JP6662805B2 - 抵抗回路、発振回路および車載用センサ装置 - Google Patents
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Description
π11_P=6.6×10−11m2/N、
π12_P=−1.1×10−11m2/N、
π44_P=138.1×10−11m2/N、
π11_N=−102.2×10−11m2/N、
π12_N=53.4×10−11m2/N、
π44_N=−13.6×10−11m2/N、
とした。
本実施例1の変形例による抵抗素子および抵抗回路について図6〜図11を用いて説明する。図6(a)は、本実施例1による基本となるP型拡散層抵抗素子を示す平面図である。図6(b)は、本実施例1の第1変形例によるP型拡散層抵抗素子を示す平面図である。図7は、本実施例1の第2変形例による抵抗回路を構成するP型拡散層抵抗素子およびN型拡散層抵抗素子の配置を示す平面図である。図8は、本実施例1の第3変形例による抵抗回路を構成するP型拡散層抵抗素子およびN型拡散層抵抗素子の配置を示す平面図である。図9(a)は、本実施例1の第4変形例による抵抗回路を構成するP型拡散層抵抗素子およびN型拡散層抵抗素子の配置を示す平面図である。図9(b)は、図9(a)のA−A´線に沿った断面図である。図10(a)は、本実施例1による基本となるP型拡散層抵抗素子を示す平面図である。図10(b)は、本実施例1の第5変形例によるP型拡散層抵抗素子を示す平面図である。図11は、抵抗素子へ応力を印加したときの抵抗変化率ΔR/Rp−pと抵抗素子のアスペクト比(長さ/幅)との関係を示すグラフ図である。
図6(a)に、本実施例1による基本となるP型拡散層抵抗素子を示し、図6(b)に、本実施例1の第1変形例によるP型拡散層抵抗素子を示す。
図7に、本実施例1の第2変形例による抵抗回路を構成するP型拡散層抵抗素子およびN型拡散層抵抗素子の配置を示す。
図8に、本実施例1の第3変形例による抵抗回路を構成するP型拡散層抵抗素子およびN型拡散層抵抗素子の配置を示す。
図9(a)に、本実施例1の第4変形例による抵抗回路を構成するP型拡散層抵抗素子およびN型拡散層抵抗素子の配置を示し、図9(b)に、図9(a)のA−A´線に沿った断面を示している。なお、図9(a)および(b)では、シリサイド領域は省略している。
図10(a)に、本実施例1による基本となるP型拡散層抵抗素子を示し、図10(b)に、本実施例1の第5変形例によるP型拡散層抵抗素子を示す。
101,102 P型拡散層抵抗素子
103,104 N型拡散層抵抗素子
105 N型ウェル
400,401,402,403 抵抗変化率
500,501,502 抵抗変化率
600 金属配線層
601A,601B コンタクト
602A,602B 拡散層
603 P型拡散層抵抗素子
604 金属配線層
605 金属配線層
606A,606B コンタクト
607A,607B 拡散層
608 P型拡散層抵抗素子
609 電流経路
610 金属配線層
611 領域
612 電流経路
700 P型拡散層抵抗素子
701 N型ウェル
702 N型拡散層抵抗素子
703,704 領域
705 余白領域
800 P型拡散層抵抗素子
801 N型ウェル
802 領域
803 N型拡散層抵抗素子
804 領域
900 コンタクト
901 N型ウェル
902,903 コンタクト
904,905,906 P型拡散層抵抗素子
907 コンタクト
908 N型ウェル
909,910,911 P型拡散層抵抗素子
912 コンタクト
913,914,915 金属配線層
916,917 コンタクト
918 金属配線層
919 コンタクト
920 金属配線層
1000,1001,1002 P型拡散層抵抗素子
1003A,1003B 拡散層
1004A,1004B コンタクト
1005,1006 金属配線層
1200 抵抗回路
1201 キャパシタ
1202,1203 MOSトランジスタ
1300 N型拡散層抵抗素子
1301 基板コンタクト
1302 P型拡散層抵抗素子
1303 N型ウェル
1304 ウェルコンタクト
1400 空気流量測定装置
1401 センサ素子
1402 半導体チップ
1403 AD変換器
1404 信号処理部
1405 出力回路
1406 発振回路
1500 ハウジング
1501 経路
1502 センサ素子
1503 半導体チップ
1504 チップパッケージ
1505 流路
1506 開口部
Claims (11)
- 半導体基板と、
前記半導体基板の主面に形成されたN型抵抗部と、
前記半導体基板の主面に形成され、前記N型抵抗部と互いに電気的に直列に接続されたP型抵抗部と、
を備え、
前記N型抵抗部は、互いに直角をなすように配置され、かつ、電気的に直列に接続された第1N型拡散層抵抗素子と第2N型拡散層抵抗素子とを有し、
前記P型抵抗部は、互いに直角をなすように配置され、かつ、電気的に直列に接続された第1P型拡散層抵抗素子と第2P型拡散層抵抗素子とを有し、
前記第1N型拡散層抵抗素子は、<110>方向に沿って配置され、
前記第1P型拡散層抵抗素子は、<100>方向に沿って配置されている、抵抗回路。 - 請求項1記載の抵抗回路において、
前記第1P型拡散層抵抗素子および前記第2P型拡散層抵抗素子の抵抗値は、前記第1N型拡散層抵抗素子および前記第2N型拡散層抵抗素子のいずれの抵抗値よりも大きい、抵抗回路。 - 請求項1記載の抵抗回路において、
前記第1P型拡散層抵抗素子は、前記半導体基板にP型不純物が導入された半導体領域からなり、
前記半導体領域の一方の端部に第1シリサイド領域を介して第1金属配線層が電気的に接続され、
前記半導体領域の他方の端部に第2シリサイド領域を介して第2金属配線層が電気的に接続され、
前記第1シリサイド領域の前記第2シリサイド領域に対向する一辺は、前記第1P型拡散層抵抗素子が延伸する方向と直交する方向に沿って設けられ、
前記第2シリサイド領域の前記第1シリサイド領域に対向する一辺は、前記第1P型拡散層抵抗素子が延伸する方向と直交する方向に沿って設けられている、抵抗回路。 - 請求項3記載の抵抗回路において、
前記第1シリサイド領域と前記第1金属配線層との間に第1絶縁膜が形成され、
前記第2シリサイド領域と前記第2金属配線層との間に第2絶縁膜が形成され、
前記第1シリサイド領域の前記第2シリサイド領域に対向する一辺に並行して、前記第1シリサイド領域と前記第1金属配線層とを電気的に接続する複数の第1コンタクトが前記第1絶縁膜に形成され、
前記第2シリサイド領域の前記第1シリサイド領域に対向する一辺に並行して、前記第2シリサイド領域と前記第2金属配線層とを電気的に接続する複数の第2コンタクトが前記第2絶縁膜に形成されている、抵抗回路。 - 請求項1記載の抵抗回路において、
前記N型抵抗部と前記P型抵抗部とは、<110>方向に交互に配置され、かつ、<110>方向と直交する方向に交互に配置されている、抵抗回路。 - 請求項1記載の抵抗回路において、
前記N型抵抗部は、さらに、互いに直角をなすように配置され、かつ、電気的に直列に接続された第3N型拡散層抵抗素子と第4N型拡散層抵抗素子とを有し、
前記P型抵抗部は、さらに、互いに直角をなすように配置され、かつ、電気的に直列に接続された第3P型拡散層抵抗素子と第4P型拡散層抵抗素子とを有し、
前記第3N型拡散層抵抗素子および前記第4N型拡散層抵抗素子の延伸方向の長さは、前記第1N型拡散層抵抗素子および前記第2N型拡散層抵抗素子のいずれの延伸方向の長さよりも短く、
前記第3P型拡散層抵抗素子および前記第4P型拡散層抵抗素子の延伸方向の長さは、前記第1P型拡散層抵抗素子および前記第2P型拡散層抵抗素子のいずれの延伸方向の長さよりも短い、抵抗回路。 - 請求項1記載の抵抗回路において、
前記半導体基板の主面に形成された第1N型領域と、
前記半導体基板の主面に、前記第1N型領域と互いに離間して形成された第2N型領域と、
を有し、
前記第1P型拡散層抵抗素子は、前記第1N型領域内に形成され、
前記第2P型拡散層抵抗素子は、前記第2N型領域内に形成され、
前記第1N型領域は、前記第1N型拡散層抵抗素子として機能し、
前記第2N型領域は、前記第2N型拡散層抵抗素子として機能する、抵抗回路。 - 請求項1記載の抵抗回路において、
前記第1P型拡散層抵抗素子は、<110>方向に互いに離間して設けられた第1部分と第2部分とから構成され、
前記第1部分および前記第2部分は、<110>方向とは異なる方向に沿って配置され、
前記第1部分と前記第2部分とは、電気的に並列に接続されている、抵抗回路。 - 請求項1記載の抵抗回路において、
前記第1P型拡散層抵抗素子のアスペクト比は2以上である、抵抗回路。 - 半導体基板と、
前記半導体基板の主面に形成されたキャパシタと、
前記半導体基板の主面に形成された抵抗回路と、
を備え、
前記キャパシタの容量値と前記抵抗回路の抵抗値によって発振周波数が設定される発振回路であって、
前記抵抗回路は、
前記半導体基板の主面に形成されたN型抵抗部と、
前記半導体基板の主面に形成され、前記N型抵抗部と互いに電気的に直列に接続されたP型抵抗部と、
を備え、
前記N型抵抗部は、互いに直角をなすように配置され、かつ、電気的に直列に接続された第1N型拡散層抵抗素子と第2N型拡散層抵抗素子とを有し、
前記P型抵抗部は、互いに直角となるように配置され、かつ、電気的に直列に接続された第1P型拡散層抵抗素子と第2P型拡散層抵抗素子とを有し、
前記第1N型拡散層抵抗素子は、<110>方向に沿って配置され、
前記第1P型拡散層抵抗素子は、<100>方向に沿って配置されている、発振回路。 - キャパシタの容量値と抵抗回路の抵抗値によって発振周波数が設定される発振回路を備えた半導体チップと、
物理量に応じて電気的特性を検出する検出部を備えたセンサ素子と、
前記検出部が露出した状態となるように、第1樹脂によって前記半導体チップおよび前記センサ素子を封止するチップパッケージと、
前記検出部が露出した状態となるように、第2樹脂によって前記チップパッケージの周囲の一部を封止するハウジングと、
を有する車載用センサ装置であって、
前記発振回路は、
半導体基板と、
前記半導体基板の主面に形成された前記キャパシタと、
前記半導体基板の主面に形成された前記抵抗回路と、
を備え、
前記抵抗回路は、
前記半導体基板の主面に形成されたN型抵抗部と、
前記半導体基板の主面に形成され、前記N型抵抗部と互いに電気的に直列に接続されたP型抵抗部と、
を備え、
前記N型抵抗部は、互いに直角をなすように配置され、かつ、電気的に直列に接続された第1N型拡散層抵抗素子と第2N型拡散層抵抗素子とを有し、
前記P型抵抗部は、互いに直角をなすように配置され、かつ、電気的に直列に接続された第1P型拡散層抵抗素子と第2P型拡散層抵抗素子とを有し、
前記第1N型拡散層抵抗素子は、<110>方向に沿って配置され、
前記第1P型拡散層抵抗素子は、<100>方向に沿って配置されている、車載用センサ装置。
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