JP2010212499A - 半導体レーザ素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板11およびバッファ層12と第1n型クラッド層14との間に、ドナーとして働く不純物であるシリコン(Si)またはゲルマニウム(Ge)の一方およびアクセプタとして働く不純物であるマグネシウム(Mg)または亜鉛(Zn)の一方が共添加されたGaNよりなる共添加層13を設ける。共添加層13の光吸収係数は、ドナーとして働く不純物のみ、またはアクセプタとして働く不純物のみを添加した場合に比べて極めて大きくなる。よって、第2n型クラッド層15および第1n型クラッド層14を透過して基板11側へしみだす光は共添加層13により吸収され、活性層を導波する光とのモード結合が生じない程度に減衰する。
【選択図】図1
Description
(A)GaNよりなる基板
(B)基板の一面側に設けられ、3B族元素のうちの少なくともガリウム(Ga)と5B族元素のうちの少なくとも窒素(N)とを含む窒化物系III−V族化合物半導体よりなると共に少なくとも一部にアルミニウム(Al)を含むn型クラッド層およびp型クラッド層
(C)n型クラッド層およびp型クラッド層の間に設けられ、3B族元素のうちの少なくともインジウム(In)およびガリウム(Ga)と5B族元素のうちの少なくとも窒素(N)とを含む窒化物系III−V族化合物半導体よりなる活性層
(D)基板およびn型クラッド層の間に設けられ、3B族元素のうちの少なくともガリウム(Ga)と5B族元素のうちの少なくとも窒素(N)とを含む窒化物系III−V族化合物半導体よりなると共に、ドナーとして働く不純物であるシリコン(Si)またはゲルマニウム(Ge)の一方およびアクセプタとして働く不純物であるマグネシウム(Mg)または亜鉛(Zn)の一方が共添加された共添加層
Claims (7)
- GaNよりなる基板と、
前記基板の一面側に設けられ、3B族元素のうちの少なくともガリウム(Ga)と5B族元素のうちの少なくとも窒素(N)とを含む窒化物系III−V族化合物半導体よりなると共に少なくとも一部にアルミニウム(Al)を含むn型クラッド層およびp型クラッド層と、
前記n型クラッド層および前記p型クラッド層の間に設けられ、3B族元素のうちの少なくともインジウム(In)およびガリウム(Ga)と5B族元素のうちの少なくとも窒素(N)とを含む窒化物系III−V族化合物半導体よりなる活性層と、
前記基板および前記n型クラッド層の間に設けられ、3B族元素のうちの少なくともガリウム(Ga)と5B族元素のうちの少なくとも窒素(N)とを含む窒化物系III−V族化合物半導体よりなると共に、ドナーとして働く不純物であるシリコン(Si)またはゲルマニウム(Ge)の一方およびアクセプタとして働く不純物であるマグネシウム(Mg)または亜鉛(Zn)の一方が共添加された共添加層と
を備えた半導体レーザ素子。 - 前記共添加層の伝導型は、n型である
請求項1記載の半導体レーザ素子。 - 前記共添加層のキャリア濃度は、1.0×1018(cm-3)以上1.0×1019(cm-3)以下である
請求項1記載の半導体レーザ素子。 - 前記共添加層は、前記n型クラッド層に隣接して設けられると共に前記n型クラッド層よりも狭い禁制帯幅を有する
請求項1記載の半導体レーザ素子。 - 前記n型クラッド層はAlx Ga1-x N(0<x≦1)混晶により構成されると共に任意のアルミニウム組成比xに対してクラック発生臨界膜厚を超えない厚さを有する
請求項1記載の半導体レーザ素子。 - 前記共添加層は、500nm以下の厚さを有する
請求項1記載の半導体レーザ素子。 - 前記共添加層の、前記アクセプタとして働く不純物の添加濃度は、1.0×1017(cm-3)以上4.0×1019(cm-3)以下である
請求項1記載の半導体レーザ素子。
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