JP2006202985A - リフローハンダ付け装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 ハンダをリフローさせて電子部品を印刷配線基板にハンダ付けする装置において、リフローに伴い発生するハンダに含まれるフラックスの蒸発成分を触媒体によって効果的、かつ大量に分解処理することができるリフローハンダ付け装置。
【解決手段】
雰囲気ガス循環経路が途中で複数に分割された後に合流する構造を有し、複数に分割された雰囲気ガス循環経路の中の少なくとも一つの雰囲気ガス循環経路には、ヒータと、ヒータの周辺に配置される触媒体とが配備され、ヒータと触媒体とが配備されている雰囲気ガス循環経路においてヒータ及び触媒体を通過してきた雰囲気ガスと、他の雰囲気ガス循環経路を流動してきた雰囲気ガスとが合流した後、印刷配線基板に対して吹きつけられる。
【選択図】 図1

Description

本発明は、印刷配線基板に電子部品を実装するためのリフローハンダ付け装置に係り、特に高い熱容量の鉛フリーハンダ、および電子部品、印刷配線基板などの実装に有効なリフローハンダ付け装置に関するものである。
印刷配線基板に電子部品を実装する装置としてリフローハンダ付け装置が広く利用されている。例えば、リフロー炉内を搬送される印刷配線基板に対して、リフロー炉の熱風加熱ユニット部で熱風を吹き付け、ハンダをリフローさせて電子部品を印刷配線基板にハンダ付けするリフローハンダ付け装置が用いられている。
前記のような熱風加熱方式のリフローハンダ付け装置によるリフローハンダ付けに用いられるハンダには、ぬれ性を向上させるためフラックスが含まれている。このフラックスは、ロジンや溶剤などであり、一般式Cで表される物質である。
このため、ハンダを加熱するとフラックスガスが生じる。フラックスガスは、リフロー炉内の低温度部分において冷却されると、液化し、リフロー炉内や基板、電子部品に付着する。
基板や電子部品にフラックスが付着すると、外観および実動作に悪影響を及ぼすことになる。
そこで、フラックスガスが基板や電子部品に付着することを防止するため、フラックスガスを分解処理する触媒体を配設したリフロー炉が提案されている。
触媒体としては白金などが用いられるが、触媒体は、高温度においてフラックスガス分解能力が活性化するため、リフロー炉における熱風加熱ユニット部の加熱手段に接近させて配設されることが考えられている。
例えば、特許文献1には、ヒータの周囲に通気性を有する触媒筒体を一体的に嵌着したリフロー用加熱装置が記載されている。
特開平6−126439号公報
特許文献1記載の発明は、リフロー炉内を強制的に循環流動させられる雰囲気ガスを加熱するヒータの周囲に通気性を有する触媒筒体を一体的に嵌着することを提案している。これによって、触媒を常に高温に維持し、効率的にフラックスガスを分解処理することが可能であるとされている。
特許文献1記載の発明においては、熱風によるリフローハンダ付け処理の能力が低下することのないように雰囲気ガスの加熱を行いつつ、同時に、フラックスガスの分解能力を向上させるためには、触媒体の温度を高くする、触媒体を大型化する等して、フラックスガス分解処理能力を高める必要があり、このために、ヒータを大型にする、ヒータの能力を向上させる等々の対処が必要であった。
そこでこの発明は、リフロー炉内を搬送される印刷配線基板に対して、リフロー炉の熱風加熱ユニット部で熱風を吹き付け、ハンダをリフローさせて電子部品を印刷配線基板にハンダ付けするリフローハンダ付け装置において、ヒータを大型にする、ヒータの能力を向上させる等々の対処を要することなしに、熱風によるリフローハンダ付け処理を効果的に行えるように雰囲気ガスの加熱を効率よく行いつつ、リフローに伴い発生するハンダに含まれるフラックスの蒸発成分を触媒体によって効果的、かつ大量に分解処理できるリフローハンダ付け装置を提案することを目的にしている。
前記目的と達成するため、本発明は以下の構造のリフローハンダ付け装置を提案するものである。
本発明のリフローハンダ付け装置は、リフロー炉内を搬送される印刷配線基板に対して、リフロー炉の熱風加熱ユニット部で熱風を吹き付け、ハンダをリフローさせて電子部品を印刷配線基板にハンダ付けするものであって、リフロー炉内の雰囲気ガスを雰囲気ガス循環経路を介して循環流動させつつ、当該雰囲気ガス循環経路内に配置されているヒータにより印刷配線基板に対して吹きつけられる雰囲気ガスを加熱するものである。
本発明の、リフローハンダ付け装置は、かかる形態のリフローハンダ付け装置において、前記雰囲気ガス循環経路が途中で複数に分割された後に合流する構造を有し、当該複数に分割された雰囲気ガス循環経路の中の少なくとも一つの雰囲気ガス循環経路には、ヒータと、当該ヒータの周辺に配置される触媒体とが配備され、当該ヒータと触媒体とが配備されている雰囲気ガス循環経路においてヒータ及び触媒体を通過してきた雰囲気ガスと、他の雰囲気ガス循環経路を流動してきた雰囲気ガスとが合流した後、印刷配線基板に対して吹きつけられることを特徴とするものである。
本発明のリフローハンダ付け装置によれば、雰囲気ガス循環経路を流動する雰囲気ガスは、雰囲気ガス加熱用のヒータが配置されている位置より上流側において複数に分割され、例えば、雰囲気ガス循環経路が二分割され、雰囲気ガス循環経路を流動してきた雰囲気ガスの一部のみが、前記のように雰囲気ガス循環経路が二分割された場合には、雰囲気ガス循環経路を流動してきた雰囲気ガスの半分のみが、ヒータが設置されている一方の雰囲気ガス循環経路に流動してくることになる。
そこで、雰囲気ガス循環経路が複数に分割されない単一の経路であるときに雰囲気ガスの加熱に使用されていたものと同一の形態、能力のヒータを用いていても、雰囲気ガスの流動量が雰囲気ガス循環経路の分割によって減少しているので、例えば、雰囲気ガス循環経路が二分割されている場合には、雰囲気ガスの流動量が半分程度になるので、雰囲気ガス循環経路が複数に分割されない単一の経路である場合に比較して、ヒータが配備されている雰囲気ガス循環経路を流動してきた雰囲気ガスを、極めて効率よく高温に加熱することができる。
複数に分割される前の雰囲気ガス循環経路を流動していた雰囲気ガスの温度が150℃であったとしても、分割されて、ヒータが配備されている雰囲気ガス循環経路を流動することになった雰囲気ガスを、効率よく、触媒体の十分な分解処理能力が発揮される温度である300℃以上にまで昇温させることができる。
このため、ヒータの周辺に配置されている触媒体も効率よく高温(例えば、300℃以上)に加熱されて分解処理能力が高まるので、触媒体を大型化する必要なしに、効率よく、多量のフラックスを確実に分解処理することができる。
このように、ヒータの周辺に配置されている触媒体を大型化する必要がなくなるので、前記のように高温に加熱された雰囲気ガスはその温度をほぼ維持した状態(例えば、300℃以上)で、前記のように複数に分割され、ヒータが配備されていない雰囲気ガス循環経路を流動してきた雰囲気ガスと合流する。
こうして複数の雰囲気ガス循環経路に分割され、一方ではヒータが配備されている雰囲気ガス循環経路を流動してきて高温が維持されている雰囲気ガス(例えば、300℃以上)と、他方ではヒータが配備されていない雰囲気ガス循環経路を流動してきた雰囲気ガス(例えば、240℃)とが合流することにより、合流後の雰囲気ガスの温度が高められ、リフローハンダ付け処理に要求される高温(例えば、250℃)になって、印刷配線基板に対して吹きつけられる。
こうして、ヒータを大型にする、ヒータの能力を向上させる等々の対処を要することなしに、熱風によるリフローハンダ付け処理を効果的に行えるように雰囲気ガスの加熱を効率よく行いつつ、リフローに伴い発生するハンダに含まれるフラックスの蒸発成分を触媒体によって効果的、かつ大量に分解処理することができる。
この発明によれば、リフロー炉内を搬送される印刷配線基板に対して、リフロー炉の熱風加熱ユニット部で熱風を吹き付け、ハンダをリフローさせて電子部品を印刷配線基板にハンダ付けするリフローハンダ付け装置において、ヒータを大型にする、ヒータの能力を向上させる等々の対処を要することなしに、熱風によるリフローハンダ付け処理を効果的に行えるように雰囲気ガスの加熱を効率よく行いつつ、リフローに伴い発生するハンダに含まれるフラックスの蒸発成分を触媒体によって効果的、かつ大量に分解処理することができる。
本発明によれば、触媒体の温度を効率よく高温に加熱し、その高温状態を維持できるので、リフローに伴い発生するハンダに含まれるフラックスの蒸発成分を高温(例えば、300℃以上)に維持されている触媒体によって確実に分解処理できる。
そこで、触媒体による分解処理効率を上げるため、多孔質の触媒体を使用した場合であっても、高温に維持されている触媒体によって前記のように確実な分解処理が行われているので、触媒体が目詰まりすることを防止でき、印刷配線基板や電子部品に吹きつける熱風の量が減少することを大幅に抑制できる。
また、高温に維持されている触媒体によって前記のように確実な分解処理が行われているので、雰囲気ガス循環経路内や、印刷配線基板に向けた熱風ガスの噴出し口などにフラックスが付着して印刷配線基板や電子部品に吹きつける熱風の量が減少することを大幅に抑制できる。
これによって、熱風によるリフローハンダ付け処理を確実に、かつ、効果的に行うことができる。また、印刷配線基板や、電子部品にフラックスが付着することを大幅に抑制できるので、外観および実動作に悪影響が生じることを未然に防止できる。
また、雰囲気ガスを加熱するヒータと、触媒体を加熱するヒータとを共通にしているため、リフロー炉の製造コストおよびランニングコストを削減することができる。
以下、雰囲気ガス循環経路が、雰囲気ガス加熱用のヒータが配置されている位置より上流側において二分割され、そこまでの雰囲気ガス循環経路を流動してきた雰囲気ガスの一部が、ヒータと触媒体とが設置されている一方の雰囲気ガス循環経路に分割されて流動し、残りの雰囲気ガスが他方の雰囲気ガス循環経路に分割されて流動していく形態の本発明を添付図面を参照して説明する。
図1は、本発明のリフローハンダ付け装置を印刷配線基板82が搬送される方向と直交する方向で断面して説明する図である。
図2は、図1図示のリフローハンダ付け装置を印刷配線基板82が搬送される方向で断面して説明する図である。
印刷配線基板82は、搬送レール73に支持されている搬送チェーン74によって、リフロー炉C内を、図1中、紙面と直交する方向、すなわち、図2中、左側から右側に搬送される。
リフロー炉Cには、図2図示のように、入口側から複数の熱風加熱ユニットが配備され、これに引き続いて、リフロー炉Cの出口側(図2中、右側)に冷却ユニットが配備されている。
クリームハンダを介して電子部品81が搭載されている印刷配線基板82が搬送チェーン74によって、リフロー炉C内を、図2中、左側から右側に搬送されると、リフロー炉Cの入口側(図2中、左側)の熱風加熱ユニットにおいて印刷配線基板82に向けて熱風が吹き付けられ、120℃〜180℃程度の温度にまで予備加熱される。これに引き続いて配備されている熱風加熱ユニットにおいて印刷配線基板82に向けて熱風が吹き付けられ、220℃〜250℃程度にまで加熱されてリフロー処理が行われ、ハンダ付けされる。そして引き続いて配備されている冷却ユニットによって数十℃程度まで冷却する冷却処理が行われ、リフロー処理された印刷配線基板82は、図2中右側のリフロー炉Cの出口から搬出されていく。
各熱風加熱ユニット、冷却ユニットには不活性ガス供給ライン77が接続されており、これを介して熱風加熱ユニット、冷却ユニットに不活性ガス(例えば、窒素ガス)が供給される。一方、リフロー炉Cの入口部と出口部にはそれぞれラビリンス76が配備されている。
不活性ガスを投入し、リフロー炉内の酸素濃度を低下させ、ハンダ付け部の酸化防止を行うリフロー炉においては、リフロー処理開始前に、不活性ガス供給ライン77から熱風加熱ユニット、冷却ユニットに不活性ガス(例えば、窒素ガス)が供給され、リフロー炉C内の雰囲気ガスにおける酸素濃度を所望の濃度に設定すると共に、雰囲気ガスの温度を所望の設定温度に昇温させる。その後、リフロー処理する印刷配線基板82が搬送チェーン74によってリフロー炉C内に図2中左側から搬送され、リフロー処理されて、図2中右側から搬出される。
搬送レール73、搬送チェーン74が配置されている搬送路空間72の雰囲気ガスは、ファンモータ61、ファン62によって吸引され、雰囲気ガス循環経路90を通り、搬送路空間72内に戻されるように循環流動する。雰囲気ガス循環経路90の途中にはヒータ66が配備されており、ヒータ66によって加熱された雰囲気ガスが搬送路空間72に戻され、印刷配線基板82に対して吹きつけられる。
図示の実施形態では、熱風加熱ユニット部における搬送レール73、搬送チェーン74が配置されている搬送路空間72は、上下からフード67で囲まれている。搬送路空間72と吸引チャンバー69とは吸い込み口パイプ75を介して連通されている。そして搬送路空間72の雰囲気ガスは、ファンモータ61、ファン62によって吸い込み口パイプ75を介して吸引チャンバー69に吸引され、更に、吸引チャンバー69の隔壁68に設けられている吸引孔63を介して雰囲気ガス循環経路90内に吸引され、雰囲気ガス循環経路90を通り、噴出し吸い込み面71に形成されている噴出し口を介して搬送路空間72内に戻されるように循環流動する。
冷却ユニットには冷却ユニットファンモータ78が配備されており、これによって、冷却ユニット内を通過するリフロー処理後の印刷配線基板82を冷却することを目的にして、冷却ユニット内の雰囲気ガスが強制的に循環流動されるようになっている。
本発明のリフローハンダ付け装置においては、雰囲気ガス循環経路90は途中で二分割された後に合流する構造になっている。すなわち、雰囲気ガス循環経路90の途中に分岐板65が配備されていて、これによって、雰囲気ガス循環経路90は、雰囲気ガス循環経路91と雰囲気ガス循環経路92とに二分割される。
二分割された一方の雰囲気ガス循環経路91には、ヒータ66と、ヒータ66の周辺に配置される触媒体64とが配備されている。
雰囲気ガス循環経路91においてヒータ66及び触媒体64を通過してきた雰囲気ガスと、二分割された他方の雰囲気ガス循環経路92を流動してきた雰囲気ガスとは雰囲気ガス循環経路90で合流し、整流フィン70を通り、雰囲気ガスが搬送路空間72に戻され、印刷配線基板82に対して吹きつけられる。
触媒体64としては、300℃程度の高温に加熱されると活性化し、クリームハンダに含まれているロジンや溶剤などのフラックス(一般式Cで表される物質)を分解する処理能力に優れているものを使用することができ、例えば、白金を用いることができる。また、触媒体64による分解処理をより効率よく行うため、多孔質の触媒体を用いることができる。
触媒体64はヒータ66の周辺に配置されるが、ヒータ66による加熱効率を高めるため、ヒータ66に接触させて配置することもできる。
なお、触媒体64は、雰囲気ガス循環経路91を通過する不活性ガスのほぼ全量が触媒体64の表面に接触するように、雰囲気ガス循環経路91の断面のほぼ全域にわたるように配設するのが好ましい。
以下、図1、図2図示のリフローハンダ付け装置を用いたリフローハンダ付け処理の一例を説明する。
リフロー処理開始前に、不活性ガス供給ライン77から熱風加熱ユニット、冷却ユニットに不活性ガス(例えば、窒素ガス)を供給し、リフロー炉C内の雰囲気ガスにおける酸素濃度を所望の濃度に設定すると共に、ヒータ66を作動させつつ、搬送路空間72の雰囲気ガスを、ファンモータ61、ファン62によって吸い込み口パイプ75を介して吸引チャンバー69に吸引し、雰囲気ガス循環経路90を通過させて、噴出し吸い込み面71に形成されている噴出し口を介して搬送路空間72内に循環流動させ、雰囲気ガスの温度を所望の設定温度に昇温させる。
次いで、クリームハンダを介して電子部品81が搭載されている印刷配線基板82が搬送チェーン74によって、リフロー炉C内に、図2中、左側から搬入される。リフロー炉Cの入口側(図2中、左側)の熱風加熱ユニットにおいて印刷配線基板82に向けて熱風が吹き付けられ、120〜180℃程度の温度にまで予備加熱が行われる。これに引き続いて配備されている熱風加熱ユニットにおいて印刷配線基板82に向けて熱風が吹き付けられ、220〜250℃程度にまで加熱されてリフロー処理が行われ、ハンダ付けされる。そして引き続いて配備されている冷却ユニットによって数十℃程度まで冷却する冷却処理が行われ、リフロー処理された印刷配線基板82が、図2中右側のリフロー炉C出口から搬出されていく。
ここで、本発明のリフローハンダ付け装置においては、雰囲気ガス循環経路90が途中で二分割された後に合流する構造になっているので、分岐板65によって分岐された雰囲気ガスの流れは、ヒータ66と触媒体64とが配備されている雰囲気ガス循環経路91に向かう流れと、ヒータが配置されていない雰囲気ガス循環経路92に向かう流れとに二分され、その後、合流して、整流フィン70を通り、雰囲気ガスが搬送路空間72に戻され、印刷配線基板82に対して吹きつけられる。
ヒータ66が雰囲気ガス循環経路90に配備されている場合に、雰囲気ガス循環経路90を流動している温度240℃の雰囲気ガスを260℃に昇温させる能力を有するものであるときに、雰囲気ガスの流れが図1図示のように分岐板65によって2つに分割され、例えば、雰囲気ガス循環経路91を流動する雰囲気ガスの量が、それ以前の雰囲気ガス循環経路90を流動している雰囲気ガスの流量の5分の1程度に減少するとすれば、前記のヒータ66によって、図1図示の実施形態の場合、簡単に、雰囲気ガスの温度を300℃以上程度に昇温させることができる。
これによって、ヒータ66の周辺に配置されている触媒体64は効率よく加熱され、触媒体64が活性化して十分な分解処理能力を発揮できる300℃以上に維持される。そこで、雰囲気ガス循環経路91を流動してくる雰囲気ガス中に含まれているフラックスを確実に、しかも大量に分解処理することができる。
そして、雰囲気ガス循環経路91を流動してきて300℃以上に昇温されフラックスが除去されている雰囲気ガスと、雰囲気ガス循環経路92を流動してきた240℃程度の雰囲気ガスとは、再度、雰囲気ガス循環経路90で合流し、リフロー処理に要求される250〜260℃程度の温度になって、整流フィン70を通り、雰囲気ガスが搬送路空間72に戻され、印刷配線基板82に対して吹きつけられる。
雰囲気ガス循環経路91を二分割して形成されている雰囲気ガス循環経路91と92とは、前記のように、雰囲気ガス循環経路91を流動する雰囲気ガスの加熱、雰囲気ガス循環経路91、92を流動してきた雰囲気ガスが合流した後の全体の雰囲気ガスの昇温及び、フラックス分解処理が雰囲気ガス循環経路91側でのみで行われること、等々を考慮して、その大きさを定めることができる。例えば、雰囲気ガス循環経路91と92とに1:20から1:1の割合で雰囲気ガスが分割されて流動していくように、雰囲気ガス循環経路91と92の大きさ、形状、構造を定めることができる。
こうして雰囲気ガスが、搬送路空間72内から、吸い込み口パイプ75、吸引チャンバー69、隔壁68の吸引孔63、雰囲気ガス循環経路90、雰囲気ガス循環経路91、92、雰囲気ガス循環経路90、整流フィン70、噴出し吸い込み面71に形成されている噴出し口を介して、搬送路空間72へと流動する循環流動を繰り返し、リフロー処理が行われる過程で、雰囲気ガスの中に含まれているフラックスは触媒体64で確実に分解される。
そこで、触媒体64による分解処理効率を上げるため、多孔質の触媒体64を使用した場合であっても、高温に維持されている触媒体64によって確実な分解処理が行われているので、触媒体64が目詰まりすることを防止でき、印刷配線基板82や電子部品81に吹きつけられる熱風の量が減少することを大幅に抑制できる。また、高温に維持されている触媒体64によって前記のように確実な分解処理が行われているので、雰囲気ガス循環経路90内や、印刷配線基板82に向けた熱風ガスの噴出し口などにフラックスが付着して印刷配線基板82や電子部品81に吹きつける熱風の量が減少することを大幅に抑制できる。これによって、熱風によるリフローハンダ付け処理を確実に、かつ、効果的に行うことができる。また、印刷配線基板82や、電子部品81にフラックスが付着することを大幅に抑制し、外観および実動作に悪影響が生じることを未然に防止できる。
本発明のリフローハンダ付け装置においては、このように、雰囲気ガスを加熱するヒータと、触媒体64を加熱するヒータとを共通のヒータ66にしているため、リフロー炉の製造コストおよびランニングコストを削減することができる。
なお、図1図示のように、ファンモータ61、ファン62によって搬送路空間72内から吸い込み口パイプ75を介して吸引チャンバー69に吸引された雰囲気ガスが、搬送路に直交する方向(図1中、左右方向)に均等に分割されて流動するようにすることができる。このようにして、フード67の両側に設けたヒータ66による加熱、触媒体64でのフラックスの分解除去を均等に行い、加熱され、フラックス除去処理がされた雰囲気ガスを、図1図示のように左右から均等に合流させて、噴出し吸い込み面71に形成されている噴出し口を介して搬送路空間72へ噴出させることができる。これによって、印刷配線基板82や電子部品81に、均一な温度の雰囲気ガスを、フード67内を通過中の印刷配線基板82、電子部品81の全領域に対して均等に吹き付け、均等にリフロー処理することができる。
また、図1図示のように、搬送路の上下に対象的な配置になるように、雰囲気ガス循環経路90、91、92、ヒータ66、触媒体64を配置することにより、より効率的なリフロー処理、確実なフラックスの分解処理を行うことができる。
以上、本発明の好適な実施形態を添付図面を参照して説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されるものではない。
たとえば、雰囲気ガス循環経路90は、2本でなく、3本、4本、等々の雰囲気ガス循環経路に分割し、この複数に分割された雰囲気ガス循環経路の中の少なくとも1本(例えば、3本に分割した場合の1本あるいは2本、3本に分割した場合の1本、2本、あるいは3本)にヒータ66と、触媒体64とをそれぞれ配備する形態にすることができる。
また、このように複数に分割した雰囲気ガス循環経路の中の、ヒータ66及び触媒体64が配備されていない任意の数の雰囲気ガス循環経路にヒータ66を配備する形態にすることもできる。このようにすれば、そのヒータ66のみが配備されている雰囲気ガス循環経路を流動してきた雰囲気ガスの温度を所望の高温にまで加熱することができる。そこで、複数の雰囲気ガス循環経路に分割された雰囲気ガスが再度合流したときに、合流後の全体の雰囲気ガスの温度を速やかにリフロー処理に要求される250〜260℃程度に上昇させることができる。図3は、このような実施形態の一例を表すものであって、図1図示の実施形態における雰囲気ガス循環経路92にヒータ66が配備されているものである。
本発明のリフローハンダ付け装置を印刷配線基板が搬送される方向と直交する方向で断面して説明する図。 図1図示のリフローハンダ付け装置を印刷配線基板が搬送される方向で断面して説明する一部を省略した図。 本発明の他のリフローハンダ付け装置を印刷配線基板が搬送される方向と直交する方向で断面して説明する図
符号の説明
61 ファンモータ
62 ファン
63 吸引孔
64 触媒体
65 分岐板
66 ヒータ
67 フード
68 隔壁
69 吸引チャンバー
70 整流フィン
71 噴出し吸い込み面
72 搬送路空間
73 搬送レール
74 搬送チェーン
75 吸い込み口パイプ
76 ラビリンス
77 不活性ガス供給ライン
78 冷却ユニットファンモータ
81 電子部品
82 印刷配線基板
90 雰囲気ガス循環経路
91 雰囲気ガス循環経路
92 雰囲気ガス循環経路
C リフロー炉

Claims (1)

  1. リフロー炉内を搬送される印刷配線基板に対して、リフロー炉の熱風加熱ユニット部で熱風を吹き付け、ハンダをリフローさせて電子部品を印刷配線基板にハンダ付けするリフローハンダ付け装置であって、リフロー炉内の雰囲気ガスを雰囲気ガス循環経路を介して循環流動させつつ、当該雰囲気ガス循環経路内に配置されているヒータにより印刷配線基板に対して吹きつけられる雰囲気ガスを加熱するリフローハンダ付け装置において、
    前記雰囲気ガス循環経路は途中で複数に分割された後に合流する構造を有し、当該複数に分割された雰囲気ガス循環経路の中の少なくとも一つの雰囲気ガス循環経路には、ヒータと、当該ヒータの周辺に配置される触媒体とが配備されており、当該ヒータと触媒体とが配備されている雰囲気ガス循環経路においてヒータ及び触媒体を通過してきた雰囲気ガスと、他の雰囲気ガス循環経路を流動してきた雰囲気ガスとが合流した後、印刷配線基板に対して吹きつけられる
    ことを特徴とするリフローハンダ付け装置。
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