JP6687424B2

JP6687424B2 - 弁装置

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Publication number: JP6687424B2
Application number: JP2016038984A
Authority: JP
Inventors: 悠一杉江
Original assignee: Tlv Co Ltd
Current assignee: Tlv Co Ltd
Priority date: 2016-03-01
Filing date: 2016-03-01
Publication date: 2020-04-22
Anticipated expiration: 2036-03-01
Also published as: JP2017155817A

Description

本願は、蒸気や圧縮空気等の気体が流れる配管系統に設けられる弁装置に関し、特に騒音対策に係るものである。

例えば特許文献１に開示されている温水生成装置では、蒸気供給管に各種弁が設けられている。具体的に、蒸気供給管は熱交換器に蒸気を供給するものであり、その蒸気供給管には、上流側から順に、電磁弁、安全弁および制御弁が設けられている。蒸気供給管では、電磁弁によって蒸気の流通が許可または禁止され、制御弁によって蒸気の流量が調節される。

特許第４６４８４３０号公報

ところで、上述したような蒸気供給管では、諸条件によって、電磁弁が制御弁の下流側に配置される場合がある。しかしながら、その場合、制御弁から蒸気が電磁弁に流入する際に蒸気の流入音が騒音として発生する虞があった。

本願に開示の技術は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、電磁弁等の弁本体に気体が流入する際に発生する気体の流入音を抑制することができる弁装置を提供することにある。

本願に開示の技術は、上記目的を達成するために、気体が弁本体の流入路に流入する前にその気体の流体力を減少させるようにしたものである。

具体的に、本願の弁装置は、弁本体と、絞り部材とを備えている。上記弁本体は、ケーシングと、弁体とを有している。上記ケーシングは、気体の流入路および流出路と、上記流入路と流出路とを連通させる弁口とが設けられている。上記弁体は、上記弁口を開閉するものである。上記絞り部材は、上記弁本体の流入路と、該流入路に気体を供給する供給管との間に設けられている。そして、上記絞り部材は、上記流入路と上記供給管とを連通させ且つ上記供給管の流路断面積よりも小さい開口面積に形成された開口を有しているものである。

以上のように、本願の弁装置によれば、弁本体の上流側に絞り部材を設けるようにしたため、弁本体の流入路に流れ込む気体の流体力（流体エネルギー）を減少させることができる。具体的に、絞り部材の開口の面積（開口面積）はその上流側に位置する供給管の流路断面積よりも小さいので、気体が絞り部材の開口を通過する際、気体の流体力が減少する。つまり、絞り部材が気体流れの抵抗となる。こうして、弁本体の流入路に流れ込む気体の流体力が減少することにより、流入路における気体の流入音を抑制することができる。

図１は、実施形態に係る温水生成装置の概略構成を示す配管系統図である。図２は、実施形態に係る弁装置の概略構成を示す断面図である。図３は、実施形態に係る絞り部材を上下流方向に視て示す正面図である。図４は、従来の弁装置における騒音値を示すグラフである。図５は、実施形態に係る弁装置における騒音値を示すグラフである。

以下、本願の実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本願に開示の技術、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。

図１に示すように、本実施形態の温水生成装置１は、本願の請求項に係る弁装置１５が設けられるものであり、蒸気供給系統１０と、水加熱系統２０と、ドレン排出系統３０とを備えている。なお、図１の配管系統図は、各機器の接続関係を模式的に示したものであり、以下で特に言及しない限り、各機器における管の接続箇所や各機器の設置高さを具体的に示すものではない。

蒸気供給系統１０は、水加熱系統２０に加熱媒体である蒸気を供給するものである。蒸気供給系統１０は、水加熱系統２０に接続され、蒸気を供給する蒸気供給管１１を備えている。蒸気供給管１１には、上流側から順に、開閉弁１２、制御弁１３および弁装置１５が設けられている。制御弁１３は、気体である蒸気と液体であるドレンとを分離する気液分離部１４を有しており、気液分離部１４で分離された蒸気が下流側に流れる。つまり、制御弁１３は蒸気のみを下流側に流すように構成されている。また、制御弁１３は蒸気の流量が調節可能な流量調整弁である。弁装置１５については後で詳述する。

水加熱系統２０は、主熱交換器２２と予熱熱交換器２８を備えている。主熱交換器２２は、入口側（上流側）に水供給管２１が接続され、出口側（下流側）に温水送出管２３が接続されている。また、主熱交換器２２には蒸気供給系統１０の蒸気供給管１１が接続されている。主熱交換器２２は、いわゆるシェルアンドチューブ式の熱交換器であり、水供給管２１から冷水（水）が供給されると共に蒸気供給管１１から蒸気が供給される。主熱交換器２２では、供給された冷水が、蒸気と熱交換して加熱され所定温度の温水になる。一方、蒸気は凝縮してドレン（復水）になる。つまり、主熱交換器２２は、冷水が蒸気の凝縮潜熱によって加熱される潜熱熱交換器である。こうして主熱交換器２２で生成された温水は、温水送出管２３を流れて利用側へ送られる。なお、主熱交換器２２の入口側には冷水が溜められる水溜部２４が設けられている。

予熱熱交換器２８は、水供給管２１の途中に設けられており、主熱交換器２２に供給される水供給管２１の冷水を加熱（予熱）するものである。予熱熱交換器２８は、いわゆるシェルアンドチューブ式の熱交換器であり、上述したように水供給管２１の途中に設けられている。予熱熱交換器２８には、ドレン圧送管３５およびドレン排出管３６が接続されている。予熱熱交換器２８では、水供給管２１から流入した冷水が、ドレン圧送装置３４から流入したドレンと熱交換して加熱（予熱）される。加熱された冷水は、水供給管２１に流れて主熱交換器２２に流入する。一方、冷水と熱交換したドレンは、ドレン排出管３６に排出される。このように、本実施形態の温水生成装置１では、冷水が主熱交換器２２に流入する前に予熱（昇温）される。

また、水加熱系統２０は、循環用管２５、循環ポンプ２６および電磁弁２７を備えている。循環用管２５は、一端が水供給管２１における予熱熱交換器２８の上流側に接続され、他端が温水送出管２３に接続されている。循環ポンプ２６および電磁弁２７は、循環用管２５に水供給管２１側から順に設けられている。水加熱系統２０では、電磁弁２７が開くと共に循環ポンプ２６が駆動されることにより、主熱交換器２２の温水が、水溜部２４、予熱熱交換器２８、循環用管２５および温水送出管２３を通って再び主熱交換器２２に戻る温水の循環動作が行われる。なお、この温水の循環動作は、上述した循環方向と逆方向で行うようにしてもよい。

ドレン排出系統３０は、ヘッダータンク３２とドレン圧送装置３４を備え、主熱交換器２２で蒸気が凝縮して発生した高温のドレンを排出するものである。ヘッダータンク３２は、水平方向に延びる円柱状の容器であり、ドレン排出管３１を介して主熱交換器２２に接続されている。ドレン排出管３１は、ヘッダータンク３２の上部に接続されている。ヘッダータンク３２は、主熱交換器２２のドレンがドレン排出管３１を通って流入し一時的に貯留されるものである。

ドレン圧送装置３４は、ヘッダータンク３２のドレンが流入し、その流入したドレンを圧送するものである。具体的に、ドレン圧送装置３４は、ドレンの流入口３４ａおよび圧送口３４ｂと、蒸気の導入口３４ｃおよび排出口３４ｄとを有している。流入口３４ａは、ドレン流入管３３を介してヘッダータンク３２に接続されている。ドレン流入管３３は、ヘッダータンク３２の底部に接続されている。圧送口３４ｂは、ドレン圧送管３５を介して予熱熱交換器２８に接続されている。なお、ドレン排出系統３０は、予熱熱交換器２８に接続され、該予熱熱交換器２８からドレンが排出されるドレン排出管３６を備えている。ドレン流入管３３およびドレン圧送管３５には、逆止弁３７，３８が設けられている。逆止弁３７は、ドレン流入管３３におけるヘッダータンク３２からドレン圧送装置３４へ向かう流体の流れのみを許容する。逆止弁３８は、ドレン圧送管３５におけるドレン圧送装置３４から予熱熱交換器２８へ向かう流体の流れのみを許容する。導入口３４ｃは、蒸気導入管３９を介して制御弁１３の気液分離部１４に接続されている。蒸気導入管３９には、気液分離部１４側から順に、ストレーナ４２および減圧弁４３が設けられている。排出口３４ｄは、蒸気排出管４１を介してドレン排出管３１に接続されている。

ドレン圧送装置３４は、図示しないが、ドレンの貯留室を有しており、その貯留室にフロートが配置されている。ドレン圧送装置３４は、フロートが所定の低位まで下降すると、導入口３４ｃが閉じると共に排出口３４ｄが開き、フロートが所定の高位まで上昇すると、導入口３４ｃが開くと共に排出口３４ｄが閉じるように構成されている。ドレン圧送装置３４では、導入口３４ｃが閉じて排出口３４ｄが開くと、ヘッダータンク３２のドレンがドレン流入管３３を通って流入口３４ａから貯留室に流入する。このドレンの流入に伴い、貯留室の蒸気が排出口３４ｄから蒸気排出管４１に排出される。また、ドレン圧送装置３４では、導入口３４ｃが開いて排出口３４ｄが閉じると、気液分離部１４の蒸気が蒸気導入管３９を通って導入口３４ｃから貯留室に流入する。この蒸気の導入により、貯留室のドレンが圧送口３４ｂからドレン圧送管３５に圧送（排出）される。こうして、ドレン圧送装置３４はヘッダータンク３２のドレン（即ち、主熱交換器２２で蒸気が凝縮して発生したドレン）を圧送する。

さらに、ドレン排出系統３０には、２つのドレン排出管４５，４８と、エア抜き管４９が設けられている。ドレン排出管４５は、一端（流入端）が蒸気導入管３９における減圧弁４３の下流側に接続され、他端（流出端）がドレン排出管３６に接続されている。ドレン排出管４５には、蒸気導入管３９側から順に、スチームトラップ４６および逆止弁４７が設けられている。スチームトラップ４６は、自動的にドレンのみを下流側に排出するものである。こうしたドレン排出管４５およびスチームトラップ４６が設けられることにより、気液分離部１４から蒸気と共にドレンが蒸気導入管３９に流入した場合でも、蒸気導入管３９からドレンのみをドレン排出管４５を通じて排出することができる。逆止弁４７は、ドレン排出管４５における蒸気導入管３９からドレン排出管３６へ向かう流体の流れのみを許容する。

ドレン排出管４８は、一端（流入端）が制御弁１３の気液分離部１４に接続され、他端（流出端）がドレン排出管４５におけるスチームトラップ４６と逆止弁４７との間に接続されている。ドレン排出管４８は、気液分離部１４で分離されたドレンが排出される。エア抜き管４９は、一端（流入端）がヘッダータンク３２の上部に接続され、他端（流出端）がドレン排出管４８に接続されている。エア抜き管４９には、ヘッダータンク３２側から順に、エアベント５１および逆止弁５２が設けられている。逆止弁５２は、ヘッダータンク３２からドレン排出管４８へ向かう流体の流れのみを許容する。エア抜き管４９は、ヘッダータンク３２内の初期空気を排出するものである。なお、ドレン圧送装置３４には、ドレン圧送管３５とは別に、貯留室のドレンを排出するためのドレン排出管５３が接続されている。ドレン排出管５３には、ブロー弁５４が設けられている。

〈弁装置の構成および作用〉
弁装置１５は、制御弁１３から流出した蒸気（気体）が流通するものであり、上流側から順に、絞り部材１６と、弁本体１７とを備えている。

図２に示すように、弁本体１７は、ケーシング１７ａと、弁座１７ｆと、弁体１７ｈと、駆動部１７ｋとを有している。ケーシング１７ａは、蒸気の流入路１７ｂおよび流出路１７ｃが設けられている。流入路１７ｂおよび流出路１７ｃは、互いに対向する状態で設けられている。ケーシング１７ａの流入路１７ｂおよび流出路１７ｃは、蒸気供給菅１１に接続されている。なお、後述するが、流入路１７ｂは絞り部材１６を介して蒸気供給菅１１に接続されている。弁座１７ｆは、ケーシング１７ａ内に設けられている。弁座１７ｆは、円環状に形成されており、軸が上下方向（図２において上下方向）に延びる状態で設けられている。そして、弁座１７ｆは、その内部が弁口１７ｇとなっている。ケーシング１７ａでは、流入路１７ｂと流出路１７ｃとが弁座１７ｆの弁口１７ｇによって連通しており、流入路１７ｂから流入した蒸気が弁口１７ｇを通過して流出路１７ｃへ流れる。流入路１７ｂは、流入端から直線状（水平）に延びた後、上方へ曲がる曲がり部１７ｅを有している。

弁体１７ｈは、ケーシング１７ａ内において、弁口１７ｇ（弁座１７ｆ）の入口側に配置されている。弁体１７ｈは、上下方向に変位することにより弁座１７ｆの入口側端部に離着座し、弁口１７ｇを開閉するものである。また、弁体１７ｈの中央には、上下方向に貫通するパイロット流路１７ｉが形成されている。ケーシング１７ａ内には、弁体１７ｈの背面側（上方）にパイロット室１７ｊが設けられている。パイロット室１７ｊは、図示しない通路を介して流入路１７ｂと連通すると共に、パイロット流路１７ｉを介して流出路１７ｃと連通している。

駆動部１７ｋは、ケーシング１７ａの上部に設けられており、弁体１７ｈを開閉動作させるものである。駆動部１７ｋは、コイルボビン１７ｍ、コイル１７ｎ、固定鉄心１７ｐおよび可動鉄心１７ｑを有している。コイル１７ｎはコイルボビン１７ｍに巻回されており、固定鉄心１７ｐはコイルボビン１７ｍの上部に挿入され固定されている。可動鉄心１７ｑは、コイルボビン１７ｍにおいて固定鉄心１７ｐの下方に挿入されており、上下方向に変位可能となっている。可動鉄心１７ｑの下端部には、弁体１７ｈに離着座することによりパイロット流路１７ｉを開閉するパイロット弁体１７ｒが設けられている。可動鉄心１７ｑと弁体１７ｈとはバネ１７ｓを介して接続されており、可動鉄心１７ｑはバネ１７ｓによって弁体１７ｈ側（弁体１７ｈに着座する方向）へ付勢されている。

上記のように構成された弁本体１７では、駆動部１７ｋ（コイル１７ｎ）に通電されていないとき、可動鉄心１７ｑはバネ１７ｓの付勢力によって弁体１７ｈに着座しパイロット流路１７ｉが閉じられる。一方、蒸気供給菅１１から流入路１７ｂに流入した蒸気は、一部が図示しない通路を介してパイロット室１７ｊに流入する。そうすると、流入路１７ｂの圧力とパイロット室１７ｊの圧力とが同圧となり、弁体１７ｈが下方へ押されて弁座１７ｆに着座する。これにより、弁口１７ｇが閉じられる（図２に示す状態）。つまり、この状態では、流入路１７ｂと流出路１７ｃとは連通していない。

また、弁本体１７では、駆動部１７ｋ（コイル１７ｎ）に通電されると、電磁力により可動鉄心１７ｑはバネ１７ｓの付勢力に抗して固定鉄心１７ｐに吸引される。つまり、可動鉄心１７ｑは上方へ変位する。そのため、可動鉄心１７ｑが弁体１７ｈから離座し、パイロット流路１７ｉが開く。これにより、パイロット室１７ｊと流出路１７ｃとがパイロット流路１７ｉを介して連通するため、パイロット室１７ｊの圧力が低下する。そうすると、流入路１７ｂの圧力がパイロット室１７ｊの圧力よりも高くなり、弁体１７ｈは流入路１７ｂの圧力により上方へ押し上げられて弁座１７ｆから離座する。これにより、弁口１７ｇが開き、流入路１７ｂと流出路１７ｃとが連通する。

絞り部材１６は、弁本体１７のケーシング１７ａにおけるフランジ１７ｄと蒸気供給管１１のフランジとに挟まれて設けられている。つまり、絞り部材１６は、弁本体１７の流入路１７ｂと、該流入路１７ｂに蒸気を供給する蒸気供給管１１との間に設けられている。図３にも示すように、絞り部材１６は、板状部材であり、円板状の主部１６ａと、該主部１６ａの上部から鉛直上方へ延びる摘み部１６ｂを有している。

絞り部材１６の主部１６ａには、開口１６ｃが形成されている。この開口１６ｃは、弁本体１７の流入路１７ｂと、蒸気供給管１１とを連通させるものである。また、開口１６ｃの面積（開口面積）は、蒸気供給管１１や弁本体１７の流入路１７ｂの流路断面積よりも小さい。具体的に、開口１６ｃには、円形開口の一部を遮蔽する障壁部１６ｄが設けられている。障壁部１６ｄは、円形開口の上部に位置している。つまり、障壁部１６ｄは、開口１６ｃにおいて流入路１７ｂの曲がり部１７ｅの曲がり方向（上方）と同じ側（上方）に対応する上部に設けられている。なお、障壁部１６ｄが設けられていない円形開口の面積は、蒸気供給管１１や流入路１７ｂの流路断面積と同等である。つまり、絞り部材１６の開口１６ｃは、蒸気供給管１１の流路断面積と同等の開口面積を有する円形開口において障壁部１６ｄを設けることにより、蒸気供給管１１の流路断面積よりも小さい開口面積となっている。

このように構成された弁装置１５では、蒸気供給管１１から蒸気が絞り部材１６の開口１６ｃを通過し、弁本体１７の流入路１７ｂに流入する。ここで、開口１６ｃの面積（開口面積）は蒸気供給管１１の流路断面積よりも小さいため、蒸気が絞り部材１６の開口１６ｃを通過する際、蒸気の流体力（流体エネルギー）が減少される。また、蒸気が開口１６ｃを通過する際、蒸気の一部は開口１６ｃの障壁部１６ｄに衝突するため、これによっても蒸気の流体力が減少される。こうして流体力が減少された蒸気が弁本体１７の流入路１７ｂに流入するので、流入路１７ｂにおける蒸気の流入音（騒音）が抑制される。

しかも、開口１６ｃの障壁部１６ｄは流入路１７ｂの曲がり部１７ｅの曲がり方向と同じ側に対応する上部に設けられているので、流入路１７ｂにおける蒸気の流入音が効果的に抑制される。即ち、弁本体１７の流入路１７ｂは曲がり部１７ｅを有しており、流入路１７ｂでは蒸気が曲がり部１７ｅで流入路壁に衝突し、この衝突によっても流入音が発生する。そして、曲がり部１７ｅは上方へ曲がっているため、流入路１７ｂでは上部を流れる蒸気よりも下部を流れる蒸気が曲がり部１７ｅで強く流入路壁に衝突する。本実施形態では、障壁部１６ｄが開口１６ｃの上部に設けられているため、図２に示すように、蒸気供給管１１を流れる蒸気のうち上部を流れる蒸気（図２に示す実線の矢印）は、障壁部１６ｄに衝突し流体力が減少すると共に、障壁部１６ｄの下流側に回り込むようにして流れる。これにより、障壁部１６ｄの下流側（即ち、流入路１７ｂの上部）では圧力が低下する（負圧になる）ので、蒸気供給菅１１を流れる蒸気のうち中央および下部を流れる蒸気（図２に示す破線の矢印）は上方へ吸引されながら流れる。そのため、流入路１７ｂに流入した中央および下部の蒸気は、上方へ向かって流向を変えながら流れる。つまり、流入路１７ｂにおいて蒸気の流向を上方へ向かって滑らかに変えることができる。これにより、上述した曲がり部１７ｅでの蒸気の衝突を緩和することができ、流入音（騒音）を抑制することができる。

上述した絞り部材１６を設けなかった場合、図４に示すように、弁本体１７の騒音値は大きい。なお、図４に示す「弁開度」は制御弁１３の開度である。特に、弁開度が比較的大きいとき、即ち弁本体１７に流入する蒸気の流量が比較的多いとき、弁本体１７の騒音値が極めて大きくなっている（図４において破線で囲った領域）。これに対し、本実施形態のように絞り部材１６を設けた場合、図５に示すように、弁本体１７の騒音値が低減される。特に、弁開度が比較的大きいときの騒音値が著しく低減されていることが分かる（図５において破線で囲った領域）。

また、本実施形態の温水生成装置１は、フロースイッチ６１、温度センサ６２、２つの圧力計６３，６４、制御部７０を備えている。フロースイッチ６１は、水供給管２１における予熱熱交換器２８の上流側に設けられており、冷水の流れを検出するものである。温度センサ６２は、温水送出管２３における循環用管２５の接続部よりも上流側に設けられており、温水の温度を検出するものである。２つの圧力計６３，６４は、蒸気導入管３９における減圧弁４３の上流側と下流側に設けられている。制御部７０は、フロースイッチ６１や温度センサ６２の検出信号に基づいて、制御弁１３や弁装置１５等を制御するものである。具体的には次の通りである。

制御部７０は、温度センサ６２の検出温度（温水の温度）が設定温度になるように、制御弁１３の開度を調節する。例えば、温度センサ６２の検出温度（温水の温度）が設定温度よりも高くなると制御弁１３の開度は減小され、温度センサ６２の検出温度が設定温度よりも低くなると制御弁１３の開度は増大される。また、制御部７０は非常時には弁装置１５の弁本体１７を閉じる。例えば、制御弁１３の開度が下限値に達したことにより或いは制御弁１３の故障により、温度センサ６２の検出温度が設定温度よりも所定温度以上高くなると、弁本体１７は閉じられる。また、温水の利用が停止された場合（即ち、主熱交換器２２から温水送出管２３への温水の流出が停止した場合）において、温度センサ６２の検出温度が設定温度よりも所定温度以上高くなると或いはフロースイッチ６１で冷水の流れが検出されなくなると、弁本体１７は閉じられる。こうして弁本体１７が閉じられることにより、温水の温度が異常高温になるのを防止することができると共に、蒸気が主熱交換器２２に無駄に供給されることを回避することができる。

以上のように、上記実施形態の弁装置１５によれば、弁本体１７の上流側に絞り部材１６を設けるようにしたため、弁本体１７の流入路１７ｂに流れ込む蒸気の流体力（流体エネルギー）を減少させることができる。具体的には、絞り部材１６の開口１６ｃの面積（開口面積）を蒸気供給管１１の流路断面積よりも小さくしたので、蒸気が絞り部材１６の開口１６ｃを通過する際、蒸気の流体力を減少させることができる。こうして、弁本体１７の流入路１７ｂに流れ込む蒸気の流体力が減少することにより、流入路１７ｂにおける蒸気の流入音を抑制することができる。

また、上記実施形態の弁装置１５では、絞り部材１６の開口１６ｃに、円形開口の一部を遮蔽する障壁部１６ｄを設けるようにしたため、蒸気の一部を障壁部１６ｄに衝突させ、これによって蒸気の流体力を減少させることができる。

しかも、絞り部材１６の障壁部１６ｄは開口１６ｃにおいて流入路１７ｂの曲がり部１７ｅの曲がり方向と同じ側の位置に設けるようにしたため、流入路１７ｂにおいて蒸気の流向を曲がり部１７ｅの曲がり方向に沿って滑らかに変えることができる。つまり、蒸気を曲がり部１７ｅの曲がり方向へ向かって滑らかに流すことができる。これにより、曲がり部１７ｅでの蒸気の衝突を緩和することができるので、流入路１７ｂにおける蒸気の流入音を効果的に抑制することができる。

なお、上記実施形態の絞り部材１６において、障壁部１６ｄの位置は、上述した位置に限らず、例えば弁本体１７の流入路１７ｂの曲がり部１７ｅが下方へ曲がるものである場合は開口１６ｃの下部に設けられる。

また、上記実施形態の弁装置１５において、絞り部材１６の開口１６ｃは、障壁部１６ｄを省略した円形に形成し、その開口面積を蒸気供給管１１の流路断面積よりも小さくした形態であってもよい。

また、上記実施形態では、温水生成装置１に設けられた弁装置１５について説明したが、本願の弁装置は、別の装置に設けられるものであってもよいし、蒸気以外の気体が流通するものであってもよい。

また、上記実施形態の弁本体１７は、電磁弁により構成したが、電動機で弁体を駆動する電動弁であってもよい。

本願に開示の技術は、蒸気や圧縮空気等の気体が流れる配管系統に設けられる弁装置について有用である。

１１蒸気供給管（供給管）
１５弁装置
１６絞り部材
１６ｃ開口
１６ｄ障壁部
１７弁本体
１７ａケーシング
１７ｂ流入路
１７ｃ流出路
１７ｅ曲がり部
１７ｇ弁口
１７ｈ弁体

Claims

気体の流入路および流出路と、上記流入路と流出路とを連通させる弁口とが設けられたケーシングと、上記弁口を開閉する弁体とを有する弁本体と、
上記弁本体の流入路と、該流入路に気体を供給する供給管との間に設けられ、上記流入路と上記供給管とを連通させ且つ上記供給管の流路断面積よりも小さい開口面積に形成された開口を有する絞り部材とを備え、
上記絞り部材の開口には、円形開口の一部を遮蔽する障壁部が設けられ、
上記弁本体の流入路は、流入端から水平に延びた後、上方へ曲がり上記水平に延びる部分よりも高い位置まで延びる曲がり部を有しており、
上記弁口は、上記流入路における上記水平に延びる部分よりも高い位置に設けられ、上下方向に開口しており、
上記弁体は、上記弁口の上方に設けられており、
上記絞り部材の障壁部は、上記開口において上記流入路の曲がり部の曲がり方向と同じ側の位置に設けられている
ことを特徴とする弁装置。