JP2014002286A - 偏光解消素子及びその素子を用いた光学機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】使用する光の波長に対して光透過性をもつ基材3の光入射面3a及び光出射面3bの表面に、光透過面3a,3bが領域分割された領域A1〜A8に対して領域ごとで異なった膜厚をもつ光位相差発生膜5a,5bが形成されている。図1(A)に示されるように、使用する光の波長について、光入射面3a側の光の位相差は揃っている。その光は、偏光解消素子1を透過する際、光位相差発生膜5a、基材3及び光位相差発生膜5bからなる誘電体多層膜で光の位相差が変化させられる。図1(C)に示されるように、偏光解消素子1を透過した光出射面3b側の光の位相差は領域A1〜A8で互いに異なっている。
【選択図】図1
Description
スペックルを解消する手法として、例えば非特許文献1に8つの方法が開示されている。
光位相差発生膜5a,5bは、領域A1〜A8に対して、領域A1〜A8ごとで異なった膜厚をもっている。この実施例では、光位相差発生膜5a,5bは、領域A1側から領域A8側へ向かうほど膜厚が厚くなっている。光位相差発生膜5a,5bは、偏光解消素子1を透過した光について、光透過面3a,3bにおける隣り合う2つの領域間で、使用する光の可干渉距離よりも光の光路長差が大きくなるように光路長差を発生させる膜厚差で形成されている。
また、光位相差発生膜の成膜時に、成膜視ながらレーザ光やプラズマを照射して、より高密度な誘電体薄膜からなる光位相差発生膜を形成してもよい。
(1)誘電体材料の成膜の初期は、光入射面3aの全面に誘電体材料が成膜されるように上記制御板の開口が位置合せされる。所定時間だけ誘電体材料の成膜を行なう。
偏光解消素子1において、光位相差発生膜は、光入射面3a又は光出射面3bのうち1面のみに形成されていてもよい。
光位相差発生膜13は、領域A1〜A8に対して、領域A1〜A8ごとで異なった膜厚をもっている。この実施例では、光位相差発生膜13は、領域A1側から領域A8側へ向かうほど膜厚が厚くなっている。光位相差発生膜13は、偏光解消素子7で反射された光について、光反射面11aにおける隣り合う2つの領域間で、使用する光の可干渉距離よりも光の光路長差が大きくなるように光路長差を発生させる膜厚差で形成されている。
(1)基材9の一表面に光反射膜11を形成する。光反射膜11は、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、CVD法などで成膜される。なお、光反射膜11の成膜方法は、他の方法でもかまわない。
偏光解消素子15の基材はペンタプリズムで形成されている。ペンタプリズム(光反射面:2面、入射面:1面、出射面:1面)は、使用する光の波長に対して光透過性をもつ基材、例えば光学ガラスを多面体に加工したものである。偏光解消素子15は、光入射面15−1、光反射面15−2,15−3及び光出射面15−4を備えている。
光入射面15−1から入射された光は光反射面15−2で反射される。このとき、光は「プリズム基材」、「光位相差発生膜」、「光反射膜」、「光位相差発生膜」、「プリズム基材」の順に各部材を通過する。つまり、光は光位相差発生膜を2度透過するので、光の位相差変化量は当該光位相差発生膜を1度透過する場合に比べて2倍となる。
光反射面15−3で反射された光は光出射面15−4から出射される。このとき、光は光出射面15−4に形成された光位相差発生膜を透過する。
偏光解消素子15において、光位相差発生膜は、光入射面15−1、光反射面15−2,15−3及び光出射面15−4のうち1面のみ、2面又は3面に形成されていてもよい。
偏光解消素子17の基材はペンタダハプリズムで形成されている。ペンタダハプリズム(光反射面:3面、入射面:1面、出射面:1面)は、使用する光の波長に対して光透過性をもつ基材、例えば光学ガラスを多面体に加工したものである。ペンタダハプリズムは、5角柱の側面の一つをダハ面(直角に交わる2面に分割したもの)とし、左右方向を反転させる機能も持っている。偏光解消素子17は、光入射面17−1、光反射面17−2,17−3,17−4及び光出射面17−5を備えている。
また、偏光解消素子17において、図3を参照して説明した偏光解消素子15の光反射面15−2,15−3と同様に、光反射面17−2,17−3,17−4の表面に光位相差発生膜が形成されている(図示は省略)。
偏光解消素子17において、光位相差発生膜は、光入射面17−1、光反射面17−2,17−3,17−4及び光出射面17−5のうち1面のみ、2面、3面又は4面に形成されていてもよい。
偏光解消素子19はペンタミラーで形成されている。偏光解消素子19は、2つの光反射面19−1,19−2を備えている。
偏光解消素子19において、光位相差発生膜は光反射面19−1,19−2のいずれか一方のみに形成されていてもよい。
また、本発明の偏光解消素子の第3の形態において、入射面もしくは出射面又はそれらの両方の面に光量均一化用光学素子が配置されているようにしてもよい。
(レーザプリンタへの適用)
図8はレーザプリンタの光学系を示したものである。レーザダイオード・ユニット51内部には、光源としてのレーザダイオードと、レーザダイオードから射出されるレーザビームは平行光線にするコリメートレンズが設けられている。レーザダイオード・ユニット51から平行光線となって射出されるレーザビームは、ポリゴンミラー(回転多面鏡)52によって偏向走査され、F−θレンズ53等から構成される結像レンズ系によってドラム状の感光体ドラム55の帯電した表面に画像を結像する。
図10は露光装置の光学系を概略的に示したものである。KrFエキシマレーザ又はArFエキシマレーザからなる光源60からの紫外線のレーザ光は、光束整形光学系61により所定の光束形状に変換され、照明光学系63,64により原版であるマスク66に照射される。マスク66のパターンはマスク66を透過した紫外線が投影光学系67によりウエハ68に照射されることにより投影露光される。ウエハ68はウエハステージ69に保持され、ウエハステージ69によってウエハ68が投影光学系67の光軸と直交する平面に沿って2次元的に移動することにより投影露光が繰り返されていく。
図11は偏光解消素子を光ファイバ増幅器に適用した例を示したものである。
ファイバ増幅器は、希土類元素添加光ファイバ74に光源70からの励起光71を入射して光ファイバ74中の希土類元素を活性化しておき、そこに入射光72を入射させることにより、その入射光72を増幅して出射させるものである。励起光71と入射光72をともに光ファイバ74に入射させるために、励起光71と入射光72とを結合する光カプラ73が設けられている。
3 基材
3a,15−1,17−1 光入射面(光透過面)
3b,15−4,17−5 光出射面(光透過面)
5a,5b,13 光位相差発生膜
11a,15−2,15−3,17−2,17−3,17−4 光反射面
19−1,19−2 光反射面
23 光量均一化用光学素子
A1〜A8 面が領域分割された領域
Claims (12)
- 使用する光の波長に対して光透過性をもつ基材の光透過面である光入射面及び光出射面の一方又は両方の表面に、前記光透過面が領域分割された領域に対して領域ごとで異なった膜厚をもつ光位相差発生膜が形成されていることを特徴とする偏光解消素子。
- 使用する光の波長に対して光反射性をもつ光反射面の表面に、前記光反射面内の領域ごとで異なった膜厚をもつ光位相差発生膜が形成されていることを特徴とする偏光解消素子。
- 該偏光解消素子は複数の前記光反射面を備え、それらの光反射面のうちの1つ又は複数に前記光位相差発生膜が形成されている請求項2に記載の偏光解消素子。
- 光入射面、光反射面及び光出射面をもち、使用する光の波長に対して光透過性をもつ基材を備え、前記光反射面の表面に、前記光反射面が領域分割された領域に対して領域ごとで異なった膜厚をもつ光位相差発生膜と、前記光位相差発生膜を透過した光を反射するために前記光位相差発生膜の表面に形成された光反射膜とが形成されていることを特徴とする偏光解消素子。
- 前記基材は複数の光反射面を備えたプリズムであって、それらの光反射面のうちの1つ又は複数に前記光位相差発生膜及び前記光反射膜が形成されている請求項4に記載の偏光解消素子。
- 光透過面である前記光入射面及び前記光出射面の一方又は両方の表面に、前記光透過面が領域分割された領域に対して領域ごとで異なった膜厚をもつ光位相差発生膜が形成されている請求項4又は5に記載の偏光解消素子。
- 前記光入射面及び前記光出射面の一方の表面に、光量を均一化するための光量均一化用光学素子が形成されている請求項1及び4から6のいずれか一項に記載の偏光解消素子。
- 前記光量均一化用光学素子はマイクロレンズアレイ、インテグレータ又はフライアイレンズアレイである請求項7に記載の偏光解消素子。
- 前記光位相差発生膜は、誘電体の薄膜材料、合成石英もしくは光学ガラス材料からなる構造材料、光学結晶材料又はプラスチック材料からなる光透過性材料で構成されている請求項1から8のいずれか一項に記載の偏光解消素子。
- レーザ光源から発生するレーザ光を対象物に照射する光学系を備えた光学機器において、
前記レーザ光の位相を不揃いにするために請求項1から9のいずれか一項に記載の偏光解消素子を前記光学系の光路上に配置したことを特徴とする光学機器。 - 前記偏光解消素子を前記光路上において光線方向に平行な軸を中心として回転させる駆動機構を備えた請求項10に記載の光学機器。
- 前記偏光解消素子を前記光路上において光線方向に対して平行又は垂直の方向に振動させる駆動機構を備えた請求項10に記載の光学機器。
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