ATE510195T1 - Mikrosensor für thermischen fluss auf einem leitenden substrat mit porösen fächer - Google Patents

Mikrosensor für thermischen fluss auf einem leitenden substrat mit porösen fächer

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ATE510195T1
ATE510195T1 AT05370028T AT05370028T ATE510195T1 AT E510195 T1 ATE510195 T1 AT E510195T1 AT 05370028 T AT05370028 T AT 05370028T AT 05370028 T AT05370028 T AT 05370028T AT E510195 T1 ATE510195 T1 AT E510195T1
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thermal flow
conductive substrate
micro sensor
collecting
thermal
Prior art date
Application number
AT05370028T
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Katir Ziouche
Pascale Godts
Didier Leclercq
Original Assignee
Univ Lille I Sciences Et Technologies
Centre Nat Rech Scient
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/10—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
    • G01J5/12—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors using thermoelectric elements, e.g. thermocouples
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K7/00—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
    • G01K7/02—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using thermoelectric elements, e.g. thermocouples
    • G01K7/028—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using thermoelectric elements, e.g. thermocouples using microstructures, e.g. made of silicon

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