JP6690995B2 - 回転テーブル用ウェーハ保持機構及び方法並びにウェーハ回転保持装置 - Google Patents
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Description
前記回転軸の先端に載置され且つ上面にウェーハを保持する回転テーブルと、
前記回転軸に動力を供給する駆動モータと、前記回転テーブルに取り付けられ且つ前記ウェーハの裏面に対して垂直にセンサ光が照射されるウェーハ検知デバイスと、を有し、前記回転テーブルの上面に保持されたウェーハが検知されるようにした、回転テーブル用ウェーハ保持機構である。
図示例では、回転軸14はSUS(ステンレス鋼)製、回転テーブル16は工業用プラスチックなどの合成樹脂製である。
Claims (5)
- ウェーハ回転保持装置の回転テーブル用ウェーハ保持機構であって、
回転軸と、
前記回転軸の先端に載置され且つ上面にウェーハを保持する回転テーブルと、
前記回転軸に動力を供給する駆動モータと、
前記回転テーブルに取り付けられ且つ前記ウェーハの裏面に対して垂直にセンサ光が照射されるウェーハ検知デバイスと、
前記回転テーブルに立設された複数の外周固定ピンと、前記外周固定ピンに対応して前記回転テーブルに立設された少なくとも一つの外周可動ピンと、を含むウェーハの外周をガイドする外周ガイドピンと、を有し、
少なくとも一つの前記外周ガイドピンの周辺に位置するウェーハの裏面に対してセンサ光が照射されてなり、前記回転テーブルの上面に保持されたウェーハが検知されるようにした、回転テーブル用ウェーハ保持機構であり、
前記ウェーハ検知デバイスが、それぞれの前記外周ガイドピンに対応して設けられた検知センサ、検出器及び送信機とから構成され、
電磁誘導により、前記検出器に電力が供給される為の電力供給機構をさらに有し、
前記電力供給機構が、前記回転軸の周囲に巻回された固定側1次コイルと、前記固定側1次コイルに接続された電力供給源と、前記固定側1次コイルに対応して所定距離離間して設けられ、且つ前記回転テーブルに取り付けられた回転テーブル側2次コイルと、を含む、回転テーブル用ウェーハ保持機構。 - それぞれの前記外周ガイドピンの周辺に位置するウェーハの裏面に対してセンサ光が照射されてなる、請求項1記載の回転テーブル用ウェーハ保持機構。
- 請求項1又は2記載の回転テーブル用ウェーハ保持機構を用いて、前記ウェーハを保持してなる、回転テーブル用ウェーハ保持方法。
- 請求項1又は2記載の回転テーブル用ウェーハ保持機構を備えてなる、ウェーハ回転保持装置。
- 前記ウェーハ回転保持装置が、スピン処理機構を備える、請求項4記載のウェーハ回転保持装置。
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