JP6709738B2 - 固体撮像素子および電子機器 - Google Patents
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Description
1.基本画素の説明
2.第1の実施の形態(リセットトランジスタと容量切替トランジスタが並列接続される構成例)
3.第2の実施の形態(リセットトランジスタと容量切替トランジスタが直列接続される構成例)
4.第3の実施の形態(信号電荷として正孔を用いる構成例)
5.第4の実施の形態(付加容量素子のゲート部を電荷保持部に接続する構成例)
6.第5の実施の形態(光電変換膜とフォトダイオードを有する構成例)
7.固体撮像素子の概略構成例
8.電子機器への適用例
初めに、本技術の理解を容易にするため、本技術が適用される基本の構成となる固体撮像素子の画素(以下、基本画素という。)について説明する。
図1は、基本画素の等価回路を示している。
図2は、基本画素の断面構造を示す図である。
図3及び図4を参照して、基本画素1で起こる問題について説明する。
図5乃至図7を参照して、本技術を適用した画素の第1の実施の形態について説明する。
次に、図7を参照して、第1の実施の形態における画素51Aの駆動(第1の駆動)について説明する。
上述した第1の実施の形態では、光電変換部11に接続される電荷保持部12の容量を信号電荷量に応じて制御することで、電荷保持部12の電圧振幅を制御することができる。すなわち、信号電荷が多い場合には容量切替トランジスタ61をオンして電荷保持部12の容量を増やすことで、電荷保持部12の電圧上昇量が抑制され、光電変換部11の印加電圧減少量が抑制される。これにより光電変換部11の光電変換効率の低下を抑制することができる。
次に、図8乃至図12を参照して、本技術を適用した画素の第2の実施の形態について説明する。
次に、図10のタイミングチャートを参照して、第2の実施の形態における画素51Bの駆動(第2の駆動)について説明する。
図11及び図12を参照して、第1の実施の形態と第2の実施の形態の違いについて説明する。
次に、図13乃至図16を参照して、本技術を適用した画素の第3の実施の形態について説明する。
図15及び図16を参照して、第2の実施の形態と第3の実施の形態の違いについて説明する。
図17乃至図20を参照して、本技術を適用した画素の第4の実施の形態について説明する。
図19及び図20を参照して、第3の実施の形態と第4の実施の形態の違いについて説明する。
図21乃至図22を参照して、本技術を適用した画素の第5の実施の形態について説明する。
上述した画素51A乃至画素51Eは、図23に示す固体撮像素子の画素として採用することができる。すなわち、図23は、本技術が適用された固体撮像素子の概略構成を示す図である。
本技術は、固体撮像素子への適用に限られるものではない。即ち、本技術は、デジタルスチルカメラやビデオカメラ等の撮像装置や、撮像機能を有する携帯端末装置や、画像読取部に固体撮像素子を用いる複写機など、画像取込部(光電変換部)に固体撮像素子を用いる電子機器全般に対して適用可能である。固体撮像素子は、ワンチップとして形成された形態であってもよいし、撮像部と信号処理部または光学系とがまとめてパッケージングされた撮像機能を有するモジュール状の形態であってもよい。
(1)
半導体基板の外側に形成された光電変換部と、
前記光電変換部で生成された信号電荷を保持する電荷保持部と、
前記電荷保持部の電位をリセットするリセットトランジスタと、
前記電荷保持部に接続され、前記電荷保持部の容量を切り替える容量切替トランジスタと、
前記容量切替トランジスタに接続された付加容量素子と
を有する画素を備える
固体撮像素子。
(2)
前記容量切替トランジスタが、前記リセットトランジスタと前記電荷保持部の間に接続されている
前記(1)に記載の固体撮像素子。
(3)
前記容量切替トランジスタにより、前記電荷保持部の容量が低容量に切り替えられた場合、前記リセットトランジスタは常時オンするように制御される
前記(2)に記載の固体撮像素子。
(4)
前記リセットトランジスタは、前記電荷保持部の電位を、前記半導体基板と同電位にリセットする
前記(2)に記載の固体撮像素子。
(5)
前記リセットトランジスタは、前記電荷保持部の電位を、GNDにリセットする
前記(4)に記載の固体撮像素子。
(6)
前記付加容量素子は、MOSキャパシタで構成される
前記(1)乃至(5)のいずれかに記載の固体撮像素子。
(7)
前記MOSキャパシタのゲート部が、前記電荷保持部に接続される構成である
前記(6)に記載の固体撮像素子。
(8)
前記MOSキャパシタの前記半導体基板内の拡散層が、前記電荷保持部に接続される構成である
前記(6)に記載の固体撮像素子。
(9)
前記リセットトランジスタは、前記電荷保持部の電位を、電源電圧にリセットする
前記(1)乃至(3)、(6)、または(8)のいずれかに記載の固体撮像素子。
(10)
前記容量切替トランジスタと前記リセットトランジスタは、直列に接続されている
前記(1)乃至(9)のいずれかに記載の固体撮像素子。
(11)
前記容量切替トランジスタと前記リセットトランジスタは、並列に接続されている
前記(1)に記載の固体撮像素子。
(12)
前記光電変換部は、光電変換膜の上下を電極で挟み込む構造により形成されている
前記(1)乃至(11)のいずれかに記載の固体撮像素子。
(13)
前記画素は、前記光電変換部の上方または下方に、他の光電変換部をさらに有する
前記(1)乃至(12)のいずれかに記載の固体撮像素子。
(14)
前記他の光電変換部は、前記半導体基板に形成されたフォトダイオードである
前記(13)に記載の固体撮像素子。
(15)
前記光電変換部で生成された前記信号電荷は、正孔である
前記(1)に記載の固体撮像素子。
(16)
前記光電変換部で生成された前記信号電荷は、電子である
前記(1)に記載の固体撮像素子。
(17)
半導体基板の外側に形成された光電変換部と、
前記光電変換部で生成された信号電荷を保持する電荷保持部と、
前記電荷保持部の電位をリセットするリセットトランジスタと、
前記電荷保持部に接続され、前記電荷保持部の容量を切り替える容量切替トランジスタと、
前記容量切替トランジスタに接続された付加容量素子と
を有する画素を備える固体撮像素子
を備える電子機器。
(18)
前記容量切替トランジスタを制御するための制御信号を出力する制御回路をさらに備える
前記(17)に記載の電子機器。
(19)
前記制御回路は、前記固体撮像素子で撮像された画像に基づいて、前記容量切替トランジスタを制御するための制御信号を出力する
前記(18)に記載の電子機器。
(20)
前記制御回路は、ユーザによって指定された設定情報に基づいて、前記容量切替トランジスタを制御するための制御信号を出力する
前記(18)または(19)に記載の電子機器。
Claims (16)
- 半導体基板の外側に形成された光電変換部と、
前記光電変換部で生成された信号電荷を保持する電荷保持部と、
前記電荷保持部の電位をリセットするリセットトランジスタと、
前記電荷保持部に接続され、前記電荷保持部の容量を切り替える容量切替トランジスタと、
前記容量切替トランジスタに接続された付加容量素子と
を有する画素を備え、
前記容量切替トランジスタは、前記リセットトランジスタと前記電荷保持部の間に、前記リセットトランジスタと直列に接続され、
前記容量切替トランジスタにより前記電荷保持部の容量が低容量に切り替えられた場合、前記リセットトランジスタは常時オンするように制御され、前記容量切替トランジスタが前記リセットトランジスタとしての動作を行う
固体撮像素子。 - 前記リセットトランジスタは、前記電荷保持部の電位を、前記半導体基板と同電位にリセットする
請求項1に記載の固体撮像素子。 - 前記リセットトランジスタは、前記電荷保持部の電位を、GNDにリセットする
請求項2に記載の固体撮像素子。 - 前記付加容量素子は、MOSキャパシタで構成される
請求項1に記載の固体撮像素子。 - 前記MOSキャパシタのゲート部が、前記電荷保持部に接続される
請求項4に記載の固体撮像素子。 - 前記MOSキャパシタの前記半導体基板内の拡散層が、前記電荷保持部に接続される
請求項4に記載の固体撮像素子。 - 前記リセットトランジスタは、前記電荷保持部の電位を、電源電圧にリセットする
請求項1に記載の固体撮像素子。 - 前記光電変換部は、光電変換膜の上下を電極で挟み込む構造により形成されている
請求項1に記載の固体撮像素子。 - 前記画素は、前記光電変換部の上方または下方に、他の光電変換部をさらに有する
請求項1に記載の固体撮像素子。 - 前記他の光電変換部は、前記半導体基板に形成されたフォトダイオードである
請求項9に記載の固体撮像素子。 - 前記光電変換部で生成された前記信号電荷は、正孔である
請求項1に記載の固体撮像素子。 - 前記光電変換部で生成された前記信号電荷は、電子である
請求項1に記載の固体撮像素子。 - 半導体基板の外側に形成された光電変換部と、
前記光電変換部で生成された信号電荷を保持する電荷保持部と、
前記電荷保持部の電位をリセットするリセットトランジスタと、
前記電荷保持部に接続され、前記電荷保持部の容量を切り替える容量切替トランジスタと、
前記容量切替トランジスタに接続された付加容量素子と
を有する画素を備え、
前記容量切替トランジスタは、前記リセットトランジスタと前記電荷保持部の間に、前記リセットトランジスタと直列に接続され、
前記容量切替トランジスタにより前記電荷保持部の容量が低容量に切り替えられた場合、前記リセットトランジスタは常時オンするように制御され、前記容量切替トランジスタが前記リセットトランジスタとしての動作を行う
固体撮像素子
を備える電子機器。 - 前記容量切替トランジスタを制御するための制御信号を出力する制御回路をさらに備える
請求項13に記載の電子機器。 - 前記制御回路は、前記固体撮像素子で撮像された画像に基づいて、前記容量切替トランジスタを制御するための制御信号を出力する
請求項14に記載の電子機器。 - 前記制御回路は、ユーザによって指定された設定情報に基づいて、前記容量切替トランジスタを制御するための制御信号を出力する
請求項14に記載の電子機器。
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