述した実施形態の実装装置1を用いて、以下の条件で支持基板上に半導体チップの実装を実際に行なった。目標実装精度は、±7μm以内、目標タクトタイムは、0.45秒以内とした。
<実装条件>
・半導体チップtのサイズ:4mm×4mm
・実装数(縦×横):1実装ヘッドあたり14個×7個(計98個)
1実装ツールあたり7個×7個(計49個)×4実装ツール
・実装ピッチ(縦×横):1実装ヘッドあたり12mm×60mm
1実装ツールあたり24mm×60mm
・ボンディング時間:0.1秒
・ボンディング荷重:5N(ニュートン)
ステージ補正データとツール補正データを用いないことを除いて、実施例1と同一条件で半導体チップtを支持基板Wの各実装領域に実装した。支持基板Wに実装した196個の半導体チップtの実装位置ずれを、検査装置を用いて測定した結果を表2に示す。
Claims (11)
- 支持基板に電子部品を実装する電子部品の実装装置であって、
前記電子部品が実装される複数の実装領域を有する前記支持基板が載置されるステージと、水平方向に沿う一方向であるX方向とは直交するY方向に前記ステージを移動させるステージ移動機構とを備えるステージ部と、
前記X方向に沿って配置され、前記電子部品を保持する複数の実装ツールをそれぞれ有する第1および第2の実装ヘッドと、前記複数の実装ツールにより前記電子部品を保持した前記第1および第2の実装ヘッドを前記X方向に沿って設定された実装ライン上に移動させる実装ヘッド移動機構とを備える実装部と、
前記ステージ上に載置された前記支持基板の全体位置を認識する第1の認識部と、
前記第1および第2の実装ヘッドの前記複数の実装ツールに保持された前記電子部品の位置を認識する第2の認識部と、
前記ステージ移動機構による前記ステージの移動位置誤差を補正するステージ補正データと、前記実装ヘッド移動機構による前記実装ライン上における前記第1および第2の実装ヘッドの前記複数の実装ツール毎の移動位置誤差を補正するツール補正データとを記憶する記憶部と、
前記第1の認識部により認識した前記支持基板の位置データ、前記記憶部に記憶された前記ステージ補正データ、前記第2の認識部により認識した前記複数の実装ツールに保持された前記電子部品の位置データ、および前記記憶部に記憶された前記ツール補正データに基づいて、前記支持基板における前記X方向に沿う前記実装領域の列を前記実装ライン上に順次配置すると共に、前記実装ラインに配置された複数の前記実装領域に前記電子部品を前記第1および第2の実装ヘッドで分担して実装するように、前記ステージ移動機構と前記実装ヘッド移動機構の動作を制御する制御部と
を具備する電子部品の実装装置。 - 前記ステージは、前記第1および第2の実装ヘッドにおける前記X方向において外側に位置する前記実装ツール同士の近接間隔の2倍以上の前記X方向の寸法を有する前記支持基板を載置可能な大きさを有する、請求項1に記載の実装装置。
- 前記ステージは、300mm以上の前記X方向の寸法を有する前記支持基板を載置可能な大きさを有する、請求項1に記載の実装装置。
- 前記実装部は、前記支持基板の1つの前記実装領域に複数の前記電子部品を実装する、請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の実装装置。
- さらに、前記電子部品を供給する部品供給部と、
それぞれ前記部品供給部から前記電子部品を受け取り、前記第1または第2の実装ヘッドの前記複数の実装ツールに前記電子部品を受け渡す、第1および第2の移載ノズルを備える移載部とを具備する、請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の実装装置。 - 支持基板に電子部品を実装する電子部品の実装方法であって、
前記電子部品が実装される複数の実装領域を有する支持基板が載置されるステージの移動位置誤差を取得し、前記移動位置誤差を補正するステージ補正データを記憶部に記憶させる工程と、
水平方向に沿う一方向であるX方向に沿って配置された第1および第2の実装ヘッドにそれぞれ設けられ、前記電子部品を保持する複数の実装ツールの移動位置誤差を、前記X方向に沿って設定された実装ライン上において取得し、前記移動位置誤差を補正するツール補正データを前記記憶部に記憶させる工程と、
前記ステージ上に前記支持基板を載置すると共に、前記ステージ上に載置された前記支持基板の全体位置を認識する工程と、
前記支持基板の位置認識工程により得た前記支持基板の位置データと前記ステージ補正データとに基づいて前記ステージの移動を補正しつつ、前記複数の実装領域における前記X方向に沿う前記実装領域の列を前記実装ラインに順に位置付けるように、前記ステージを移動させる工程と、
前記第1および第2の実装ヘッドの前記複数の実装ツールで前記電子部品を交互に受け取り、前記複数の実装ツールに保持された前記電子部品の位置を認識すると共に、認識した前記電子部品の位置データおよび前記ツール補正データに基づいて前記第1および第2の実装ヘッドの前記複数の実装ツールの移動を補正しつつ、前記第1および第2の実装ヘッドを前記実装ライン上に移動させ、前記第1および第2の実装ヘッドの前記複数の実装ツールにより前記電子部品を、前記実装ラインに位置づけられた前記実装領域に前記第1および第2の実装ヘッドで分担して実装する工程と
を具備する電子部品の実装方法。 - 前記支持基板は、前記第1および第2の実装ヘッドにおける前記X方向において外側に位置する前記実装ツール同士の近接間隔の2倍以上の前記X方向の寸法を有する、請求項6に記載の実装方法。
- 前記支持基板は、300mm以上の前記X方向の寸法を有する、請求項6に記載の実装方法。
- 前記実装工程は、前記支持基板の1つの前記実装領域に複数の前記電子部品を実装する工程を備える、請求項6ないし請求項8のいずれか1項に記載の実装方法。
- 支持基板の複数の実装領域のそれぞれに電子部品を実装する工程と、前記複数の実装領域に実装された前記電子部品を一括して封止することにより疑似ウエーハまたは擬似パネルを形成する工程と、前記疑似ウエーハまたは擬似パネルの前記電子部品上に再配線層を形成することによりパッケージ部品を製造する工程とを具備するパッケージ部品の製造方法であって、
前記電子部品の実装工程は、
前記支持基板が載置されるステージの移動位置誤差を取得し、前記移動位置誤差を補正するステージ補正データを記憶部に記憶させる工程と、
水平方向に沿う一方向であるX方向に沿って配置された第1および第2の実装ヘッドにそれぞれ設けられ、前記電子部品を保持する複数の実装ツールの移動位置誤差を、前記X方向に沿って設定された実装ライン上において取得し、前記移動位置誤差を補正するツール補正データを前記記憶部に記憶させる工程と、
前記ステージ上に前記支持基板を載置すると共に、前記ステージ上に載置された前記支持基板の全体位置を認識する工程と、
前記支持基板の位置認識工程により得た前記支持基板の位置データと前記ステージ補正データとに基づいて前記ステージの移動を補正しつつ、前記複数の実装領域における前記X方向に沿う前記実装領域の列を前記実装ラインに順に位置付けるように、前記ステージを移動させる工程と、
前記第1および第2の実装ヘッドの前記複数の実装ツールで前記電子部品を交互に受け取り、前記複数の実装ツールに保持された前記電子部品の位置を認識すると共に、認識した前記電子部品の位置データおよび前記ツール補正データに基づいて前記第1および第2の実装ヘッドの前記複数の実装ツールの移動を補正しつつ、前記第1および第2の実装ヘッドを前記実装ライン上に移動させ、前記第1および第2の実装ヘッドの前記複数の実装ツールにより前記電子部品を、前記実装ラインに位置づけられた前記実装領域に前記第1および第2の実装ヘッドで分担して実装する工程と
を具備する、パッケージ部品の製造方法。 - 前記電子部品の実装工程は、前記支持基板の1つの前記実装領域に複数の前記電子部品を実装する工程を備える、請求項10に記載のパッケージ部品の製造方法。
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