JP6688831B2 - 搬送加熱装置 - Google Patents

Description

本発明は、炉内の酸素濃度の安定化を目的とした搬送加熱装置に関する。

電子部品又はプリント配線基板に対して、予めはんだ組成物を供給しておき、リフロー炉の中に基板を搬送コンベヤで搬送するリフロー装置が使用されている。リフロー装置の加熱ゾーンでは、熱風が基板に対して吹きつけられることによって、はんだ組成物内のはんだを溶融させて基板の電極と電子部品とがはんだ付けされる。リフロー装置においては、はんだ付けの対象物表面の酸化を防止してはんだ付けを良好に行うために、リフロー炉内が低酸素濃度の不活性ガス雰囲気であることが望まれる。

例えば、下記の特許文献１には、リフロー半田付け用加熱炉において、基板搬入部又は基板搬出部の少なくとも一方と加熱室との間に、加熱室内で加熱された不活性ガスの一部を基板搬入部又は基板搬出部内にバイパスさせて加熱室内に還流させるバイパス通路を設けるようにしたリフロー半田付け用加熱炉が記載されている。

また、下記の特許文献２には、配線基板が搬入される入口と、配線基板が搬出される出口とが形成されたチャンバ内の雰囲気ガス中に滞留するフラックスヒュームを除去する捕集装置を備えたはんだ付け装置において、フラックスヒューム除去後のガス体を噴出して、少なくともチャンバの出口側を封止するガスカーテンを形成するノズルを備えるとともに、捕集装置は雰囲気を冷却するための冷却部を有するはんだ付け装置が記載されている。かかる特許文献２は、チャンバの入口や出口等にガスカーテンを形成して雰囲気の封止性を向上させるようにしたものである。

特開２００２−２６５０７号公報 特許第３１３１０９０号公報

特許文献１又は特許文献２に記載のはんだ付け装置においては、加熱炉の入口又は出口付近において、不活性ガスを噴出することによって、加熱炉内部に外気が入り込むことを防止するようにしている。リフロー装置では、プリント回路基板等の被加熱物（以下、ワークという）が搬送コンベヤ上に置かれて一定の間隔で搬送される。加熱炉の入口又は出口付近の不活性ガスの流路がワークによって遮られることによって、不活性ガスが本来の流路を通らなくなり、外気が進入して加熱炉内部の酸素濃度が上昇する問題があった。

したがって、本発明の目的は、ワークによる不活性ガスの流路が遮られることによる酸素濃度の上昇を防止することができる搬送加熱装置を提供することにある。

本発明は、ワークを搬入するワーク搬入口部及びワークを搬出するワーク搬出口部を有し、ワーク搬送手段によりワーク搬入口部より搬入されたワークを加熱してワーク搬出口部より搬出する炉体と、
ワーク搬送手段の搬送方向に対し交差する方向で且つワーク搬送手段を挟んで上下両側に形成されたバッファ室と、
ワーク搬送手段の搬送方向に複数の室を持つように、バッファ室を仕切る仕切手段と、
複数の室のワーク搬送手段を挟んで対向する両側に設けられ、炉体内の冷却時液化物質を含む雰囲気を吸引する複数の吸引口と、
複数の室のワーク搬送手段を挟んで対向する両側に設けられ、冷却時液化物質が低減された雰囲気を吹き出す複数の吹込口と
を備える搬送加熱装置である。

少なくとも一つの実施形態によれば、ワーク搬送手段を挟んで上下両側に吸引口及び吹込口をそれぞれ設けているので、ワークが搬入された時でも炉内の酸素濃度が乱れたり、上昇したりすることを防止することができる。なお、ここに記載された効果は必ずしも限定されるものではなく、本明細書中に記載されたいずれの効果であってもよい。また、以下の説明における例示された効果により本発明の内容が限定して解釈されるものではない。

図１は本発明を適用できる従来のリフロー装置の概略の断面図である。 図２は従来のリフロー装置の問題点を説明するためての断面図である。 図３は本発明の一実施形態の主要部の断面図である。 図４は本発明の一実施形態の作用効果を説明するための断面図である。 図５は本発明の作用効果を示すグラフである。 図６は本発明の複数の変形例を示す断面図である。 図７は本発明のさらなる複数の変形例を示す断面図である。

以下、本発明を実施の形態について説明する。なお、説明は、以下の順序で行う。
＜１．リフロー装置の一例＞
＜２．従来のリフロー装置の問題点＞
＜３．一実施の形態＞
＜４．変形例＞
なお、以下に説明する一実施の形態は、本発明の好適な具体例であり、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において、特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの実施の形態に限定されないものとする。

＜１．リフロー装置の一例＞
図１は、本発明を適用できる従来のリフロー装置の概略的構成を示す。図１において、１は炉体であり、この炉体１を貫通して、部品実装基板などのワークＷを搬送するワーク搬送手段としての搬送コンベア２が配設されている。搬送コンベア２は、例えば搬送経路の両側に配置された一対のローラチェーンである。炉体１は、内部に窒素ガスなどの不活性ガスの加圧供給を受ける。なお、炉体１は、下側にも加熱用ヒータ及びファンを有する構成も可能である。

炉体１の一端部には、ワークＷを搬入するワーク搬入口部としての入口スロート３が設けられ、また、炉体１の他端部には、ワーク搬出するワーク搬出口部としての中間スロート４が設けられている。炉体１の中間スロート４には、ワークＷを冷却するワーク冷却部５が接続される。ワーク冷却部５の出口側には、出口スロート６が設けられている。

これらの入口スロート３、中間スロート４及び出口スロート６は、炉体１内の雰囲気又はワーク冷却部５内の雰囲気が、他領域に流出することを防止できるように、ワークＷを搬送できるように狭いものとされている。例えば、入口スロート３は、ワーク搬入側に最小限の開口を有する端板３ａが設けられているとともに、反対側にも最小限の開口を有する端板３ｂが設けられている。

炉体１の内部には、入口スロート３の内端側に、隔壁１１により入口側のバッファ室１２が形成され、このバッファ室１２のワーク進行側に、ワークＷを予加熱するプリヒートゾーン１３が形成され、このプリヒートゾーン１３のワーク進行側に１対の隔壁１４、１５により中間のバッファ室１６が形成され、このバッファ室１６のワーク進行側に、ワークＷをリフロー加熱するリフローゾーン１７が形成されている。

プリヒートゾーン１３は、例えば（１５０°Ｃ〜１７０°Ｃ）までワークＷを加熱する区間である。プリヒートゾーン１３においては、等温加熱がなされ、フラックスが活性化され、電極、はんだ粉の表面の酸化膜が除去され、また、ワークＷの加熱ムラが解消される。リフローゾーン１７は、（例えばピーク温度で２２０°Ｃ〜２４０°Ｃ）の加熱を行う区間であって、このリフローゾーン１７において、はんだが溶融し、接合が完成する。リフローゾーン１７では、はんだの溶融温度を超える温度まで昇温が必要とされる。リフローゾーン１７は、プリヒートゾーン１３を経過していても、温度上昇のムラが存在することを考慮して、はんだの溶融温度を超える温度までの加熱が必要とされる。冷却ゾーン２４は、急速にワークＷを冷却し、はんだ組成を形成する区間である。

ワーク冷却部５の内部には、中間スロート４側に、隔壁１８によりバッファ室１９が形成されている。このバッファ室１９の隔壁１８は、ワーク進行側に開放された開口部２０を有する。これらのバッファ室１２，１６，１９は、ワークＷの搬送方向すなわち搬送コンベア２に対し直角に交差する方向に拡大形成されている。

プリヒートゾーン１３及びリフローゾーン１７には、ヒータ２１及びファン２２などで構成された熱風による加熱装置がそれぞれ配設され、また、ワーク冷却部５には、冷却ファン２３が配設された冷却ゾーン２４が設けられている。

また、炉体１のワーク搬入側には、入口スロート３から炉体１の外部へ流出しようとする炉体１内の雰囲気を吸引して、この雰囲気中に混入されているガス化された冷却時液化物質としてのフラックスを回収するフラックス回収装置２５が設けられている。フラックスは、ワークＷに塗布されたソルダペーストが炉体１内のヒータ２１による加熱で溶融されたときに、一部がガス化して、炉体１内の不活性雰囲気中に含有される。

ワーク搬入側と同様に、炉体１のワーク搬出側には、中間スロート４からワーク冷却部５の冷却ゾーン２４へ流出しようとする炉体１内のガス化されたフラックスを含有する雰囲気を吸引して、フラックスを回収するフラックス回収装置２６が設けられている。

これらのフラックス回収装置２５及び２６は、破線で囲んで示すように、炉体１の入口スロート３及び中間スロート４に対し交差する方向に、バッファ室１２及び１９がそれぞれ拡大形成され、これらのバッファ室１２及び１９の一部に、炉体１内のガス化されたフラックスを含有する雰囲気を外部へ吸引する吸引口２７及び２８がそれぞれ開口され、これらの吸引口２７及び２８に、管路３１及び３２を介してガス化されたフラックスを含有する雰囲気中からフラックス成分を分離して除去する除去ユニット３３及び３４がそれぞれ接続され、また、これらの除去ユニット３２及び３４によりフラックス成分を除去された雰囲気を管路３５及び３６を経てバッファ室１２及び１９に吹込口３７及び３８が、これらのバッファ室１２及び１９の一部に、特に吸引口２７及び２８と対向する位置にそれぞれ開口されている。

フラックス回収装置２５及び２６の除去ユニット３３及び３４は、箱形のユニット本体４１に、吸引口２７及び２８に連通された吸込口４２と、吹込口３７及び３８に連通された吐出口４３とを有し、このユニット本体４１内に、冷却水管及びフィンなどで構成されたラジエータなどの冷却装置４４をそれぞれ有する。

これらの冷却装置４４は、炉体１内の高熱でガス化されたフラックスを含有する雰囲気を冷却することで、この雰囲気中のフラックスをユニット本体４１の内壁面又は冷却装置４４の表面で液化させたり、又はミスト化させてこれらを素通りさせる働きがある。

冷却装置４４の下側には、液化されたフラックスを収容するフラックス回収容器４５がそれぞれ配置されている。これらのフラックス回収容器４５は、ユニット本体４１内から取出し可能に設けられている。

さらに、冷却ユニット３３及び３４のユニット本体４１内には、冷却装置４４の下流側に、ミスト化されたフラックスを捕捉除去するための比較的目の粗い第１フィルタ４６がそれぞれ配置され、さらに、これらの第１フィルタ４６の下流側に、微粒子状のフラックスを捕捉除去するための比較的目の細かい第２フィルタ４７がそれぞれ配置され、さらに、これらの第２フィルタ４７の下流側に設けられた室４８には、ファン４９及び温度計５０がそれぞれ配置されている。

ファン４９は、バッファ室１２及び１９から雰囲気を吸引するとともに冷却装置４４、第１フィルタ４６及び第２フィルタ４７によりフラックス成分を除去された雰囲気をバッファ室１２及び１９に吹込むためのものである。

また、炉体１の中間部のバッファ室１６には、除去ユニット３３及び３４内で冷却固化されたフラックスを溶解除去するための炉体内高温雰囲気を取出すための取出口５１と、このフラックス溶解用の雰囲気を炉体１内に戻すための戻し口５２がそれぞれ設けられている。

次に、この図１に示されたリフロー装置の動作を説明する。
ワークＷは、搬送コンベア２により入口スロート３及びバッファ室１２を経てプリヒートゾーン１３に搬入され、このプリヒートゾーン１３でワークＷが予加熱され、さらに、バッファ室１６を経てリフローゾーン１７に搬送され、このリフローゾーン１７の高温加熱によりワークＷの基板と搭載部品との間のソルダペーストが溶融される。さらに、ワークＷは、中間スロート４を経て炉体１内から搬出されるとともにワーク冷却部５のバッファ室１９を経て冷却ゾーン２４に搬入され、この冷却ゾーン２４内での強制冷却により、はんだ付け部の強度が確保される。

入口スロート３及び中間スロート４の近傍に設けられたバッファ室１２及び１９に対するフラックス回収装置２５及び２６は、除去ユニット３３及び３４のファン４９の吸込力により、炉体１内の高熱によりガス化されたフラックスを含有する雰囲気を強制的に吸引して回収する。

すなわち、炉体内雰囲気が、入口スロート３から大気中へ流出する場合、又は中間スロート４からワーク冷却部５の冷却ゾーン２４内へ流出する場合は、低温の入口スロート３内又は冷却ゾーン２４内でフラックスが冷却されて液化しやすいので、液化する前のガス化されたままのフラックスを、バッファ室１２及び１９から除去ユニット３３及び３４へ強制的に吸引して回収する。

その際に、除去ユニット３３及び３４は、冷却装置４４により、炉体１内の高熱でガス化されたフラックスを含有する雰囲気を冷却することで、この雰囲気中のフラックスをユニット本体４１の内壁面又は冷却装置４４の表面で液化させたり、又はミスト化させてこれらを素通りさせる。液化されたフラックスは、フラックス回収容器４５で回収され、ミスト化されたフラックスは、第１フィルタ４６で捕捉除去され、第１フィルタ４６を素通りした微粒子状のフラックスは、より目の細かい第２フィルタ４７で捕捉除去される。このようにして、冷却作用及びフィルタリング作用によりフラックス成分が除去された雰囲気は、ファン４９の送風作用によりバッファ室１２及び１９に循環される。

このとき、吹込口３７及び３８からバッファ室１２及び１９内に吹込まれた雰囲気は、バッファ室１２及び１９内で拡大されて低速で吸引口２７及び２８まで移動するので、バッファ室１２及び１９内での局部的な高速気流による乱流の発生を防止して、乱流が炉体１内の加熱能力に悪影響を与えることを防止できる。すなわち、炉体１内の加熱能力の安定化を図ることができる。

また、炉体１内は、加圧供給された窒素ガスなどの不活性ガスにより、大気よりもやや高圧の状態にあるので、入口スロート３及び中間スロート４から炉体１内に低温雰囲気が流入するおそれを防止でき、これによっても、炉体１内の加熱能力の安定化を図ることができる。

さらに、バッファ室１２及び１９、吸引口２７及び２８、管路３１及び３２、除去ユニット３３及び３４、管路３５及び３６、並びに吹込口３７及び３８によって閉ループの循環系が形成される。この循環系を通じて炉体１内の高熱によりガス化されたフラックスを含有する雰囲気を外部へ吸引して、除去ユニット３３及び３４によりフラックス成分を分離除去した後、雰囲気を炉体１内に戻すので、炉体１の外部へのガス化されたフラックスの拡散を確実に防止できる。

このように、フラックス回収装置２５及び２６により、炉体１内でガス化されたフラックスが液化しやすい入口スロート３及び冷却ゾーン２４より前段階で、液化する前のガス化されたフラックスを含有する雰囲気を外部へ強制的に吸引してフラックスを回収することができる。したがって、リフロー運転中でも、炉体１内でガス化されたフラックスを効率良く吸引して回収できるとともに、入口スロート３及び冷却ゾーン４での液化又は固化されたフラックスの付着を防止でき、付着フラックスの滴下などによるワークＷの品質低下を防止できる。

また、バッファ室１２、１６、１９により、炉体１内のプリヒートゾーン１３とリフローゾーン１７とワーク冷却部５の冷却ゾーン２４を明確に形成でき、各ゾーンにおける雰囲気温度を容易に保つことができる。

特に、炉体１のリフローゾーン１７とワーク冷却部５の冷却ゾーン２４との間に、中間スロート４及びバッファ室１９を介在させることで、このバッファ室１９などによりリフローゾーン１７と冷却ゾーン２４との間の熱移動を遮断することができる。したがって、炉体１内の加熱された高温雰囲気と冷却ゾーン２４内の冷却された低温雰囲気が、相互に影響し合うおそれを防止でき、炉体１内での加熱効率及び冷却ゾーン２４内での冷却効率を向上できる。

＜２．従来のリフロー装置の問題点＞
上述した従来のリフロー装置の問題点について図２を参照して説明する。図２は、ワークＷの搬入口側に設けられている一部の構成（図１において一点鎖線で囲んで示す）の部分を示している。但し、以下に説明する問題点は、ワークＷの搬出側のフラックス回収装置２６についても同様である。

図２Ａは、入口スロート３からワークＷが搬入されていない状態を示している。この状態では、上述したように、入口スロート３の近傍に設けられたバッファ室１２に対するフラックス回収装置２５は、除去ユニット３３のファン４９の吸込力により、炉体１内の高熱によりガス化されたフラックスを含有する雰囲気を吸引口２７から強制的に吸引して回収する。さらに、除去ユニット３３によりフラックス成分が分離除去された後、雰囲気が吹込口３７から炉体１内に戻される。ワークＷが存在しない場合は、一方向の流れにより炉外の雰囲気を取り込むことがなく、酸素濃度を安定とできる。

図２Ｂは、ワークＷが搬入される状態を示している。ワークＷは、所定の間隔で連続的にリフロー装置に対して搬入される。ワークＷが存在すると、循環経路がワークＷによって遮られる。その結果、吸引する場所がなくなるために、他の空間から吸引しようとして入口側からの流れが発生し、矢印で示すように、炉体１内のみならず、炉体１の外の雰囲気を吸入口２７から吸引する。また、吹込口３７から吹き込んだ雰囲気を炉体１の外へ放出してしまう。また、ワークＷの搬入に伴い、炉体１の外の高酸素濃度雰囲気をフラックス回収装置２５内に取り込んでしまうことにより、吹込口３７から炉体１内へ高酸素濃度の雰囲気が入り込むことから、ワークＷの搬送間隔によっては、ワークＷの通過に伴い、炉体１内の酸素濃度が不安定になる可能性があった。

＜３．一実施の形態＞
本発明の一実施形態について図３を参照して説明する。一実施形態は、図１を参照して説明したリフロー装置に対して本発明を適用したものである。図３は、ワークＷの搬入口側に設けられている一部の構成（図１において一点鎖線で囲んで示す）の部分に適用した構成を示している。なお、ワークＷの搬出側のフラックス回収装置２６についても本発明を同様に適用することができる。但し、入口側及び出口側の両方に対して本発明を適用することは必須でなく、一方に対して本発明を適用してもよい。

一実施形態は、上述したリフロー装置と同様に、ワークＷを搬入するワーク搬入口部及びワークＷを搬出するワーク搬出口部を有し、ワーク搬送手段としての搬送コンベア２によりワーク搬入口部より搬入されたワークＷを大気よりも高圧の状態にある雰囲気中で加熱してワーク搬出口部より搬出する炉体１を備える。この炉体１のワーク搬入口部及びワーク搬出口部から炉体１外へ流出しようとする炉体１内の雰囲気を吸引して雰囲気中に混入されているガス化された冷却時液化物質を回収するフラックス回収装置を備える。フラックス回収装置は、炉体１のワーク搬入口部及びワーク搬出口部に対し交差する方向にかつ搬送コンベア２を介して上下両側に拡大形成されたバッファ室１２，１９と、バッファ室１２，１９の一部に開口され炉体内の雰囲気を外部へ吸引する吸引口と、外部へ吸引された雰囲気中から冷却時液化物質を分離して除去する除去ユニット３３，３４と、搬送コンベア２を介して吸引口と上下に対向させてバッファ室１２，１９の一部に開口され除去ユニット３３，３４により冷却時液化物質を除去された雰囲気をバッファ室に吹込む吹込口とを備える。

図３に示すように、隔壁１１により形成された入口側のバッファ室１２が仕切板６１によって、搬送コンベア２の搬送方向に複数の室を持つように、仕切られる。例えば外側バッファ室１２ａと内側バッファ室１２ｂに分割される。仕切板６１には、隔壁１１と同様に、ワークＷを搬送できる程度の開口が形成されている。入口スロート３に対して外側バッファ室１２ａ、仕切板６１、内側バッファ室１２ｂ及びプリヒートゾーン１３がこの順序で位置されている。

搬送コンベア２を挟んで下側に位置する外側バッファ室１２ａに吹込口３７ａが設けられ、搬送コンベア２を挟んで上側に位置する外側バッファ室１２ａに吹込口３７ｂが設けられる。吹込口３７ａ及び３７ｂは、配管６２及び６３と接続され、配管６２及び６３を通じて除去ユニット（図示を省略）からフラックスの除去後の雰囲気（ガス）が外側バッファ室１２ａに吹き込まれる。

搬送コンベア２を挟んで下側に位置する内側バッファ室１２ｂに吸引口２７ａが設けられ、搬送コンベア２を挟んで上側に位置する内側バッファ室１２ｂに吸引口２７ｂが設けられる。吸引口２７ａ及び２７ｂは、配管６４及び６５と接続され、配管６４及び６５を通じて除去ユニット（図示を省略）がガス化されたフラックスを含有する雰囲気（ガス）を吸引する。なお、図３及び他の図面において、吹き込まれる雰囲気の流れを実線の矢印で表し、吸引される雰囲気の流れを破線矢印で表す。また、外側バッファ室１２ａに対して吹込口３７ａを設け、内側バッファ室１２ｂに対して吸引口２７ａを設ける場合、各バッファ室の上下の面に限らず、他の面にこれらの吹込口３７ａ及び吸引口２７ａを設けるようにしてもよい。

上述した本発明の一実施形態におけるワークＷの影響について図４を参照して説明する。図４Ａは、入口スロート３からワークＷが搬入されていない状態を示している。この状態では、上述したように、入口スロート３の近傍に設けられた外側バッファ室１２ａ及び内側バッファ室１２ｂに対するフラックス回収装置は、除去ユニット３３のファン４９の吸込力により、炉体１内の高熱によりガス化されたフラックスを含有する雰囲気を吸引口２７ａ及び２７ｂのそれぞれから強制的に吸引して回収する。さらに、除去ユニット３３によりフラックス成分が分離除去された後、雰囲気が吹込口３７ａ及び３７ｂから炉体１内に戻される。

図４Ｂは、ワークＷが搬入される状態を示している。ワークＷは、所定の間隔で連続的にリフロー装置に対して搬入される。ワークＷが存在すると、ワークＷによってバッファ室１２ａ及び１２ｂが上下に分断される。この状態において、本発明の一実施形態では、ワークＷの下側の空間から吸引口２７ａによって雰囲気を吸引し、ワークＷの上側の空間から吸引口２７ｂによって雰囲気を吸引するので、入口側からの流れの発生を従来のリフロー装置と比較して抑えることができる。したがって、炉体１内の酸素濃度を安定なものとすることができる。

図５は、炉体１の例えばプリヒートゾーンの最初のゾーンで酸素濃度を測定した結果を示すグラフである。横軸が経過時間であり、縦軸が酸素濃度である。例えば３４秒間隔でリフロー装置に対して１０枚のワークＷが投入される。図５において、従来技術のグラフは、ワークＷが投入され、外側バッファ室１２ａ及び内側バッファ室１２ｂを通過する際、バッファ室に入ってきた直後に酸素濃度が上昇し、通過した後に酸素濃度が若干下がることを表している。次のワークＷが来ると、酸素濃度が上昇する。この繰り返しによって酸素濃度が不安定で、且つ上昇したものとなる問題がある。

これに対して、本発明の一実施形態は、図５に示すように、外側バッファ室１２ａ及び内側バッファ室１２ｂをワークＷが通過する前後で、酸素濃度が不安定となることがなく、炉体１内の酸素濃度を安定且つ低い値とすることができる。

＜４．変形例＞
図６Ａは、上述したように、外側バッファ室１２ａに対して吹込口３７ａ及び３７ｂを設け、内側バッファ室１２ｂに対して吸引口２７ａ及び２７ｂを設ける構成を示す。これに対して、図６Ｂに示すように、外側バッファ室１２ａに対して吸引口２７ａ及び２７ｂを設け、内側バッファ室１２ｂに対して吹込口３７ａ及び３７ｂを設けるようにしてもよい。また、図６Ｃに示すように、外側バッファ室１２ａの搬送コンベア２の下側に吹込口３７ａを設け、その上側に吸引口２７ｂを設け、内側バッファ室１２ｂの搬送コンベアの下側に吸引口２７ａを設け、その上側に吹込口３７ｂを設けるようにしてもよい。

図７は、本発明のさらなる変形例を示す。図７Ａは、バッファ室１２を２枚の仕切板６１ａ及び６１ｂによって３個の空間、すなわち、外側バッファ室１２ａ、中間バッファ室１２ｃ及び内側バッファ室１２ｂに分割するものである。外側バッファ室１２ａの下側に吹込口３７ａを設け、その上側に吹込口３７ｂを設け、中間バッファ室１２ｃの下側に吸引口２７ａを設け、その上側に吸引口２７ｂを設け、内側バッファ室１２ｂの下側に吹込口３７ｃを設け、その上側に吹込口３７ｄを設ける。吸引される雰囲気の量と吹き出される雰囲気の量のバランスをとるために、中間バッファ室１２ｃの流路の断面積が外側バッファ室１２ａの断面積及び内側バッファ室１２ｂのそれぞれの断面積の約２倍とされている。

図７Ｂ及び図７Ｃに示すように、搬送コンベア２を挟んで対向する端部に傾斜を有するようにした仕切板を使用してもよい。図７Ｂに示す例は、外側バッファ室１２ａに吹込口３７ａ及び３７ｂを設け、内側バッファ室１２ｂに吸引口２７ａ及び２７ｂを設ける構成において、仕切板６１の搬送コンベア２を挟んで対向する端部に傾斜部６６ａ及び６６ｂを設けるようにしたものである。端部６６ａ及び６６ｂは、吹き出された雰囲気を搬入口側に向けて反射する方向の傾斜を持つようにされている。その結果、炉体１内部に進入しようとする外気を押し出す流れを形成でき、酸素濃度の低下を防止することができる。

図７Ｃに示す例は、外側バッファ室１２ａに吸引口２７ａ及び２７ｂを設け、内側バッファ室１２ｂに吹込口３７ａ及び３７ｂを設ける構成において、仕切板６１の搬送コンベア２を挟んで対向する端部に傾斜部６７ａ及び６７ｂを設けるようにしたものである。端部６７ａ及び６７ｂは、吹き出された雰囲気を炉体１の内部に向けて反射する方向の傾斜を持つようにされている。その結果、吹き出された雰囲気の炉体１の内部に吹き出す流れの量を増加させることができ、酸素濃度の低下を防止することができる。

以上、本発明の実施の形態について具体的に説明したが、上述の各実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。例えば本発明は、リフロー装置等のはんだ付け装置に限らず、プリント配線基板上に表面実装部品を熱硬化型の接着剤によって接着するための実装装置、プリント配線基板上に形成されたソルダーレジストを硬化させる装置などにも適用することができる。すなわち、本発明は、加熱処理を行うことによって気化した物質が大気又は不活性ガスに対して混合された気体の浄化に対して適用できる。また、上述の実施の形態において挙げた構成、方法、工程、形状、材料及び数値などはあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれと異なる構成、方法、工程、形状、材料及び数値などを用いてもよい。また、上述の実施の形態の構成、方法、工程、形状、材料及び数値などは、本発明の主旨を逸脱しない限り、互いに組み合わせることが可能である。

１・・・ 炉体、２・・・搬送コンベア、３・・・入口スロート、４・・・中間スロート
、１２，１２ａ，１２ｂ、１２ｃ、１９・・・バッファ室、２４・・・冷却ゾーン、
２５，２６・・・フラックス回収装置、２７，２７ａ，２７ｂ，２８・・・吸引口、
３３，３４・・・除去ユニット、３７，３７ａ，３７ｂ，３７ｃ，３７ｄ，３８・・・吹込口

Claims (4)

1. ワークを搬入するワーク搬入口部及びワークを搬出するワーク搬出口部を有し、ワーク搬送手段により前記ワーク搬入口部より搬入されたワークを加熱して前記ワーク搬出口部より搬出する炉体と、
   前記ワーク搬送手段の搬送方向に対し交差する方向で且つ前記ワーク搬送手段を挟んで上下両側に形成されたバッファ室と、
   前記ワーク搬送手段の搬送方向に複数の室を持つように、前記バッファ室を仕切る仕切手段と、
   前記複数の室の前記ワーク搬送手段を挟んで対向する両側に設けられ、前記炉体内の冷却時液化物質を含む雰囲気を吸引する複数の吸引口と、
   前記複数の室の前記ワーク搬送手段を挟んで対向する両側に設けられ、前記冷却時液化物質が低減された雰囲気を吹き出す複数の吹込口と
   を備える搬送加熱装置。
2. 前記複数の室の一部の前記ワーク搬送手段を挟んで対向する両側に前記複数の吸引口が設けられ、
   前記複数の室の他の部分の前記ワーク搬送手段を挟んで対向する両側に前記複数の吹込口が設けられた請求項１に記載の搬送加熱装置。
3. 前記複数の室の前記ワーク搬送手段を挟んで対向する両側に、前記複数の吸引口の一部と前記複数の吹込口の一部が設けられ、
   前記複数の室の前記ワーク搬送手段を挟んで対向する両側に、前記複数の吸引口の他の部分と前記複数の吹込口の他の部分が設けられた請求項１に記載の搬送加熱装置。
4. 前記複数の吸引口から吸引された雰囲気が雰囲気中から前記冷却時液化物質を分離して除去する除去ユニットに供給され、
   前記除去ユニットによって前記冷却時液化物質が低減された雰囲気が前記複数の吹込口から前記炉体内に供給される請求項１から請求項３までの何れかに記載の搬送加熱装置。

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