JP6751138B2 - 極端紫外光センサユニット及び極端紫外光生成装置 - Google Patents
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Description
1.極端紫外光生成システムの全体説明
1.1 構成
1.2 動作
2.用語の説明
3.課題
4.第1実施形態
4.1 構成
4.2 動作
4.3 作用・効果
5.第2実施形態
5.1 構成
5.2 動作
5.3 作用・効果
以下、本開示の実施形態について、図面を参照しながら詳しく説明する。
1.1 構成
図1に例示的なLPP式のEUV光生成システム10の構成を概略的に示す。EUV光生成装置11は、少なくとも1つのレーザ装置12と共に用いられる場合がある。本開示においては、EUV光生成装置11とレーザ装置12を含むシステムを、EUV光生成システム10と称する。
図1及び図2を参照して、例示的なLPP式のEUV光生成システム10の動作を説明する。EUV光生成システム10がEUV光を出力する場合、露光装置100の露光装置コントローラ102からEUV光生成制御装置20にEUV光出力指令が送られる。
「ターゲット」は、チャンバに導入されたレーザ光の被照射物である。レーザ光が照射されたターゲットは、プラズマ化してEUV光を放射する。液状のターゲット物質によって形成されるドロップレットは、ターゲットの一形態である。
図2に示したEUV光センサユニット60は、ケース130の内部にガスを供給し、円筒形状部134を経由して開口部135からガスを噴出させることにより、SnデブリがEUV光反射ミラー121に到達するのを抑制することができる。
4.1 構成
図3は第1実施形態に係るEUV光センサユニットの構成を示す断面図である。図3に示す第1実施形態に関して図2で説明した構成との相違点を説明する。図2で説明したEUV光センサユニット60に代えて、図3に示すEUV光センサユニット160を用いることができる。
少なくともEUV光の生成中、EUV光センサユニット60内のガス供給部140のガス流出口142から水素ガスを噴出させ、EUV光反射ミラー121に水素ガスを吹き付ける。ガス流出口142は、EUV光反射ミラー121の上方に位置しており、パージガスは、ガス流出口142からEUV光反射ミラー121に向かって下向きに噴出される。つまり、ガス流出口142の下方にEUV光反射ミラー121が配置されており、EUV光反射ミラー121とフィルタ122の間の空間に対し、EUV光反射ミラー121の反射光路側からパージガスを供給する。
第1態様によれば、円筒形状部134を経由して開口部135からガスを噴出させることにより、SnデブリがEUV光反射ミラー121に到達するのを抑制することができる。また、開口部135から進入して円筒形状部134を通り抜け、EUV光反射ミラー121に堆積したSnデブリは、水素ガスと反応し、スタナンガスに変化する。しかし、EUV光反射ミラー121には、ガス供給部140のガス流出口142から絶え間なく水素ガスが吹き付けられているため、生成されたスタナンガスは水素ガスの流れによって直ぐに吹き飛ばされる。このため、スタナンガスの滞留が抑制される。EUV光反射ミラー121に到達するSnデブリは次々にスタナンガス化し、水素ガスと共に拡散されていくため、EUV光反射ミラー121のSnデブリによる汚染を抑制することができる。
5.1 構成
図4は第2実施形態に係るEUV光センサユニットの構成を示す断面図である。図4に示す第2実施形態に関して図3で説明した構成との相違点を説明する。
EUV光反射ミラー121、フィルタ122及び第2の光センサ124が収容されたEUV光センサユニット160のケース130をチャンバ18の大気側からソケット200に差し込むことにより、ケース130がソケット200に接合される。
第2実施形態によれば、第1実施形態と同様の作用及び効果が得られる。さらに、第2実施形態によれば、パージガスの供給経路はチャンバ18の内側である真空側に設けられているため、仮に、パージガスが漏れてもチャンバ18の排気装置62によって排気可能である。
Claims (20)
- 極端紫外光を反射するミラーと、
前記ミラーによって反射された前記極端紫外光を透過するフィルタと、
前記フィルタを透過した前記極端紫外光を検出する光センサと、
前記ミラーと前記フィルタとの間にパージガスを供給するよう配置されたパージガス供給部と、
前記ミラーに入射させる前記極端紫外光を含むプラズマ光及び前記パージガス供給部から供給された前記パージガスを通過させる管部であって、前記プラズマ光の光入射口となる開口部を有し、前記開口部から入射する前記プラズマ光を前記ミラーに向けて通過させるとともに、前記ミラーと前記フィルタとの間を流れた前記パージガスを前記開口部から流出させる管部と、
を備え、
前記パージガス供給部のガス流出口は、前記ミラーに向かって開口している極端紫外光センサユニット。 - 請求項1に記載の極端紫外光センサユニットであって、
前記パージガス供給部は、前記ミラーと前記フィルタとの間に向かって前記パージガスを吹き出すガス流出口を有する極端紫外光センサユニット。 - 請求項1に記載の極端紫外光センサユニットであって、
前記ミラーは、モリブデン(Mo)とシリコン(Si)とを交互に積層してなるMo/Si多層膜によるミラーである極端紫外光センサユニット。 - 請求項1に記載の極端紫外光センサユニットであって、
前記パージガス供給部のガス流出口は、前記フィルタに対して非対面の位置に設けられている極端紫外光センサユニット。 - 請求項1に記載の極端紫外光センサユニットであって、
前記パージガス供給部は、
前記開口部から前記管部を通過して前記ミラーに入射する前記プラズマ光の光路である第1の光路と、前記ミラーによって反射された前記極端紫外光が前記フィルタに向かって進行する光路である第2の光路とのうち、前記第2の光路の方から前記ミラーと前記フィルタとの間に前記パージガスを流すよう配置されている極端紫外光センサユニット。 - 請求項1に記載の極端紫外光センサユニットであって、
前記ミラー、前記フィルタ、及び前記光センサを収容するケースを備え、
前記ケースに前記管部と前記パージガス供給部とが設けられている極端紫外光センサユニット。 - 請求項6に記載の極端紫外光センサユニットであって、
前記ケースは、前記極端紫外光を発生させるチャンバの壁を貫通して前記チャンバに取り付けられ、前記管部の前記開口部が前記チャンバの内側に配置される極端紫外光センサユニット。 - 請求項7に記載の極端紫外光センサユニットであって、
前記ケースはフランジ部を有し、
前記フランジ部は前記チャンバの外側に配置され、ガスケットを介して前記チャンバの壁に固定される極端紫外光センサユニット。 - 請求項6に記載の極端紫外光センサユニットであって、
前記ケースの外側に嵌合するソケットを備え、
前記ソケットは、前記ケースの外壁と前記ソケットの内壁との間にガス経路となる隙間を形成するガス経路形成部と、
前記ガス経路形成部に連通する配管接続部と、
を有し、
前記ケースの外壁と前記ソケットの内壁との間に形成される前記隙間を通じて前記ケースの中に前記パージガスが供給される極端紫外光センサユニット。 - 請求項9に記載の極端紫外光センサユニットであって、
前記ソケットは前記極端紫外光を発生させるチャンバ内に配置され、前記チャンバ内において前記ソケットは前記ケースに嵌合する極端紫外光センサユニット。 - 請求項1に記載の極端紫外光センサユニットと、
レーザ光が内部に導入されるチャンバと、
前記チャンバ内にターゲットを供給するターゲット供給部と、
を備え、
前記ターゲット供給部から前記チャンバ内に供給された前記ターゲットに前記レーザ光を照射することにより前記ターゲットをプラズマ化して極端紫外光を生成する極端紫外光生成装置。 - 請求項11に記載の極端紫外光生成装置であって、
前記チャンバの壁に前記極端紫外光センサユニットが取り付けられた状態において、前記ミラーは、前記パージガス供給部のガス流出口よりも重力方向の下方に配置される極端紫外光生成装置。 - 請求項11に記載の極端紫外光生成装置であって、
前記パージガス供給部に連通する配管と、
前記配管に接続され、前記配管に前記パージガスを供給するガス供給装置と、
を備える極端紫外光生成装置。 - 請求項11に記載の極端紫外光生成装置であって、
前記ターゲットはスズであり、
前記パージガスは水素を含む極端紫外光生成装置。 - 請求項9に記載の極端紫外光センサユニットと、
レーザ光が内部に導入されるチャンバと、
前記チャンバ内にターゲットを供給するターゲット供給部と、
を備え、
前記ターゲット供給部から前記チャンバ内に供給された前記ターゲットに前記レーザ光を照射することにより前記ターゲットをプラズマ化して極端紫外光を生成する極端紫外光生成装置であって、
前記チャンバの内側に前記ソケットと、前記配管接続部に接続される配管と、が配置されており、
前記チャンバの壁を貫通して前記チャンバの外側から前記チャンバの内側の前記配管に前記パージガスを導入するフィードスルーを備える極端紫外光生成装置。 - 請求項11又は15に記載の極端紫外光生成装置であって、
前記極端紫外光センサユニットが複数配置され、
各極端紫外光センサユニットの検出位置と各検出エネルギからプラズマの位置が計算される極端紫外光生成装置。 - 請求項15に記載の極端紫外光生成装置であって、
前記配管は、前記チャンバの内壁に張り巡らされている極端紫外光生成装置。 - 請求項15に記載の極端紫外光生成装置であって、
前記配管は、前記フィードスルーを介してガス供給装置と接続される極端紫外光生成装置。 - 請求項1に記載の極端紫外光センサユニットであって、
前記フィルタは、膜厚300〜600nmの金属薄膜フィルタ又はジルコニウム(Zr)のフィルタである極端紫外光センサユニット。 - 請求項1に記載の極端紫外光センサユニットであって、
前記パージガス供給部は、前記極端紫外光の生成中に前記ガス流出口から水素ガスを噴出する極端紫外光センサユニット。
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