JP6779547B2

JP6779547B2 - 電解処理アッセンブリー及びそれを用いた表面処理装置

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Publication number: JP6779547B2
Application number: JP2019543580A
Authority: JP
Inventors: 勝己石井; 重幸渡邉
Original assignee: Almex Technologies Inc
Current assignee: Almex Technologies Inc
Priority date: 2017-09-20
Filing date: 2018-09-12
Publication date: 2020-11-04
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Description

本発明は、電解メッキ装置等の表面処理槽に配置される電解処理アッセンブリー及びそれを用いた表面処理装置に関する。

電解メッキ装置等の表面処理装置では、例えば特許文献１に示すように、メッキ槽内のワークの搬送経路を挟んだ両側に、網状ボックスとノズル管とが設けられる。導電性網状ボックス内には消耗品である陽極ボール（可溶性陽極）が収容される。ワークと網状ボックスとの間にノズル管が配置される。ノズル管には、縦列にて複数の噴出口（ノズル）が配置され、メッキ液をワークの被処理面に向けて噴出可能である。

特許文献２では、多数の貫通孔が形成された不溶性陽極板と、不溶性陽極板の背面側にて固定されるノズル管とが一体化されている。ノズル管は、貫通孔に対応する位置にて不溶性陽極板に固定され、処理液はノズル管及び貫通孔を介してワークに向けて噴出される。

特開２０１２−０４６７８２号公報特開２００２−２２６９９３号公報

特許文献１の可溶性電極は、電極材料が溶解してメッキ成分となる。可溶性電極は消耗品であり、交換を要する。また、可溶性電極はメッキ成分のみから形成されず不純物（例えばリンＰ）を含む欠点がある。一方、特許文献２の不溶性電極は、電極材料は溶解せず、メッキ槽内のメッキ液中の金属プラスイオン（例えば酸化第二銅）がメッキ成分となり、不溶性電極は電極のみとして用いられる点で、可溶性電極よりも優れている。特に、例えば１０〜１０数Ａ／ｄｍ^２レベルの高電流密度を達成すると、可溶性電極は消耗が大きいので、不溶性電極を用いることが望まれる。

さらに特許文献２では、陽極とノズル管とが一体的に連結されているので、メンテナンス時等に陽極とノズル管とを一体でメッキ槽から取り外すことができ、作業性が向上する。

しかし、特許文献２では、不溶性陽極板に多数の貫通孔が不可欠であることから、陽極板の電気抵抗が増大してしまう。同様に、特許文献１の導電性網状ボックスでも電気抵抗の増大は避けられない。また、特許文献２の不溶性陽極板はメッキ槽内で露出される。メッキ槽内のマイナスイオンが不溶性陽極板に付着することを起因としたメッキ品質の低下を避けるため、不溶性陽極板の全表面をイオン交換膜により覆われなければならない。もし、不溶性陽極板の周囲を隔壁で囲んでマイナスイオンの侵入を阻止しようとすると、ノズル管からワークに向かう噴流も隔膜により妨げられてしまう。

本発明の幾つかの態様は、陽極の電気抵抗を増大させることなく、かつ、処理槽内のマイナスイオンが不溶性陽極側に侵入することを阻止しながら、不溶性陽極とノズル管とを一体化させてメンテナンスの作業性等を向上させることが可能な電解処理アッセンブリー及びそれを用いた表面処理装置を提供することを目的とする。

（１）本発明の一態様は、陰極に設定されるワークの表面を電解処理する表面処理槽に取付けられる電解処理アッセンブリーであって、
ノズルユニットと、
前記ノズルユニットと一体的に連結された陽極ユニットと、
を有し、
前記ノズルユニットは、
垂直方向の異なる位置から処理液をそれぞれ噴出させる複数のノズル管と、
前記複数のノズル管に前記処理液を供給する共通配管と、
前記表面処理槽に設置される外部配管に前記共通配管を連結する配管継手と、
を含み、
前記陽極ユニットは、
前記複数のノズル管と水平方向で離れた位置に配置される少なくとも一つの不溶性陽極と、
前記少なくとも一つの不溶性陽極と前記水平方向で離れて配置される隔壁を含み、前記少なくとも一つの不溶性陽極を前記隔壁により囲む陽極ボックスと、
前記表面処理槽に設置される外部給電部に前記少なくとも一つの不溶性陽極を接続する被給電部と、
を有する電解処理アッセンブリーに関する。

本発明の一態様に係る電解処理アッセンブリーによれば、外部配管に対してノズルユニットの配管継手を着脱し、かつ、外部給電部に対して陽極ユニットの被給電部を着脱することにより、ノズルユニット及び陽極ユニットを一体で表面処理槽に対して着脱することができる。それにより、アッセンブリーの設置やメンテナンスの作業性等が向上する。しかも、不溶性陽極は網状部分や多数の貫通孔を要することがないので、電気抵抗は増大しない。また、不溶性陽極の周囲は隔壁により表面処理槽と区画され、隔壁は一般に処理液中の金属イオン（プラスイオン）を透過させる一方で、表面処理槽内で生じたマイナスイオンが不溶性陽極板側に侵入することを阻止できる。複数のノズル管は隔壁の外にあるので、複数のノズル管からの処理液の噴出が隔壁により妨げられることもない。

（２）本発明の一態様（１）では、前記被給電部は、前記表面処理槽の上方開口部の縁部に配置される前記外部給電部と電気的に接続される接続端子部を含み、前記共通配管は、前記複数のノズル管の各上端部と連通されて、前記複数のノズル管の上部にて水平に延びて形成されても良い。こうすると、アッセンブリーの配管継手と表面処理槽の外部配管との連結と、アッセンブリーの被給電部と表面処理槽の外部給電部との接続とを、表面処理槽の上部側で行うことができる。それにより、アッセンブリーを表面処理槽に対して着脱する作業性が改善される。

（３）本発明の一態様（２）では、前記共通配管は、前記陽極ユニットの上端部の位置よりも高い位置に配置され、前記配管継手は、前記陽極ユニットの上方を通過して、前記表面処理槽の前記上方開口部の前記縁部に配置される前記外部配管と接続されても良い。こうすると、表面処理槽の上部開口部の真上から表面処理槽内にアッセンブリーを挿入する時にアッセンブリーと干渉する部材がなくなる。表面処理槽内に挿入されたアッセンブリーは、表面処理槽の上部開口部の縁部に設置される外部給電部と外部配管とに連結されるので、アッセンブリーを表面処理槽に設置する作業性が改善される。それにより、アッセンブリーを表面処理槽に対して着脱する作業性がさらに改善される。

（４）本発明の一態様（１）〜（３）では、前記複数のノズル管の下端部は、前記陽極ボックスの下端部に固定されても良い。こうすると、複数のノズル管はその上下端部にて安定して支持される。

（５）本発明の一態様（１）〜（４）では、前記隔壁のうち少なくとも前記複数のノズル管と向かい合う表面側隔壁が、前記処理液中の金属イオンを選択的に透過させる材料にて形成されても良い。こうして、隔壁内で生成された金属イオンを表面側隔壁を介してワーク側に供給でき、ワークの表面の電解処理が促進される。

（６）本発明の一態様（５）では、前記隔壁のうち前記表面側隔壁と向かい合う背面側隔壁が、前記処理液を流通させる開口を有することができる。こうして、隔壁の上方または下方からは処理液が供給され、背面側隔壁の開口からは処理液が排出され、隔壁内の処理液を循環させることができる。

（７）本発明の一態様（６）では、前記少なくとも一つの不溶性陽極は、前記水平方向で隣り合う二つの間に空隙を有して配置される複数の不溶性陽極を含み、前記背面側隔壁は、前記二つの不溶性陽極の間の前記空隙と向かい合う位置に前記開口を有することができる。こうして、不溶性陽極と表面側隔壁との間にある処理液を、空隙を介して開口に導いて、隔壁内での処理液の循環を促進することができる。

（８）本発明の一態様（１）〜（７）では、前記陽極ボックスは、前記少なくとも一つの不溶性陽極と前記ワークとの間に形成される電界の一部を遮蔽する遮蔽マスクを保持することができる。遮蔽マスクにより、無駄な領域に電界が形成されることを防止して、ワークの電解処理品質を高めることができる。

（９）本発明の一態様（８）では、前記遮蔽マスクは、前記電界の下側領域を遮蔽する第１遮蔽マスクと、前記電界の上側領域を遮蔽する第２遮蔽マスクと、を含むことができる。それにより、ワークの上部エッジと下部エッジに電界が集中することを防止できる。

（１０）本発明の一態様（９）では、前記陽極ボックスは、前記第１遮蔽マスク及び前記第２遮蔽マスクの各々の垂直方向の取付位置を調整する調整機構を有することができる。それにより、第１，第２遮蔽マスクの垂直方向の取付位置は、電界の開口窓の高さがワークの垂直方向のサイズに合うようにそれぞれ調整される。

（１１）本発明の他の態様は、
ワークの表面を電解処理する表面処理槽と、
前記表面処理槽内に配置される上述の（１）〜（１０）のいずれか記載の電解処理アッセンブリーと、
を有する表面処理装置に関する。
本発明の他の態様によれば、上述の（１）〜（１０）にて説明された作用・効果を奏する表面処理装置を提供することができる。

本発明の一実施形態に係る連続メッキ装置の断面図である。図１のメッキ槽内の電解処理アッセンブリーをワーク側から見た正面図である。図１の連続めっき装置の一部の平面図である。図１のメッキ槽の長手方向に沿って配置される２つのアッセンブリーを示す図である。アッセンブリーに保持される遮蔽マスクを示す図である。第１遮蔽マスク及び第２遮蔽マスクを示す図である。第１遮蔽マスク及び第２遮蔽マスクの垂直方向の取付位置を調整する調整機構の断面図である。

以下、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお、以下に説明する本実施形態は請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではなく、本実施形態で説明される構成の全てが本発明の解決手段として必須であるとは限らない。

１．連続メッキ装置の概要
図１は本実施形態に係る表面処理装置例えば連続メッキ装置の断面図であり、図２は平面図である。図１において、メッキ槽１０は、搬送治具２０に垂下して支持されるワーク１をメッキ液２中に収容してワーク１をメッキする槽である。メッキ槽１０は、周壁と底壁とを有し、処理液であるメッキ液２収容している。

ワーク１は、回路基板またはフレキシブル回路基板等であり、例えばその両面が被処理面となる。搬送治具２０は、ワークを連続搬送すると共にワーク１に通電することができる。ワーク１は陰極として機能する。実際には、搬送治具２０と摺接する給電部（搬送レールでも良い）が電源のマイナス端子に接続され、給電部及び搬送治具２０を介してワーク１を陰極に設定する。

搬送治具２０に垂下して支持されるワーク１は、図１の紙面と直交する方向であって、図２に示す搬送方向Ａに沿って連続搬送される。ワーク１を連続搬送する手段の図示は省略するが、スプロケットにより連続駆動されるチェーン、シリンダ等で構成することができる。搬送治具２０に一枚のワーク１が保持され、図２に示すようにメッキ槽１０では複数のワーク１が連続搬送される。なお、搬送治具２０は、ワーク１が回路基板のように剛体であれば、ワーク１の上端をチャック２１Ａで保持してワーク１を垂下状態で保持できる。ワーク１がフレキシブル回路基板などのように柔軟である場合には、搬送治具２０は枠部２２を有し、ワーク１の下端をチャック２１Ｂで保持して下方に牽引することができる。

２．電解処理アッセンブリー
図１に示すように、メッキ槽１０には電解処理アッセンブリー１００が設けられる。このアッセンブリー１００は、ノズルユニット２００と、ノズルユニット２００と一体的に連結された陽極ユニット３００とを有する。

ここで、図２及び図３はメッキ槽１０の最上流側に配置されるアッセンブリー１００を示しているが、図４に示すようにメッキ槽１０の長手方向に沿って複数のアッセンブリー１００を配置することができる。また、ワーク１の両面を処理する場合には、ワーク１の両側に２つのアッセンブリー１００が配置され、図４では計４つのアッセンブリー１００が配置される。

ノズルユニット２００は、図１〜図４に示すように、複数のノズル管２１０と、共通配管２２０と、配管継手２３０とを有する。複数のノズル管２１０の各々は、図１に示すように、垂直方向の異なる位置に複数の噴出口例えば複数のノズル２１１を有する。各ノズル２１１からはメッキ液が噴出される。複数のノズル管２１０は絶縁体で形成され、ワーク１に作用する電界に悪影響を与えることはない。共通配管２２０は、図２に示すように、複数のノズル管２１０の各一端部と連通されて複数のノズル管２１０にメッキ液を供給する。配管継手２３０は、図１〜図３に示すように、メッキ槽１０に設置される外部配管３０に着脱可能である。

陽極ユニット３００は、図１の少なくとも一つ例えば複数の不溶性陽極３１０と、陽極ボックス３２０と、少なくとも一つ例えば２つの被給電部３３０とを有する。複数の不溶性陽極３１０の各々は、図２及び図４に示すように、ノズル管２１０と水平方向で離れた位置に配置される。陽極ボックス３２０は、複数の不溶性陽極３１０と水平方向で離れて配置される隔壁３２１（表面側隔壁３２１Ａ、背面側隔壁３２１Ｂ、側面側隔壁３２１Ｃ）を含み、複数の不溶性陽極３１０を囲む。隔壁３２１は絶縁体で形成され、ワーク１に作用する電界に悪影響を与えることはない。被給電部３３０は、複数の不溶性陽極３１０と導通接続され、メッキ槽１０に設置される外部給電部に着脱可能である。

ノズルユニット２００と陽極ユニット３００との一体化は適宜の固定手段により行うことができる。本実施形態では、図１及び図２に示すように、２つの連結部１１０によりノズルユニット２００と陽極ユニット３００とが一体化される。連結部１１０は、図１に示すように、一端が陽極ユニット３００の例えば隔壁３２１に固定され、他端がノズルユニット２００の例えば共通配管２２０に固定される。

このアッセンブリー１００によれば、外部配管３０に対してノズルユニット２００の配管継手２３０を着脱し、かつ、外部給電部４０に対して陽極ユニット３００の被給電部３３０を着脱することにより、ノズルユニット２００及び陽極ユニット３００を一体でメッキ槽１０に対して着脱することができる。それにより、アッセンブリー１００の設置やメンテナンスの作業性等が向上する。なお本実施形態では、外部給電部４０上に被給電部３３０を載置することでアッセンブリー１００の上下方向の位置が一義的に定まり、外部配管３０に対して配管継手２３０を連結することで、アッセンブリー１００の水平方向の位置が一義的に定まる。

本実施形態では、不溶性陽極３１０は網状部分や多数の貫通孔を要することがないので、電気抵抗は増大しない。また、不溶性陽極３１０の周囲は隔壁３２１（３２１Ａ〜３２１Ｃ）によりメッキ槽１０と区画され、隔壁３２１は一般に、少なくとも一部はメッキ液中の金属イオン（プラスイオン）を透過させる一方で、メッキ槽１０内で生じたマイナスイオンが不溶性陽極３１０側（隔壁３２１内）に侵入することを阻止できる。複数のノズル管２１０は隔壁３２１の外にあるので、複数のノズル管２１０からのメッキ液の噴出が隔壁３２１により妨げられることもない。

本実施形態では、被給電部３３０は、メッキ槽１０の上方開口部１１の縁部に配置される例えば２つの外部給電部４０と電気的に接続される例えば２つの接続端子部３３１を含むことができる。また、共通配管２２０は、複数のノズル管２１０の各上端部と連通されて、複数のノズル管２１０の上部にて水平に延びて形成される。こうすると、アッセンブリー１００の配管継手２３０と外部配管３０との連結と、アッセンブリー１００の被給電部３３０と外部給電部４０との接続とを、メッキ槽１０の上部側で行うことができる。それにより、アッセンブリー１００をメッキ槽１０に対して着脱する作業性が改善される。なお、２つの接続端子部３３１の位置は、複数の不溶性陽極３１０への配線抵抗を考慮して、図３に示すように、中央に位置する配管継手２３０の両側とされる。

ここで、陽極ユニット３００が複数の不溶性陽極３１０を有する場合、図１及び図５に示すように、水平方向に延びる陽極板（陽極バーとも言う）３１２を有し、複数の不溶性陽極３１０が陽極板３１２と電気的に接続され、かつ、支持される。この場合、被給電部３３０は、図１に示すように陽極板３１２と電気的に接続される。

本実施形態では、共通配管２２０は、図１及び図２に示すように、陽極ユニット３００の上端部の位置よりも高い位置に配置される。配管継手２３０は、図１に示すように、陽極ユニット３００の上方を通過して、メッキ槽１０の上方開口部１１の縁部に配置される外部配管３０と接続される。こうすると、メッキ槽１０の上方開口部１１の真上からメッキ槽１０内にアッセンブリー１００を挿入する時にアッセンブリー１００と干渉する部材がなくなる。メッキ槽１０内に挿入されたアッセンブリー１００は、メッキ槽１０の上方開口部１１の縁部に設置される外部給電部４０と外部配管３０とに連結されるので、アッセンブリー１００をメッキ槽１０に設置する作業性が改善される。それにより、アッセンブリー１００をメッキ槽１０に対して着脱する作業性がさらに改善される。

本実施形態では、複数のノズル管２１０の下端部は、陽極ボックス３２０の下端部に固定される。例えば、図１に示すように、表面側隔壁３２１Ａから水平に張り出す張出部３２２を設け、張出部３２２に複数のノズル管２１０の下端部を固定することができる。こうすると、複数のノズル管２１０は、その上下端が共通配管２２０と張出部３２２とにより、安定して支持される。

本実施形態では、隔壁３２１のうち少なくとも複数のノズル管２１０と向かい合う表面側隔壁３２１Ａは、メッキ液中の金属イオンを選択的に透過させる材料（例えばカチオン交換膜又はイオン交換樹脂）にて形成される。こうして、隔壁３２１内で生成された金属イオンを隔壁３２１を介してワーク１側に供給でき、ワーク１の表面の電解処理が促進される。

本実施形態では、図２に示すように、隔壁３２１の背面側隔壁３２１Ｂは、メッキ液を流通させる開口（図２で×印のある領域が開口）３２１Ｂ１を有することができる。こうして、隔壁３２１の上方または下方からはメッキ液が供給され、背面側隔壁３２１Ｂの開口３２１Ｂ１からはメッキ液が排出され、隔壁３２１内のメッキ液の循環路が確保される。

本実施形態では、複数の不溶性陽極３１０は、図４に示すように、水平方向で隣り合う二つの間に空隙３１１を有して配置することができる。この場合、背面側隔壁３２１Ｂは、二つの不溶性陽極３１０，３１０の間の空隙３１１と向かい合う位置に開口３２１Ｂ１を有することができる（図１参照）。こうして、不溶性陽極３１０と表面側隔壁３２１Ａとの間にあるメッキ液を、空隙３１１を介して開口３２１Ｂ１に導いて、隔壁３２１内でのメッキ液の循環を促進することができる。

特に本実施形態では、図１及び図４に示すように、メッキ槽１０の両側にオーバーフロー槽１２Ａ，１２Ｂを有している。メッキ槽１０内のメッキ液の液位が一定高さを超えると、メッキ槽１０内のメッキ液がオーバーフロー槽１２Ａ，１２Ｂへ排出される。上述した空隙３１１と開口３２１Ｂ１は、隔壁３２１内のメッキ液がオーバーフロー槽１２Ａ，１２Ｂへ向かう流路を形成することができる。

本実施形態では、陽極ボックス３２０は、図５に示すように、不溶性陽極３１０とワーク１との間に形成される電界の一部を遮蔽する遮蔽マスク３５０を保持することができる。遮蔽マスク３５０により、無駄な領域に電界が形成されることを防止して、ワーク１のメッキ品質を高めることができる。遮蔽マスク３５０は、ワーク１の下端部と対向する面を覆うマスク部３５１を有する。図５に示す遮蔽マスク３５０は、図１に示すように、表面側隔壁３２１Ａと複数のノズル管２１０との間の領域にて垂直に支持される。遮蔽マスク３５０は、図１に示すように、表面側隔壁３２１Ａから前方に突出する複数の突起３４０によりマスク部３５１が保持される。遮蔽マスク３５０は、図５に示すように、マスク部３５１の両側にて上方に延びる垂直部３５２を有し、垂直部３５２の上端部が表面側隔壁３２１Ａに保持される。

遮蔽マスク３５０は、図６に示すように、第１遮蔽マスク３５０Ａと第２遮蔽マスク３５０Ｂとを含むことができる。第１遮蔽マスク３５０Ａは、不溶性陽極３１０とワーク１との間に形成される電界の下側領域を遮蔽する。第２遮蔽マスク３５０Ｂは、その電界の上側領域を遮蔽する。第１遮蔽マスク３５０Ａは、電界の下側領域を遮蔽するマスク部３５１Ａと、マスク部３５１Ａの両側にて上方に延びる垂直部３５２Ａとを含む。第２遮蔽マスク３５０Ｂは、電界の上側領域を遮蔽するマスク部３５１Ｂと、マスク部３５１Ｂの両側にて上方に延びる垂直部３５２Ｂとを含む。

陽極ボックス３２０は、第１遮蔽マスク３５０Ａ及び第２遮蔽マスク３５０Ｂの各々の垂直方向の取付位置を調整する調整機構を有することができる。調整機構の一例を、図６のＢ部拡大図である図７に示す。図７は、第１遮蔽マスク３５０Ａの垂直部３５２Ａの上部領域には、垂直方向に長手軸を有する長孔３５３Ａが形成される。第１遮蔽マスク３５０Ａは、長孔３５３Ａの範囲で垂直方向での移動が許容され、所望の位置でボルト３５４Ａにより、陽極ボックス３２０の表面側隔壁３２１Ａに保持された取付板３２１Ａ１に固定される。それにより、第１遮蔽マスク３５０Ａの垂直方向の取付位置が調整される。第２遮蔽マスク３５０Ｂも、同様に、長孔３５３Ｂの範囲で垂直方向での移動が許容され、所望の位置でボルト３５４Ｂにより、垂直方向の取付位置が調整される。

こうして、第１，第２遮蔽マスク３５０Ａ，３５０Ｂの垂直方向の取付位置は、図７に示す電界の開口窓の高さＨがワーク１の垂直方向のサイズに合うようにそれぞれ調整される。この調整を容易にするため、長孔３５３Ａ，３５３Ｂの隣に垂直方向の目盛を付しても良い。

なお、上記のように本実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは当業者には容易に理解できるであろう。従って、このような変形例はすべて本発明の範囲に含まれるものとする。例えば、明細書又は図面において、少なくとも一度、より広義または同義な異なる用語と共に記載された用語は、明細書又は図面のいかなる箇所においても、その異なる用語に置き換えることができる。また本実施形態及び変形例の全ての組み合わせも、本発明の範囲に含まれる。

１ワーク、１０表面処理槽、１１上方開口部、２０搬送治具、３０外部配管、４０外部給電部、１００電解処理アッセンブリー、１１０連結部、２００ノズルユニット、２１０ノズル管、２１１ノズル（噴出口）、２２０共通配管、２３０配管継手、３００陽極ユニット、３１０不溶性陽極、３１１空隙、３１２陽極板（陽極バー）、３２０陽極ボックス、３２１隔壁、３２１Ａ表面側隔壁、３２１Ｂ背面側隔壁、３２１Ｂ１開口、３２１Ｃ側面側隔壁、３２２張出部、３３０被給電部、３３１接続端子部、３４０突起、３５０遮蔽マスク、３５０Ａ第１遮蔽マスク、３５０Ｂ第２遮蔽マスク、３５３Ａ，３５３Ｂ，３５４Ａ，３５４Ｂ調整機構

Claims

陰極に設定されるワークの表面を電解処理する表面処理槽に着脱自在に取付けられる電解処理アッセンブリーであって、
ノズルユニットと、
前記ノズルユニットと一体的に連結された陽極ユニットと、
を有し、
前記ノズルユニットは、
垂直方向の異なる位置から処理液をそれぞれ噴出させる複数のノズル管と、
前記複数のノズル管に前記処理液を供給する共通配管と、
前記表面処理槽に設置される外部配管に前記共通配管を連結する配管継手と、
を含み、
前記陽極ユニットは、
前記複数のノズル管と水平方向で離れた位置に配置される少なくとも一つの不溶性陽極と、
前記少なくとも一つの不溶性陽極と前記水平方向で離れて配置される隔壁を含み、前記少なくとも一つの不溶性陽極を前記隔壁により囲む陽極ボックスと、
前記表面処理槽に設置される外部給電部に前記少なくとも一つの不溶性陽極を接続する被給電部と、
を有し、
前記複数のノズル管の下端部は、前記陽極ボックスの下端部に固定されていることを特徴とする電解処理アッセンブリー。
請求項１において、
前記被給電部は、前記表面処理槽の上方開口部の縁部に設置される前記外部給電部と電気的に接続される接続端子部を含み、
前記共通配管は、前記複数のノズル管の各上端部と連通されて、前記複数のノズル管の上部にて水平に延びていることを特徴とする電解処理アッセンブリー。
請求項２において、
前記共通配管は、前記陽極ユニットの上端部よりも高い位置に配置され、
前記配管継手は、前記陽極ユニットの上方を通過して、前記表面処理槽の前記上方開口部の前記縁部に設置される前記外部配管と接続されることを特徴とする電解処理アッセンブリー。
請求項１〜３のいずれか１項において、
前記隔壁のうち少なくとも前記複数のノズル管と向かい合う表面側隔壁が、前記処理液中の金属イオンを選択的に透過させる材料にて形成されることを特徴とする電解処理アッセンブリー。
請求項４において、
前記隔壁のうち前記表面側隔壁と向かい合う背面側隔壁が、前記処理液を流通させる開口を有することを特徴とする電解処理アッセンブリー。
請求項５において、
前記少なくとも一つの不溶性陽極は、前記水平方向で隣り合う二つの間に空隙を有して配置される複数の不溶性陽極を含み、
前記背面側隔壁は、前記二つの不溶性陽極の間の前記空隙と向かい合う位置に前記開口を有することを特徴とする電解処理アッセンブリー。
請求項１〜６のいずれか１項において、
前記陽極ボックスは、前記少なくとも一つの不溶性陽極と前記ワークとの間に形成される電界の一部を遮蔽する遮蔽マスクを保持していることを特徴とする電解処理アッセンブリー。
請求項７において、
前記遮蔽マスクは、前記電界の下側領域を遮蔽する第１遮蔽マスクと、前記電界の上側領域を遮蔽する第２遮蔽マスクと、を含むことを特徴とする電解処理アッセンブリー。
請求項８において、
前記陽極ボックスは、前記第１遮蔽マスク及び前記第２遮蔽マスクの各々の垂直方向の取付位置を調整する調整機構を有することを特徴とする電解処理アッセンブリー。
ワークの表面を電解処理する表面処理槽と、
前記表面処理槽内に配置される請求項１〜９のいずれか１項に記載の電解処理アッセンブリーと、
を有することを特徴とする表面処理装置。