KR20060023740A

KR20060023740A - 웨이퍼 얼라이너

Info

Publication number: KR20060023740A
Application number: KR1020040072575A
Authority: KR
Inventors: 장원규
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2004-09-10
Filing date: 2004-09-10
Publication date: 2006-03-15

Abstract

웨이퍼 얼라이너를 개시한다. 상기 얼라이너는 웨이퍼가 놓이는 웨이퍼 수용부; 웨이퍼를 회전시키는 회전 수단; 웨이퍼의 플랫존을 얼라인하는 얼라인부; 및 웨이퍼 가장자리의 상태를 감지하는 센서를 구비한다. 이로써, 웨이퍼 가장자리를 검사하는 센서를 구비하여, 웨이퍼 가장자리에 깨진 부분이 있는지를 감지할 수 있다.

얼라이너

Description

웨이퍼 얼라이너{Wafer aligner}

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 얼라이너를 개략적으로 나타낸다.

1: 얼라인부 10a: 발광부

10b: 수광부 11: 감광 센서

21: 웨이퍼 수용부 22: 회전수단

100: 얼라이너

본 발명은 반도체 제조 장치에 관한 것으로 더욱 상세하게는 웨이퍼 얼라이너에 관한 것이다.

웨이퍼의 가장자리(edge)는 때때로 반도체 제조 과정 중에서 깨지는(broken) 등 손상된다. 이렇게 웨이퍼 가장자리가 깨지면, 공정을 중단하고 웨이퍼를 폐기하든지 등의 조치를 취하게 된다. 만약 웨이퍼의 가장자리가 깨진 것을 알지 못하고 계속적으로 진행할 경우, 폐기해야할 웨이퍼에 공정을 진행하므로 공정 비용이 증가하며, 공정 불량등이 발생할 수 있다. 웨이퍼의 가장자리가 깨졌는지는 현시점에 서는 작업자가 직접 눈으로 확인한다. 따라서, 작업자의 작업량이 증가하며, 많은 시간이 소요된다. 이를 해결하기 위하여, 웨이퍼의 가장자리가 깨졌는지 검사하는 장치가 필요하다. 상기 장치에서 상기 웨이퍼의 가장자리를 검사하기 위해서는 웨이퍼를 회전시키는 기능이 필요하다. 반도체 제조 장치들 중에서, 상기 웨이퍼를 회전시키는 장치로는 웨이퍼 얼라이너가 있다. 상기 웨이퍼 얼라이너는 웨이퍼를 회전시키면서 웨이퍼의 플랫존과 같은 기준 위치를 찾아내어 웨이퍼를 정렬하는 장치이다.

따라서, 본 발명의 기술적 과제는 웨이퍼의 가장자리가 깨졌는지 등을 검사할 수 있는 웨이퍼 얼라이너(aligner)를 제공하는데 있다.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 웨이퍼 얼라이너는 웨이퍼가 놓이는 웨이퍼 수용부; 웨이퍼를 회전시키는 회전 수단; 웨이퍼의 플랫존을 얼라인하는 얼라인부; 및 웨이퍼 가장자리의 상태를 감지하는 센서를 구비한다. 상기 센서는 바람직하게는 상기 얼라인부에 위치하며, 감광 센서이며, 발광부와 수광부를 구비한다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다.

도 1을 참조하면, 본 실시예에 의한 웨이퍼 얼라이너(100)는 웨이퍼(W)가 놓이는 웨이퍼 수용부(21)와 상기 웨이퍼(W)를 회전시키기 위하여 상기 웨이퍼 수용부(21)를 회전시키는 회전수단(22)을 구비한다. 상기 웨이퍼 얼라이너(100)는 상기 웨이퍼(W)의 일측에 위치하며 웨이퍼 가장자리가 들어가는 얼라인부(align part, 1)를 구비한다. 상기 얼라인부(1)는 상기 웨이퍼(W)의 플랫존과 같은 기준 위치를 정렬하는 얼라인 수단(미도시)을 구비한다. 상기 얼라인부(1) 안에는 웨이퍼(W)의 가장자리에 깨진 부분(B)이 있는지를 감지하는 센서(11)가 위치한다. 상기 센서(11)는 바람직하게는 발광부(10a)와 수광부(10b)를 구비하는 감광 센서이다. 상기 발광부(10a)는 예를 들면 상기 웨이퍼의 가장자리 윗쪽에 위치하며 빛을 발생하고, 상기 수광부(10b)는 예를 들면 상기 웨이퍼의 가장자리 아래쪽에 위치하며 상기 발광부(10a)로 부터 발생된 빛을 받는 역할을 한다.

상기 웨이퍼 얼라이너(100)에서 상기 웨이퍼(W)의 가장자리에 깨진 부분이 있는지를 감지하는 방법은 다음과 같다. 상기 웨이퍼 수용부(21)에 놓인 웨이퍼(W)가 회전수단(22)에 의해 회전된다. 동시에 상기 발광부(10a)로부터 상기 웨이퍼(W)가장자리로 빛이 발생된다. 만약 상기 웨이퍼(W)의 가장자리에서 도 1과 같이 깨진 부분(B)이 존재할 경우, 상기 발광부(10a)로부터 발생된 빛은 상기 깨진 부분(B) 사이로 통과하여 상기 수광부(10b)에서 이 빛을 감지할 수 있게된다. 이렇게 상기 웨이퍼(W)의 가장자리에 깨진 부분(B)의 존재를 감지하면, 상기 센서에 연결된 제어기(미도시)는 알람을 나타내고 작업자는 이러한 알람을 통해 공정을 중단하고, 상기 웨이퍼(W)를 폐기하는 등의 조치를 취할 수 있게 된다.

따라서, 본 발명에 의한 웨이퍼 얼라이너는 웨이퍼 가장자리를 검사하는 센서를 구비하여, 웨이퍼 가장자리에 깨진 부분이 있는지를 감지할 수 있다.

Claims

웨이퍼가 놓이는 웨이퍼 수용부;

웨이퍼를 회전시키는 회전 수단;

웨이퍼의 플랫존을 얼라인하는 얼라인부; 및

웨이퍼 가장자리의 상태를 감지하는 센서를 구비하는 웨이퍼 얼라이너.
제 1 항에 있어서,

상기 센서는 상기 얼라인부에 위치하며, 감광 센서이며, 발광부와 수광부를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 얼라이너.