JP6716242B2 - 差温センサ - Google Patents
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- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 84
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 84
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 40
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 18
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 12
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 8
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 4
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 3
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 3
- 230000005678 Seebeck effect Effects 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MSNOMDLPLDYDME-UHFFFAOYSA-N gold nickel Chemical compound [Ni].[Au] MSNOMDLPLDYDME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001764 infiltration Methods 0.000 description 1
- 230000008595 infiltration Effects 0.000 description 1
- 239000012774 insulation material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000010944 silver (metal) Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N10/00—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects
- H10N10/10—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects operating with only the Peltier or Seebeck effects
- H10N10/17—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects operating with only the Peltier or Seebeck effects characterised by the structure or configuration of the cell or thermocouple forming the device
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- G01K1/08—Protective devices, e.g. casings
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K1/00—Details of thermometers not specially adapted for particular types of thermometer
- G01K1/16—Special arrangements for conducting heat from the object to the sensitive element
- G01K1/18—Special arrangements for conducting heat from the object to the sensitive element for reducing thermal inertia
-
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K17/00—Measuring quantity of heat
- G01K17/06—Measuring quantity of heat conveyed by flowing media, e.g. in heating systems e.g. the quantity of heat in a transporting medium, delivered to or consumed in an expenditure device
- G01K17/08—Measuring quantity of heat conveyed by flowing media, e.g. in heating systems e.g. the quantity of heat in a transporting medium, delivered to or consumed in an expenditure device based upon measurement of temperature difference or of a temperature
- G01K17/20—Measuring quantity of heat conveyed by flowing media, e.g. in heating systems e.g. the quantity of heat in a transporting medium, delivered to or consumed in an expenditure device based upon measurement of temperature difference or of a temperature across a radiating surface, combined with ascertainment of the heat transmission coefficient
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K7/00—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
- G01K7/02—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using thermoelectric elements, e.g. thermocouples
- G01K7/028—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using thermoelectric elements, e.g. thermocouples using microstructures, e.g. made of silicon
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N10/00—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects
- H10N10/80—Constructional details
- H10N10/81—Structural details of the junction
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
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Description
− 好ましくはシリコンをベースとする材料で作成された基板(図示されず)と、
− 基板上に配置され、断熱材料102により分離された熱電層の組立体であって、熱電対100、101の少なくとも1つの第1の接点10を組立体の高熱側と呼ばれる片側に備え、熱電対100、101の少なくとも1つの第2の接点11を組立体の冷熱側と呼ばれる反対側に備える組立体と、
− 各第1の接点10および各第2の接点11にそれぞれ熱を伝えるように配置された少なくとも1つの第1の接続パッドおよび少なくとも1つの第2の接続パッド(図示されず)と
を備える。
V=N×(S2−S1)×(Tc−Tf)
により提供されるが、ここで、
− Nは、熱電対100、101の数であり、
− S1およびS2は、それぞれ第1の熱電材料100および第2の熱電材料101のゼーベック係数であり、
− (Tc−Tf)は、組立体の高熱側と冷熱側との間に適用される温度勾配である。
− 基板を支持するように配置され、少なくとも1つの第1の金属コネクタ・ピンおよび少なくとも1つの第2の金属コネクタ・ピンを備える、断熱性の支持部材と、
− 支持部材を前記または各第1の接続パッドおよび前記または各第2の接続パッドにそれぞれ電気的に接続するように配置された第1の金属接続手段および第2の金属接続手段と、
− 熱電層の組立体と支持部材とを包囲する外部パッケージであって、高熱源および冷熱源にそれぞれ接続されることを意図されている第1の面および反対の第2の面と、第1の面を各第1のコネクタ・ピンに接続する第1のビア(via)と、第2の面を各第2のコネクタ・ピンに接続する第2のビアとを備える外部パッケージと
を備え、支持部材が、各第1のコネクタ・ピンから第1の金属接続手段に熱を伝達し且つ第2の金属接続手段から各第2のコネクタ・ピンに熱を伝達するように配置された熱伝達手段を備える点で顕著である、センサに関する。
− 電子基板等への支持部材の電気的な接続と、
− 高熱源および冷熱源と支持部材との間の、第1のビアおよび第2のビアを介した良好な熱伝導と
の両方を提供することを可能にする。
− 接続パッドへの支持部材の電気的な接続と、
− 支持部材と接続パッドとの間の良好な熱伝導と
の両方を提供することを可能にする。
− 第1の接続手段を前記または各第1の金属コネクタ・ピンに接続する少なくとも1つの第1の金属トラックと、
− 第2の接続手段を前記または各第2の金属コネクタ・ピンに接続する少なくとも1つの第2の金属トラックと
を備える。
− 組立材の高熱側と冷熱側との間の熱橋を回避し、
− 電気的な接続を提供し、
− 金属コネクタ・ピンと対応する接続手段との間の良好な熱伝導を提供し、
− トラックの良好な機械的動作を維持する
ためのパターンを与えられる。
− 本発明に係る複数のセンサと、
− 各センサの支持部材が形成される、第1の印刷回路と、
− 各センサの熱電層の組立体と支持部材とを包囲する外部パッケージを、第1の印刷回路と第2の印刷回路が共に形成するように、第1の印刷回路に対向して配置される、第2の印刷回路と
を備える、差温測定装置に関する。
− 基板3(図4に示される)と、
− 基板3上に配置された熱電層の組立体Eであって(組立体Eおよび基板3は、図2および図7乃至図9において長方形として概略的に示されている)、熱電対100、101の少なくとも1つの第1の接点10を、組立体Eの高熱側と呼ばれる片側に備え、熱電対100、101の少なくとも1つの第2の接点11を、組立体Eの冷熱側と呼ばれる反対側に備える組立体Eと、
− 各第1の接点10および各第2の接点11にそれぞれ熱を伝達するように配置された、少なくとも1つの第1の接続パッド50および少なくとも1つの第2の接続パッド51と
を備える、センサ1を示している。
− 基板3を支持するように配置され、少なくとも1つの第1の金属コネクタ・ピン30および少なくとも1つの第2の金属コネクタ・ピン31を備える、断熱性の支持部材2と、
− 支持部材2を、前記または各第1の接続パッド50および前記または各第2の接続パッド51にそれぞれ電気的に接続するように配置された、第1の金属接続手段および第2の金属接続手段と、
− 熱電層の組立体Eと支持部材2とを包囲する外部パッケージ8であって、
高熱源Scおよび冷熱源Sfにそれぞれ接続されることを意図されている第1の面8aおよび反対の第2の面8bと、
第1の面を各第1のコネクタ・ピン30に接続する、好ましくは金属性である、第1のビア80と、
第2の面を各第2のコネクタ・ピン31に接続する、好ましくは金属性である、第2のビア81と
を備える外部パッケージ8と
をさらに備える。
− 第1の金属トラック40に接続され、第1の金属トラック40が各第1のコネクタ・ピン30から第1の金属接続手段に熱を伝達するように配置された熱伝達手段を形成する、第1の金属コネクタ・ピン30の列と、
− 第2の金属トラック41に接続され、第2の金属トラック41が第2の金属接続手段から各第2のコネクタ・ピン31に熱を伝達するように配置された熱伝達手段を形成する、第2の金属コネクタ・ピン31の列と
を備えると有利である。
− 組立材Eの高熱側と冷熱側との間の熱橋を回避し、
− 電気的な接続を提供し、
− コネクタ・ピン30、31とはんだバンプ20、21との間の良好な熱接続を提供し、
− トラックの良好な機械的動作を維持する
ためのパターンを与えられる。
− esuppは、外部パッケージ8の支持部材9の厚さであり、
− eviaは、第1のビア80の厚さであり、
− λsuppは、外部パッケージ8の支持部材9の熱伝導率であり、
− λviaは、第1のビア80の熱伝導率であり、
− Ssuppは、外部パッケージ8の支持部材9の側部熱伝導表面積であり、
− Sviaは、第1のビア80の側部熱伝導表面積である。
− 高熱源Scおよび冷熱源Sfにそれぞれ接続されることを意図されている第1の面8’aおよび反対の第2の面8’bと、
− 第1の面8’aを外部パッケージ8の第1の面8aに接続する、外部パッケージ8の第1の面8aの上で直接延在している第1のビア80’と、
− 第2の面8’bを外部パッケージ8の第2の面8bに接続する、外部パッケージ8の第2の面8bの上で直接延在している第2のビア81’と、
− 外部パッケージ8を支持するように配置された支持部材9’と
を備える。
− 複数のセンサ1と、
− 各センサ1の支持部材2(図示されず)が形成される、第1の印刷回路C1と、
− 各センサ1の熱電層の組立体Eと支持部材2とを包囲する外部パッケージ8を第1の印刷回路C1と共に形成するように、第1の印刷回路C1に対向して配置される、第2の印刷回路C2と
を備える差温測定装置を示している。
2 支持部材
3 基板
6 集積回路パッケージ
7a 第1の熱伝導要素
7b 第2の熱伝導要素
8 外部パッケージ
8’ 追加外部パッケージ
8a、8’a 第1の面
8b、8’b 第2の面
9、9’ 支持部材
10 第1の接点
11 第2の接点
20、21 はんだバンプ
22 追加のはんだバンプ
30 第1の金属コネクタ・ピン
31 第2の金属コネクタ・ピン
32 電気コネクタ・ピン、追加の金属コネクタ・ピン
40 第1の金属トラック
41 第2の金属トラック
50 第1の接続パッド
51 第2の接続パッド
80、80’ 第1のビア
81、81’ 第2のビア
90 電気トラック100 第1の熱電材料
101 第2の熱電材料
102 断熱材料
800 トラック
801 材料
802 空洞
C1 第1の印刷回路
C2 第2の印刷回路
E 熱電層の組立体
S 電気出力
Sc 高熱源
Sf 冷熱源
SL 自由面
Claims (13)
- 基板(3)と、前記基板(3)上に配置された熱電層の組立体(E)であって、熱電対(100、101)の少なくとも1つの第1の接点(10)を前記組立体(E)の高熱側と呼ばれる片側に備え、熱電対(100、101)の少なくとも1つの第2の接点(11)を前記組立体(E)の冷熱側と呼ばれる反対側に備える組立体(E)と、前記少なくとも1つの第1の接点(10)および前記少なくとも1つの第2の接点(11)にそれぞれ熱を伝達するように配置された少なくとも1つの第1の接続パッド(50)および少なくとも1つの第2の接続パッド(51)とを備える、高熱源(Sc)と冷熱源(Sf)との間の差温センサ(1)であって、
前記基板(3)を支持するように配置され、少なくとも1つの第1の金属コネクタ・ピン(30)および少なくとも1つの第2の金属コネクタ・ピン(31)を備える、断熱性の支持部材(2)と、
前記支持部材(2)を前記少なくとも1つの第1の接続パッド(50)および前記少なくとも1つの第2の接続パッド(51)にそれぞれ電気的に接続するように配置された第1の金属接続手段および第2の金属接続手段と、
熱電層の前記組立体(E)と前記支持部材(2)とを包囲する外部パッケージ(8)であって、前記高熱源(Sc)および前記冷熱源(Sf)にそれぞれ接続されることを意図されている第1の面(8a)および反対の第2の面(8b)と、前記第1の面(8a)を前記少なくとも1つの第1の金属コネクタ・ピン(30)に接続する第1のビア(80)と、前記第2の面(8b)を前記少なくとも1つの第2の金属コネクタ・ピン(31)に接続する第2のビア(81)とを備える外部パッケージ(8)と
を備え、前記支持部材(2)が、前記少なくとも1つの第1の金属コネクタ・ピン(30)から前記第1の金属接続手段に熱を伝達し且つ前記第2の金属接続手段から前記少なくとも1つの第2の金属コネクタ・ピン(31)に熱を伝達するように配置された熱伝達手段を備えることを特徴とする、センサ(1)。 - 前記外部パッケージ(8)の前記第1の面(8a)および前記第2の面(8b)が、熱伝導材料で被覆されていることを特徴とする、請求項1に記載のセンサ(1)。
- 前記支持部材(2)に配置されて熱電層の前記組立体(E)を包含する、好ましくは重合体をベースとする材料で作成された包含層(5)を備えることを特徴とする、請求項1または2に記載のセンサ(1)。
- 熱電層の前記組立体(E)を包囲する集積回路パッケージ(6)を備え、前記集積回路パッケージ(6)が、前記支持部材(2)を備え、前記外部パッケージ(8)が、前記集積回路パッケージ(6)を包囲することを特徴とする、請求項1または2に記載のセンサ(1)。
- 前記集積回路パッケージ(6)が、少なくとも1つの電気コネクタ・ピン(32)を備え、前記外部パッケージ(8)が、前記少なくとも1つの電気コネクタ・ピン(32)から延在する少なくとも1つの電気トラック(90)を備えることを特徴とする、請求項4に記載のセンサ(1)。
- 前記外部パッケージ(8)が、前記集積回路パッケージ(6)を支持するように配置された支持部材(9)を備えることを特徴とする、請求項4または5に記載のセンサ(1)。
- 前記第1の金属接続手段および前記第2の金属接続手段が、前記少なくとも1つの第1の接続パッド(50)および前記少なくとも1つの第2の接続パッド(51)にそれぞれはんだ付けされて前記基板(3)と前記支持部材(2)とを組み立てるはんだバンプ(20、21)を備えることを特徴とする、請求項1乃至6のいずれかに記載のセンサ(1)。
- 前記第1の金属接続手段および前記第2の金属接続手段が、前記少なくとも1つの第1の接続パッド(50)および前記少なくとも1つの第2の接続パッド(51)にそれぞれ溶接されて前記基板(3)と前記支持部材(2)とを組み立てるボンディング・ワイヤを備えることを特徴とする、請求項1乃至7のいずれかに記載のセンサ(1)。
- 前記熱伝達手段が、
前記第1の金属接続手段を前記少なくとも1つの第1の金属コネクタ・ピン(30)に接続する少なくとも1つの第1の金属トラック(40)と、
前記第2の金属接続手段を前記少なくとも1つの第2の金属コネクタ・ピン(31)に接続する少なくとも1つの第2の金属トラック(41)と
を備えることを特徴とする、請求項1乃至8のいずれかに記載のセンサ(1)。 - 熱電層の前記組立体(E)が自由面(SL)を有し、前記センサ(1)が、前記自由面(SL)に対向し、前記自由面(SL)から離間して延在し、前記組立体(E)を前記高熱側および前記冷熱側でそれぞれ継続する、第1の熱伝導要素(7a)および第2の熱伝導要素(7b)を備えることを特徴とする、請求項1乃至9のいずれかに記載のセンサ(1)。
- 前記基板(3)と熱電層の前記組立体(E)との間に挿入された誘電層を備えることを特徴とする、請求項1乃至10のいずれかに記載のセンサ(1)。
- 前記基板(3)が、ガラスや石英などの断熱材料で作成されることを特徴とする、請求項1乃至10のいずれかに記載のセンサ(1)。
- 請求項1乃至12のいずれかに記載の複数のセンサ(1)と、
各センサ(1)の前記支持部材(2)が形成される、第1の印刷回路(C1)と、
各センサ(1)の熱電層の前記組立体(E)と前記支持部材(2)とを包囲する前記外部パッケージ(8)を前記第1の印刷回路(C1)と前記第2の印刷回路(C2)が共に形成するように、前記第1の印刷回路(C1)に対向して配置される、第2の印刷回路(C2)と
を備える、差温測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR1462971A FR3030889B1 (fr) | 2014-12-19 | 2014-12-19 | Capteur differentiel de temperature. |
FR1462971 | 2014-12-19 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016128805A JP2016128805A (ja) | 2016-07-14 |
JP6716242B2 true JP6716242B2 (ja) | 2020-07-01 |
Family
ID=52737264
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015247905A Active JP6716242B2 (ja) | 2014-12-19 | 2015-12-18 | 差温センサ |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9461231B2 (ja) |
EP (1) | EP3035017B1 (ja) |
JP (1) | JP6716242B2 (ja) |
CA (1) | CA2915856A1 (ja) |
FR (1) | FR3030889B1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR3030734B1 (fr) * | 2014-12-19 | 2017-01-27 | Commissariat Energie Atomique | Capteur differentiel de temperature. |
CN110381816B (zh) * | 2017-04-04 | 2022-08-05 | 奥尼欧有限公司 | 用于连续且无线监测和分析生物体温度的传感器系统和方法 |
CN112366189B (zh) * | 2020-11-02 | 2023-12-15 | 富芯微电子有限公司 | 一种温度自测控的运放芯片 |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5118586A (ja) * | 1974-08-07 | 1976-02-14 | Yokogawa Electric Works Ltd | Netsuryukei |
FR2536536B1 (fr) | 1982-11-18 | 1985-07-26 | Anvar | Fluxmetre thermique a thermocouples |
JPH0640031B2 (ja) * | 1985-10-23 | 1994-05-25 | 英弘精機産業株式会社 | 熱流計センサ−及びその製法 |
FR2598803B1 (fr) | 1986-05-16 | 1988-09-02 | Anvar | Dispositif pour mesurer l'intensite d'un flux radiatif |
US6545334B2 (en) * | 1997-12-19 | 2003-04-08 | Imec Vzw | Device and a method for thermal sensing |
US6046398A (en) * | 1998-11-04 | 2000-04-04 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Micromachined thermoelectric sensors and arrays and process for producing |
JP2001349787A (ja) * | 2000-06-06 | 2001-12-21 | Seiko Epson Corp | 赤外線検出素子および測温計 |
JP2004251789A (ja) * | 2003-02-20 | 2004-09-09 | Komatsu Ltd | 温度測定装置及び被処理基板 |
JP2005351856A (ja) * | 2004-06-14 | 2005-12-22 | Nippon Ceramic Co Ltd | 熱流計 |
ATE510195T1 (de) | 2005-09-22 | 2011-06-15 | Univ Lille I Sciences Et Technologies | Mikrosensor für thermischen fluss auf einem leitenden substrat mit porösen fächer |
EP1976034A3 (en) * | 2007-03-29 | 2011-11-09 | Stichting IMEC Nederland | Method for manufacturing a thermopile, the thermopile thus obtrained and a thermoelectric generator comprising such thermopiles |
JP5368715B2 (ja) * | 2008-02-15 | 2013-12-18 | 江藤電気株式会社 | 熱流センサ |
US20090205694A1 (en) * | 2008-02-19 | 2009-08-20 | Huettner Cary M | Thermoelectric Generation Device for Energy Recovery |
ITRM20080193A1 (it) * | 2008-04-11 | 2009-10-12 | Univ Milano Bicocca | Dispositivo di conversione termo-elettrica bidirezionale ad effetto seebeck/peltier impiegante nanofili di materiale conduttore o semiconduttore. |
FR2948820A1 (fr) | 2009-07-29 | 2011-02-04 | St Ericsson Grenoble Sas | Dispositif thermoelectrique en technologie de semi-conducteurs |
FR2955708A1 (fr) | 2010-01-25 | 2011-07-29 | Univ Lille 1 Sciences & Technologies | Microgenerateur de tension utilisant la chaleur latente de changement de phase d'un liquide |
WO2011156037A2 (en) * | 2010-03-16 | 2011-12-15 | The Penn State Research Foundation | Methods and apparatus for ultra-sensitive temperature detection using resonant devices |
FR2973164B1 (fr) * | 2011-03-25 | 2013-04-26 | Commissariat Energie Atomique | Capteur differentiel de temperature et ses capacites en technologie cmos/bicmos |
US9444027B2 (en) * | 2011-10-04 | 2016-09-13 | Infineon Technologies Ag | Thermoelectrical device and method for manufacturing same |
US9039280B2 (en) * | 2012-01-20 | 2015-05-26 | Purdue Research Foundation | Highly-reliable micro-electromechanical system temperature sensor |
JP6047413B2 (ja) * | 2013-01-29 | 2016-12-21 | 富士フイルム株式会社 | 熱電発電モジュール |
CN104051370A (zh) * | 2013-03-15 | 2014-09-17 | 邱兆海 | 一种带有热电偶结构的封装系统 |
-
2014
- 2014-12-19 FR FR1462971A patent/FR3030889B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
2015
- 2015-12-18 US US14/974,850 patent/US9461231B2/en active Active
- 2015-12-18 JP JP2015247905A patent/JP6716242B2/ja active Active
- 2015-12-18 CA CA2915856A patent/CA2915856A1/fr active Pending
- 2015-12-21 EP EP15201736.4A patent/EP3035017B1/fr active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CA2915856A1 (fr) | 2016-06-19 |
JP2016128805A (ja) | 2016-07-14 |
US9461231B2 (en) | 2016-10-04 |
EP3035017B1 (fr) | 2017-09-27 |
FR3030889A1 (fr) | 2016-06-24 |
FR3030889B1 (fr) | 2017-01-27 |
US20160181501A1 (en) | 2016-06-23 |
EP3035017A1 (fr) | 2016-06-22 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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