JP6706509B2 - 偏光解消素子 - Google Patents
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Description
以下に説明する各実施例の偏光解消素子は、その偏光解消素子に向かって照射された光が当該素子の平面内の所定の領域内を走査するように、平面的に駆動されるものである。以下において、偏光解消素子に入射した光が走査する領域を「入射光通過領域100」、当該素子に設けられた反射部で反射した光が通過する領域を「反射光通過領域200」と称する。
この実施例では、素子が回転することよって、入射光が微細構造領域18の設けられている領域全体を走査することになるため、微細構造領域18が設けられている領域全体が入射光通過領域でありかつ反射光通過領域である。
13 基板
14 円形基板
4,4a,4b,9,11,18,18a,18b 微細構造領域
6,6a,6b,6c,6d,6e,8,12,16,16a,16b 反射膜
20 ブランク領域
22 反射防止膜
100 入射光通過領域
200 反射光通過領域
Claims (8)
- 入射した光が通過する基板の一方表面側の位置に、光に位相差を生じさせながら通過させる微細構造をもつ複数の微細構造領域が光の走査経路に沿って配列された入射光通過領域と、
前記入射光通過領域の微細構造に所定の入射角度で斜めに入射し通過した光を反射させる反射部と、
前記入射光通過領域の前記微細構造領域を通過して前記反射部で反射した光が通過する位置に、当該光が前記反射部で反射する前に通過した前記入射光通過領域の微細構造領域と同一の光学軸方向を有する微細構造領域を備えた反射光通過領域と、を備え、
前記反射部は、前記基板の他方表面側にのみ設けられており、前記基板の前記一方表面側から入射した光を前記一方側表面側へ反射して出射させ、
前記反射光通過領域は、前記基板の前記一方表面側における前記入射光通過領域とは異なる位置に設けられ、該反射光通過領域に前記入射光通過領域とは別の複数の微細構造領域が設けられており、
光が前記入射光通過領域と前記反射光通過領域において同一の光学軸方向をもつ微細構造領域を通過するように、前記反射光通過領域の各微細構造領域が前記入射光通過領域の各微細構造領域に対応して配列されており、
前記入射光通過領域の前記微細構造領域に前記所定の入射角度で入射した光に実質的に1/2波長分の位相差を生じさせて出射させる偏光解消素子。 - 前記入射光通過領域と前記反射光通過領域とが離間して設けられている請求項1に記載の偏光解消素子。
- 入射した光が通過する基板の一方表面側の位置に、光に位相差を生じさせながら通過させる微細構造をもつ複数の微細構造領域が光の走査経路に沿って配列された入射光通過領域と、
前記入射光通過領域の微細構造に所定の入射角度で斜めに入射し通過した光を反射させる反射部と、
前記入射光通過領域の前記微細構造領域を通過して前記反射部で反射した光が通過する位置に、当該光が前記反射部で反射する前に通過した前記入射光通過領域の微細構造領域と同一の光学軸方向を有する微細構造領域を備えた反射光通過領域と、を備え、
前記反射部は、前記基板の前記一方表面側と他方表面側に設けられ、前記基板の前記一方表面側から入射した光を前記他方表面側と前記一方表面側の前記反射部で反射させて前記一方表面側へ出射させるように構成されており、
前記反射光通過領域は、前記一方表面側における前記反射部によって前記一方表面側へ反射させられた光が通過する位置に設けられ、該反射光通過領域に前記入射光通過領域とは別の複数の微細構造領域が設けられており、
光が前記入射光通過領域と前記反射光通過領域において同一の光学軸方向をもつ微細構造領域を通過するように、前記反射光通過領域の各微細構造領域が前記入射光通過領域の各微細構造領域に対応して配列されており、
前記入射光通過領域の前記微細構造領域に前記所定の入射角度で入射した光に実質的に1/2波長分の位相差を生じさせて出射させる偏光解消素子。 - 入射した光が通過する基板の一方表面側の位置に、光に位相差を生じさせながら通過させる微細構造をもつ複数の微細構造領域が光の走査経路に沿って配列された入射光通過領域と、
前記入射光通過領域の微細構造に所定の入射角度で斜めに入射し通過した光を反射させる反射部と、
前記入射光通過領域の前記微細構造領域を通過して前記反射部で反射した光が通過する位置に、当該光が前記反射部で反射する前に通過した前記入射光通過領域の微細構造領域と同一の光学軸方向を有する微細構造領域を備えた反射光通過領域と、を備え、
前記反射部は、前記基板の前記一方表面側と他方表面側に設けられ、前記基板の前記一方表面側から入射した光を前記他方表面側と前記一方表面側の前記反射部で反射させて前記他方表面側から出射させるように構成されており、
前記反射光通過領域は、前記他方表面側における前記反射部によって前記他方表面側へ反射させられた光が通過する位置に設けられ、前記入射光通過領域とは別の複数の微細構造領域を有する反射光通過領域を備え、
光が前記入射光通過領域と前記反射光通過領域において同一の光学軸方向をもつ微細構造領域を通過するように、前記反射光通過領域の各微細構造領域が前記入射光通過領域の各微細構造領域に対応して配列されており、
前記入射光通過領域の前記微細構造領域に前記所定の入射角度で入射した光に実質的に1/2波長分の位相差を生じさせて出射させる偏光解消素子。 - 前記入射光通過領域が設けられた第1部材と前記反射光通過領域が設けられた第2部材とが接合されて構成されている請求項3又は4に記載の偏光解消素子。
- 前記入射光通過領域の前記各微細構造領域の間に、光に位相差を生じさせる微細構造を有しないブランク領域が設けられており、
前記反射光通過領域は、前記入射光通過領域の前記ブランク領域を通過して前記反射部で反射した光が通過する位置に、光に位相差を生じさせる微細構造を有しないブランク領域が設けられている請求項1から5のいずれか一項に記載の偏光解消素子。 - 少なくとも前記ブランク領域に反射防止膜又は反射防止構造が形成されている請求項6に記載の偏光解消素子。
- 前記所定の入射角度は45°以下の角度である請求項1から7のいずれか一項に記載の偏光解消素子。
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