JP6719141B2 - Nb3Sn超伝導線材の製造方法、Nb3Sn超伝導線材用の前駆体、及びこれを用いたNb3Sn超伝導線材 - Google Patents

Nb3Sn超伝導線材の製造方法、Nb3Sn超伝導線材用の前駆体、及びこれを用いたNb3Sn超伝導線材 Download PDF

Info

Publication number
JP6719141B2
JP6719141B2 JP2019515122A JP2019515122A JP6719141B2 JP 6719141 B2 JP6719141 B2 JP 6719141B2 JP 2019515122 A JP2019515122 A JP 2019515122A JP 2019515122 A JP2019515122 A JP 2019515122A JP 6719141 B2 JP6719141 B2 JP 6719141B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mass
xzn
superconducting wire
wire
alloy
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2019515122A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2018198515A1 (ja
Inventor
信哉 伴野
信哉 伴野
太刀川 恭治
恭治 太刀川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
National Institute for Materials Science
Original Assignee
National Institute for Materials Science
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by National Institute for Materials Science filed Critical National Institute for Materials Science
Publication of JPWO2018198515A1 publication Critical patent/JPWO2018198515A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6719141B2 publication Critical patent/JP6719141B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22CALLOYS
    • C22C9/00Alloys based on copper
    • C22C9/01Alloys based on copper with aluminium as the next major constituent
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22CALLOYS
    • C22C13/00Alloys based on tin
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22CALLOYS
    • C22C27/00Alloys based on rhenium or a refractory metal not mentioned in groups C22C14/00 or C22C16/00
    • C22C27/02Alloys based on vanadium, niobium, or tantalum
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22CALLOYS
    • C22C9/00Alloys based on copper
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22CALLOYS
    • C22C9/00Alloys based on copper
    • C22C9/04Alloys based on copper with zinc as the next major constituent
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22FCHANGING THE PHYSICAL STRUCTURE OF NON-FERROUS METALS AND NON-FERROUS ALLOYS
    • C22F1/00Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22FCHANGING THE PHYSICAL STRUCTURE OF NON-FERROUS METALS AND NON-FERROUS ALLOYS
    • C22F1/00Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working
    • C22F1/08Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working of copper or alloys based thereon
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22FCHANGING THE PHYSICAL STRUCTURE OF NON-FERROUS METALS AND NON-FERROUS ALLOYS
    • C22F1/00Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working
    • C22F1/16Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working of other metals or alloys based thereon
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22FCHANGING THE PHYSICAL STRUCTURE OF NON-FERROUS METALS AND NON-FERROUS ALLOYS
    • C22F1/00Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working
    • C22F1/16Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working of other metals or alloys based thereon
    • C22F1/18High-melting or refractory metals or alloys based thereon
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01BCABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B12/00Superconductive or hyperconductive conductors, cables, or transmission lines
    • H01B12/02Superconductive or hyperconductive conductors, cables, or transmission lines characterised by their form
    • H01B12/10Multi-filaments embedded in normal conductors
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N60/00Superconducting devices
    • H10N60/01Manufacture or treatment
    • H10N60/0184Manufacture or treatment of devices comprising intermetallic compounds of type A-15, e.g. Nb3Sn
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E40/00Technologies for an efficient electrical power generation, transmission or distribution
    • Y02E40/60Superconducting electric elements or equipment; Power systems integrating superconducting elements or equipment
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12493Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
    • Y10T428/12708Sn-base component
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12493Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
    • Y10T428/12771Transition metal-base component
    • Y10T428/12806Refractory [Group IVB, VB, or VIB] metal-base component
    • Y10T428/12819Group VB metal-base component
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12493Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
    • Y10T428/12771Transition metal-base component
    • Y10T428/12861Group VIII or IB metal-base component
    • Y10T428/12903Cu-base component

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Superconductors And Manufacturing Methods Therefor (AREA)

Description

本発明は、NbSn超伝導線材に関し、特に内部スズ法を用いたNbSn超伝導線材の製造方法に関する。また、本発明はこのNbSn超伝導線材の製造方法に用いて好適なNbSn超伝導線材用の前駆体及びこれを用いたNbSn超伝導線材に関する。
NbSn(ニオブ3スズ)は、ニオブ(Nb)とスズ(Sn)の金属間化合物で、線材に加工されて、核融合や核磁気共鳴(NMR:Nuclear Magnetic Resonance)装置用の超伝導磁石等に用いられている。
NbSnは、ニオブチタン(NbTi)よりも高価であるが、臨界磁場Hcの観点からは、NbTiが約15Tであるのに対し、NbSnでは磁場強度が約30Tと高い。そして、NbSnの臨界温度は18.3ケルビン(K)であり、通常、4.2K、即ち液体ヘリウムの沸点温度で使用される。
機械的には、超伝導線材としてのNbSnは非常に脆く、容易には超伝導磁石を巻くために必要な線材を作製できない。これを克服するために、ワイヤ製造業者は、典型的には延性を有する前駆体を含む複合ワイヤで縮径加工をしている。内部スズ法では、Nb、CuおよびSnの別々の合金を含んでいる。ブロンズ法では、銅と錫の青銅マトリックス中にNbを含んでいる。両方の製造工程において、典型的には、線材は最終的な線径に縮径加工されて熱処理前のソレノイドやケーブルに巻かれる。即ち、NbがSnと反応して脆い超電導ニオブ3スズ化合物を形成するのは、熱処理の間だけである。
次に、上記前駆体としてのNbSn超伝導線材の製造方法である、ブロンズ法と内部スズ法を詳細に説明する。
特許文献1では、Cu−Sn−Zn母材とNb合金芯を用いた、いわゆるブロンズ法による線材作製技術が開示されている。ブロンズ法とは、CuにSnが固溶したCu−Snもしくはさらに第3元素が固溶したブロンズ母材とその中に多数本埋め込まれたNb芯との拡散反応によって、NbSn相を生成する方法をいう。しかし、この方法では線材の加工上Snの母材への固溶割合が15.5質量%以下に限定されてしまい、NbSn体積を増やすこと、すなわち線材断面あたりの臨界電流密度を高めることが困難であるという課題があった。また、ブロンズ法では、伸線加工中にCu−Sn合金の大きな加工硬化が生じるため中間焼鈍が必須であり、そのために製造コストが増大するなどの問題があった。
他方、内部スズ法とは、Cu−Snブロンズを用いずに、純CuもしくはSn以外の元素が固溶したCu合金母材とその中に埋め込まれた多数本のNb芯とSn芯で構成された前駆体線材において、熱処理によりCu合金とSnを反応させていったんCu−Sn相を生成し、次いで生成されたCu−Sn相とNbが拡散反応することによりNbSn相が生成される方法をいう。そして、特許文献2、3では、内部スズ法によるNbSn超伝導線材の開発例が開示されている。
上記のブロンズ法に代わり内部スズ法を採用することによって、線材内部における低Snモル比率の問題を解決し、NbSn体積を増加することが可能となった。しかし、従来の内部スズ法では、中央のSn芯がCu母材に拡散した後に大きい空孔を生じ、線材の機械的性質を害するという課題があった。
そこで、本出願人の提案にかかる特許文献4では、内部スズ法NbSn超伝導線材の製造において、CuZn合金母材を用いることで、中央のSn芯がCu母材に拡散した後に生成する空孔が抑制されて、緻密な合金組織が得られるNbSn超伝導線材用の前駆複合体、及びこの前駆複合体を用いたNbSn超伝導線の製造方法を提案している。しかし、CuZn合金母材を用いる場合よりも、更に特性を向上させたNbSn超伝導線材が得られる前駆複合体が求められている。
特公昭54−40438号公報 特開2013−206532号 特開2009−193856号 特開2015−185211号
本発明が解決しようとする課題は、内部スズ法NbSn超伝導線材の製造において、中央のSn芯がCu母材に拡散した後に大きい空孔を生じることがなく、緻密な合金組織が得られるNbSn超伝導線材の製造方法を提供することである。また本発明は、この用のNbSn超伝導線材の製造方法に用いて好適なNbSn超伝導線用の前駆体を提供することである。
本発明のNbSn超伝導線材の製造方法は、例えば図1に示すように、合金組成がCu−xZn−yM(M=Ge、Ga、Mg又はAl)で表される棒材10であって、第3元素Mの種類に応じて、組成比率x、y質量%は次のようになっている、
Cu−xZn−yGe(x:0.1〜40質量%、y:0.1〜12質量%)、
Cu−xZn−yGa(x:0.1〜40質量%、y:0.1〜21質量%)、
Cu−xZn−yMg(x:0〜40質量%、y:0.01〜3質量%)、又は
Cu−xZn−yAl(x:0.1〜40質量%、y:0.01〜0.85質量%)。
この合金組成の棒材10の中心部にSn挿入孔12が設けられ、Sn挿入孔12の外周面に沿って離散して設けられた複数のNb挿入孔14を有する棒材10を提供する工程(S100、S102)と、Sn挿入孔12に、合金組成がSn−zQ(z:0.5〜4質量%、Q=Ti、Zr、Hf)の合金棒を装着し、Nb挿入孔14にNb芯を挿入する工程(S104、S106)と、棒材10を縮径加工して所定外径のCu−xZn−yM/Nb/Sn−zQ複合多芯線を作製する工程(S108)と、上記複合多芯線を650℃〜800℃でNbSn相生成熱処理する工程(S120)とを有することを特徴とする。
本発明のNbSn超伝導線材の製造方法において、好ましくは、上記複合多芯線を予備加熱してZnとSnの相互拡散を促進した後で、上記複合多芯線を650℃〜800℃でNbSn相生成熱処理するとよい(S110、S120)。
本発明のNbSn超伝導線材の製造方法において、好ましくは、前記複合多芯線の作製工程において、Cu−xZn−yM/Nb/Sn−zQ複合多芯線をCu−xZn−yM/Nb複合体とSn−zQとに分けておき、Cu−xZn−yM/Nb複合体に対して中間焼鈍を行ない、その後一体化させてCu−xZn−yM/Nb/Sn−zQ複合多芯線とするとよい。
本発明のNbSn超伝導線材用前駆体は、例えば図2に示すように、合金組成がCu−xZn−yM(M=Ge、Ga、Mg又はAl)で表される棒材10であって、第3元素Mの種類に応じて、組成比率x、y質量%は次のようになっている、
Cu−xZn−yGe(x:0.1〜40質量%、y:0.1〜12質量%)、
Cu−xZn−yGa(x:0.1〜40質量%、y:0.1〜21質量%)、
Cu−xZn−yMg(x:0〜40質量%、y:0.01〜3質量%)、又は
Cu−xZn−yAl(x:0.1〜40質量%、y:0.01〜0.85質量%)。
この合金組成の棒材10の中心部に設けられたSn挿入孔12と、Sn挿入孔12の外周面に沿って離散して設けられた複数のNb挿入孔14とを有する棒材10と、Sn挿入孔12に装着された、合金組成がSn−zQ(z:0.5〜4質量%、Q=Ti、Zr、Hf)の合金棒部と、Nb挿入孔14に挿入されたNb芯部とを備えることを特徴とする。
Nb芯部においては、Ti、Hf、Zr、Taからなる群から選択される1種または2種以上の元素を0〜5質量%含んでもよい。これらの添加元素はいずれもNbSnの磁場特性を向上させる上で同等な効果を有する。
本発明のNbSn超伝導線材用前駆体において、好ましくは、合金棒部に対するNb芯部の体積比は、1.5〜5倍であるとよい。
本発明のNbSn超伝導線材用前駆体において、好ましくは、Cu合金母材中のNbの占積率は、5〜80%が望ましい。5%以下ではNbSnの生成量が少なくて特性が優れず、80%以上では母材が少なくなりすぎて前駆体線材の作製が困難である。
本発明のNbSn超伝導線材は、上記のNbSn超伝導線材用前駆体に対して、NbSn相生成熱処理を行ったNbSn超伝導線材であって、Nb芯にSnが拡散して形成された厚さ0.1−500μmのNbSn層であって、前記合金棒部に含有されたQ(=Ti、Zr、Hf)を一部もしくはすべて固溶した前記NbSn層と、前記合金棒部に含有されたSnが棒材10のCu母材に拡散した後にも実質的に空孔を有しないこと特徴とする。
本発明のNbSn超伝導線材の製造方法によれば、NbSn超伝導線材において、NbSn層生成促進に加え、超伝導フィラメント機械的強度(および界面抵抗の増大)、臨界温度(磁場)の改善、結晶粒の微細化など、機能性に富んだNbSn超伝導線材ができる。
本発明のNbSn超伝導線用の前駆体によれば、NbSn超伝導線材において、NbSn層生成促進に加え、超伝導フィラメント機械的強度(および界面抵抗の増大)、臨界温度(磁場)の改善、結晶粒の微細化など、機能性に富んだNbSn超伝導線材に変化させることができる前駆体が得られる。
本発明のNbSn超伝導線材によれば、従前の内部スズ法で製造される場合に生じていたボイドがないか、極めて少ないため、NbSn超伝導線材における歪み特性が大幅に改善される。
図1は本方法発明の一実施の形態を示す内部スズ法NbSn線材の製造工程を説明するフローチャートである。 図2は本発明の一実施の形態を示すCu−xZn−yM/Nb/Sn−Ti複合前駆体線材の断面構造例で、棒材にSn−Ti合金棒とNb芯を挿入した状態を示してある。 図3は本発明の一実施の形態を示すCu−1Zn−5Ge母材を用いて作製した前駆体線材の断面写真である。 図4は本発明の一実施の形態を示すCu−1Zn−5Ge母材を用いて作製したNbSn線材のEPMA組成マップ解析図である。 図5は本発明の一実施の形態を示すCu−1Zn−10Ga母材とCu母材を用いて作製したNbSn線材の磁化温度曲線の比較図である。 図6は本発明の他の実施の形態を示すCu−14Zn−1Ge母材を用いて作製した前駆体線材例の断面写真である。 図7は本発明の他の実施の形態を示すCu−14Zn−1Ge母材を用いて作製したNbSn線材のEDX組成マップ解析図である。 図8は本発明の他の実施の形態を示すCu−14Zn−1Ge母材を用いて作製したNbSn線材の臨界電流密度特性図である。 図9は本発明の他の実施の形態を示すCu−1Mg母材を用いて作製したNbSn線材の臨界電流密度特性図である。 図10は本発明の他の実施の形態を示すCu−1Mg母材を用いて作製したNbSn線材の断面写真である。
NbSn(ニオブ3スズ)は、ニオブ(Nb)とスズ(Sn)の金属間化合物で、第二種超伝導体として工業的に使用される。この金属間化合物は、A15相超伝導体である。
ここで、第二種超伝導体とは、ニオブやバナジウム及び二種以上の金属からなる合金化合物からできている超伝導体で、磁場の強さをあげていくと、内部のひずみや不純物などの常伝導体に磁場が侵入するが、電気抵抗ゼロのまま超伝導と常伝導が共存した状態になることができる超伝導体である。第二種超伝導体では、ピン止め効果によりゼロ抵抗を維持している。
またA15相とは、β−W型金属間化合物又はCrSi構造型としても知られるもので、化学式AB(Aは遷移金属であり、BはSi、Ga、Ge、Sn等の元素である)で、特有の構造を有する金属間化合物の系列である。A15相の化合物の多くは超伝導性として比較的高い臨界温度Tc(約20K)で示しており、数十テスラ磁場中でも超伝導のままである。A15相の化合物は第二種超伝導体として実用的な用途を有している。
本発明では、母材に用いる合金の組成は、Cu−xZn−yM(M=Ge、Ga、Mg又はAl)合金であって、第3元素Mの種類に応じて、組成比率x、y質量%は次のようになっている、
Cu−xZn−yGe(x:0.1〜40質量%、y:0.1〜12質量%)、
Cu−xZn−yGa(x:0.1〜40質量%、y:0.1〜21質量%)、
Cu−xZn−yMg(x:0〜40質量%、y:0.01〜3質量%)、又は
Cu−xZn−yAl(x:0.1〜40質量%、y:0.01〜0.85質量%)。
本発明では、上記組成のCu−xZn−yM合金を用いることで、NbSn層生成促進に加え、超伝導フィラメント機械的強度(および界面抵抗の増大)、臨界温度(磁場)、結晶粒の微細化など、機能性に富んだNbSn超伝導線材ならびにその製造方法を提供できる。
以下に、本発明のNbSn超伝導線用の前駆体、及びこれを用いたNbSn超伝導線材の組成及びその含有量について、上記のように限定した理由を以下に記す。なお、以下の説明において、含有量を表す%は、質量%である。
亜鉛(Zn):Znの添加により、NbSn層を格段に促進させる効果を得ることができる。Cu−xZn−yM合金母材中のZnの質量割合は、(M=Ge、Ga又はAl)合金については、0.1〜40質量%が望ましい。0.1質量%以下ではNbSn層生成促進効果が小さく、40質量%以上ではCu−Zn化合物を形成して前駆体線材の加工が著しく低下する。
また、Cu−xZn−yM合金母材中のZnの質量割合は、(M=Mg)合金については、0〜40質量%が望ましい。Cu−xZn−yMg合金では、Znの添加量が0質量%であっても、同時に添加されるMgの作用で必要なNbSn層生成促進効果が得られる。
ゲルマニウム(Ge):Cu−xZn−yM合金母材にGeを添加する場合、Geの質量割合は、0.1〜12質量%が望ましい。0.1質量%以下ではNbSn層周囲の形成されるGe化合物の量が少なすぎ、フィラメントの機械的強度の改善効果が小さく、12質量%以上ではCu−Ge化合物を形成して前駆体線材の加工が著しく低下する。Geの質量割合として、さらに好ましくは0.1〜5質量%が好ましい。
Cu−xZn−yM合金母材にGeを添加することにより、超伝導フィラメントの周囲にGe−Ti系の化合物相を形成し、超伝導フィラメントの機械的強度の向上に寄与するとともに、フィラメント界面抵抗の増大が期待できる。界面抵抗の増大はフィラメント間の結合電流を抑制するため、交流応用下でのエネルギー損失の低減にもつながる。
ガリウム(Ga):Cu−xZn−yM合金母材にGaを添加する場合、Gaの質量割合は、0.1〜21質量%が望ましい。0.1質量%以下ではNbSn層の臨界温度改善効果が小さく、21質量%以上ではCu−Ga化合物を形成して前駆体線材の加工が著しく低下する。Gaの質量割合として、さらに好ましくは0.1〜10質量%が好ましい。Ga添加の場合には、臨界温度(磁場)向上の効果が得られる。
マグネシウム(Mg):Cu−xZn−yM合金母材にMgを添加する場合、Mgの質量割合は、0.01〜3質量%が望ましい。0.01質量%以下ではNbSn層の結晶粒微細化の効果が小さく3質量%以上ではCu−Mg化合物を形成して前駆体線材の加工が著しく低下する。Mgの質量割合として、さらに好ましくは0.01〜2質量%が好ましい。Mg添加では、結晶粒の微細化がもたらされ、これにより歪み特性の改善や臨界電流密度の向上(ピンニング力の向上等)が期待できる。
アルミニウム(Al):Cu−xZn−yM合金母材にAlを添加する場合、Alの質量割合は、0.01〜0.85質量%が望ましい。0.01質量%以下ではNbSn層の生成促進効果が小さく0.85質量%以上ではCu−Al化合物を形成して前駆体線材の加工が著しく低下する。Alの質量割合として、さらに好ましくは0.01〜0.5質量%が好ましい。Al添加ではNbSn層の生成促進の効果が見られる。
次に、図面を用いて本発明を説明する。
図1は本方法発明の一実施の形態を示す内部スズ法NbSn線材の製造工程を説明するフローチャートである。図2は本方法発明の一実施の形態を示すCu−xZn−yM/Nb/Sn−Ti複合前駆体線材の断面構造例である。
図2に示す断面形状の前駆体では、外径が30mmのCu−1Zn−5Ge製棒材を準備して母材10とする。次に、母材10の中心に内径2mmの穴を空け、この中心穴の周囲の第1外周にそって6個の穴を空けて、Sn挿入孔12とした。また、Sn挿入孔12の第2外周に沿って離散して、外周状に内径2mmの穴を12個設け、この第2外周のさらに外側の第3外周に沿って内径2mmの穴を18個設けて、Nb挿入孔14とする。即ち、Nb挿入孔14は全部で30個存在している。
Sn挿入孔12が母材10の中心部に設けられているのは、NbSn超伝導線材に加工した際に、線材が折り曲げられても、中心部の歪みは周縁部の歪みに比較して少なくて済み、破断しにくい為である。複合体は、Sn挿入孔12にSn−zQ(z:0.5〜4質量%、Q=Ti、Zr、Hf)の合金棒、ここではSn−2質量%Tiの合金棒を挿入し、Nb挿入孔14にNb芯部を挿入することで、作製される。
なお、前駆体の断面形状は図2に限られるものではなく、図3に示すように、棒材の中心にNb挿入孔を一個設けてある。この棒材の中心部、具体的にはこの中心孔の周囲の第1外周にそって6個の穴、第2外周に沿って12個の穴を設けて、合計18個のSn挿入孔12とする。そして、Sn挿入孔12の外側に位置する第3外周に沿って18個の穴を設け、さらに第3外周の外側であって、母材であるCu−1Zn−5Ge製棒材の外周面の内側となる第4外周部に18個の穴を設けて、Nb挿入孔14とする。即ち、Nb挿入孔14は全部で37個存在している。
[実施例1]
下記の手順に従って、図3に示す断面形状の前駆体を作製した。まず外径が30mmのCu−1Zn−5Ge製棒材(ただし本実施例では、加工性改善のため中心部に銅を配置してある)を準備して母材10とした(S100)。次に、母材10の中心部に内径2mmの穴を空けてNb挿入孔とした。次に、この中心穴の周囲の第1外周と第2外周にそって合計20個の穴を空けて、Sn挿入孔12とした。また、Sn挿入孔12の外周に位置する第3外周と、母材であるCu−1Zn−5Ge製棒材の外周面の内側となる第4外周との間に、合計36個のNb挿入孔14を設けた(S102)。即ち、Nb挿入孔14は全部で37個存在している。
次に、Sn挿入孔12の中心に直径2mm弱のSn−2質量%Tiの合金棒を挿入した(S104)。続いて、Sn挿入孔12の周囲に位置する各Nb挿入孔14に直径2mm弱のNb芯を各々挿入した(S106)。これにより、複合体を作製した。複合体は、Sn挿入孔12に位置する合金棒部と、Nb挿入孔14に位置するNb芯部とを有している。
ついで、この複合体を縮径加工して外径約0.6mmのCu−1Zn−5Ge/Nb/Sn−Ti複合多芯線を作製した(S108)。この線材に対しまずArガス雰囲気中で650℃×100hの予備加熱を行った(S110)。予備加熱によって、Cu、Sn、Zn、M(Ge)の相互拡散が促進される。また予備加熱によって、NbSn超伝導線材用前駆体が得られた(S112)。
ついでNbSn相を生成するために、このNbSn超伝導線材用前駆体について750℃×100hの熱処理を行った(S120)。この熱処理によって、Snがマトリクス、Nb芯へと拡散していきNb芯側にNbSn層を形成する。Znはマトリクスに残留する。M元素はそれぞれにおいて特徴的な拡散挙動を示すが、Geについては下記に説明する通りである。このようにして、前駆体が変態して超伝導線材が得られる(S122)。
この超伝導線材を巻線加工すると、超伝導磁石が得られる(S140)。
図4は本発明の一実施の形態を示すCu−1Zn−5Ge母材を用いて作製したNbSn線材のEPMA組成マップ解析図で、Nb、Ge、Sn、Tiについて示してある。EPMA(Electron Probe Micro Analyzer)は、電子線マイクロアナライザとも呼ばれる。図4に示すように、Nb芯外側に形成されたNbSn層のさらに周囲に、約2μmほどのGe−Tiの化合物相が生成されている様子が観察され、機械的補強効果が期待される。こうしたGe−Ti化合物相は、NbSn層とマトリクス間の界面抵抗を増大させる効果も期待され、特に交流応用に適すると期待される。
図4に示す通り、従来線材中央のSnが拡散した後に生成する大きいボイドの発生が抑制されて、緻密な構造が得られていることがわかる。この線材について臨界温度を測定したところ、NbSnについて報告されている約18Kの値を示した。
[実施例2]
Cu−1Zn−10Ga合金母材を用いて同様に作製された線径0.814mmの複合前駆体線材において、Arガス雰囲気中で650℃×100hの予備加熱を行った後、NbSn層を生成するために、750℃×100hの熱処理を行った。
組成マッピングの結果、Gaの場合は熱処理を経てNbSn層に拡散していくことが確認された。本試料をSQUIDにより磁化−温度曲線を測定したところ、図5に示すように、Ga添加のない場合に比べて、超伝導状態となる臨界温度が0.3K上昇することが確認された。
[実施例3]
Cu−0.2Zn−1Mg合金母材を用いて同様に作製された複合前駆体線材において、Arガス雰囲気中で650℃×100hの予備加熱を行った後、NbSn層を生成するために、800℃×20hの熱処理を行った。
その線材の破断面に対しSEM観察を実施したところ、Mgを添加しないCu母材の平均結晶粒径が約500nm以上であったのに対し、Mgを添加した母材では結晶粒の粗大化が抑制され、平均粒径は300nm程度であった。
[実施例4]
Cu−0.1Zn−0.5Al合金母材を用いて同様に作製された複合前駆体線材において、Arガス雰囲気中で650℃×100hの予備加熱を行った後、NbSn層を生成するために、750℃×100hの熱処理を行ったところ、臨界温度がAlを添加しないCu母材のそれと比較して0.1K改善した。
[実施例5]
Cu−1Zn−5Geに比べてZn量を多くし、Ge量を減らした合金を用いて試料を作製した。すなわちCu−14Zn−1Ge合金およびCuからなる母材に、684本のNb芯と19本のSn−2wt%Ti合金芯が埋め込まれた線径0.6mmの複合多芯前駆体線材(図6)において、Arガス雰囲気中で650℃×100hの予備加熱を行った後、NbSn層を生成するために、750℃×50hの熱処理を行った。
本試料にEDXによる組成マッピングを行ったところ、Nb芯にNbSn層が生成したが、Cu−1Zn−5Geの場合と異なり、その周囲にGe−Tiの化合物相は生成されず、中までGeが拡散していることが確認された(図7)。臨界電流測定を行ったところ、Ge添加のないCu−Zn母材試料に比べてさらに特性が向上した(図8)。これはGeのNbSn層への侵入によって、ピンニング力が改善されたことが要因と考えられる。
Geの添加の効果は、主に2つあって、Zn量とのバランスによって決まると考えられる。Zn量が多く、Geが少ない場合(例えば、本発明の第5の実施例)は、GeはNb3Sn層に侵入してピンニング力を改善する。Zn量が少なく、Ge量が多い場合(例えば、本発明の第1の実施例)は、GeはNbSn層周囲にGe−Ti化合物相を形成する。化合物相は機械的補強効果のほか、界面抵抗の増大に効果がある。
[実施例6]
次に、本発明の第6の実施例では、母材に用いる合金の組成が、Cu−wMg(w:0.01〜3質量%)となっており、Znを含有していない。
本発明では、上記組成のCu−wMg合金を用いることで、NbSn層生成促進に加え、超伝導フィラメント機械的強度(および界面抵抗の増大)、臨界温度(磁場)、結晶粒の微細化など、機能性に富んだNbSn超伝導線材ならびにその製造方法を提供できる。
本発明の第6の実施例では、Cu−1Mg合金母材を用いて作製された複合前駆体線材において、Arガス雰囲気中で650℃×100hの予備加熱を行った後、NbSn層を生成するために、700℃×200hの熱処理を行った。
その線材の破断面に対しSEM観察を実施したところ、Mgを添加しないCu母材の平均結晶粒径に対して微細な結晶粒が確認された。臨界電流測定を行ったところ、Mg添加のないCu母材試料に比べて特性が向上した(図9)。興味深いことに、MgはSnと結合し化合物としてマトリクス中に堆積することが確認された(図10)。こうした化合物の存在はマトリクスの機械的強度の向上に役立つと思われる。
Mgの添加は、NbSn層の特性に影響を与えるだけでなく、マトリクスの組織にも影響を及ぼし、機械的特性の向上等に寄与する。
上記の実施例1〜6の効果を説明すると、表1のようになる。
そして、上記の実施例に基づいて、NbSn超伝導線材を製造する為の、製造条件は次のように定められる。
Cu−xZn−yM母材に対するSn−Tiの断面積比は、5〜30%が望ましい。5%以下ではNbSnの生成量が少なくて特性が優れず、30%以上では余分なCu−Sn系化合物が生成されて機械的性質を劣化させる。
Sn−Tiに対するNbの体積比は、1.5〜5倍が望ましい。1.5倍以下ではNbSnの生成量が少なくて高特性が得られず、5倍以上では未反応のNb芯を多く残して線材の臨界電流密度を低下させる。
Sn−Ti芯中のTiの原子割合は、0.5〜4質量%が望ましい。Tiは最終熱処理でNbSn層中に含有されてその超伝導特性を顕著に改善するが、0.5質量%以下ではNbSn線材の特性改善の効果が少なく、4質量%以上では却って特性を低下させる。
なお、Sn−Ti芯においては、Tiに代えてZr又はHfを用いても良い。Sn−Zr芯中のZrの原子割合は、0.5〜4質量%が望ましい。Zrは最終熱処理でNbSn層中に含有されてその超伝導特性を顕著に改善するが、0.5質量%以下ではNbSn線材の特性改善の効果が少なく、4質量%以上では却って特性を低下させる。
Sn−Hf芯中のHfの原子割合は、0.5〜4質量%が望ましい。Hfは最終熱処理でNbSn層中に含有されてその超伝導特性を顕著に改善するが、0.5質量%以下ではNbSn線材の特性改善の効果が少なく、4質量%以上では却って特性を低下させる。
上記実施例1〜6では、Cu−xZn−yGe/Nb/Sn−Ti複合多芯線の作製において、Sn−Tiが容易に他の構成材料と反応するために、中間焼鈍を行わなかったが、Cu−xZn−yM/Nb複合体とSn−zTiとに分けておき、Cu−xZn−yM/Nb複合体に対しては、加工性改善のため必要に応じて中間焼鈍を行なってもよい。中間焼鈍の温度範囲は、300℃〜800℃が好ましい。その後一体化させてCu−xZn−yM/Nb/Sn−zTi複合多芯線とすることで、複合多芯線の加工性が大幅に改善される。
NbSn相の生成熱処理は650℃から800℃が望ましい。650℃以下ではNbSn相が生成せず、800℃以上では結晶粒の粗大化が生じて高特性が得られない。
650℃〜800℃のNbSn生成熱処理を行う前に、実施例にあるように650℃以下の予備熱処理を行い、ZnとSnの相互拡散を促進することが望ましい。
本発明のNbSn超伝導線材用前駆体は、Cu−xZn−yM合金母材と、NbまたはNb合金及びSnまたはSn合金との複合体であって、Cu−xZn−yM合金母材がSnまたはSn合金と接している構造であればよい。さらに、本発明のNbSn超伝導線材用前駆体は、実施例の図2に示す複合線材をさらに束ね伸線加工して得られる多重構造の断面構造や、Nb芯およびSn−Ti芯が多数本分散して配置された断面構造でもよい。
本発明のNbSn超伝導線材の製造方法では、Cu−xZn−yM合金母材と、NbまたはNb合金及びSnまたはSn合金との複合体で、Cu−xZn−yM合金母材がSnまたはSn合金と接している構造であればよい。そこで、本発明のNbSn超伝導線材の製造方法は、実施例に示したロッド・イン・チューブ法に限定されず、例えばジェリーロール法や粉末法などにより、Cu−xZn−yM合金母材と、NbまたはNb合金及びSnまたはSn合金との複合体を作製してもよい。
本発明のNbSn超伝導線材によれば、大きな電磁力がかかる強磁場マグネットに有用で、核融合やNMR装置への応用ができる。また、使い易いNbSn線材としてMRIマグネットの強磁場化にも役立つ。
10 棒材
12 Sn挿入孔
14 Nb挿入孔

Claims (7)

  1. 合金組成がCu−xZn−yM(M=Ge、Ga、Mg、Al)であって、第3元素Mの種類に応じて、組成比率x、y質量%は次のようになっている、
    Cu−xZn−yGe(x:0.1〜40質量%、y:0.1〜12質量%)、
    Cu−xZn−yGa(x:0.1〜40質量%、y:0.1〜21質量%)、
    Cu−xZn−yMg(x:0〜40質量%、y:0.01〜3質量%)、又は
    Cu−xZn−yAl(x:0.1〜40質量%、y:0.01〜0.85質量%)、
    棒材であって、前記棒材の中心部にSn挿入孔が設けられ、当該Sn挿入孔の外周面に沿って離散して設けられた複数のNb挿入孔を有する前記棒材を提供する工程と、
    前記Sn挿入孔に、合金組成がSn−zQ(z:0.5〜4質量%、Q=Ti、Zr、Hf)の合金棒を装着し、前記Nb挿入孔にNb芯を挿入する工程と、
    前記棒材を縮径加工しCu−xZn−yM/Nb/Sn−zQ複合多芯線を作製する工程と、
    上記複合多芯線を650℃〜800℃でNbSn相生成熱処理する工程と、
    を有することを特徴とするNbSn超伝導線材の製造方法。
  2. 上記複合多芯線を予備加熱してZnとSnの相互拡散を促進した後で、上記複合多芯線を650℃〜800℃でNbSn相生成熱処理することを特徴とする請求項1に記載のNbSn超伝導線材の製造方法。
  3. 前記Nb芯を挿入する工程は、前記Nb芯が挿入されたCu−xZn−yM/Nb複合体を中間焼鈍した後、前記Sn挿入孔に前記合金棒を装着することを特徴とする請求項1又は2に記載のNbSn超伝導線材の製造方法。
  4. 合金組成がCu−xZn−yM(M=Ge、Ga、Mg、Al)であって、第3元素Mの種類に応じて、その組成比率x、y質量%は次のようになっている、
    Cu−xZn−yGe(x:0.1〜40質量%、y:0.1〜12質量%)、
    Cu−xZn−yGa(x:0.1〜40質量%、y:0.1〜21質量%)、
    Cu−xZn−yMg(x:0〜40質量%、y:0.01〜3質量%)、又は
    Cu−xZn−yAl(x:0.1〜40質量%、y:0.01〜0.85質量%)、
    棒材であって、前記棒材の中心部に設けられたSn挿入孔と、当該Sn挿入孔の外周面に沿って離散して設けられた複数のNb挿入孔とを有する前記棒材と、
    前記Sn挿入孔に装着された、合金組成がSn−zQ(z:0.5〜4質量%、Q=Ti、Zr、Hf)の合金棒部と、
    前記Nb挿入孔に挿入されたNb芯部と、
    を備えることを特徴とするNbSn超伝導線材用前駆体。
  5. 前記Nb芯部において、Ti、Hf、Zr、Taからなる群から選択される1種または2種以上の元素を0〜5質量%含むことを特徴とする請求項4に記載のNbSn超伝導線材用前駆体。
  6. 前記棒材中のNbの占積率は、5〜80%であることを特徴とする請求項4又は5に記載のNbSn超伝導線材用前駆体。
  7. 請求項4乃至6の何れか一項に記載のNbSn超伝導線材用前駆体に対して、NbSn相生成熱処理を行ったNbSn超伝導線材であって、
    Nb芯にSnが拡散して形成された厚さ0.1−500μmのNbSn層であって、前記合金棒部に含有された(=Ti、Zr、Hf)を一部もしくはすべて固溶した前記NbSn層と、
    前記合金棒部に含有されたSnが前記棒材のCu母材に拡散した後にも実質的に空孔を有しないこと特徴とするNbSn超伝導線材。
JP2019515122A 2017-04-27 2018-02-26 Nb3Sn超伝導線材の製造方法、Nb3Sn超伝導線材用の前駆体、及びこれを用いたNb3Sn超伝導線材 Active JP6719141B2 (ja)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017087851 2017-04-27
JP2017087851 2017-04-27
JP2017170827 2017-09-06
JP2017170827 2017-09-06
PCT/JP2018/006899 WO2018198515A1 (ja) 2017-04-27 2018-02-26 Nb3Sn超伝導線材の製造方法、Nb3Sn超伝導線材用の前駆体、及びこれを用いたNb3Sn超伝導線材

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2018198515A1 JPWO2018198515A1 (ja) 2020-02-06
JP6719141B2 true JP6719141B2 (ja) 2020-07-08

Family

ID=63920262

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019515122A Active JP6719141B2 (ja) 2017-04-27 2018-02-26 Nb3Sn超伝導線材の製造方法、Nb3Sn超伝導線材用の前駆体、及びこれを用いたNb3Sn超伝導線材

Country Status (4)

Country Link
US (1) US11476017B2 (ja)
JP (1) JP6719141B2 (ja)
CN (1) CN110612578B (ja)
WO (1) WO2018198515A1 (ja)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110391048B (zh) * 2019-06-19 2021-01-01 西部超导材料科技股份有限公司 一种Nb3Sn前驱体线材的制备方法
DE102019209170A1 (de) 2019-06-25 2020-12-31 Bruker Eas Gmbh Subelement auf Basis von Nb-haltigen Stabelementen mit pulvergefülltem Kernrohr für einen Nb3Sn-haltigen Supraleiterdraht und zugehörige Herstellungsverfahren
JPWO2022259803A1 (ja) 2021-06-08 2022-12-15
CN115295242B (zh) * 2022-09-30 2023-01-24 西部超导材料科技股份有限公司 高临界电流密度的铌三锡超导股线的制备方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3963425A (en) * 1971-04-15 1976-06-15 Imperial Metal Industries (Kynoch) Limited Composite materials
FR2394411A1 (fr) 1977-06-13 1979-01-12 Renault Dispositif de manoeuvre par levier pour les commandes de climatisation d'un vehicule
JPS5978404A (ja) * 1982-10-26 1984-05-07 三菱電機株式会社 Nb↓3Sn系化合物超電導線材
JP2749652B2 (ja) * 1989-08-09 1998-05-13 古河電気工業株式会社 超電導線
JPH09245540A (ja) * 1996-03-07 1997-09-19 Mitsubishi Electric Corp Nb―Sn系化合物超電導線の先駆体及びその製造方法並びにNb―Sn系化合物超電導線の製造方法
JP4697240B2 (ja) 2008-02-15 2011-06-08 日立電線株式会社 Nb3Sn超電導線材の製造方法
JP5642727B2 (ja) 2012-03-27 2014-12-17 ジャパンスーパーコンダクタテクノロジー株式会社 内部Sn法Nb3Sn超電導線材製造用前駆体、Nb3Sn超電導線材、及びそれらの製造方法
US9916919B2 (en) * 2014-02-18 2018-03-13 Ohio State Innovation Foundation Superconducting wires and methods of making thereof
JP6270209B2 (ja) 2014-03-20 2018-01-31 国立研究開発法人物質・材料研究機構 Nb3Sn超伝導線材の製造方法
DE102015203305A1 (de) * 2015-02-24 2016-08-25 Bruker Eas Gmbh Halbzeugdraht mit PIT-Elementen für einen Nb3Sn-haltigen Supraleiterdraht und Verfahren zur Herstellung des Halbzeugdrahts

Also Published As

Publication number Publication date
WO2018198515A1 (ja) 2018-11-01
CN110612578A (zh) 2019-12-24
CN110612578B (zh) 2021-02-05
US20200020463A1 (en) 2020-01-16
JPWO2018198515A1 (ja) 2020-02-06
US11476017B2 (en) 2022-10-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6719141B2 (ja) Nb3Sn超伝導線材の製造方法、Nb3Sn超伝導線材用の前駆体、及びこれを用いたNb3Sn超伝導線材
US11120927B2 (en) Diffusion barriers for metallic superconducting wires
JP2006269277A (ja) 粉末法Nb3Sn超電導線材の製造方法
JP6270209B2 (ja) Nb3Sn超伝導線材の製造方法
US11495372B2 (en) Diffusion barriers for metallic superconducting wires
JP6585519B2 (ja) Nb3Sn超電導線材製造用前駆体、およびNb3Sn超電導線材の製造方法
JP4163719B2 (ja) 粉末法Nb3Sn超電導線材の前駆体および製造方法
KR102423559B1 (ko) 금속성 초전도성 와이어를 위한 확산 배리어
JP2014072039A (ja) Nb3Sn超電導線材製造用前駆体およびNb3Sn超電導線材
WO2021024529A1 (ja) Nb3Sn超伝導線材用前駆体、その製造方法、および、それを用いたNb3Sn超伝導線材の製造方法
JP4723306B2 (ja) Nb3Al系超電導線材の製造方法、Nb3Al系超電導線材製造用一次複合材及びその製造方法、並びにNb3Al系超電導線材製造用多芯複合材
JP4652938B2 (ja) 粉末法Nb3Sn超電導線材の製造方法
JP5164815B2 (ja) Nb3Sn超電導線材製造用前駆体およびNb3Sn超電導線材
JP2002033025A (ja) Nb3Al超電導多芯線とその製造方法
JP3866969B2 (ja) Nb▲3▼Sn超電導線材の製造方法
WO2022259803A1 (ja) Nb3Sn超伝導線材とNbTi線材との超伝導接続構造体、その製造方法、および、それを用いた核磁気共鳴装置
US20220051833A1 (en) Diffusion barriers for metallic superconducting wires
WO2023127856A1 (ja) 化合物超電導線
JP4723345B2 (ja) Nb3Sn超電導線材の製造方法およびそのための前駆体

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190917

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190917

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20200526

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20200609

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6719141

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250