JP6743287B2 - 配線基板及びその製造方法 - Google Patents
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Description
上記基材は、第1の面と、上記第1の面とは反対の第2の面とを有する金属材料で構成されたコア層と、絶縁材料で構成され上記コア層を厚み方向に貫通する絶縁体部とを有する。
上記第1の配線層は、上記第1の面側に設けられ、上記第2の配線層は、上記第2の面側に設けられる。
上記層間接続部は、貫通孔部と、導体部とを有する。上記貫通孔部は、第1の凹部と、第2の凹部と、連絡孔とを含む。上記第1の凹部は、上記第1の面に第1の開口径で設けられる。上記第2の凹部は、上記第2の面に第2の開口径で設けられ、上記基材の厚み方向に上記第1の凹部の少なくとも一部と対向する。上記連絡孔は、上記第1及び第2の開口径よりも小さい第3の開口径を有し、上記第1の凹部と上記第2の凹部との間を連絡する。上記導体部は、上記貫通孔部を介して上記第1の配線層と上記第2の配線層との間を電気的に接続する。上記層間接続部は、上記絶縁体部に設けられる。
これにより、貫通孔部における導体部の充填性を高めることができる。
上記第1の面とは反対の第2の面に、上記厚み方向に上記第1の凹部の少なくとも一部と対向する第2の凹部が、第2の開口径で形成される。
上記第1及び第2の開口径よりも小さい開口径を有し、上記第1の凹部と上記第2の凹部との間を連絡する連絡孔が形成される。
上記第1の凹部、上記第2の凹部及び上記連絡孔の内部に導体部が形成される。
上記第1及び第2の面に、上記導体部を介して相互に電気的に接続される配線層がそれぞれ形成される。
あるいは、上記第1の凹部は、上記第1の面をエッチング加工することで形成され、上記第2の凹部は、上記第2の面をエッチング加工することで形成されてもよい。
図1A〜図1Dは、本発明の第1の実施形態に係る配線基板の構成を模式的に示す断面図である。図において、X軸、Y軸及びZ軸は相互に直交する3軸方向を示しており、Z軸方向は配線基板の厚み方向に相当する。先ずは、図1Aを用いて説明する。
本実施形態の配線基板100は、基材10と、第1の配線層21と、第2の配線層22と、層間接続部30とを有する。配線基板100は、層間接続部30を介して第1及び第2の配線層21,22が相互に電気的に接続された両面配線基板として構成される。
貫通孔部31は、第1の凹部311と、第2の凹部312と、連絡孔313とを有する。
図4は、配線基板100の製造方法を示す要部の概略工程断面図である。ここでは主として、層間接続部30の製造方法について説明する。なお、図1Aでも説明したように基材10に凹部を形成する場合、図1Bや図1Cで説明したように、基材10からスタートし、配線基板100の完成途中または完成の後に形成する場合などと、色々なケースが考えられる。図4では、これらに共通する凹部の形成方法を説明する。
一方、図4Cに於いて、連絡孔313を形成するに、第2の凹部312側(裏側)より、レーザ照射すれば基板の反転は不要と成る。つまり、表(第1の凹部形成)、裏(第2の凹部形成)、裏(連絡孔形成)で、基板の反転が減らせ、プロセスが簡略できる。図8は、その例である。
例えば図6Bに示すように、基材10または配線基板100の表面11と第1の凹部311との交点を点A、第1の凹部311と連絡孔313との交点を点B、第2の凹部312と連絡孔313との交点を点C、基材10または配線基板100の裏面12と第2の凹部312との交点を点Dとしたとき、線分ABと線分BCが成す角度、または線分BCと線分CDの成す角度は、鈍角で形成されることが好ましい。
図8A〜Dは、本発明の第2の実施形態に係る配線基板の製造工程を示す要部の概略断面図、図9は当該配線基板の構成を示す要部の概略断面図である。以下、第1の実施形態と異なる構成について主に説明し、第1の実施形態と同様の構成については同様の符号を付しその説明を省略または簡略化する。
図10は、本発明の第3の実施形態に係る配線基板の構成を示す要部の概略断面図である。以下、第1の実施形態と異なる構成について主に説明し、第1の実施形態と同様の構成については同様の符号を付しその説明を省略または簡略化する。
図11は、本発明の第4の実施形態に係る配線基板の構成を示す要部の概略断面図である。以下、第1の実施形態と異なる構成について主に説明し、第1〜第3の実施形態と同様の構成については同様の符号を付しその説明を省略または簡略化する。
21…第1の配線層
22…第2の配線層
30,230…層間接続部
31…貫通孔部
32…導体部
50,70…コア層
53,73,74…キャビティ部
54…絶縁体部
73p,74p…環状突起部
80…電子部品
100,200,300,400…配線基板
311…第1の凹部
312…第2の凹部
313…連絡孔
Claims (13)
- 第1の面と、前記第1の面とは反対の第2の面とを有する金属材料で構成されたコア層と、
前記コア層の前記第1の面と前記第2の面との間に設けられ、内壁面に環状突起部を有する第1のキャビティ部と、
前記第1のキャビティ部に絶縁材料で構成され前記コア層の厚み方向に貫通する絶縁体部と、
前記コア層の前記第1の面に設けられた第1の絶縁膜と、
前記コア層の前記第2の面に設けられた第2の絶縁膜と、
前記第1の面側に前記第1の絶縁膜を介して設けられた第1の配線層と、
前記第2の面側に前記第2の絶縁膜を介して設けられた第2の配線層と、
前記絶縁体部内において、前記第1の面側に第1の開口径で設けられた第1の凹部と、
前記絶縁体部内において、前記第2の面側に第2の開口径で設けられ前記厚み方向に前記第1の凹部の少なくとも一部と対向する第2の凹部と、
前記第1の凹部と前記第2の凹部との間を貫通し、前記第1の凹部側であって前記第1の開口径よりも小さい前記第3の開口径を有する第1の接続部と、前記第2の凹部側であって前記第2の開口径よりも小さい前記第4の開口径を有する第2の接続部とを有し、前記第1の接続部と前記第2の接続部との間の長さをもって前記第1の凹部と前記第2の凹部とを連絡し、前記厚み方向と直交する方向において、前記環状突起部と前記絶縁体部を介して対向する連絡孔とを有する貫通孔部と、
前記貫通孔部を介して前記第1の配線層と前記第2の配線層との間を電気的に接続する導体部と、
を有する層間接続部と
を具備する配線基板。 - 請求項1に記載の配線基板であって、
前記第2の開口径は、前記第1の開口径よりも大きい
配線基板。 - 請求項1又は2に記載の配線基板であって、
前記第1及び第2の凹部はそれぞれ、前記連絡孔に向かって径が縮小するテーパ形状を有する
配線基板。 - 請求項1〜3のいずれか1つに記載の配線基板であって、
前記連絡孔は、前記基材の厚み方向の中心部よりも前記第1の面側に設けられる
配線基板。 - 請求項1〜4のいずれか1つに記載の配線基板であって、
前記導体部は、前記貫通孔部に充填された導電材料で構成される
配線基板。 - 請求項1に記載の配線基板であって、
前記第1の面と前記第1の凹部との交点をA、前記第1の凹部と前記連絡孔との交点をB、前記連絡孔と前記第2の交点をCとしたとき、線分ABと線分BCとがなす角度が鈍角である
配線基板。 - 請求項1〜6のいずれか1つに記載の配線基板であって、
前記基材に内蔵された電子部品をさらに具備し、
前記コア層は、前記電子部品を収容し第2の環状突起部を含む内壁面を有する第2のキャビティ部をさらに有し、
前記電子部品は、前記厚み方向と直交する方向に前記第2の環状突起部と対向しない位置に配置される
配線基板。 - 金属材料で構成されたコア層に、前記コア層を貫通し、内壁面に環状突起部を有するキャビティ部を形成し、
前記キャビティ部に絶縁体部を充填し、
前記コア層の厚み方向に貫通する前記絶縁体部の第1の面に、第1の開口径を有する第1の凹部を形成し、
前記第1の面とは反対の前記絶縁体部の第2の面に、前記厚み方向に前記第1の凹部の少なくとも一部と対向する第2の凹部を、第2の開口径で形成し、
前記第1及び第2の開口径よりも小さい開口径を有し、前記第1の凹部と前記第2の凹部との間を連絡し、前記厚み方向において前記絶縁体部を介して前記環状突起部に対向する連絡孔を形成し、
前記第1の凹部、前記第2の凹部及び前記連絡孔の内部に導体部を形成し、
前記第1及び第2の面に、前記導体部を介して相互に電気的に接続される配線層をそれぞれ形成する
配線基板の製造方法。 - 請求項8に記載の配線基板の製造方法であって、
前記キャビティ部をエッチングにより形成し、前記連絡孔をレーザ加工により形成する配線基板の製造方法。 - 請求項9に記載の配線基板の製造方法であって、
前記第2の凹部は、前記第1の凹部に到達しない深さで形成される
配線基板の製造方法。 - 請求項10に記載の配線基板の製造方法であって、
前記第1の凹部は、前記第1の面をレーザ加工することで形成され、
前記第2の凹部は、前記第2の面をレーザ加工することで形成される
配線基板の製造方法。 - 請求項11に記載の配線基板の製造方法であって、
前記連絡孔は、前記第1の凹部又は前記第2の凹部の底部をレーザ加工することで形成される
配線基板の製造方法。 - 請求項9〜12のいずれか1つに記載の配線基板の製造方法であって、
前記導体部は、めっき法によって形成される
配線基板の製造方法。
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