JP6696464B2 - 積層セラミック電子部品の製造方法 - Google Patents
積層セラミック電子部品の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6696464B2 JP6696464B2 JP2017049906A JP2017049906A JP6696464B2 JP 6696464 B2 JP6696464 B2 JP 6696464B2 JP 2017049906 A JP2017049906 A JP 2017049906A JP 2017049906 A JP2017049906 A JP 2017049906A JP 6696464 B2 JP6696464 B2 JP 6696464B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ethylene
- resin composition
- ceramic
- resin
- less
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims description 121
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 43
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 40
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 claims description 83
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 78
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 78
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 59
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 56
- 150000002484 inorganic compounds Chemical class 0.000 claims description 42
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 claims description 42
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 25
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 25
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 25
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 22
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 claims description 16
- 229920006225 ethylene-methyl acrylate Polymers 0.000 claims description 16
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 claims description 15
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 14
- 229920005680 ethylene-methyl methacrylate copolymer Polymers 0.000 claims description 12
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 claims description 11
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 10
- 239000005038 ethylene vinyl acetate Substances 0.000 claims description 8
- 229920006244 ethylene-ethyl acrylate Polymers 0.000 claims description 8
- 229920001200 poly(ethylene-vinyl acetate) Polymers 0.000 claims description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 7
- 229920002433 Vinyl chloride-vinyl acetate copolymer Polymers 0.000 claims description 3
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229920005648 ethylene methacrylic acid copolymer Polymers 0.000 claims description 3
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229920002126 Acrylic acid copolymer Polymers 0.000 claims 1
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 description 30
- -1 vinyl halides Chemical class 0.000 description 26
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 17
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 16
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 16
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 11
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 11
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 10
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 10
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 10
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 9
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 9
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 9
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 7
- 235000014113 dietary fatty acids Nutrition 0.000 description 7
- 239000000194 fatty acid Substances 0.000 description 7
- 229930195729 fatty acid Natural products 0.000 description 7
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 7
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 7
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 description 6
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 6
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 5
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 5
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 5
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 5
- 230000007847 structural defect Effects 0.000 description 5
- 235000019484 Rapeseed oil Nutrition 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 239000002003 electrode paste Substances 0.000 description 4
- 150000004665 fatty acids Chemical class 0.000 description 4
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 4
- 235000021388 linseed oil Nutrition 0.000 description 4
- 239000000944 linseed oil Substances 0.000 description 4
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 4
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 4
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 4
- 239000003549 soybean oil Substances 0.000 description 4
- 235000012424 soybean oil Nutrition 0.000 description 4
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 4
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002253 acid Chemical class 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 3
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 3
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 3
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 3
- UZKWTJUDCOPSNM-UHFFFAOYSA-N 1-ethenoxybutane Chemical compound CCCCOC=C UZKWTJUDCOPSNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NXQMCAOPTPLPRL-UHFFFAOYSA-N 2-(2-benzoyloxyethoxy)ethyl benzoate Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)OCCOCCOC(=O)C1=CC=CC=C1 NXQMCAOPTPLPRL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical compound NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N Butylmethacrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C(C)=C SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-K Citrate Chemical compound [O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N Methyl acrylate Chemical compound COC(=O)C=C BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001252 Pd alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000004018 acid anhydride group Chemical group 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 150000001336 alkenes Chemical class 0.000 description 2
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 2
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 2
- 239000003242 anti bacterial agent Substances 0.000 description 2
- ADCOVFLJGNWWNZ-UHFFFAOYSA-N antimony trioxide Chemical compound O=[Sb]O[Sb]=O ADCOVFLJGNWWNZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002216 antistatic agent Substances 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 229920001400 block copolymer Polymers 0.000 description 2
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 2
- AOWKSNWVBZGMTJ-UHFFFAOYSA-N calcium titanate Chemical compound [Ca+2].[O-][Ti]([O-])=O AOWKSNWVBZGMTJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 239000003240 coconut oil Substances 0.000 description 2
- 235000019864 coconut oil Nutrition 0.000 description 2
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003484 crystal nucleating agent Substances 0.000 description 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 2
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 2
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 2
- FJKIXWOMBXYWOQ-UHFFFAOYSA-N ethenoxyethane Chemical compound CCOC=C FJKIXWOMBXYWOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920006242 ethylene acrylic acid copolymer Polymers 0.000 description 2
- 229920001038 ethylene copolymer Polymers 0.000 description 2
- 239000005042 ethylene-ethyl acrylate Substances 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 229920000578 graft copolymer Polymers 0.000 description 2
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 2
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920001684 low density polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004702 low-density polyethylene Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N olefin Natural products CCCCCCCC=C JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 2
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 2
- VEALVRVVWBQVSL-UHFFFAOYSA-N strontium titanate Chemical compound [Sr+2].[O-][Ti]([O-])=O VEALVRVVWBQVSL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 239000003981 vehicle Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DYJIIMFHSZKBDY-UHFFFAOYSA-N (3-benzoyloxy-2,2-dimethylpropyl) benzoate Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)OCC(C)(C)COC(=O)C1=CC=CC=C1 DYJIIMFHSZKBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCIDUSAKPWEOX-UHFFFAOYSA-N 1,1-Difluoroethene Chemical compound FC(F)=C BQCIDUSAKPWEOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IAUGBVWVWDTCJV-UHFFFAOYSA-N 1-(prop-2-enoylamino)propane-1-sulfonic acid Chemical compound CCC(S(O)(=O)=O)NC(=O)C=C IAUGBVWVWDTCJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VXNZUUAINFGPBY-UHFFFAOYSA-N 1-Butene Chemical compound CCC=C VXNZUUAINFGPBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LAYAKLSFVAPMEL-UHFFFAOYSA-N 1-ethenoxydodecane Chemical compound CCCCCCCCCCCCOC=C LAYAKLSFVAPMEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QJJDJWUCRAPCOL-UHFFFAOYSA-N 1-ethenoxyoctadecane Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCOC=C QJJDJWUCRAPCOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OVGRCEFMXPHEBL-UHFFFAOYSA-N 1-ethenoxypropane Chemical compound CCCOC=C OVGRCEFMXPHEBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OEPOKWHJYJXUGD-UHFFFAOYSA-N 2-(3-phenylmethoxyphenyl)-1,3-thiazole-4-carbaldehyde Chemical compound O=CC1=CSC(C=2C=C(OCC=3C=CC=CC=3)C=CC=2)=N1 OEPOKWHJYJXUGD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DJOYTAUERRJRAT-UHFFFAOYSA-N 2-(n-methyl-4-nitroanilino)acetonitrile Chemical compound N#CCN(C)C1=CC=C([N+]([O-])=O)C=C1 DJOYTAUERRJRAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GOXQRTZXKQZDDN-UHFFFAOYSA-N 2-Ethylhexyl acrylate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C=C GOXQRTZXKQZDDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JEYLQCXBYFQJRO-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[2-(2-ethylbutanoyloxy)ethoxy]ethoxy]ethyl 2-ethylbutanoate Chemical compound CCC(CC)C(=O)OCCOCCOCCOC(=O)C(CC)CC JEYLQCXBYFQJRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PGYJSURPYAAOMM-UHFFFAOYSA-N 2-ethenoxy-2-methylpropane Chemical compound CC(C)(C)OC=C PGYJSURPYAAOMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WDQMWEYDKDCEHT-UHFFFAOYSA-N 2-ethylhexyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C(C)=C WDQMWEYDKDCEHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RUMACXVDVNRZJZ-UHFFFAOYSA-N 2-methylpropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(C)COC(=O)C(C)=C RUMACXVDVNRZJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CFVWNXQPGQOHRJ-UHFFFAOYSA-N 2-methylpropyl prop-2-enoate Chemical compound CC(C)COC(=O)C=C CFVWNXQPGQOHRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003504 2-oxazolinyl group Chemical group O1C(=NCC1)* 0.000 description 1
- 125000003903 2-propenyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 1
- RWHRFHQRVDUPIK-UHFFFAOYSA-N 50867-57-7 Chemical class CC(=C)C(O)=O.CC(=C)C(O)=O RWHRFHQRVDUPIK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QZCLKYGREBVARF-UHFFFAOYSA-N Acetyl tributyl citrate Chemical compound CCCCOC(=O)CC(C(=O)OCCCC)(OC(C)=O)CC(=O)OCCCC QZCLKYGREBVARF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N Acrylonitrile Chemical compound C=CC#N NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OSDWBNJEKMUWAV-UHFFFAOYSA-N Allyl chloride Chemical compound ClCC=C OSDWBNJEKMUWAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 1
- 229910021595 Copper(I) iodide Inorganic materials 0.000 description 1
- FBPFZTCFMRRESA-FSIIMWSLSA-N D-Glucitol Natural products OC[C@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)CO FBPFZTCFMRRESA-FSIIMWSLSA-N 0.000 description 1
- FBPFZTCFMRRESA-JGWLITMVSA-N D-glucitol Chemical compound OC[C@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@H](O)CO FBPFZTCFMRRESA-JGWLITMVSA-N 0.000 description 1
- JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acrylate Chemical compound CCOC(=O)C=C JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VQTUBCCKSQIDNK-UHFFFAOYSA-N Isobutene Chemical group CC(C)=C VQTUBCCKSQIDNK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HETCEOQFVDFGSY-UHFFFAOYSA-N Isopropenyl acetate Chemical compound CC(=C)OC(C)=O HETCEOQFVDFGSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 240000007049 Juglans regia Species 0.000 description 1
- 235000009496 Juglans regia Nutrition 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYCMBHHDWRMZGG-UHFFFAOYSA-N Methylacrylonitrile Chemical compound CC(=C)C#N GYCMBHHDWRMZGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CNCOEDDPFOAUMB-UHFFFAOYSA-N N-Methylolacrylamide Chemical class OCNC(=O)C=C CNCOEDDPFOAUMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 1
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N Vinyl ether Chemical class C=COC=C QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 150000007933 aliphatic carboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000003368 amide group Chemical group 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 150000008064 anhydrides Chemical class 0.000 description 1
- 229940121375 antifungal agent Drugs 0.000 description 1
- 239000003429 antifungal agent Substances 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 239000010953 base metal Substances 0.000 description 1
- WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N benzoic acid Chemical class OC(=O)C1=CC=CC=C1 WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N benzophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012965 benzophenone Substances 0.000 description 1
- QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N benzotriazole Chemical compound C1=CC=C2N[N][N]C2=C1 QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012964 benzotriazole Substances 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 239000005385 borate glass Substances 0.000 description 1
- 230000005587 bubbling Effects 0.000 description 1
- BEWFIPLBFJGWSR-UHFFFAOYSA-N butyl 12-acetyloxyoctadec-9-enoate Chemical compound CCCCCCC(OC(C)=O)CC=CCCCCCCCC(=O)OCCCC BEWFIPLBFJGWSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 125000001951 carbamoylamino group Chemical group C(N)(=O)N* 0.000 description 1
- 239000004359 castor oil Substances 0.000 description 1
- 235000019438 castor oil Nutrition 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- BTVVNGIPFPKDHO-UHFFFAOYSA-K cerium(3+);octadecanoate Chemical compound [Ce+3].CCCCCCCCCCCCCCCCCC([O-])=O.CCCCCCCCCCCCCCCCCC([O-])=O.CCCCCCCCCCCCCCCCCC([O-])=O BTVVNGIPFPKDHO-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 238000010344 co-firing Methods 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L copper(II) chloride Chemical class Cl[Cu]Cl ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- LSXDOTMGLUJQCM-UHFFFAOYSA-M copper(i) iodide Chemical class I[Cu] LSXDOTMGLUJQCM-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- OPQARKPSCNTWTJ-UHFFFAOYSA-L copper(ii) acetate Chemical class [Cu+2].CC([O-])=O.CC([O-])=O OPQARKPSCNTWTJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 239000007822 coupling agent Substances 0.000 description 1
- 239000002781 deodorant agent Substances 0.000 description 1
- GDVKFRBCXAPAQJ-UHFFFAOYSA-A dialuminum;hexamagnesium;carbonate;hexadecahydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[Mg+2].[Mg+2].[Mg+2].[Mg+2].[Mg+2].[Mg+2].[Al+3].[Al+3].[O-]C([O-])=O GDVKFRBCXAPAQJ-UHFFFAOYSA-A 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 1
- GMSCBRSQMRDRCD-UHFFFAOYSA-N dodecyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCCCCCCCCCCOC(=O)C(C)=C GMSCBRSQMRDRCD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- NKSJNEHGWDZZQF-UHFFFAOYSA-N ethenyl(trimethoxy)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C=C NKSJNEHGWDZZQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 239000007850 fluorescent dye Substances 0.000 description 1
- XUCNUKMRBVNAPB-UHFFFAOYSA-N fluoroethene Chemical compound FC=C XUCNUKMRBVNAPB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZEMPKEQAKRGZGQ-XOQCFJPHSA-N glycerol triricinoleate Natural products CCCCCC[C@@H](O)CC=CCCCCCCCC(=O)OC[C@@H](COC(=O)CCCCCCCC=CC[C@@H](O)CCCCCC)OC(=O)CCCCCCCC=CC[C@H](O)CCCCCC ZEMPKEQAKRGZGQ-XOQCFJPHSA-N 0.000 description 1
- 238000005469 granulation Methods 0.000 description 1
- 230000003179 granulation Effects 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 description 1
- 229910001701 hydrotalcite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229960001545 hydrotalcite Drugs 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 125000000959 isobutyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N isocyanate group Chemical group [N-]=C=O IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 238000003698 laser cutting Methods 0.000 description 1
- PBOSTUDLECTMNL-UHFFFAOYSA-N lauryl acrylate Chemical compound CCCCCCCCCCCCOC(=O)C=C PBOSTUDLECTMNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004611 light stabiliser Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910000000 metal hydroxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004692 metal hydroxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- FQPSGWSUVKBHSU-UHFFFAOYSA-N methacrylamide Chemical compound CC(=C)C(N)=O FQPSGWSUVKBHSU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XJRBAMWJDBPFIM-UHFFFAOYSA-N methyl vinyl ether Chemical compound COC=C XJRBAMWJDBPFIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- WFKDPJRCBCBQNT-UHFFFAOYSA-N n,2-dimethylprop-2-enamide Chemical compound CNC(=O)C(C)=C WFKDPJRCBCBQNT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940088644 n,n-dimethylacrylamide Drugs 0.000 description 1
- YLGYACDQVQQZSW-UHFFFAOYSA-N n,n-dimethylprop-2-enamide Chemical compound CN(C)C(=O)C=C YLGYACDQVQQZSW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OMNKZBIFPJNNIO-UHFFFAOYSA-N n-(2-methyl-4-oxopentan-2-yl)prop-2-enamide Chemical compound CC(=O)CC(C)(C)NC(=O)C=C OMNKZBIFPJNNIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DNTMQTKDNSEIFO-UHFFFAOYSA-N n-(hydroxymethyl)-2-methylprop-2-enamide Chemical compound CC(=C)C(=O)NCO DNTMQTKDNSEIFO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ADTJPOBHAXXXFS-UHFFFAOYSA-N n-[3-(dimethylamino)propyl]prop-2-enamide Chemical class CN(C)CCCNC(=O)C=C ADTJPOBHAXXXFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WIBFFTLQMKKBLZ-SEYXRHQNSA-N n-butyl oleate Chemical compound CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCC(=O)OCCCC WIBFFTLQMKKBLZ-SEYXRHQNSA-N 0.000 description 1
- ZIWDVJPPVMGJGR-UHFFFAOYSA-N n-ethyl-2-methylprop-2-enamide Chemical compound CCNC(=O)C(C)=C ZIWDVJPPVMGJGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SWPMNMYLORDLJE-UHFFFAOYSA-N n-ethylprop-2-enamide Chemical compound CCNC(=O)C=C SWPMNMYLORDLJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YPHQUSNPXDGUHL-UHFFFAOYSA-N n-methylprop-2-enamide Chemical compound CNC(=O)C=C YPHQUSNPXDGUHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002825 nitriles Chemical class 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- HMZGPNHSPWNGEP-UHFFFAOYSA-N octadecyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCOC(=O)C(C)=C HMZGPNHSPWNGEP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FSAJWMJJORKPKS-UHFFFAOYSA-N octadecyl prop-2-enoate Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCOC(=O)C=C FSAJWMJJORKPKS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 235000019198 oils Nutrition 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000010893 paper waste Substances 0.000 description 1
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 1
- HVAMZGADVCBITI-UHFFFAOYSA-M pent-4-enoate Chemical compound [O-]C(=O)CCC=C HVAMZGADVCBITI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N pentaerythritol Chemical compound OCC(CO)(CO)CO WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N pent‐4‐en‐2‐one Natural products CC(=O)CC=C PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003208 petroleum Substances 0.000 description 1
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N phosphoric acid Substances OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004584 polyacrylic acid Substances 0.000 description 1
- 229920001515 polyalkylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920013716 polyethylene resin Polymers 0.000 description 1
- 229920005862 polyol Polymers 0.000 description 1
- BPJZKLBPJBMLQG-KWRJMZDGSA-N propanoyl (z,12r)-12-hydroxyoctadec-9-enoate Chemical compound CCCCCC[C@@H](O)C\C=C/CCCCCCCC(=O)OC(=O)CC BPJZKLBPJBMLQG-KWRJMZDGSA-N 0.000 description 1
- NHARPDSAXCBDDR-UHFFFAOYSA-N propyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCOC(=O)C(C)=C NHARPDSAXCBDDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNXMTCDJUBJHQJ-UHFFFAOYSA-N propyl prop-2-enoate Chemical compound CCCOC(=O)C=C PNXMTCDJUBJHQJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N propylene Natural products CC=C QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004805 propylene group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 1
- 229920005604 random copolymer Polymers 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- YGSDEFSMJLZEOE-UHFFFAOYSA-M salicylate Chemical compound OC1=CC=CC=C1C([O-])=O YGSDEFSMJLZEOE-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229960001860 salicylate Drugs 0.000 description 1
- 238000005488 sandblasting Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 150000004756 silanes Chemical class 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000000600 sorbitol Substances 0.000 description 1
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011029 spinel Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
- 239000012756 surface treatment agent Substances 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
- SJMYWORNLPSJQO-UHFFFAOYSA-N tert-butyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OC(C)(C)C SJMYWORNLPSJQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ISXSCDLOGDJUNJ-UHFFFAOYSA-N tert-butyl prop-2-enoate Chemical compound CC(C)(C)OC(=O)C=C ISXSCDLOGDJUNJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 125000003396 thiol group Chemical group [H]S* 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WEAPVABOECTMGR-UHFFFAOYSA-N triethyl 2-acetyloxypropane-1,2,3-tricarboxylate Chemical compound CCOC(=O)CC(C(=O)OCC)(OC(C)=O)CC(=O)OCC WEAPVABOECTMGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000015112 vegetable and seed oil Nutrition 0.000 description 1
- 239000008158 vegetable oil Substances 0.000 description 1
- 239000004034 viscosity adjusting agent Substances 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
- 235000020234 walnut Nutrition 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
- 239000004711 α-olefin Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/30—Stacked capacitors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/002—Details
- H01G4/005—Electrodes
- H01G4/008—Selection of materials
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/002—Details
- H01G4/018—Dielectrics
- H01G4/06—Solid dielectrics
- H01G4/08—Inorganic dielectrics
- H01G4/12—Ceramic dielectrics
- H01G4/1209—Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material
- H01G4/1218—Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material based on titanium oxides or titanates
- H01G4/1227—Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material based on titanium oxides or titanates based on alkaline earth titanates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/002—Details
- H01G4/018—Dielectrics
- H01G4/06—Solid dielectrics
- H01G4/08—Inorganic dielectrics
- H01G4/12—Ceramic dielectrics
- H01G4/1209—Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material
- H01G4/1236—Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material based on zirconium oxides or zirconates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/002—Details
- H01G4/224—Housing; Encapsulation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/002—Details
- H01G4/228—Terminals
- H01G4/232—Terminals electrically connecting two or more layers of a stacked or rolled capacitor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/30—Stacked capacitors
- H01G4/306—Stacked capacitors made by thin film techniques
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/33—Thin- or thick-film capacitors
Description
しかしながら、本発明は、以下の構成に限定されるものではなく、本発明の要旨を変更しない範囲において適宜変更して適用することができる。なお、以下において記載する個々の望ましい構成を2つ以上組み合わせたものもまた本発明である。
図1は、本発明の積層セラミック電子部品の製造方法によって得られる積層セラミックコンデンサの一例を模式的に示す斜視図である。図2は、図1に示す積層セラミックコンデンサのII−II線断面図である。図3は、図1に示す積層セラミックコンデンサのIII−III線断面図である。
図4に示すように、セラミック層21となるべきセラミックグリーンシート31上に、所定のパターンをもって導電性ペーストが印刷されることによって、内部電極22及び23の各々となるべき内部電極パターン32が形成される。具体的には、セラミックグリーンシート31上に、マトリクス状の内部電極パターン32が形成される。
図5(a)に示すように、内部電極パターン32が形成されたセラミックグリーンシート31を、x方向に沿って所定間隔、すなわち内部電極パターン32のピッチがx方向に1/2ずつずれるように所定枚数積層する。さらに、その上下に内部電極パターンが形成されていないセラミックグリーンシートを所定枚数積層する。
図5(b)及び図5(c)には、第1方向(図5(b)及び図5(c)におけるx方向)の切断線33、及び、これに対して直交する第2方向(図5(b)及び図5(c)におけるy方向)の切断線34の各一部が示されている。マトリクス状の内部電極パターン32は、2つ分の内部電極22及び23が各々の引出し部同士で連結されたものが、第1方向(x方向)に沿って連なった形状を有している。図5(b)及び図5(c)では、切断線33及び34が共通して示されている。
図6に示す積層シート35は、積層された複数のセラミックグリーンシート31と、セラミックグリーンシート31間の複数の界面に沿ってそれぞれ配置された内部電極パターン32とを含み、積層方向に相対する第1の主面35a及び第2の主面35bを有している。
図7に示すマザーブロック36では、積層シート35の第1の主面35aに未焼成の保護層41が形成されており、第2の主面35bに未焼成の保護層42が形成されている。
以下、本発明に用いる樹脂組成物の一実施形態について説明する。
本実施形態の樹脂組成物は、融点又はガラス転移温度が100℃未満の樹脂成分と、無機化合物粒子とを含有して、概略構成されている。
樹脂組成物に含有される樹脂成分は、融点又はガラス転移温度が100℃未満である。樹脂成分の融点又はガラス転移温度の下限は特に制限はないが、樹脂成分の融点又はガラス転移温度は40℃以上であることが好ましく、50℃以上であることがより好ましい。樹脂成分の融点又はガラス転移温度が40℃以上であれば、積層時の変形を防止することができる。
なお、樹脂成分の融点又はガラス転移温度は、示差走査熱量測定(DSC)装置によって測定される。ガラス転移温度の測定は、JIS K 7121−1987に準じる。
本実施形態の樹脂組成物に適用可能な無機化合物粒子としては、絶縁体セラミックが挙げられる。絶縁体セラミックとしては、例えば、Ba、Ca、Sr及びPbのうち少なくとも1種と、Ti、Zr及びHfのうち少なくとも1種とを含有するペロブスカイト型磁器組成物等が挙げられる。具体的には、チタン酸バリウム、チタン酸カルシウム、チタン酸ストロンチウム、ジルコン酸チタン酸鉛等が挙げられる。これらの無機化合物粒子を含有させることにより、樹脂組成物の誘電率を向上させる効果が得られる。無機化合物粒子としては、これらの中から1種類を単独で用いてもよいし、2種類以上を併用してもよい。
なお、無機化合物粒子の加重平均粒子径は、100個の無機化合物粒子の粒子径を顕微鏡観察により測定し、算出する。無機化合物粒子が板状や鱗片状等の場合、粒子径は、短径と長径を測定して断面積を算出し、当該断面積に相当する円の直径を粒子径とする。
本実施形態の樹脂組成物は、本発明の効果を損なわない範囲で、上述した樹脂成分、及び、無機化合物粒子以外に、他の成分を含んでいてもよい。他の成分としては、例えば、塩化銅、ヨウ化第一銅、酢酸銅、ステアリン酸セリウムなどの金属塩安定剤、ヒンダードアミン系、ヒンダードフェノール系、含硫黄化合物系、アクリレート系、リン系有機化合物などの酸化防止剤や耐熱安定剤、ベンゾフェノン系、サリチレート系、ベンゾトリアゾール系などの紫外線吸収剤や耐候剤、光安定剤、離型剤、滑剤、結晶核剤、粘度調節剤、着色剤、シランカップリング剤などの表面処理剤、顔料、蛍光顔料、染料、蛍光染料、着色防止剤、難燃剤(赤燐、金属水酸化物系難燃剤、リン系難燃剤、シリコーン系難燃剤、ハロゲン系難燃剤、およびこれらのハロゲン系難燃剤と三酸化アンチモンとの組み合わせなど)、木材粉、もみがら粉、くるみ粉、古紙、蓄光顔料、ホウ酸ガラスや銀系抗菌剤などの抗菌剤や抗カビ剤、マグネシウム−アルミニウムヒドロキシハイドレートに代表されるハイドロタルサイトなどの金型腐食防止剤、結晶核剤、帯電防止剤、アンチブロッキング剤、界面活性剤、染料、消臭剤、可塑剤、離形剤、分散剤等の添加剤が挙げられる。これらの中で、樹脂組成物の柔軟性向上の観点から、可塑剤を添加することが好ましい。
なお、樹脂組成物の動的粘弾性(DMA)測定は、市販の動的粘弾性測定装置(例えば、SII社製、「DMS6100」等)を用い、下記の測定条件を用いて測定することができる。
(弾性率測定)
・振動周波数:10Hz
・温度範囲:20〜200℃
・昇温速度:5℃/min
・試験片:約10mm幅
・試験モード:引張
次に、本実施形態の樹脂組成物の製造方法の一例について説明する。本実施形態の樹脂組成物は、上述した樹脂成分を融点又はガラス転移温度以上に加熱して溶融状態(液体状態)あるいはゴム状態とし、これに無機化合物粒子を添加して混練することで得られる。
次に、上記樹脂組成物を用いた樹脂シートの一実施形態について説明する。
本実施形態の樹脂シートは、上述した樹脂組成物をシート状に成形したものである。シート状に成形する際に追加の成分を添加しない限りにおいて、その成分は該樹脂組成物と実質的に同一である。
次に、本実施形態の樹脂シートの製造方法の一例について説明する。本実施形態の樹脂シートは、上述した樹脂組成物の製造方法において、溶融状態あるいはゴム状態の樹脂成分に無機化合物粒子を添加して混練した後、シート状あるいはフィルム状に成形することで得られる。
図8において、マザーブロック36は、互いに直交する第1方向の切断線33及び第2方向の切断線34に沿って切断され、行及び列方向に配列された複数のグリーンチップ19が得られる。なお、図8では、1個のマザーブロック36から6個のグリーンチップ19が取り出されているが、実際には、より多数のグリーンチップ19が取り出される。
このようにして製造された積層セラミックコンデンサは、はんだ付け等によりプリント基板上等に実装され、各種電子機器等に使用される。
本発明の積層セラミック電子部品は、積層方向に配置された複数のセラミック層と複数の内部電極とを含み、上記積層方向に相対する第1の主面及び第2の主面と、上記積層方向に直交する幅方向に相対する第1の側面及び第2の側面と、上記積層方向及び上記幅方向に直交する長手方向に相対する第1の端面及び第2の端面とを有する部品本体と、上記部品本体の上記第1の端面に設けられた第1の外部電極と、上記部品本体の上記第2の端面に設けられた第2の外部電極と、を備えた積層セラミック電子部品であって、上記部品本体の上記第1の主面及び上記第2の主面の少なくとも一方を構成するセラミックは、上記部品本体の上記第1の主面及び上記第2の主面よりも内側のセラミック層を構成するセラミックと異なる組成であることを特徴とする。
(実施例1)
エチレン−アクリル酸メチル共重合樹脂(日本ポリエチレン株式会社製、EB440H、融点:77℃、MFR:18g/10min)25.6gと、チタン酸バリウム(日本化学工業製、BTC−4FA)125.4gとを、ミキサー(東洋精機製作所製、ラボプラストミル)を用いて100℃で15分間混練し、樹脂組成物を得た。
得られた樹脂組成物をプレスすることで、厚み:0.05〜1.0mmの樹脂シートを作製した。
エチレン−アクリル酸メチル共重合樹脂(日本ポリエチレン株式会社製、EB440H、融点:77℃、MFR:18g/10min)22.6gと、チタン酸バリウム(日本化学工業製、BTC−4FA)144.6gとを、ミキサー(東洋精機製作所製、ラボプラストミル)を用いて100℃で15分間混練し、樹脂組成物を得た。
得られた樹脂組成物をプレスすることで、厚み:0.05〜1.0mmの樹脂シートを作製した。
エチレン−アクリル酸メチル共重合樹脂(日本ポリエチレン株式会社製、EB440H、融点:77℃、MFR:18g/10min)20.4gと、チタン酸バリウム(日本化学工業製、BTC−4FA)158.8gとを、ミキサー(東洋精機製作所製、ラボプラストミル)を用いて100℃で15分間混練し、樹脂組成物を得た。
得られた樹脂組成物をプレスすることで、厚み:0.05〜1.0mmの樹脂シートを作製した。
エチレン−アクリル酸メチル共重合樹脂(日本ポリエチレン株式会社製、EB440H、融点:77℃、MFR:18g/10min)18.1gと、チタン酸バリウム(日本化学工業製、BTC−4FA)173.5gとを、ミキサー(東洋精機製作所製、ラボプラストミル)を用いて100℃で15分間混練し、樹脂組成物を得た。
得られた樹脂組成物をプレスすることで、厚み:0.05〜1.0mmの樹脂シートを作製した。
エチレン−アクリル酸メチル共重合樹脂(日本ポリエチレン株式会社製、EB440H、融点:77℃、MFR:18g/10min)15.0gと、チタン酸バリウム(日本化学工業製、BTC−4FA)193.6gとを、ミキサー(東洋精機製作所製、ラボプラストミル)を用いて100℃で15分間混練し、樹脂組成物を得た。
得られた樹脂組成物をプレスすることで、厚み:0.05〜1.0mmの樹脂シートを作製した。
エチレン−メタクリル酸メチル共重合樹脂(住友化学製、WK402、融点:79℃、MFR:20g/10min)22.6gと、チタン酸バリウム(日本化学工業製、BTC−4FA)144.6gとを、ミキサー(東洋精機製作所製、ラボプラストミル)を用いて100℃で15分間混練し、樹脂組成物を得た。
得られた樹脂組成物をプレスすることで、厚み:0.05〜1.0mmの樹脂シートを作製した。
エチレン−アクリル酸エチル共重合樹脂(NUC製、NUC−6570、融点:91℃、MFR:20g/10min)22.6gと、チタン酸バリウム(日本化学工業製、BTC−4FA)144.6gとを、ミキサー(東洋精機製作所製、ラボプラストミル)を用いて100℃で15分間混練し、樹脂組成物を得た。
得られた樹脂組成物をプレスすることで、厚み:0.05〜1.0mmの樹脂シートを作製した。
エチレン−酢酸ビニル共重合樹脂(NUC製、DQDJ−3269、融点:69℃、MFR:20g/10min)22.9gと、チタン酸バリウム(日本化学工業製、BTC−4FA)145.2gとを、ミキサー(東洋精機製作所製、ラボプラストミル)を用いて100℃で15分間混練し、樹脂組成物を得た。
得られた樹脂組成物をプレスすることで、厚み:0.05〜1.0mmの樹脂シートを作製した。
エチレン−メタクリル酸メチル共重合樹脂(住友化学製、CM5022、融点:63℃、MFR:450g/10min)22.8gと、チタン酸バリウム(日本化学工業製、BTC−4FA)144.5gとを、ミキサー(東洋精機製作所製、ラボプラストミル)を用いて100℃で15分間混練し、樹脂組成物を得た。
得られた樹脂組成物をプレスすることで、厚み:0.05〜1.0mmの樹脂シートを作製した。
エチレン−メタクリル酸メチル共重合樹脂(住友化学製、WD106、融点:101℃、MFR:0.32g/10min)22.0gと、チタン酸バリウム(日本化学工業製、BTC−4FA)144.5gとを、ミキサー(東洋精機製作所製、ラボプラストミル)を用いて100℃で15分間混練し、樹脂組成物を得た。
得られた樹脂組成物をプレスすることで、厚み:0.05〜1.0mmの樹脂シートを作製した。
低密度ポリエチレン樹脂(東ソー製、203、融点:105℃、MFR:8.0g/10min)22.0gと、チタン酸バリウム(日本化学工業製、BTC−4FA)144.5gとを、ミキサー(東洋精機製作所製、ラボプラストミル)を用いて100℃で15分間混練し、樹脂組成物を得た。
得られた樹脂組成物をプレスすることで、厚み:0.05〜1.0mmの樹脂シートを作製した。
エチレン−アクリル酸メチル共重合樹脂(日本ポリエチレン株式会社製、EB440H、融点:77℃、MFR:18g/10min)27.1gと、チタン酸バリウム(日本化学工業製、BTC−4FA)115.6gとを、ミキサー(東洋精機製作所製、ラボプラストミル)を用いて100℃で15分間混練し、樹脂組成物を得た。
得られた樹脂組成物をプレスすることで、厚み:0.05〜1.0mmの樹脂シートを作製した。
エチレン−アクリル酸メチル共重合樹脂(日本ポリエチレン株式会社製、EB440H、融点:77℃、MFR:18g/10min)13.2gと、チタン酸バリウム(日本化学工業製、BTC−4FA)204.9gとを、ミキサー(東洋精機製作所製、ラボプラストミル)を用いて100℃で15分間混練し、樹脂組成物を得た。
得られた樹脂組成物をプレスすることで、厚み:0.05〜1.0mmの樹脂シートを作製した。
セラミック原料としてのBaTiO3に、ポリビニルブチラール系バインダ、可塑剤及び有機溶剤としてのエタノールを加え、これらをボールミルにより湿式混合し、セラミックスラリーを作製した。次いで、このセラミックスラリーをリップ方式によりシート成形し、厚み1μmの矩形のセラミックシートを得た。次に、上記セラミックシート上に、Niを含有する導電性ペーストをスクリーン印刷し、Niを主成分とする内部電極となるべき厚み0.5μmの導電膜を形成した。
積層ブロックをダイシングにより切断し、グリーンチップを得た。得られたグリーンチップをN2雰囲気中にて250℃で加熱して、バインダを燃焼させた後、H2、N2及びH2Oガスを含む還元性雰囲気中において1200℃で焼成し、焼結した部品本体を得た。得られた部品本体の寸法は、長さ方向(DL)が1.0mm、幅方向(DW)が0.5mm、高さ方向(DT)が0.20mmである。
焼成後の部品本体に対して、下地電極層(焼付け層)とめっき層とを含む構造の外部電極を形成した。下地電極層(焼き付け層)を形成するための材料はCuとガラスとを含み、850℃で焼付けを行った。また、めっき層を形成するためにCuめっきを行った。
実施例及び比較例で得られた樹脂シートについて、7cm×1cmのシート片を切り出し、測定長:2cm×フィルム幅:1cmのサンプルとして、サンプルホルダーに設置した。次に、動的粘弾性測定装置(セイコーインスツルメンツ社製、DMS6100)を用い、引っ張りモードで室温20℃から130℃の温度範囲、変位:5μm、振動周波数:10Hz、昇温速度:5℃/minの条件を用いて、貯蔵弾性率E’及び損失係数tanδを測定した。なお、tanδは、損失弾性率E’’と貯蔵弾性率E’との比で求めた。また、得られたグラフより、80℃における貯蔵弾性率E’を読み取った。
各種条件につき焼成した部品本体を3つ用意し、第1主面につき、それぞれ表面凹凸を測定した。表面凹凸は、各本体のW方向1/2の位置におけるLT断面を光学顕微鏡で観察した際に測定した、第1主面における最高点と最低点の差として算出し、以下の判定基準で平滑性を評価した。
○判定:3つ全てにおいて、表面凹凸が±3μmにおさまるもの
×判定:3つのうち1つでも表面凹凸が±3μmを超えるもの
焼成した部品本体に対して、各20個について外観検査を実施し、保護部に相当する外層部分の剥がれを確認し、以下の判定基準で外層剥がれを評価した。
○判定:外層剥がれなし
×判定:外層剥がれが1個以上
また、貯蔵弾性率の表記について、例えば、実施例1の「1.0E+06」は「1.0×106」を意味している。
12 部品本体
13 第1の主面
14 第2の主面
15 第1の側面
16 第2の側面
17 第1の端面
18 第2の端面
19 グリーンチップ
21 セラミック層
22,23 内部電極
24 第1の外部電極
25 第2の外部電極
31 セラミックグリーンシート
32 内部電極パターン
33 第1方向の切断線
34 第2方向の切断線
35 積層シート
35a 積層シートの第1の主面
35b 積層シートの第2の主面
36 マザーブロック
41,42 未焼成の保護層
Claims (3)
- 積層された複数のセラミックグリーンシートと、前記セラミックグリーンシート間の複数の界面に沿ってそれぞれ配置された内部電極パターンとを含み、積層方向に相対する第1の主面及び第2の主面を有する、積層シートを作製する工程と、
前記積層シートの前記第1の主面及び前記第2の主面の少なくとも一方に、樹脂組成物を配置して加熱圧着することにより、未焼成の保護層が形成されたマザーブロックを得る工程と、
前記マザーブロックを互いに直交する第1方向の切断線及び第2方向の切断線に沿って切断することによって、未焼成の状態にある複数のセラミック層と複数の内部電極とをもって構成された積層構造を有する、複数のグリーンチップを得る工程と、を備え、
前記樹脂組成物は、融点又はガラス転移温度が40℃以上、100℃未満の樹脂成分と、無機化合物粒子と、を含有し、
前記樹脂成分が、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−アクリル酸メチル共重合体、エチレン−メタクリル酸メチル共重合体、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、エチレン−アクリル酸共重合体及びエチレン−メタクリル酸共重合体からなる群から選択される少なくとも1種のエチレン系共重合体を含み、
前記樹脂組成物中の前記無機化合物粒子の含有量が、40体積%以上、70体積%以下であり、
前記樹脂組成物は、振動周波数10Hzで測定した動的粘弾性測定において、80℃における貯蔵弾性率が1.0×108Pa以下であることを特徴とする積層セラミック電子部品の製造方法。 - 前記無機化合物粒子が、Ba、Ca、Sr及びPbのうち少なくとも1種と、Ti、Zr及びHfのうち少なくとも1種とを含有するペロブスカイト型磁器組成物を含む請求項1に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
- 前記未焼成の保護層の厚さが、1μm以上、10000μm以下である請求項1又は2に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017049906A JP6696464B2 (ja) | 2017-03-15 | 2017-03-15 | 積層セラミック電子部品の製造方法 |
US15/916,727 US10825610B2 (en) | 2017-03-15 | 2018-03-09 | Method for producing multilayer ceramic electronic component |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017049906A JP6696464B2 (ja) | 2017-03-15 | 2017-03-15 | 積層セラミック電子部品の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018156967A JP2018156967A (ja) | 2018-10-04 |
JP6696464B2 true JP6696464B2 (ja) | 2020-05-20 |
Family
ID=63519558
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017049906A Active JP6696464B2 (ja) | 2017-03-15 | 2017-03-15 | 積層セラミック電子部品の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10825610B2 (ja) |
JP (1) | JP6696464B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3873873B1 (en) * | 2018-10-30 | 2023-01-04 | Byk-Chemie GmbH | Ceramic slurry composition and process for producing stacked ceramic component |
JP7182780B2 (ja) * | 2018-12-18 | 2022-12-05 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 積層セラミックチップの製造方法および積層セラミックチップ製造用の焼成前チップの製造方法 |
JP7182779B2 (ja) * | 2018-12-18 | 2022-12-05 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 積層セラミックチップの製造方法および積層セラミックチップ製造用の焼成前チップの製造方法 |
JP7306051B2 (ja) * | 2019-05-16 | 2023-07-11 | 株式会社村田製作所 | 電子部品の製造方法 |
WO2023153304A1 (ja) * | 2022-02-08 | 2023-08-17 | 三洋化成工業株式会社 | 誘電体ペースト並びに誘電体グリーンシート及びセラミックコンデンサの製造方法 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09129487A (ja) | 1995-11-06 | 1997-05-16 | Murata Mfg Co Ltd | 積層セラミック電子部品の製造方法 |
JP4667701B2 (ja) * | 2002-01-07 | 2011-04-13 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミック電子部品の製造方法 |
US6780494B2 (en) * | 2002-03-07 | 2004-08-24 | Tdk Corporation | Ceramic electronic device and method of production of same |
JP2005136046A (ja) * | 2003-10-29 | 2005-05-26 | Kyocera Corp | 積層セラミックコンデンサおよびその製法 |
JP2006128282A (ja) | 2004-10-27 | 2006-05-18 | Kyocera Corp | 積層型電子部品およびその製法 |
US7688567B2 (en) * | 2005-08-05 | 2010-03-30 | Tdk Corporation | Method of manufacturing multilayer capacitor and multilayer capacitor |
JP2007266289A (ja) * | 2006-03-28 | 2007-10-11 | Tdk Corp | 積層型セラミック電子部品およびその製造方法 |
JP4752691B2 (ja) * | 2006-09-08 | 2011-08-17 | パナソニック株式会社 | セラミックグリーンシートとそれを用いた積層セラミック電子部品及びその製造方法 |
JP5221059B2 (ja) | 2007-05-23 | 2013-06-26 | Tdk株式会社 | 電極段差吸収用印刷ペーストおよび積層セラミック電子部品の製造方法 |
CN103035406A (zh) * | 2011-10-04 | 2013-04-10 | 三星电机株式会社 | 多层电容器及其制造方法 |
JP5590054B2 (ja) * | 2012-02-07 | 2014-09-17 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミック電子部品の製造方法 |
KR101922866B1 (ko) * | 2012-07-19 | 2019-02-27 | 삼성전기 주식회사 | 적층 세라믹 전자 부품 및 그 제조 방법 |
JP2015026837A (ja) * | 2013-10-30 | 2015-02-05 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミック電子部品の製造方法及び積層セラミック電子部品 |
KR102089700B1 (ko) * | 2014-05-28 | 2020-04-14 | 삼성전기주식회사 | 적층 세라믹 커패시터, 적층 세라믹 커패시터의 제조 방법 및 적층 세라믹 커패시터의 실장 기판 |
KR101762032B1 (ko) * | 2015-11-27 | 2017-07-26 | 삼성전기주식회사 | 적층 세라믹 전자부품 및 그 제조 방법 |
KR102198537B1 (ko) * | 2015-12-15 | 2021-01-06 | 삼성전기주식회사 | 커패시터 및 그 제조방법 |
-
2017
- 2017-03-15 JP JP2017049906A patent/JP6696464B2/ja active Active
-
2018
- 2018-03-09 US US15/916,727 patent/US10825610B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018156967A (ja) | 2018-10-04 |
US20180269000A1 (en) | 2018-09-20 |
US10825610B2 (en) | 2020-11-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6696464B2 (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法 | |
JP4299833B2 (ja) | 電極段差吸収用印刷ペーストおよび電子部品の製造方法 | |
US20060035071A1 (en) | Release layer paste and method of production of multilayer type electronic device | |
JP2007214452A (ja) | 剥離層用ペースト及び積層型電子部品の製造方法 | |
JP5221059B2 (ja) | 電極段差吸収用印刷ペーストおよび積層セラミック電子部品の製造方法 | |
JP4354993B2 (ja) | 積層型電子部品の製造方法 | |
KR100887488B1 (ko) | 적층형 세라믹 전자 부품의 제조 방법 | |
JP5018154B2 (ja) | 内部電極形成ペースト、積層型セラミック型電子部品、およびその製造方法 | |
JP6935687B2 (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法 | |
JP6900800B2 (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法、及び、積層セラミック電子部品 | |
JP4735071B2 (ja) | 電子部品の製造方法および電子部品 | |
WO2005017928A1 (ja) | 積層セラミック部品およびその製造方法 | |
JP2008078242A (ja) | 電極段差吸収用印刷ペースト及び積層セラミック電子部品の製造方法 | |
JP4640028B2 (ja) | 剥離層用ペースト及び積層型電子部品の製造方法 | |
JP4858233B2 (ja) | グリーンシート積層ユニット、電子部品の製造方法、および電子部品 | |
JP4770540B2 (ja) | セラミックペースト、その製造方法、およびそのセラミックペーストを用いた積層型セラミック電子部品の製造方法 | |
JP2008153309A (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法 | |
JP2019182925A (ja) | 樹脂組成物、及び樹脂シート | |
JP2007022830A (ja) | セラミック塗料及び積層型電子部品の製造方法 | |
JP4626455B2 (ja) | 積層型電子部品の製造方法 | |
JP2007022829A (ja) | セラミック塗料及び積層型電子部品の製造方法 | |
JP2006278764A (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法 | |
JP4276589B2 (ja) | 電極段差吸収用印刷ペースト及び積層セラミック電子部品の製造方法 | |
JP4432895B2 (ja) | 導電性ペースト、積層セラミック電子部品及びその製造方法 | |
JP2007022828A (ja) | セラミック塗料及び積層型電子部品の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181009 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190726 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190820 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191002 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200324 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200406 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6696464 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |