JP5368715B2 - 熱流センサ - Google Patents
熱流センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5368715B2 JP5368715B2 JP2008035089A JP2008035089A JP5368715B2 JP 5368715 B2 JP5368715 B2 JP 5368715B2 JP 2008035089 A JP2008035089 A JP 2008035089A JP 2008035089 A JP2008035089 A JP 2008035089A JP 5368715 B2 JP5368715 B2 JP 5368715B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal
- heat flow
- flow sensor
- conductive
- conductive metals
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 164
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 164
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims abstract description 22
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 17
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims abstract description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 4
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims abstract description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 12
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 17
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 17
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 13
- 229910001006 Constantan Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 6
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 239000004566 building material Substances 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 150000001879 copper Chemical class 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
Description
(熱流センサ3)
この熱流センサ3は図2に示したように絶縁性の配線基板4を有する。この配線基板4には、縦横にマトリックス状に配列された多数(又は複数)の第1の貫通孔5と、縦横にマトリックス状に配列された多数(又は複数)第2の貫通孔6が形成されている。この多数(又は複数)の第1の貫通孔5は、貫通孔行5L1,5L2,5L3・・・5Li・・・5Lnと、貫通孔列5C1,5C2,5C3・・・5Ci・・・5Cnを有する。また、多数(又は複数)の第2の貫通孔6は、貫通孔行6L1,6L2,6L3・・・6Li・・・6Lnと、貫通孔列6C1,6C2,6C3・・・6Ci・・・6Cnを有する。
4・・・配線基板
4a,4b・・・面
5・・・第1の貫通孔
6・・・第2の貫通孔
7・・・第1金属接続体(第1導電性金属)
7a・・・スルーホール
8・・・第2金属接続体(第2導電性金属)
9・・・第1表面金属層
10・・・第2表面金属層
Claims (2)
- 縦横に配列された複数の貫通孔が絶縁性の基板に形成され、前記複数の貫通孔に異種金属材料製の第1,第2導電性金属が交互に配設され、前記第1,第2導電性金属は該第1,第2導電性金属の一方と同じ材質から前記基板の両面にメッキにより形成された複数の表面金属層で直列に接続された熱流センサであって、
前記第1,第2導電性金属は熱流量が略同じになるように断面積が設定されていることを特徴とする熱流センサ。 - 請求項1に記載の熱流センサにおいて、前記第1導電性金属は前記表面金属層を前記メッキにより形成する際に前記貫通孔内面に同時に円筒状に形成されていることを特徴とする熱流センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008035089A JP5368715B2 (ja) | 2008-02-15 | 2008-02-15 | 熱流センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008035089A JP5368715B2 (ja) | 2008-02-15 | 2008-02-15 | 熱流センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009192431A JP2009192431A (ja) | 2009-08-27 |
JP5368715B2 true JP5368715B2 (ja) | 2013-12-18 |
Family
ID=41074566
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008035089A Active JP5368715B2 (ja) | 2008-02-15 | 2008-02-15 | 熱流センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5368715B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106461471A (zh) * | 2014-06-03 | 2017-02-22 | 株式会社电装 | 热流分布测定装置 |
EP4155699A1 (en) * | 2021-09-24 | 2023-03-29 | Apple Inc. | System and method for temperature sensing using thermopile integrated with rigid printed circuit board |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5638871B2 (ja) * | 2010-08-18 | 2014-12-10 | 江藤電気株式会社 | 熱流センサ |
JP5845499B2 (ja) * | 2011-06-09 | 2016-01-20 | 江藤電気株式会社 | 熱流センサの製造方法 |
JP5769009B2 (ja) * | 2011-06-09 | 2015-08-26 | 江藤電気株式会社 | 熱流センサ及び熱流センサの製造方法 |
JP5942960B2 (ja) * | 2013-06-04 | 2016-06-29 | 株式会社デンソー | 発熱量制御装置 |
JP5999066B2 (ja) | 2013-06-04 | 2016-09-28 | 株式会社デンソー | 振動検出器 |
FR3030889B1 (fr) * | 2014-12-19 | 2017-01-27 | Commissariat Energie Atomique | Capteur differentiel de temperature. |
CN113503981B (zh) * | 2021-06-22 | 2023-04-25 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 一种连环垂向锯齿型热电堆热流传感器及其制造方法 |
CN117871027B (zh) * | 2024-03-11 | 2024-05-07 | 中国航空工业集团公司沈阳空气动力研究所 | 一种柱状热流传感器及其阵列化制备方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2413646A1 (fr) * | 1978-01-02 | 1979-07-27 | Saint Gobain | Fluxmetre thermique |
JPH0640031B2 (ja) * | 1985-10-23 | 1994-05-25 | 英弘精機産業株式会社 | 熱流計センサ−及びその製法 |
-
2008
- 2008-02-15 JP JP2008035089A patent/JP5368715B2/ja active Active
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106461471A (zh) * | 2014-06-03 | 2017-02-22 | 株式会社电装 | 热流分布测定装置 |
CN106461471B (zh) * | 2014-06-03 | 2019-09-27 | 株式会社电装 | 热流分布测定装置 |
EP4155699A1 (en) * | 2021-09-24 | 2023-03-29 | Apple Inc. | System and method for temperature sensing using thermopile integrated with rigid printed circuit board |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009192431A (ja) | 2009-08-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5368715B2 (ja) | 熱流センサ | |
JP5769009B2 (ja) | 熱流センサ及び熱流センサの製造方法 | |
KR100690926B1 (ko) | 마이크로 열유속 센서 어레이 | |
US6278051B1 (en) | Differential thermopile heat flux transducer | |
JP4896963B2 (ja) | ウエハ状計測装置及びその製造方法 | |
JP2004156951A (ja) | 温度測定用フレキシブル配線回路基板 | |
CN106197711A (zh) | 具有散热器的热感测器系统及方法 | |
JP2008211189A5 (ja) | ||
TW201239350A (en) | Test key structure and measurement method thereof | |
JP5523985B2 (ja) | 熱流センサの製造方法及び該製造方法に用いる治具 | |
JP5092873B2 (ja) | 面状温度検出センサ | |
JP2009264803A (ja) | 面状温度検出センサ | |
TWI583959B (zh) | Contact terminals and probe cards | |
JP2010151652A (ja) | 熱電対用端子ブロック | |
WO2020031844A1 (ja) | 抵抗器 | |
JP5845499B2 (ja) | 熱流センサの製造方法 | |
JP4635901B2 (ja) | モジュールパッケージ | |
US10236430B2 (en) | Thermoelectric module | |
JP5621664B2 (ja) | 評価用半導体チップ、評価システムおよび放熱材料評価方法 | |
CN112729618B (zh) | 一种耐高温金属平板热流计及热流密度测量方法 | |
WO2017094714A1 (ja) | ヒータプレート、このヒータプレートを用いる熱流束センサの製造装置、このヒータプレートの製造方法、及び、このヒータプレートの製造装置 | |
JP4820124B2 (ja) | 温度分布測定装置 | |
JP2006060027A (ja) | 平板型温度センサ | |
JP5638871B2 (ja) | 熱流センサ | |
WO2016031512A1 (ja) | 検査端子ユニットおよびプローブカードおよび検査端子ユニットの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110214 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130528 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130725 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130820 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130913 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5368715 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |