TWI706060B - 電解處理組件以及使用其之表面處理裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種能夠在不增大陽極之電阻下、且在阻止處理槽內之負離子侵入不溶性陽極側下，使不溶性陽極與噴嘴管一體化而提升維修之作業性等之電解處理組件。 將設定為陰極之工件(1)的表面予以電解處理之表面處理槽(10)中所安裝的電解處理組件(100)，包含：噴嘴單元(200)、及與噴嘴單元一體連結之陽極單元(300)。噴嘴單元包含：複數個噴嘴管(210)、共通配管(220)、及使共通配管連結於外部配管之配管接頭(230)。陽極單元包含：陽極盒(320)、及對於表面處理槽上所設置之外部供電部(40)連接不溶性陽極之被供電部(330)。陽極盒包含：配置於與複數個噴嘴管在水平方向隔開之位置的至少一個不溶性陽極(310)、及與不溶性陽極在水平方向隔開配置之分隔壁。

Description

電解處理組件以及使用其之表面處理裝置
本發明有關一種電解電鍍裝置等之表面處理槽中所配置之電解處理組件、以及使用其之表面處理裝置。
按，電解電鍍裝置等之表面處理裝置中，例如如專利文獻1所示，在夾著電鍍槽內之工件的搬送經由路徑之兩側，設有網狀盒與噴嘴管。導電性網狀盒內收納有作為消耗品之陽極球(可溶性陽極)。工件與網狀盒之間配置有噴嘴管。噴嘴管上以縱列之方式配置有複數個噴出口(噴嘴)，可將電鍍液朝工件之被處理面噴出。
專利文獻2中，曾揭示將形成有多數之貫通孔的不溶性陽極板、與在不溶性陽極板之背面側固定的噴嘴管一體化。噴嘴管係於對應於貫通孔之位置固定於不溶性陽極板，處理液係經由噴嘴管及貫通孔朝工件噴出。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2012-046782號公報 [專利文獻2]日本特開2002-226993號公報
根據專利文獻1之可溶性電極，電極材料會溶解而成為電鍍成分。可溶性電極為消耗品必須更換。另外，可溶性電極並非只由電鍍成分形成，而有包含雜質(例如磷P)之缺點。一方，專利文獻2之不溶性電極，其電極材料不會溶解，而由電鍍槽內之電鍍液中的金屬正離子(例如氧化銅)成為電鍍成分，不溶性電極僅作為電極使用，就此點較可溶性電極優異。特別是若要達成例如10～10數A/dm2 程度之高電流密度，則可溶性電極消耗大，因此使用不溶性電極乃為人所期盼者。
再者，根據專利文獻2，其陽極與噴嘴管一體連結，因此在維修時等之時點，可將陽極與噴嘴管一體自電鍍槽卸除，作業性提升。
然而，根據專利文獻2，不溶性陽極板中不可或缺的是多數之貫通孔，因此陽極板之電阻增大。同樣地，專利文獻1之導電性網狀盒也是無法避免電阻之增大。又，專利文獻2之不溶性陽極板係在電鍍槽內露出。為了避免起因於電鍍槽內之負離子附著於不溶性陽極板所導致的電鍍品質之降低，必須將不溶性陽極板之全表面以離子交換膜覆蓋。若是將不溶性陽極板之周圍以分隔壁包圍而企圖阻止負離子之侵入，則自噴嘴管往向工件之噴流也會受到分隔壁之妨礙。
本發明之若干個層面的目的在於提供一種能夠在不增大陽極之電阻下、且在阻止處理槽內之負離子侵入不溶性陽極側下，使不溶性陽極與噴嘴管一體化而提升維修之作業性等之電解處理組件以及使用其之表面處理裝置。
(1)本發明之一個層面係有關一種電解處理組件，其特徵在於：此電解處理組件係安裝於表面處理槽，該表面處理槽係將設定為陰極之工件的表面予以電解處理；且其具有： 噴嘴單元、及 與上述噴嘴單元一體連結之陽極單元， 上述噴嘴單元包含： 自垂直方向之不同位置分別噴出處理液之複數個噴嘴管、 對於上述複數個噴嘴管供給上述處理液之共通配管、及 對於設置上述表面處理槽之外部配管連結上述共通配管之配管接頭；又， 上述陽極單元具有： 配置於與上述複數個噴嘴管在水平方向隔開之位置的至少一個不溶性陽極， 包含與上述至少一個不溶性陽極在上述水平方向隔開配置之分隔壁、且將上述至少一個不溶性陽極以上述分隔壁包圍之陽極盒，及 對於上述表面處理槽上所設置之外部供電部連接上述至少一個不溶性陽極之被供電部。
根據本發明之一個層面之電解處理組件，藉由相對外部配管裝卸噴嘴單元之配管接頭、及相對外部供電部裝卸陽極單元之被供電部，可將噴嘴單元及陽極單元一體地相對表面處理槽裝卸。藉此，組件之設置或維修之作業性等提升。此外，不溶性陽極無需網狀部分或多數之貫通孔，因此電阻不會增大。又，不溶性陽極之周圍係藉由分隔壁與表面處理槽區劃，分隔壁除一般使處理液中之金屬離子(正離子)透過以外，還可阻止表面處理槽內所產生之負離子侵入不溶性陽極板側。另外，複數個噴嘴管位於分隔壁之外，因此出自複數個噴嘴管之處理液之噴出不會受到分隔壁之妨害。
(2)於本發明之層面(1)中，可形成為上述被供電部包含與上述表面處理槽之上方開口部的緣部處所配置之上述外部供電部電性連接之連接端子部，上述共通配管係與上述複數個噴嘴管之各個上端部連通，且於上述複數個噴嘴管之上部水平延伸。如此，可將針對組件之配管接頭與表面處理槽之外部配管的連結、以及組件之被供電部與表面處理槽之外部供電部的連接，於表面處理槽之上部側進行。藉此，可改善組件相對表面處理槽裝卸之作業性。
(3)於本發明之層面(2)中，可行的是上述共通配管配置於較上述陽極單元之上端部之位置為高之位置，上述配管接頭通過上述陽極單元之上方而與上述表面處理槽之上述上方開口部的上述緣部處所設置之上述外部配管連接。如此，自表面處理槽之上部開口部之正上方將組件插入表面處理槽內時不會再有和組件干擾之構件。插入表面處理槽內之組件，係連結於表面處理槽之上部開口部之緣部處所設置之外部供電部與外部配管，因此將組件設置於表面處理槽之作業性獲得改善。藉此，可進一步改善組件相對於表面處理槽裝卸之作業性。
(4)於本發明之層面(1)~(3)中，可行的是上述複數個噴嘴管之下端部固定於上述陽極盒之下端部。如此，複數個噴嘴管可利用其上下端部安定地獲得支持。
(5)於本發明之層面(1)~(4)中，可行的是上述分隔壁之中至少與上述複數個噴嘴管對向之表面側分隔壁係由使上述處理液中之金屬離子選擇性透過的材料所形成。如此，分隔壁內所生成之金屬離子可經由表面側分隔壁供給至工件側，因此可促進工件之表面之電解處理。
(6)於本發明之層面(5)中，可行的是上述分隔壁之中與上述表面側分隔壁對向之背面側分隔壁，具有使上述處理液流通之開口。如此，自分隔壁之上方或下方供給處理液，且自背面側分隔壁之開口排出處理液，可使分隔壁內之處理液循環。
(7)於本發明之層面(6)中，可行的是上述至少一個不溶性陽極包含在上述水平方向相鄰之二者間以具有空隙的方式配置之複數個不溶性陽極，上述背面側分隔壁在與上述二個不溶性陽極之間之上述空隙對向的位置具有上述開口。如此，可將位於不溶性陽極與表面側分隔壁之間的處理液，經由空隙引導至開口，可促進分隔壁內之處理液之循環。
(8)於本發明之層面(1)~(7)中，可行的是上述陽極盒保持有遮蔽罩，該遮蔽罩將上述至少一個不溶性陽極與上述工件之間所形成的電場之一部分遮蔽。藉由遮蔽罩，可防止在無用之區域形成電場，而可提高工件之電解處理品質。
(9)於本發明之層面(8)中，可行的是上述遮蔽罩包含：遮蔽上述電場之下側區域之第1遮蔽罩、及遮蔽上述電場之上側區域之第2遮蔽罩。藉此，可防止電場集中於工件之上部端緣及下部端緣。
(10)於本發明之層面(9)中，可行的是上述陽極盒具有將上述第1遮蔽罩及上述第2遮蔽罩各者之垂直方向的安裝位置予以調整之調整機構。藉此，第1、第2遮蔽罩之垂直方向之安裝位置可分別調整為使得電場之開口窗的高度與工件之垂直方向的尺寸一致。
(11)本發明之其他層面係有關一種表面處理裝置，其具有：將工件之表面電解處理之表面處理槽、及 配置於上述表面處理槽內之如上述(1)～(10)中任一層面之電解處理組件。
根據本發明之其他層面，可提供一種能夠發揮上述(1)～(10)所說明之作用、效果之表面處理裝置。
以下，針對本發明之較佳實施方式進行詳細說明。又，以下所說明之本實施方式並非將申請專利範圍所記載之本發明的內容作不合理之限定者，本實施方式所說明之構成之全部不受限於必須作為本發明之解決手段。
1. 連續電鍍裝置之概要 第1圖為本實施方式相關之表面處理裝置例如連續電鍍裝置之剖視圖，第2圖為俯視圖。第1圖中，電鍍槽10為將於搬送治具20經垂下支持之工件1收容於電鍍液2中而將該工件1電鍍之槽。電鍍槽10具有周壁與底壁，供收容處理液即電鍍液2。
工件1為電路基板或可撓性電路基板等，例如其兩面為被處理面。搬送治具20除將工件連續搬送外，又可對工件1通電。工件1作為陰極發揮機能。實際而言，與搬送治具20滑接之供電部(也可為搬送軌道)連接於電源之負端子，經由供電部及搬送治具20將工件1設定為陰極。
於搬送治具20經垂下支持之工件1，係於與第1圖之紙面正交之方向，且沿第2圖所示之搬送方向A連續被搬送。將工件1連續搬送之手段之圖示雖省略，然其可由以鏈輪連續驅動之鏈條、汽缸等構成。於搬送治具20保持一片之工件1，如第2圖所示，電鍍槽10中有複數個工件1連續被搬送。又，搬送治具20當工件1為電路基板般之剛體時，以夾頭21A保持工件1之上端而將工件1以垂下狀態保持。工件1若為可撓性電路基板等般之柔軟的情況下，搬送治具20具有框部22，可將工件1之下端以夾頭21B保持而朝下方牽引。
2. 電解處理組件 如第1圖所示，電鍍槽10中設有電解處理組件100。此一組件100具有：噴嘴單元200、及與噴嘴單元200一體連結之陽極單元300。
此處，第2圖及第3圖係表示配置於電鍍槽10之最上游側之組件100，但也可如第4圖所示，沿電鍍槽10之長度方向配置複數個組件100。又，在處理工件1之兩面的情況下，係於工件1之兩側配置兩個組件100，第4圖中合計配置4個組件100。
噴嘴單元200如第1圖～第4圖所示，具有：複數個噴嘴管210、共通配管220、及配管接頭230。複數個噴嘴管210之各者，如第1圖所示，於垂直方向之不同位置具有複數個噴出口，例如複數個噴嘴211。自各個噴嘴211噴出電鍍液。複數個噴嘴管210係由絕緣體形成，不會對作用於工件1之電場帶來不良影響。共通配管220乃如第2圖所示，與複數個噴嘴管210之各一端部連通而對複數個噴嘴管210供給電鍍液。配管接頭230如第1圖～第3圖所示，可相對電鍍槽10上設置之外部配管30進行裝卸。
陽極單元300如第1圖所示，具有：至少1個例如複數個不溶性陽極310、陽極盒320、及至少1個例如2個被供電部330。複數個不溶性陽極310之各者乃如第2圖及第4圖所示，配置於與噴嘴管210在水平方向相隔之位置。陽極盒320包含與複數個不溶性陽極310在水平方向相隔而配置之分隔壁321(表面側分隔壁321A、背面側分隔壁321B、側面側分隔壁321C)，其包圍複數個不溶性陽極310。分隔壁321係由絕緣體形成，對於作用於工件1之電場沒有不良影響。被供電部330係與複數個不溶性陽極310導通連接，可相對設置於電鍍槽10之外部供電部裝卸。
噴嘴單元200與陽極單元300之一體化可由適當之固定手段進行。本實施方式中，如第1圖及第2圖所示，由2個連結部110使噴嘴單元200與陽極單元300一體化。連結部110乃如第1圖所示，一端固定於陽極單元300之例如分隔壁321，另一端固定於噴嘴單元200之例如共通配管220。
根據此一組件100，藉由相對外部配管30使噴嘴單元200之配管接頭230裝卸、及相對外部供電部40使陽極單元300之被供電部330裝卸，可使噴嘴單元200及陽極單元300一體地相對於電鍍槽10裝卸。藉此，組件100之設置或維修之作業性等獲得提升。又，本實施方式中，藉由於外部供電部40上載置被供電部330而可使組件100之上下方向之位置根本性地決定，藉由相對外部配管30連結配管接頭230，組件100之水平方向之位置將根本性地決定。
本實施方式中，不溶性陽極310並無必要具有網狀部分或多數之貫通孔，因此電阻不會增大。又，不溶性陽極310之周圍係由分隔壁321(321A～321C)與電鍍槽10區劃，分隔壁321一般而言其至少一部分可使電鍍液中之金屬離子(正離子)透過，而另一方面可防止電鍍槽10內所產生之負離子侵入不溶性陽極310側(分隔壁321內)。複數個噴嘴管210位於分隔壁321之外，因此自複數個噴嘴管210之電鍍液之噴出全然不會受到分隔壁321之妨害。
本實施方式中，被供電部330可包含與電鍍槽10之上方開口部11之緣部處所配置之例如2個外部供電部40電性連接之例如2個連接端子部331。又，共通配管220係與複數個噴嘴管210之各個上端部連通，且於複數個噴嘴管210之上部水平延伸形成。如是，組件100之配管接頭230與外部配管30的連結、組件100之被供電部330與外部供電部40的連接，可於電鍍槽10之上部側進行。藉此，可改善組件100相對電鍍槽10裝卸之作業性。又，2個連接端子部331之位置，考慮對複數個不溶性陽極310之配線電阻下，如第3圖所示，設為位於中央之配管接頭230之兩側。
此處，陽極單元300具有複數個不溶性陽極310之情況下，如第1圖及第5圖所示，具有水平方向延伸之陽極板(也稱為陽極棒)312，複數個不溶性陽極310係與陽極板312電性連接且被支持。此一情況下，被供電部330係如第1圖所示與陽極板312電性連接。
本實施方式中，共通配管220係如第1圖及第2圖所示，配置於較陽極單元300之上端部之位置為高之位置。配管接頭230係如第1圖所示，通過陽極單元300之上方而與電鍍槽10之上方開口部11之緣部處所配置的外部配管30連接。如此，自電鍍槽10之上方開口部11之正上方對於電鍍槽10內插入組件100時將不再有與組件100干擾之構件。插入電鍍槽10內之組件100係連結於電鍍槽10之上方開口部11之緣部處所設置的外部供電部40與外部配管30，因此將組件100設置於電鍍槽10之作業性獲得改善。藉此，將組件100相對電鍍槽10裝卸之作業性進一步獲得改善。
本實施方式中，複數個噴嘴管210之下端部固定於陽極盒320之下端部。例如如第1圖所示，可設置自表面側分隔壁321A水平突出之突出部322，於突出部322固定複數個噴嘴管210之下端部。如此，複數個噴嘴管210其上下端可由共通配管220與突出部322安定地支持。
本實施方式中，分隔壁321中至少與複數個噴嘴管210對向之表面側分隔壁321A，係由使電鍍液中之金屬離子選擇性透過之材料(例如陽離子交換膜或離子交換樹脂)形成。如此，可將分隔壁321內所生成之金屬離子經由分隔壁321供給至工件1側，促進工件1之表面之電解處理。
本實施方式中，如第2圖所示，分隔壁321之背面側分隔壁321B可具有使電鍍液流通之開口(第2圖中有×記號之區域開口)321B1。如此，自分隔壁321之上方或下方供給電鍍液，自背面側分隔壁321B之開口321B1排出電鍍液，而確保分隔壁321內之電鍍液之循環路徑。
本實施方式中，複數個不溶性陽極310乃如第4圖所示，可以水平方向相鄰之二者之間具有空隙311的方式配置。此一情況下，背面側分隔壁321B可於與2個不溶性陽極310、310之間之空隙311對向的位置具有開口321B1(參見第1圖)。如是，將不溶性陽極310與表面側分隔壁321A之間的電鍍液經由空隙311導至開口321B1，可促進分隔壁321內之電鍍液之循環。
特別是於本實施方式中，如第1圖及第4圖所示，電鍍槽10之兩側具有溢流槽12A、12B。電鍍槽10內之電鍍液之液位若超過一定高度，則電鍍槽10內之電鍍液將排出至溢流槽12A、12B。上述之空隙311與開口321B1可形成分隔壁321內之電鍍液往向溢流槽12A、12B之流路。
本實施方式中，陽極盒320係如第5圖所示，可保持一遮蔽罩350，此遮蔽罩350可遮蔽不溶性陽極310與工件1之間形成的電場之一部分。藉由遮蔽罩350，可防止在無用之區域形成電場，而提高工件1之電鍍品質。遮蔽罩350，設有遮覆與工件1之下端部對向的面之遮蔽部351。第5圖所示之遮蔽罩350，如第1圖所示在表面側分隔壁321A與複數個噴嘴管210之間的區域垂直地被支持。遮蔽罩350係如第1圖所示，藉由自表面側分隔壁321A朝前方突出之複數個突起340保持遮蔽部351。遮蔽罩350又如第5圖所示，具有於遮蔽部351之兩側朝上方延伸之垂直部352，垂直部352之上端部係由表面側分隔壁321A保持。
遮蔽罩350如第6圖所示，可包含第1遮蔽罩350A與第2遮蔽罩350B。第1遮蔽罩350A遮蔽不溶性陽極310與工件1之間形成的電場之下側區域。第2遮蔽罩350B 遮蔽該電場之上側區域。第1遮蔽罩350A包含遮蔽電場之下側區域的遮蔽部351A、及於遮蔽部351A之兩側朝上方延伸之垂直部352A。第2遮蔽罩350B包含遮蔽電場之上側區域之遮蔽部351B、及於遮蔽部351B之兩側朝上方延伸之垂直部352B。
陽極盒320可具有將第1遮蔽罩350A及第2遮蔽罩350B各者之垂直方向的安裝位置予以調整之調整機構。調整機構之一例係示於作為第6圖之B部分放大圖的第7圖所示。第7圖中，第1遮蔽罩350A之垂直部352A之上部區域，形成有在垂直方向具有長向軸之長孔353A。第1遮蔽罩350A於長孔353A之範圍內可容許在垂直方向之移動，而於所期望之位置由螺栓354A固定於保持在陽極盒320之表面側分隔壁321A的安裝板321A1。藉此，第1遮蔽罩350A之垂直方向之安裝位置乃被調整。第2遮蔽罩350B亦同樣地於長孔353B之範圍內可容許在垂直方向之移動，而於所期望之位置由螺栓354B調整垂直方向之安裝位置。
如是，第1、第2遮蔽罩350A、350B之垂直方向之安裝位置，乃分別被調整成第7圖所示之使得電場之開口窗的高度H與工件1之垂直方向的尺寸一致。為了使此一調整容易進行，可於長孔353A、353B之附近附上垂直方向之刻度。
另，如上所述，針對本實施方式雖已做詳細說明，但此界業者應可容易理解自本發明之新穎事項及效果可進行實質上未脫離其精神之諸多變化。因之，如此般之變化例均應包含於本發明之範圍之內。例如，說明書或圖面中，與更廣義或同義之不同用語至少一次一起記載之用語，不論是在說明書或圖面之任何位置，均可置換成該不同用語。再者，本實施方式及變化例之所有組合亦包含於本發明之範圍。
1‧‧‧工件 10‧‧‧表面處理槽 11‧‧‧上方開口部 20‧‧‧搬送治具 30‧‧‧外部配管 40‧‧‧外部供電部 100‧‧‧電解處理組件 110‧‧‧連結部 200‧‧‧噴嘴單元 210‧‧‧噴嘴管 211‧‧‧噴嘴(噴出口) 220‧‧‧共通配管 230‧‧‧配管接頭 300‧‧‧陽極單元 310‧‧‧不溶性陽極 311‧‧‧空隙 312‧‧‧陽極板(陽極棒) 320‧‧‧陽極盒 321‧‧‧分隔壁 321A‧‧‧表面側分隔壁 321B‧‧‧背面側分隔壁 321B1‧‧‧開口 321C‧‧‧側面側分隔壁 322‧‧‧突出部 330‧‧‧被供電部 331‧‧‧連接端子部 340‧‧‧突起 350‧‧‧遮蔽罩 350A‧‧‧第1遮蔽罩 350B‧‧‧第2遮蔽罩 353A、353B、354A、354B‧‧‧調整機構
第1圖為本發明之一實施方式相關之連續電鍍裝置之剖視圖。 第2圖為第1圖之電鍍槽內之電解處理組件，自工件側觀察之正視圖。 第3圖為第1圖之連續電鍍裝置的一部分之俯視圖。 第4圖為表示沿第1圖電鍍槽之長度方向配置的2個組件之圖。 第5圖為表示保持於組件的遮蔽罩之圖。 第6圖為表示第1遮蔽罩及第2遮蔽罩之圖。 第7圖為將第1遮蔽罩及第2遮蔽罩之垂直方向安裝位置予以調整的調整機構之剖視圖。
1‧‧‧工件
10‧‧‧表面處理槽
11‧‧‧上方開口部
12A‧‧‧溢流槽
12B‧‧‧溢流槽
20‧‧‧搬送治具
21A‧‧‧夾頭
21B‧‧‧夾頭
22‧‧‧框部
30‧‧‧外部配管
40‧‧‧外部供電部
100‧‧‧電解處理組件
110‧‧‧連結部
200‧‧‧噴嘴單元
210‧‧‧噴嘴管
211‧‧‧噴嘴(噴出口)
220‧‧‧共通配管
230‧‧‧配管接頭
300‧‧‧陽極單元
310‧‧‧不溶性陽極
312‧‧‧陽極板(陽極棒)
320‧‧‧陽極盒
321A‧‧‧表面側分隔壁
321B‧‧‧背面側分隔壁
321C‧‧‧側面側分隔壁
330‧‧‧被供電部
331‧‧‧連接端子部
340‧‧‧突起
350‧‧‧遮蔽罩

Claims (10)

  1. 一種電解處理組件，係裝卸自如地安裝於表面處理槽，該表面處理槽係將設定為陰極之工件的表面予以電解處理；其特徵在於具有：噴嘴單元、及與上述噴嘴單元一體連結之陽極單元，上述噴嘴單元包含：自垂直方向之不同位置分別噴出處理液之複數個噴嘴管、對於上述複數個噴嘴管供給上述處理液之共通配管、及對於設置在上述表面處理槽之外部配管連結上述共通配管之配管接頭；又，上述陽極單元具有：配置於與上述複數個噴嘴管在水平方向隔開之位置的至少一個不溶性陽極，包含與上述至少一個不溶性陽極在上述水平方向隔開配置之分隔壁，且將上述至少一個不溶性陽極以上述分隔壁包圍之陽極盒，及對於設置在上述表面處理槽之外部供電部連接上述至少一個不溶性陽極之被供電部；上述複數個噴嘴管之下端部係固定於上述陽極盒之下端部。
  2. 如申請專利範圍第1項之電解處理組件，其中上述被供電部包含與設置在上述表面處理槽之上方開口部的緣部處之上述外部供電部電性連接之連接端子部，上述共通配管係與上述複數個噴嘴管之各個上端部連通，且於上述複數個噴嘴管之上部水平延伸。
  3. 如申請專利範圍第2項之電解處理組件，其中上述共通配管配置於較上述陽極單元之上端部為高之位置，上述配管接頭通過上述陽極單元之上方而與上述表面處理槽之上述上方開口部的上述緣部處所設置之上述外部配管連接。
  4. 如申請專利範圍第1項之電解處理組件，其中上述分隔壁之中至少與上述複數個噴嘴管對向之表面側分隔壁係由使上述處理液中之金屬離子選擇性透過的材料所形成。
  5. 如申請專利範圍第4項之電解處理組件，其中上述分隔壁之中與上述表面側分隔壁對向之背面側分隔壁，具有使上述處理液流通之開口。
  6. 如申請專利範圍第5項之電解處理組件，其中上述至少一個不溶性陽極包含在上述水平方向相鄰之二者間以具有空隙的方式配置之複數個不溶性陽極， 上述背面側分隔壁在與上述二個不溶性陽極之間之上述空隙對向的位置具有上述開口。
  7. 如申請專利範圍第1項之電解處理組件，其中上述陽極盒保持有遮蔽罩，該遮蔽罩將上述至少一個不溶性陽極與上述工件之間所形成的電場之一部分遮蔽。
  8. 如申請專利範圍第7項之電解處理組件，其中上述遮蔽罩包含：遮蔽上述電場之下側區域之第1遮蔽罩、及遮蔽上述電場之上側區域之第2遮蔽罩。
  9. 如申請專利範圍第8項之電解處理組件，其中上述陽極盒具有將上述第1遮蔽罩及上述第2遮蔽罩各者之垂直方向的安裝位置予以調整之調整機構。
  10. 一種表面處理裝置，其特徵在於具有：將工件之表面電解處理之表面處理槽、及配置於上述表面處理槽內之如申請專利範圍第1~9項中任1項之電解處理組件。
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