JP6655538B2 - 半導体素子 - Google Patents
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Description
まず、本発明の実施の形態1に係る半導体素子について説明する。本実施の形態1に係る半導体素子は、端面発光型の半導体レーザ素子であって、リッジ構造を有しており、これによって光の幅方向の閉じ込めと電流狭窄構造とを実現するものである。
さらに、この半導体レーザ素子100では、絶縁膜16により上部電極17とp型半導体層領域14との接触面積を開口部16aに制限することによって電流狭窄構造が実現されている。
図5は、図3の部分拡大図である。半導体積層部15の積層方向における最表面を含む最表領域15Aは、下部第1不純物層としてのp型クラッド層12と、上部第1不純物層13aおよび上部第1不純物層13aと離間して島状に形成された島部である上部第1不純物層13bを含む上部第1不純物層13とを含んでいる。
まず、ステップS101の半導体積層部形成工程について説明する。この工程では、図7に示すように、MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)法により、基板5上にn型バッファ層6、n型クラッド層7、n型ガイド層8、活性層10、p型ガイド層11、p型クラッド層12、上部第1不純物層13、第2不純物層20をエピタキシャル成長する。ここで、上部第1不純物層13には、p型不純物である第1不純物としてCがドーピングされている。第2不純物層20は、p型不純物である第2不純物としてたとえば1.0×1017〜5.0×1019〜5.0×1020cm−3程度のZnがドーピングされたGaAsからなる層である。また、図7において、第1領域15aとなる領域を領域a、第2領域15bとなる領域を領域b、第3領域15cとなる領域を領域cとした。
つぎに、ステップS102の島部形成工程について説明する。この工程では、はじめに、図8に示すように、フォトリソグラフィ工程を行い領域aと、領域cの領域bとの境界側とにフォトレジストP1を形成する。続いて、図9に示すように、エッチング工程を行い領域bと、領域cの領域aとの境界側の第2不純物層20を除去する。さらに、フォトレジストP1を除去する。これによって、第2不純物層20は、領域aに形成された第2不純物層20aと、第2不純物層20aと離間した島部である第2不純物層20bとを含む形状となる。
つぎに、ステップS103の誘電体膜形成工程について説明する。この工程では、IFVD法を用いて原子空孔拡散によって混晶化を行い、第1領域15a、第2領域15b、第3領域15cの混晶度をそれぞれ異なる値とするため、誘電体膜21および誘電体膜22を形成する。まず、半導体積層部15の上面に、SiN絶縁膜である誘電体膜21を形成する。つぎに、図10に示すように、フォトリソグラフィ工程、エッチング工程を経て、領域bの誘電体膜21を除去する。続いて、全面にSiN絶縁膜である誘電体膜22を形成する。ここで、誘電体膜21は、たとえば屈折率が2.0の緻密なSiN絶縁膜であり、誘電体膜22は、たとえば屈折率が1.9の疎なSiN絶縁膜である。このとき、誘電体膜21は、混晶化を抑制する機能を有する抑制膜として機能し、誘電体膜22は、混晶化を促進する機能を有する促進膜として機能する。ただし、RTAの条件によって、誘電体膜21と誘電体膜22とのうち、どちらを緻密なSiN絶縁膜とし、どちらを疎なSiN絶縁膜とするかの関係が入れ替わることがあることに留意すべきである(特許文献5参照)。
つぎに、ステップS104の熱処理工程について説明する。この工程では、RTAにより短時間の熱処理を行う。RTAによる熱処理を行うと、誘電体膜21および誘電体膜22によってGa原子が吸収され上部第1不純物層13および第2不純物層20の表面上に原子空孔が発生する。この原子空孔が拡散種として拡散し、各半導体層、特に活性層10が混晶化される。
つぎに、ステップS105の第2不純物層除去工程について説明する。この工程では、はじめに、図11に示すように、誘電体膜21および誘電体膜22を除去する。このとき、第2不純物層20bの表面には表面あれr1が生じている場合がある。続いて、図12に示すように、エッチング工程を行い第2不純物層20を除去する。このとき、領域bおよび領域cの一部で上部第1不純物層13が除去され、半導体積層部の最表面にp型クラッド層12が露出する。また、表面あれr1は、エッチングとともに第2不純物層20bの表面から上部第1不純物層13bの表面に移る。
つぎに、ステップS106のリッジ構造形成工程について説明する。この工程では、図13に示すように、フォトリソグラフィ工程によってp型クラッド層12および上部第1不純物層13上にリッジ構造およびサポートメサ構造形成のためのストライプパターンのフォトレジストP2を形成する。つぎに、図14に示すように、p型クラッド層12および上部第1不純物層13を台形状にエッチングする。あわせて、台形部を挟むようにサポートメサ構造となる構造が形成される。その後、フォトレジストP2を除去し、サポートメサ構造を有するリッジ構造を形成する。さらに、絶縁膜16を形成し、フォトリソグラフィ工程およびエッチング工程を行って、上部電極17が上部第1不純物層13に接触するための開口部16aを形成する。その後、上部電極17と、基板5の底面の下部電極4を形成し、基板5をへき開してそのへき開面に低反射率膜2と高反射率膜3とを形成し、さらに素子ごとにカッティングすることによって、半導体レーザ素子100が完成する。
なお、上述したように、表面あれr1は転位の起点となり得るが、第3領域15c等により転位の成長が抑制される。
また、基板5をへき開する際に、へき開面に傷が生じる場合があり、その傷に電流が注入されると転位が成長する。このような転位の成長を防ぐため、半導体レーザ素子100は、x軸方向の両端部にも窓領域が形成されている。
つぎに、本発明の実施の形態2に係る半導体素子について説明する。本実施の形態2に係る半導体素子は、実施の形態1に係る半導体レーザ素子100と同一の構造を備える半導体レーザ素子である。図15は、実施の形態2に係る半導体素子のy−z面における断面および混晶度を示す図である。図15に示すように、半導体レーザ素子200は、共振器を形成する低反射率膜202と高反射率膜203とを備える。さらに、半導体レーザ素子200は、下部電極204を底面に形成した基板205上に順次形成された、n型バッファ層206、n型クラッド層207、n型ガイド層208を有するn型半導体層領域209と、下部バリア層210a、量子井戸層210b、上部バリア層210cを備える活性層210と、p型ガイド層211、p型クラッド層212、上部第1不純物層213aおよび上部第1不純物層213bを備える上部第1不純物層213を有するp型半導体層領域214とを含む半導体積層部215を備える。そして、半導体レーザ素子200は、半導体積層部215上に形成された絶縁膜216と、上部電極217とを備える。
その後、実施の形態1と同様に、第2不純物層除去工程およびリッジ構造形成工程を行い半導体レーザ素子200が製造される。
つぎに、本発明の実施の形態3に係る半導体素子について説明する。本実施の形態3に係る半導体素子は、実施の形態1と同様にリッジ構造の半導体レーザ素子である。図17、図18は、本実施の形態3に係る半導体レーザ素子のx−y面、y−z面における断面および混晶度を示す図である。図17、図18に示すように、半導体レーザ素子300は、共振器を形成する低反射率膜302と高反射率膜303とを備える。さらに、半導体レーザ素子300は、下部電極304を底面に形成した基板305上に順次形成された、n型バッファ層306、n型クラッド層307、n型ガイド層308を有するn型半導体層領域309と、下部バリア層310a、量子井戸層310b、上部バリア層310cを備える活性層310と、p型ガイド層311、p型クラッド層312、上部第1不純物層313aおよび上部第1不純物層313bを備える上部第1不純物層313を有するp型半導体層領域314とを含む半導体積層部315を備える。そして、半導体レーザ素子300は、半導体積層部315上に形成された絶縁膜316と、上部電極317とを備える。
なお、上記実施の形態のような半導体レーザ素子はz軸方向の一方向に沿って電流注入を行うのに対して、他の半導体素子では第1領域の活性層(半導体動作層)へ2次元的な電流注入を行う場合がある。この際、半導体素子では、電流注入領域が2次元的に広がっているため、第1領域を取り囲むように第3領域を形成し、活性層に平行で第3領域から第1領域に向かうあらゆる方向において、第3領域の活性層の長さが5μm以上であることがより好ましい。その結果、あらゆる方向で第3領域の表面に発生した表面あれによる転位が第1領域の活性層に到達することを防止することができ、本発明の効果をより顕著に得ることができる。
また所望の発振波長に応じてInP等の他の材料の基板や、他の材料系から積層構造を構成することもできる。
1 素子本体
2、202、302、1002 低反射率膜
3、203、303 高反射率膜
4、204、304 下部電極
5、205、305 基板
6、206、306 n型バッファ層
7、207、307 n型クラッド層
8、208、308 n型ガイド層
9、209、309 n型半導体層領域
10、210、310 活性層
10a、210a、310a 下部バリア層
10b、210b、310b 量子井戸層
10c、210c、310c 上部バリア層
11、211、311 p型ガイド層
12、212、312、1012 p型クラッド層
13、13a、13b、213、213a、213b、313、313a、313b 上部第1不純物層
14、214、314 p型半導体層領域
15、215、315 半導体積層部
15A 最表領域
15a、215a、315a 第1領域
15b、215b、315b 第2領域
15c、215c、315c 第3領域
16、216、316、1016 絶縁膜
16a 開口部
17、217、317、1017 上部電極
20、20a、20b、220、220a、220b、320、1020 第2不純物層
21、22、221、321、322、323、1021、1022 誘電体膜
1013 第1不純物層
a、b、c 領域
i1、i21、i22、i23、i31、i100 境界部
L レーザ光
P1、P2、P3、P4 フォトレジスト
r1、r21、r22、r23、r31、r100 表面あれ
S1、S2 断面
W1、W2、W3 幅
Claims (18)
- 活性層を有し、GaAs系半導体からなる半導体積層部と、
前記活性層に電流を注入する電極と、
を備える半導体素子であって、
前記半導体積層部は、
前記活性層の一部を含み、積層方向に延伸する第1領域と、少なくとも前記活性層の端部の一部を含み、前記積層方向に延伸する第2領域と、前記第1領域と前記第2領域との間の前記活性層の一部を含み、前記積層方向に延伸する第3領域と、を含み、
前記第2領域は、前記第1領域よりも混晶度が高くされ、
前記第3領域は、前記第1領域よりも混晶度が高くされ、かつ前記第2領域よりも混晶度が低くされ、
前記半導体積層部の積層方向における最表領域に、不純物がドーピングされた上部不純物層と、前記上部不純物層より前記活性層側に形成され前記上部不純物層より前記不純物の濃度が低い下部不純物層と、を有し、
少なくとも前記第1領域および前記第3領域の前記最表領域は前記上部不純物層を有し、
前記第1領域の前記上部不純物層は、前記電極と接しており、
前記第3領域の前記第1領域との境界において前記下部不純物層が前記半導体積層部の前記最表面に露出し、前記第3領域の前記上部不純物層は、前記電極と離間している
ことを特徴とする半導体素子。 - 前記第2領域近傍の前記第3領域に、故障モードを発生させる領域が配置されており、前記故障モードを発生させる領域を起点とした故障モードによる故障が抑制されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子。
- 前記上部不純物層は、混晶化を促進する機能を有する第1不純物がドーピングされた上部第1不純物層であり、
前記下部不純物層は、前記上部第1不純物層より前記第1不純物の濃度が低い下部第1不純物層であることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体素子。 - 前記第3領域の前記上部不純物層の所定の一方向における幅は、3μm以上であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の半導体素子。
- 前記第3領域において前記下部不純物層が露出する領域の所定の一方向における幅は、2μm以上であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載の半導体素子。
- 前記電極は、前記第1領域の前記上部不純物層と接し、前記第3領域の前記上部不純物層と離間していることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載の半導体素子。
- 前記半導体積層部は、前記半導体積層部の前記最表面と前記活性層との間に、前記第1不純物を含み、
前記第1領域における前記第1不純物の含有量をC11、前記第2領域における前記第1不純物の含有量をC12、前記第3領域における前記第1不純物の含有量をC13とすると、C12≧C13≧C11の関係であることを特徴とする請求項3〜6のいずれか一つに記載の半導体素子。 - 前記半導体積層部は、前記半導体積層部の最表面と前記活性層との間に、前記混晶化を抑制する機能を有する第2不純物を含み、
前記第1領域おける前記第2不純物の含有量をC21、前記第2領域における前記第2不純物の含有量をC22、前記第3領域における前記第2不純物の含有量をC23とすると、C21≧C23≧C22の関係であることを特徴とする請求項2〜7のいずれか一つに記載の半導体素子。 - 前記第3領域の、前記活性層に平行で前記第1領域に向かう方向のうちの少なくとも所定の一方向における前記活性層の長さが、5μm以上であることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子。
- 前記第3領域は、前記第2領域より多く不活性原子を含むことを特徴とする請求項1〜9のいずれか一つに記載の半導体素子。
- 前記半導体素子は、端面発光型の半導体レーザ素子であり、
前記所定の一方向は、当該半導体レーザ素子内での光の導波方向であることを特徴とする請求項1〜10のいずれか一つに記載の半導体素子。 - 前記光が導波する領域の全域にわたって、前記所定の一方向における前記第3領域の前記活性層の長さが5μm以上であることを特徴とする請求項11に記載の半導体素子。
- 前記活性層に平行で前記第3領域から前記第1領域に向かうあらゆる方向において、前記第3領域の前記活性層の長さが5μm以上であることを特徴とする請求項1〜10のいずれか一つに記載の半導体素子。
- 前記第3領域の前記混晶度は、前記第3領域の前記第2領域との境界における前記第2領域の前記混晶度と等しい値から、前記第3領域の前記第1領域との境界における前記第1領域の前記混晶度と等しい値へと変化していることを特徴とする請求項1〜13のいずれか一つに記載の半導体素子。
- 前記第3領域の前記混晶度は、前記活性層に平行で前記第3領域の前記第2領域との境界から前記第3領域の前記第1領域との境界に向かうあらゆる方向において、値が略テーパー形状になるように変化していることを特徴とする請求項14に記載の半導体素子。
- 前記第3領域の前記混晶度は、前記活性層に平行で前記第3領域の前記第2領域との境界から前記第3領域の前記第1領域との境界に向かうあらゆる方向において、値が略階段形状になるように変化していることを特徴とする請求項14に記載の半導体素子。
- 前記第3領域の前記混晶度は、前記活性層に平行で前記第3領域の前記第2領域との境界から前記第3領域の前記第1領域との境界に向かうあらゆる方向において、値が前記第1領域近傍付近で急激に低くなるように変化していることを特徴とする請求項14に記載の半導体素子。
- 前記第3領域の前記混晶度は、前記活性層に平行で前記第3領域の前記第2領域との境界から前記第3領域の前記第1領域との境界に向かうあらゆる方向において、値が高低を繰り返すように変化していることを特徴とする請求項14に記載の半導体素子。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014164584 | 2014-08-12 | ||
JP2014164584 | 2014-08-12 | ||
PCT/JP2015/072833 WO2016024609A1 (ja) | 2014-08-12 | 2015-08-12 | 半導体素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2016024609A1 JPWO2016024609A1 (ja) | 2017-05-25 |
JP6655538B2 true JP6655538B2 (ja) | 2020-02-26 |
Family
ID=55304236
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016542599A Active JP6655538B2 (ja) | 2014-08-12 | 2015-08-12 | 半導体素子 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10109982B2 (ja) |
JP (1) | JP6655538B2 (ja) |
CN (1) | CN106575854B (ja) |
WO (1) | WO2016024609A1 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2018003335A1 (ja) * | 2016-06-30 | 2019-04-25 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 半導体レーザ装置、半導体レーザモジュール及び溶接用レーザ光源システム |
WO2019138635A1 (ja) * | 2018-01-10 | 2019-07-18 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 半導体レーザ |
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JPH0677596A (ja) | 1992-08-26 | 1994-03-18 | Canon Inc | 光機能素子 |
JP3725582B2 (ja) | 1995-07-05 | 2005-12-14 | 三菱電機株式会社 | 半導体レーザ装置の製造方法,及び半導体レーザ装置 |
JP3387076B2 (ja) | 1997-01-07 | 2003-03-17 | 住友電気工業株式会社 | 半導体レーザ及びその製造方法 |
JP3710329B2 (ja) | 1999-07-01 | 2005-10-26 | シャープ株式会社 | 半導体レーザ素子およびその製造方法 |
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JP5579096B2 (ja) * | 2011-02-14 | 2014-08-27 | 古河電気工業株式会社 | 半導体レーザ素子および通信システム |
CN103518297B (zh) | 2011-04-05 | 2015-11-25 | 古河电气工业株式会社 | 半导体光器件及其制造方法 |
JP5379823B2 (ja) * | 2011-04-05 | 2013-12-25 | 古河電気工業株式会社 | 半導体光デバイスの製造方法 |
-
2015
- 2015-08-12 JP JP2016542599A patent/JP6655538B2/ja active Active
- 2015-08-12 WO PCT/JP2015/072833 patent/WO2016024609A1/ja active Application Filing
- 2015-08-12 CN CN201580042180.2A patent/CN106575854B/zh active Active
-
2017
- 2017-02-07 US US15/426,256 patent/US10109982B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20170149214A1 (en) | 2017-05-25 |
US10109982B2 (en) | 2018-10-23 |
JPWO2016024609A1 (ja) | 2017-05-25 |
CN106575854B (zh) | 2019-08-27 |
CN106575854A (zh) | 2017-04-19 |
WO2016024609A1 (ja) | 2016-02-18 |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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