JP2013135033A - 極端紫外光生成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】極端紫外光生成装置は、少なくともひとつの窓が設けられているチャンバと、少なくともひとつの窓を通してチャンバ内の所定領域にレーザ光を入射させるように構成されたレーザ光進行方向制御装置と、上記所定領域にターゲット物質を供給するターゲット供給部と、チャンバ内に配置されたミラーであって、上記所定領域に対向する反射面を有し、上記所定領域においてレーザ光を照射されたターゲット物質から生成されたプラズマから放出される極端紫外光を反射面によって反射して集光するミラーと、チャンバに接続された排気装置と、チャンバに接続され、チャンバ内にエッチャントガスを供給するように構成されたガス供給装置と、ミラーの反射面の少なくとも一部に紫外光を照射するように構成された紫外光源と、を含んでも良い。
【選択図】図2
Description
1.概要
2.EUV光生成装置の全体説明
2.1 構成
2.2 動作
3.ガス供給装置及び紫外光源を備えたEUV光生成装置
3.1 構成
3.2 動作
4.オブスキュレーション領域に紫外光源を配置したEUV光生成装置
5.ガス供給装置及び紫外線レーザ装置を備えたEUV光生成装置
6.紫外線レーザ光によってデブリを吹き飛ばすEUV光生成装置
スズ等のターゲット物質にレーザ光が照射されると、プラズマが生成され、このプラズマからEUV光が生成されるとともに、スズ等のデブリが生成され得る。このデブリは、EUV光を集光するミラーの表面に付着して、ミラーの反射率を低下させ得る。
本開示の各実施形態においては、チャンバ内に水素等のエッチャントガスを供給するとともに、ミラーの表面に紫外光を照射することにより、ミラーの表面に付着したデブリを効率的にエッチングし得る。
2.1 構成
図1に、例示的なLPP方式のEUV光生成装置(極端紫外光生成装置)1の概略構成を示す。EUV光生成装置1は、少なくとも1つのレーザシステム3と共に用いてもよい(EUV光生成装置1及びレーザシステム3を含むシステムを、以下、EUV光生成システム(極端紫外光生成システム)11と称する)。図1に示し、かつ以下に詳細に説明するように、EUV光生成装置1は、チャンバ2を含んでもよい。チャンバ2は、密閉可能であってもよい。EUV光生成装置1は、ターゲット供給装置(例えばドロップレット生成器26)を更に含んでもよい。ターゲット供給装置は、例えばチャンバ2に取り付けられていてもよい。ターゲット供給装置が供給するターゲットの材料は、スズ、テルビウム、ガドリニウム、リチウム、キセノン、又はそれらのうちのいずれか2つ以上の組合せを含んでもよいが、これらに限定されない。
図1を参照すると、レーザシステム3から出射されたパルスレーザ光31は、レーザ光進行方向制御装置34を経てパルスレーザ光32としてウィンドウ21を透過してチャンバ2内に入射してもよい。パルスレーザ光32は、少なくとも1つのレーザビーム経路に沿ってチャンバ2内に進み、レーザ光集光ミラー22で反射して、パルスレーザ光33として少なくとも1つのドロップレットターゲット27に照射されてもよい。
3.1 構成
図2は、本開示の第1の実施形態に係るEUV光生成装置を概略的に示す。図2に示すように、チャンバ2には、水素ガス供給装置61と、排気装置62と、圧力センサ63とが取り付けられていてもよい。チャンバ2の内部には、紫外光源を構成する紫外線ランプ64が配置されていてもよい。
EUV光生成制御装置5は、ターゲット制御装置51、圧力制御装置52及びランプ電源66に制御信号を出力してもよい。ターゲット制御装置51は、ドロップレット生成器26に制御信号を出力してもよい。圧力センサ63は、チャンバ2内の圧力を検出し、検出信号を圧力制御装置52に出力してもよい。水素ガス供給装置61は、配管65を介してチャンバ2内のEUV集光ミラー23の反射面23aに向けて水素ガスを含むエッチャントガスを供給することにより、反射面23aに沿ってエッチャントガスを流してもよい。水素ガスを供給する水素ガス供給装置61の代わりに、他の種類のガス、例えば臭化水素(HBr)、塩化水素(HCl)等を含むエッチャントガスを供給する装置が用いられてもよい。排気装置62は、チャンバ2内を排気してもよい。圧力制御装置52は、圧力センサ63から出力された検出信号に基づいて、チャンバ2内の圧力が所望の一定値に維持されるように水素ガス供給装置61及び排気装置62を制御してもよい。ランプ電源66は、紫外線ランプ64に電力を供給し、紫外線ランプ64から紫外光を発生させてもよい。
図3Aは、本開示の第2の実施形態に係るEUV光生成装置を概略的に示す。図3Bは、図3Aの矢印IIIB方向から見たEUV光のファーフィールドプロファイル形状を示す。図3Cは、図3Aの矢印IIIC方向から見たEUV光生成装置を概略的に示す。図3Dは、図3Aの矢印IIID方向から見たEUV光生成装置を概略的に示す。図3Eは、第2の実施形態におけるガス供給装置の配管の斜視図である。図3Fは、第2の実施形態におけるガス供給装置の配管の断面図である。
その他の点は、第1の実施形態と同様でよい。
図4は、本開示の第3の実施形態に係るEUV光生成装置を概略的に示す。第3の実施形態においては、紫外光源としてチャンバ2の外部に配置された紫外線レーザ装置74を用いてもよい。紫外線レーザ装置74は、エキシマレーザ装置、例えば、波長193nmのレーザ光を出力するArFエキシマレーザ装置や、波長248nmのレーザ光を出力するKrFエキシマレーザ装置であってもよい。また、紫外線レーザ装置74は、非線形結晶と固体レーザ装置とを組み合わせたレーザ装置でもよい。例えば、非線形結晶とYAGレーザ装置とを組み合わせた装置を用いることによって、YAGレーザ装置の出力レーザ光の第4高調波を出力してもよい。
その他の点は、第1又は第2の実施形態と同様でよい。なお、紫外線レーザ装置をチャンバ2の内部に配置してもよいし、紫外線ランプ等の紫外光源をチャンバ2の外部に配置してもよい。
図5Aは、本開示の第4の実施形態に係るEUV光生成装置を概略的に示す。図5Bは、図5Aの矢印VB方向から見たEUV光生成装置を概略的に示す。図5Cは、第3の実施形態におけるガス供給装置の配管の斜視図である。図5Dは、第3の実施形態におけるガス供給装置の配管の断面図である。
その他の点は、第1〜第3の実施形態と同様でよい。
Claims (7)
- レーザ光を出力するように構成されたレーザシステムと共に用いられる極端紫外光生成装置であって、
少なくともひとつの窓が設けられているチャンバと、
前記少なくともひとつの窓を通して前記チャンバ内の所定領域に前記レーザ光を入射させるように構成されたレーザ光進行方向制御装置と、
前記所定領域にターゲット物質を供給するターゲット供給部と、
前記チャンバ内に配置されたミラーであって、前記所定領域に対向する反射面を有し、前記所定領域において前記レーザ光を照射された前記ターゲット物質から生成されたプラズマから放出される極端紫外光を前記反射面によって反射して集光する前記ミラーと、
前記チャンバに接続された排気装置と、
前記チャンバに接続され、前記チャンバ内にエッチャントガスを供給するように構成されたガス供給装置と、
前記ミラーの前記反射面の少なくとも一部に紫外光を照射するように構成された紫外光源と、
を含む極端紫外光生成装置。 - 前記紫外光源は、深紫外(DUV)光および真空紫外(VUV)光の少なくとも一方の光を前記反射面の少なくとも一部に照射する、請求項1に記載の極端紫外光生成装置。
- 前記紫外光源は、紫外線レーザ光源である請求項2に記載の極端紫外光生成装置。
- 前記紫外光源は、前記チャンバの内部に配置された紫外線ランプである、請求項2に記載の極端紫外光生成装置。
- 前記紫外光源は、前記チャンバの外部に配置され、
前記チャンバには、前記紫外光源から出力された紫外光を内部に入射させるための第2の窓が設けられた、請求項1に記載の極端紫外光生成装置。 - 前記ガス供給装置は、前記ミラーの前記反射面に沿って前記エッチャントガスを流す、請求項1に記載の極端紫外光生成装置。
- 前記ガス供給装置は、前記ミラーの前記反射面に向けて前記エッチャントガスを流す、請求項1に記載の極端紫外光生成装置。
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