JP6655450B2 - 塗布装置及び塗布方法 - Google Patents

Description

本発明は、塗布装置及び塗布方法に関する。

従来、ガラス基板等の被処理基板に被膜等を形成するための塗布液を塗布する塗布装置が知られている。このような塗布装置としては、基板が配置されるステージと、塗布液を吐出可能なノズルと、ノズルに塗布液を供給可能なポンプとを備えるものがある。

ところで、ポンプの容量の不足により、ノズルに塗布液を継続的に供給できず、ノズルから塗布液を連続的に吐出できないことがある。
一方、ポンプの容量の不足を解消する方法としては、ポンプの大型化が考えられる。しかし、ポンプの大型化は、塗布液の吐出精度を確保することが困難となるため、現実的ではない。
そのため、複数（例えば２台）のポンプを切り替えることにより、ノズルに塗布液を継続的に供給するようにしている。

例えば、特許文献１には、第一ポンプ及び第二ポンプの切替動作により、口金に塗布液を継続的に供給し、第一ポンプ及び第二ポンプの双方による排出動作が、口金から排出される塗布液の排出速度を一定の速度で維持しつつ行われる構成が開示されている。

特開２０１４−１８７２６０号公報

しかしながら、第一ポンプ及び第二ポンプの切替時に、口金に供給される塗布液が脈動する場合がある。脈動した塗布液が口金に供給されると、口金から排出される塗布液にも脈動が伝達されてしまう。そのため、塗布液の排出量が不安定になり、塗布ムラが生じる虞がある。
したがって特許文献１においては、塗布ムラを抑制しつつ塗布液を連続して吐出する上で課題があった。

以上のような事情に鑑み、本発明は、塗布ムラを抑制しつつ塗布液を連続して吐出することが可能な塗布装置及び塗布方法を提供することを目的とする。

本発明の一態様に係る塗布装置は、塗布対象に塗布液を塗布する塗布部と、前記塗布部に前記塗布液を供給可能な第一ポンプ及び第二ポンプを有する供給部と、前記第一ポンプ及び前記第二ポンプの内圧を検知する検知部と、前記第一ポンプ及び前記第二ポンプの内圧を調整可能な調整部と、前記第一ポンプ又は前記第二ポンプの何れか一方の内圧が前記一方の内圧の検知結果を基に調整された後に、前記一方から前記塗布部に前記塗布液が供給されるように前記第一ポンプ及び前記第二ポンプを切り替える切替部と、含む。

この構成によれば、塗布部に塗布液を供給可能な第一ポンプ及び第二ポンプを有することで、第一ポンプ及び第二ポンプの切替動作により、塗布部に塗布液を継続的に供給することができるため、塗布部から塗布液を連続的に吐出することができる。また、第一ポンプ又は第二ポンプの何れか一方の内圧が前記一方の内圧の検知結果を基に調整された後に、前記一方から塗布部に塗布液が供給されるように第一ポンプ及び第二ポンプを切り替えることで、以下の効果を奏する。第一ポンプ及び第二ポンプの切替前後で各ポンプの内圧を同じにした状態で塗布液の供給を行うことができるため、塗布部に供給される塗布液が脈動することを回避することができる。したがって、塗布ムラを抑制しつつ塗布液を連続して吐出することができる。加えて、第一ポンプ及び第二ポンプの切替前後で各ポンプの内圧を自身の内圧の検知結果を基に調整（すなわち同一のポンプ内で調整）することができるため、各ポンプの個体差による検知誤差が生じることはない。したがって、各ポンプの内圧を他方（すなわち相手側のポンプ）の内圧を基に調整する場合と比較して、各ポンプの内圧を精度よく調整することができる。

上記の塗布装置において、前記切替部は、前記一方の内圧が前記一方の直近の動作終了時の内圧の検知結果を基に調整された後に、前記一方から前記塗布部に前記塗布液が供給されるように前記第一ポンプ及び前記第二ポンプを切り替えてもよい。
この構成によれば、第一ポンプ及び第二ポンプの切替前後で各ポンプの内圧を自身の直近の動作終了時の内圧の検知結果を基に調整することができるため、単に自身の内圧の検知結果を基に調整する場合と比較して、各ポンプの内圧をより一層精度よく調整することができる。

上記の塗布装置において、前記第一ポンプ及び前記第二ポンプは、筐体と、前記筐体内に同軸的に配置され、前記塗布液が収容される可撓性部材と、作動流体を収容するシリンダ部と、前記シリンダ部に対して往復動可能に挿入され、前記筐体と前記可撓性部材との隙間に前記作動流体を供給して前記可撓性部材から前記塗布液を排出させるプランジャと、を含んでもよい。
この構成によれば、塗布液を可撓性部材に収容した状態で、可撓性部材に対する作動流体の押圧を利用して、可撓性部材から塗布液を排出させることができるため、塗布部へ塗布液を供給する際に塗布液が汚染されることを回避することができる。

上記の塗布装置において、前記検知部は、前記内圧として、前記可撓性部材に収容されている前記塗布液の圧力を検知してもよい。
この構成によれば、内圧として可撓性部材に収容された塗布液の圧力を検知することができるため、各ポンプと塗布部との間の供給路（例えば配管）を流れる塗布液の圧力を検知する場合と比較して、供給路による圧力損失分を除外した値を得ることができ、各ポンプの内圧を精度よく調整することができる。また、内圧として塗布液の圧力を直接的に検知することができるため、内圧として作動流体の圧力を検知する場合と比較して、各ポンプの内圧を精度よく調整することができる。

上記の塗布装置において、前記検知部は、前記可撓性部材の下流側に連通する流体排出口の側に配置されていてもよい。
この構成によれば、可撓性部材から排出される直前の塗布液の圧力（すなわち、可撓性部材内の塗布液のうち塗布部に近い部分の圧力）を検知することができるため、検知部が可撓性部材の上流側に配置された場合と比較して、各ポンプの内圧を精度よく調整することができる。

上記の塗布装置において、前記切替部は、前記第一ポンプへの前記塗布液の供給路を開閉可能な第一バルブと、前記第二ポンプへの前記塗布液の供給路を開閉可能な第二バルブと、前記第一ポンプから前記塗布部への前記塗布液の供給路を開閉可能な第三バルブと、前記第二ポンプから前記塗布部への前記塗布液の供給路を開閉可能な第四バルブと、前記第一バルブ、前記第二バルブ、前記第三バルブ及び前記第四バルブの開閉を制御するバルブ制御部と、を含んでもよい。
この構成によれば、各バルブの開閉を制御することによって、第一ポンプ又は第二ポンプの一方へ塗布液を供給すると共に、他方のポンプから塗布部へ塗布液を供給することができるため、塗布部に塗布液を継続的に安定して供給することができる。したがって、塗布部から塗布液を連続的に安定して吐出することができる。例えば、第一バルブを「開」、第二バルブを「閉」、第三バルブを「閉」、第四バルブを「開」とすることによって、第一ポンプへ塗布液を供給しつつ第二ポンプへの塗布液の供給を停止すると共に、第一ポンプから塗布部への塗布液の供給を停止しつつ第二ポンプから塗布部へ塗布液を供給することができる。

上記の塗布装置において、前記バルブ制御部は、前記第一ポンプから前記塗布部への供給に切り替える際に前記第三バルブを開け、前記第三バルブが開いている間に前記第二バルブを開く制御をし、前記第二ポンプから前記塗布部への供給に切り替える際に前記第四バルブを開け、前記第四バルブが開いている間に前記第一バルブを開く制御をしてもよい。
この構成によれば、第三バルブを「開」としている間に第二バルブを「開」とし、第四バルブを「開」としている間に第一バルブを「開」とすることによって、第一ポンプ又は第二ポンプの一方が塗布部へ塗布液を供給している間に、他方のポンプへ塗布液を供給することができるため、切替後に他方のポンプから塗布部へ塗布液を供給するための準備を予め行うことができる。

上記の塗布装置において、前記バルブ制御部は、前記第一バルブを開く際に前記第三バルブを閉じる制御をし、前記第二バルブを開く際に前記第四バルブを閉じる制御をしてもよい。
この構成によれば、第一バルブを「開」とする際に第三バルブを「閉」とし、第二バルブを「開」とする際に第四バルブを「閉」とすることによって、第一ポンプ又は第二ポンプの一方へ塗布液を供給する際に、前記一方のポンプから塗布部への塗布液の供給を停止することができるため、他方のポンプから塗布部へ塗布液を安定して供給することができる。

上記の塗布装置において、前記バルブ制御部は、前記第一ポンプの内圧を調整する際に前記第一バルブ及び前記第三バルブを閉じる制御をし、前記第二ポンプの内圧を調整する際に前記第二バルブ及び前記第四バルブを閉じる制御をしてもよい。
この構成によれば、第一ポンプの内圧を調整する際に第一バルブ及び第三バルブを「閉」とし、第二ポンプの内圧を調整する際に第二バルブ及び第四バルブを「閉」とすることによって、第一ポンプ又は第二ポンプの一方（塗布部へ塗布液を供給中のポンプ）の内圧に基づいて、他方のポンプの内圧を調整することができる。また、外的要因によって他方のポンプの内圧が変動することを回避することができる。したがって、各ポンプの内圧を安定して調整することができる。

上記の塗布装置において、前記バルブ制御部は、前記第一ポンプの内圧を調整した後に前記第三バルブを開く制御をし、前記第二ポンプの内圧を調整した後に前記第四バルブを開く制御をしてもよい。
この構成によれば、第一ポンプの内圧を調整した後に第三バルブを「開」とし、第二ポンプの内圧を調整した後に第四バルブを「開」とすることによって、切替前に、第一ポンプ又は第二ポンプの一方（塗布部へ塗布液を供給中のポンプ）と併せて他方のポンプの内圧を大気圧まで一旦下げることができる。そのため、内圧調整に起因する悪影響を予め排除することができ、塗布部へ塗布液を安定して供給することができる。また、一方のポンプから塗布部への塗布液の供給量が減少する場合であっても、前記減少分だけ他方のポンプから塗布部への塗布液の供給量を増加させることによって、前記減少分を補完することができる。

上記の塗布装置において、前記調整部は、回転数の増減によって前記第一ポンプの内圧を調整可能な第一モータと、回転数の増減によって前記第二ポンプの内圧を調整可能な第二モータと、前記第一モータ及び前記第二モータの回転数を制御するモータ制御部と、を含んでもよい。
この構成によれば、第一モータの回転数の増減によって第一ポンプの内圧を調整すると共に、第二モータの回転数の増減によって第二ポンプの内圧を調整することができるため、各ポンプの内圧を精度よく容易に調整することができる。

上記の塗布装置において、前記モータ制御部は、前記第一ポンプ及び前記第二ポンプの内圧を調整する際に、前記第一モータの回転数と前記第二モータの回転数との和が変化しないように前記第一モータ及び前記第二モータの回転数を制御してもよい。
この構成によれば、第一ポンプ及び第二ポンプの内圧を調整後に、塗布部への塗布液の供給量の総量を一定に保つことができるため、塗布液の吐出量を一定に維持することができる。

上記の塗布装置において、前記モータ制御部は、前記第一ポンプ及び前記第二ポンプを切り替える際に、切替前の前記第一ポンプ又は前記第二ポンプの何れか一方の内圧を基に前記第一モータ及び前記第二モータの回転数を制御してもよい。
この構成によれば、切替時に、各モータの回転数の増減によって、切替前の一方のポンプの内圧に基づいて他方のポンプの内圧を精度よく容易に調整することができるため、切替前後で各ポンプの内圧を同じにし易くなる。

上記の塗布装置において、前記塗布対象が配置されるステージを跨ぐように門型に形成されると共に、前記ステージに対して移動可能とされる門型フレームを更に含み、前記塗布部は、前記門型フレームに取り付けられると共に、前記第一ポンプ及び前記第二ポンプの切替によって前記塗布液を吐出可能なノズルを含んでもよい。
この構成によれば、一般的なレールに沿ってノズルを移動させる場合と比較して、高い剛性を有する門型フレームによってノズルをステージに対して移動させることができるため、ノズルの移動を安定して行うことができる。

上記の塗布装置において、前記供給部は、前記第一ポンプ及び前記第二ポンプの双方に前記塗布液を供給可能な供給源を含んでもよい。
この構成によれば、共通の供給源を用いて第一ポンプ及び第二ポンプの双方へ塗布液を供給することができるため、第一ポンプと第二ポンプとで別個の供給源を用いる場合と比較して、装置構成を簡素化することができる。

本発明の一態様に係る塗布方法は、塗布対象に塗布液を塗布する塗布部に対して、前記塗布液を第一ポンプ又は第二ポンプから供給する供給ステップと、前記第一ポンプ及び前記第二ポンプの内圧を検知する検知ステップと、前記第一ポンプ及び前記第二ポンプの内圧を調整する調整ステップと、前記第一ポンプ又は前記第二ポンプの何れか一方の内圧が前記一方の内圧の検知結果を基に調整された後に、前記一方から前記塗布部に前記塗布液が供給されるように前記第一ポンプ及び前記第二ポンプを切り替える切替ステップと、を含む。

この方法によれば、塗布液を第一ポンプ又は第二ポンプから供給する供給ステップと、第一ポンプ及び第二ポンプを切り替える切替ステップとを含むことで、第一ポンプ及び第二ポンプの切替動作により、塗布部に塗布液を継続的に供給することができるため、塗布部から塗布液を連続的に吐出することができる。また、第一ポンプ又は第二ポンプの何れか一方の内圧が前記一方の内圧の検知結果を基に調整された後に、前記一方から塗布部に塗布液が供給されるように第一ポンプ及び第二ポンプを切り替えることで、以下の効果を奏する。第一ポンプ及び第二ポンプの切替前後で各ポンプの内圧を同じにした状態で塗布液の供給を行うことができるため、塗布部に供給される塗布液が脈動することを回避することができる。したがって、塗布ムラを抑制しつつ塗布液を連続して吐出することができる。加えて、第一ポンプ及び第二ポンプの切替前後で各ポンプの内圧を自身の内圧の検知結果を基に調整（すなわち同一のポンプ内で調整）することができるため、各ポンプの個体差による検知誤差が生じることはない。したがって、各ポンプの内圧を他方（すなわち相手側のポンプ）の内圧を基に調整する場合と比較して、各ポンプの内圧を精度よく調整することができる。

上記の塗布方法において、前記切替ステップは、前記一方の内圧が前記一方の直近の動作終了時の内圧の検知結果を基に調整された後に、前記一方から前記塗布部に前記塗布液が供給されるように前記第一ポンプ及び前記第二ポンプを切り替えてもよい。
この方法によれば、第一ポンプ及び第二ポンプの切替前後で各ポンプの内圧を自身の直近の動作終了時の内圧の検知結果を基に調整することができるため、単に自身の内圧の検知結果を基に調整する場合と比較して、各ポンプの内圧をより一層精度よく調整することができる。

上記の塗布方法において、前記第一ポンプ及び前記第二ポンプを切り替える切替部として、前記第一ポンプへの前記塗布液の供給路を開閉可能な第一バルブと、前記第二ポンプへの前記塗布液の供給路を開閉可能な第二バルブと、前記第一ポンプから前記塗布部への前記塗布液の供給路を開閉可能な第三バルブと、前記第二ポンプから前記塗布部への前記塗布液の供給路を開閉可能な第四バルブと、を含み、前記切替ステップは、前記第一バルブ、前記第二バルブ、前記第三バルブ及び前記第四バルブを開閉してもよい。
この方法によれば、各バルブを開閉することによって、第一ポンプ又は第二ポンプの一方へ塗布液を供給すると共に、他方のポンプから塗布部へ塗布液を供給することができるため、塗布部に塗布液を継続的に安定して供給することができる。したがって、塗布部から塗布液を連続的に安定して吐出することができる。例えば、第一バルブを「開」、第二バルブを「閉」、第三バルブを「閉」、第四バルブを「開」とすることによって、第一ポンプへ塗布液を供給しつつ第二ポンプへの塗布液の供給を停止すると共に、第一ポンプから塗布部への塗布液の供給を停止しつつ第二ポンプから塗布部へ塗布液を供給することができる。

上記の塗布方法において、前記切替ステップは、前記第一ポンプから前記塗布部への供給を開始する際に前記第三バルブを開け、前記第三バルブが開いている間に前記第二バルブを開き、前記第二ポンプから前記塗布部への供給を開始する際に前記第四バルブを開け、前記第四バルブが開いている間に前記第一バルブを開いてもよい。
この方法によれば、第三バルブを「開」としている間に第二バルブを「開」とし、第四バルブを「開」としている間に第一バルブを「開」とすることによって、第一ポンプ又は第二ポンプの一方が塗布部へ塗布液を供給している間に、他方のポンプへ塗布液を供給することができるため、切替後に他方のポンプから塗布部へ塗布液を供給するための準備を予め行うことができる。

上記の塗布方法において、前記切替ステップは、前記第一バルブを開く際に前記第三バルブを閉じ、前記第二バルブを開く際に前記第四バルブを閉じてもよい。
この方法によれば、第二バルブを「開」とする際に第四バルブを「閉」とし、第二バルブを「開」とする際に第四バルブを「閉」とすることによって、第一ポンプ又は第二ポンプの一方へ塗布液を供給する際に、前記一方のポンプから塗布部への塗布液の供給を停止することができるため、他方のポンプから塗布部へ塗布液を安定して供給することができる。

上記の塗布方法において、前記切替ステップは、前記第一ポンプの内圧を調整する際に前記第一バルブ及び前記第三バルブを閉じ、前記第二ポンプの内圧を調整する際に前記第二バルブ及び前記第四バルブを閉じてもよい。
この方法によれば、第一ポンプの内圧を調整する際に第一バルブ及び第三バルブを「閉」とし、第二ポンプの内圧を調整する際に第二バルブ及び第四バルブを「閉」とすることによって、第一ポンプ又は第二のポンプの一方（塗布部へ塗布液を供給中のポンプ）の内圧に基づいて、他方のポンプの内圧を調整することができる。また、外的要因によって他方のポンプの内圧が変動することを回避することができる。したがって、各ポンプの内圧を安定して調整することができる。

上記の塗布方法において、前記切替ステップは、前記第一ポンプの内圧を調整した後に前記第三バルブを開き、前記第二ポンプの内圧を調整した後に前記第四バルブを開いてもよい。
この方法によれば、第一ポンプの内圧を調整した後に第三バルブを「開」とし、第二ポンプの内圧を調整した後に第四バルブを「開」とすることによって、切替前に、第一ポンプ又は第二ポンプの一方（塗布部へ塗布液を供給中のポンプ）と併せて他方のポンプの内圧を大気圧まで一旦下げることができる。そのため、内圧調整に起因する悪影響を予め排除することができ、塗布部へ塗布液を安定して供給することができる。また、一方のポンプから塗布部への塗布液の供給量が減少する場合であっても、前記減少分だけ他方のポンプから塗布部への塗布液の供給量を増加させることによって、前記減少分を補完することができる。

上記の塗布方法において、前記第一ポンプ及び前記第二ポンプの内圧を調整可能な調整部として、回転数の増減によって前記第一ポンプの内圧を調整可能な第一モータと、回転数の増減によって前記第二ポンプの内圧を調整可能な第二モータと、を含み、前記調整ステップは、前記第一モータ及び前記第二モータの回転数を増減してもよい。
この方法によれば、第一モータの回転数の増減によって第一ポンプの内圧を調整すると共に、第二モータの回転数の増減によって第二ポンプの内圧を調整することができるため、各ポンプの内圧を精度よく容易に調整することができる。

上記の塗布方法において、前記調整ステップは、前記第一ポンプ及び前記第二ポンプの内圧を調整する際に、前記第一モータの回転数と前記第二モータの回転数との和が変化しないように前記第一モータ及び前記第二モータの回転数を増減してもよい。
この方法によれば、第一ポンプ及び第二ポンプの内圧を調整後に、塗布部への塗布液の供給量の総量を一定に保つことができるため、塗布液の吐出量を一定に維持することができる。

上記の塗布方法において、前記調整ステップは、前記第一ポンプ及び前記第二ポンプを切り替える際に、切替前の前記第一ポンプ又は前記第二ポンプの何れか一方の内圧を基に前記第一モータ及び前記第二モータの回転数を増減してもよい。
この方法によれば、切替時に、各モータの回転数の増減によって、切替前の一方のポンプの内圧に基づいて他方のポンプの内圧を精度よく容易に調整することができるため、切替前後で各ポンプの内圧を同じにし易くなる。

本発明によれば、塗布ムラを抑制しつつ塗布液を連続して吐出することが可能な塗布装置及び塗布方法を提供することができる。

実施形態に係る塗布装置の模式図である。 実施形態に係る塗布装置の斜視図である。 実施形態に係る第一ポンプの概略構成図である。 実施形態に係る第一ポンプ及び第二ポンプの切替動作を説明するための図である。 実施形態に係る第一ポンプ及び第二ポンプの切替動作を説明するためのフローチャートである。

以下、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。

＜塗布装置＞
図１及び図２に示すように、塗布装置１は、基板１０（塗布対象）に被膜等を形成するための塗布液３ａを塗布するものである。塗布装置１は、塗布部２、供給部３、検知部６０、調整部４、切替部５、除去部６、ステージ７、移動装置８及び制御部９を備える。制御部９は、塗布装置１の構成要素を統括制御する。

＜塗布部＞
塗布部２は、基板１０に塗布液３ａを吐出するノズル２ａを備える。ノズル２ａは、長尺状に形成され、内部に塗布液３ａを収容可能とされる。例えば、ノズル２ａは、ノズル２ａの先端（下端）に塗布液３ａを吐出するスリット状の吐出口２ｂを有するスリットノズルを用いる。

＜供給部＞
供給部３は、塗布部２に塗布液３ａを供給可能な第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２と、第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２の双方に塗布液３ａを供給可能な供給源３０を備える。
供給源３０は、塗布部２に供給するための塗布液３ａを貯留する貯留タンク３０ａを備える。貯留タンク３０ａには、窒素ガス等の不活性ガスを導入可能な配管３０ｂが接続される。配管３０ｂは、バルブを介して加圧源（何れも不図示）に接続され、バルブの開閉制御によって、貯留タンク３０ａ内の圧力が調整される。供給源３０は、貯留タンク３０ａ内の圧力調整によって、所定量の塗布液３ａを第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２に向けて供給する。

例えば、塗布液３ａは、樹脂基板及び層間絶縁膜等を形成するための液状体を用いる。
本実施形態において、塗布液３ａは、１〜１０Ｐａ・ｓ程度の粘度を有するポリイミドを含む液状体を用いる。一般に、液晶表示装置に用いられるＴＦＴ及び液晶層等を形成するための液状体は、０．０１Ｐａｓ以下の粘度を有する。したがって、ポリイミドを含む液状体は、ＴＦＴ及び液晶層等を形成するための液状体と比較して高い粘度を有する。なお、塗布液３ａとして、ポリイミドを含む液状体以外の液状体、例えばフォトレジスト等の薬液（液体）を用いてもよい。

塗布装置１は、塗布液３ａの供給路（流路）を形成する複数の配管１０１〜１１１を備える。上述の通り、塗布液３ａは、供給源３０から塗布部２に向けて流れる。以下、塗布液３ａが流れる方向において、供給源３０側を「上流側」、塗布部２側を「下流側」ということがある。

＜検知部＞
検知部６０は、第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２の内圧を検知する。検知部６０は、第一ポンプ３１の内圧を検知する第一センサ６１と、第二ポンプ３２の内圧を検知する第二センサ６２とを備える。

＜調整部＞
調整部４は、回転数の増減によって第一ポンプ３１の内圧を調整可能な第一モータ４１と、回転数の増減によって第二ポンプ３２の内圧を調整可能な第二モータ４２と、第一モータ４１及び第二モータ４２の回転数を制御するモータ制御部４０とを備える。

＜切替部＞
切替部５は、４つのバルブ５１，５２，５３，５４（第一バルブ５１、第二バルブ５２、第三バルブ５３及び第四バルブ５４）と、各バルブ５１，５２，５３，５４の開閉を制御するバルブ制御部５０とを備える。

第一バルブ５１は、第一ポンプ３１への塗布液３ａの供給路を開閉可能とする。
第二バルブ５２は、第二ポンプ３２への塗布液３ａの供給路を開閉可能とする。
第三バルブ５３は、第一ポンプ３１から塗布部２への塗布液３ａの供給路を開閉可能とする。
第四バルブ５４は、第二ポンプ３２から塗布部２への塗布液３ａの供給路を開閉可能とする。

＜除去部＞
除去部６は、塗布液３ａに含まれる異物を除去するためのフィルターを備える。例えば、フィルターは、テフロン（登録商標）により形成される。
除去部６は、供給源３０と切替部５（第一バルブ５１及び第二バルブ５２）との間の流路上（配管１０１と配管１０２との間）に設けられる。

＜塗布液の供給＞
第一ポンプ３１は、上流側から順に、配管１０１、除去部６、配管１０２、配管１０３、第一バルブ５１及び配管１０４を介して供給源３０に接続される。
第一バルブ５１の開閉によって、配管１０３側（供給源３０）から配管１０４側（第一ポンプ３１）への塗布液３ａの供給が開始又は停止される。

第二ポンプ３２は、上流側から順に、配管１０１、除去部６、配管１０２、配管１０５、第二バルブ５２及び配管１０６を介して供給源３０に接続される。
第二バルブ５２の開閉によって、配管１０５側（供給源３０）から配管１０６側（第二ポンプ３２）への塗布液３ａの供給が開始又は停止される。

塗布部２は、上流側から順に、配管１０７、第三バルブ５３、配管１０８及び配管１１１を介して第一ポンプ３１に接続されると共に、配管１０９、第四バルブ５４、配管１１０及び配管１１１を介して第二ポンプ３２に接続される。
第三バルブ５３の開閉によって、配管１０７側（第一ポンプ３１）から配管１１１側（塗布部２）への塗布液３ａの供給が開始又は停止される。
第四バルブ５４の開閉によって、配管１０９側（第二ポンプ３２）から配管１１１側（塗布部２）への塗布液３ａの供給が開始又は停止される。

塗布部２のノズル２ａは、第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２の切替によって塗布液３ａを吐出可能とされる。
第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２の内圧を調整することによって、高粘度の塗布液３ａを用いた場合であっても、塗布部２に向けて塗布液３ａをスムーズに流すことができる。

＜ステージ＞
図２に示すように、ステージ７は、直方体状に形成される。ステージ７の上面には、矩形状の基板１０が配置される。ステージ７には、基板１０を搬送するための複数のローラ（不図示）が設けられる。なお、ステージ７には、基板１０を浮上させて搬送する不図示の浮上搬送部が設けられてもよい。

＜移動装置＞
移動装置８は、一対のレール８１（第一レール８１ａ及び第二レール８１ｂ）と、門型フレーム８２とを備える。
第一レール８１ａ及び第二レール８１ｂは、ステージ７の長手方向に沿う方向に延びる直方体状をなし、ステージ７を挟んで互いに対向するように配置される。

門型フレーム８２は、基板１０が配置されるステージ７を跨ぐように門型に形成される。門型フレーム８２は、ステージ７に対して移動可能とされる。
門型フレーム８２は、上下に延びる柱状をなす一対の支柱部８２ａ，８２ｂ（第一支柱部８２ａ及び第二支柱部８２ｂ）と、一対の支柱部８２ａ，８２ｂとの間をわたす架橋部８２ｃとを備える。

第一支柱部８２ａ及び第二支柱部８２ｂの下端部は、それぞれ不図示のスライダを介して第一レール８１ａ及び第二レール８１ｂに取り付けられる。門型フレーム８２は、一対のレール８１ａ，８１ｂの長手方向に沿って図中矢印ｖ方向に移動可能とされる。
なお、架橋部８２ｃは、一対の支柱部８２ａ，８２ｂに対して上下に昇降可能（図中矢印ｕ方向に移動可能）とされてもよい。

架橋部８２ｃの中央部には、塗布部２及び供給部３を保持する矩形板状の板部材８３が着脱可能に支持される。例えば、板部材８３は、不図示のビス等によって架橋部８２ｃに着脱可能に取り付けられる。

塗布部２及び供給部３は、板部材８３を介して門型フレーム８２の架橋部８２ｃに取り付けられる。塗布部２は、不図示の駆動機構の駆動によって、供給部３と共に、一対のレール８１ａ，８１ｂの長手方向に沿って図中矢印ｖ方向に移動可能とされる。

＜第一ポンプ＞
以下、第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２のうち、第一ポンプ３１を挙げて説明する。第二ポンプ３２については、第一ポンプ３１と同様の構成を有するため、その詳細な説明を省略する。

図３に示すように、第一ポンプ３１は、本体部１３０とシリンダ部１４０とピストン１５０（プランジャ）とを備えるプランジャ方式のポンプである。
本体部１３０は、シリンダ部１４０に対してボルト（不図示）により固定されるケース部材（筐体）１３１と、ケース部材１３１内に取り付けられる可撓性チューブ（可撓性部材）１３２とを備える。

ケース部材１３１は、上流側の配管１０４に接続される第一接続部１３３と、下流側の配管１０７に接続される第二接続部１３４と、第一接続部１３３と第二接続部１３４との間を連結する筒状の連結筒部１３５とを備える。例えば、ケース部材１３１は、アルミニウム等の金属部材で形成される。

第一接続部１３３には、可撓性チューブ１３２の上流側に連通する流体供給口１３３ｈが形成される。第一バルブ５１を「開」とすることによって、流体供給口１３３ｈを介して、配管１０４側（供給源３０）から可撓性チューブ１３２内への塗布液３ａの供給が可能とされる（供給方向は、図中矢印ｍ方向）。

第二接続部１３４には、可撓性チューブ１３２の下流側に連通する流体排出口１３４ｈが形成される。後述する作動流体１３０ａによって、流体排出口１３４ｈを介して、可撓性チューブ１３２内から配管１０７側（塗布部２）への塗布液３ａの排出が可能とされる（排出方向は、図中矢印ｎ方向）。
連結筒部１３５には、シリンダ部１４０側に開口する本体側開口部１３５ｈが形成される。

可撓性チューブ１３２は、連結筒部１３５の長手方向に沿うように延びる。可撓性チューブ１３２は、ケース部材１３１内に同軸的に配置される。可撓性チューブ１３２には、塗布液３ａが収容される。

可撓性チューブ１３２は、径方向に膨張収縮自在の弾性部材で形成される。可撓性チューブ１３２は、ケース部材１３１との間に隙間を生じるようにケース部材１３１内に収容される。前記隙間は、作動流体１３０ａが流れ込むことで可撓性チューブ１３２を膨張収縮させる本体側駆動室１３６を形成する。

例えば、可撓性チューブ１３２は、樹脂材料やゴム材料等の可撓性材料で形成される。
なお、可撓性チューブ１３２を、テトラフルオロエチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）等のフッ素樹脂で形成されてもよい。フッ素樹脂はフォトレジストと反応しないため、塗布液３ａとしてフォトレジスト等の薬液を用いた場合に塗布液３ａの品質を保つ上で好適である。この場合、第一接続部１３３（少なくとも流体供給口１３３ｈの形成部分）及び第二接続部１３４（少なくとも流体排出口１３４ｈの形成部分）も、フッ素樹脂で形成されることが好ましい。

シリンダ部１４０は、連結筒部１３５の長手方向に沿うように延びる筒状をなす。シリンダ部１４０には、シリンダ部１４０の長手方向に延びるシリンダ孔１４０ａが形成される。シリンダ部１４０には、本体側開口部１３５ｈに連通するように本体部１３０側に開口するシリンダ側開口部１４０ｈが形成される。

ピストン１５０は、シリンダ部１４０の長手方向に延びるプランジャ部１５１と、プランジャ部１５１のシリンダ部１４０側とは反対側の端部に設けられるガイドブロック１５２とを備える。

プランジャ部１５１は、シリンダ部１４０に対して往復動可能に挿入される。
ガイドブロック１５２は、プランジャ部１５１の長手方向と平行に延びるリニアガイドアクチュエータ４１ｂに接続される。リニアガイドアクチュエータ４１ｂには、複数のギアを内蔵する減速機４１ａを介して第一モータ４１が接続される。ガイドブロック１５２は、第一モータ４１の駆動によって、プランジャ部１５１と共に、リニアガイドアクチュエータ４１ｂの長手方向に沿って図中矢印ｇ方向に移動可能とされる。このようにして、ピストン１５０は、シリンダ部１４０に対して往復動可能とされている。

シリンダ部１４０において、プランジャ部１５１の先端面１５１ａと、シリンダ孔１４０ａに臨む側壁面１４０ｂとの間には、ピストン１５０の往復動によって容積が変動するシリンダ側駆動室１４１が形成される。シリンダ側駆動室１４１は、シリンダ側開口部１４０ｈ及び本体側開口部１３５ｈを介して本体側駆動室１３６に連通する。

本体側駆動室１３６及びシリンダ側駆動室１４１には、作動流体１３０ａが封入される。例えば、作動流体１３０ａは、非圧縮性媒体を用いる。各駆動室１３６，１４１内の作動流体１３０ａは、各開口部１３５ｈ，１４０ｈを介して流動自在とされる。

＜プランジャ部（作動流体）の作用＞
プランジャ部１５１をシリンダ部１４０の側壁面１４０ｂに向けて移動（側壁面１４０ｂへ近接）させると、シリンダ側駆動室１４１は収縮する。シリンダ側駆動室１４１の収縮によって、シリンダ側駆動室１４１内の作動流体１３０ａは、シリンダ側開口部１４０ｈ及び本体側開口部１３５ｈを介して、本体側駆動室１３６内に流入する。すると、可撓性チューブ１３２は、作動流体１３０ａに押圧されて収縮する。これにより、可撓性チューブ１３２内に収容された塗布液３ａは、流体排出口１３４ｈから配管１０７側（塗布部２）へ排出される。すなわち、プランジャ部１５１は、ケース部材１３１と可撓性チューブ１３２との間の隙間（本体側駆動室１３６）に作動流体１３０ａを供給して可撓性チューブ１３２から塗布液３ａを排出させる。

一方、プランジャ部１５１をシリンダ部１４０の側壁面１４０ｂとは反対側に向けて移動（側壁面１４０ｂから離反）させると、シリンダ側駆動室１４１が膨張する。シリンダ側駆動室１４１の膨張によって、本体側駆動室１３６内の作動流体１３０ａは、本体側開口部１３５ｈ及びシリンダ側開口部１４０ｈを介して、シリンダ側駆動室１４１内に流入する。すると、作動流体１３０ａによる可撓性チューブ１３２の押圧が解除される。

このように、シリンダ部１４０に対してプランジャ部１５１が往復動すると、各駆動室１３６，１４１内に封入された作動流体１３０ａの移動により本体側駆動室１３６が膨張収縮する。そのため、本体側駆動室１３６の膨張収縮に連動させて第三バルブ５３を開閉することによって、配管１０７を介して塗布液３ａを塗布部２に供給することができる。

＜第一センサ＞
第一センサ６１（検知部６０）は、可撓性チューブ１３２の下流側に連通する流体排出口１３４ｈの側に配置されている。すなわち、第一センサ６１は、可撓性チューブ１３２内において、第二接続部１３４のうち流体排出口１３４ｈ寄りの部分に配置されている。第一センサ６１は、第一ポンプ３１の内圧として、可撓性チューブ１３２に収容されている塗布液３ａの圧力を検知する。第一センサ６１の検知結果は、モータ制御部４０及びバルブ制御部５０に送られる。なお、第二センサ６２については、第一センサ６１と同様の構成を有するため、その詳細な説明を省略する。

図１及び図３に示すように、モータ制御部４０は、検知部６０（第一センサ６１及び第二センサ６２）の検知結果に基づいて、各モータ４１，４２の回転数を制御する。バルブ制御部５０は、検知部６０の検知結果に基づいて、各バルブ５１〜５４の開閉を制御する。切替部５は、第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２の内圧が同じになった後に、第一ポンプ３１又は第二ポンプ３２の何れか一方から塗布部２に塗布液３ａが供給されるように第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２を切り替える。加えて、切替部５は、第一ポンプ３１又は第二ポンプ３２の何れか一方の内圧が前記一方の内圧の検知結果を基に調整された後に、前記一方から塗布部２に塗布液３ａが供給されるように第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２を切り替える。

＜第一ポンプ及び第二ポンプの切替動作＞
図４には、各ポンプ３１，３２の吐出状況（図４下段）と、各モータ４１，４２の駆動状況（図４中段）と、各バルブ５１〜５４の開閉状況（図４上段）との関係が示されている。

図４の横軸は、時間ｔを示す。なお、時間Ａｔ１〜Ａｔ１２は、第一ポンプ３１の内圧の経時変化に関する時間を示す。時間Ｂｔ１〜Ｂｔ９は、第二ポンプ３２の内圧の経時変化に関する時間を示す。時間Ｃｔ１〜Ｃｔ１３は、第一モータ４１の回転数の経時変化に関する時間を示す。時間Ｄｔ１〜Ｄｔ２０は、第二モータ４２の回転数の経時変化に関する時間を示す。

図４の縦軸は、各ポンプ３１，３２の吐出状況との関係において内圧ｐを示し、各モータ４１，４２の駆動状況との関係において回転数ｒを示す。なお、内圧ｐ０は、大気圧である。内圧ｐ２は、塗布液３ａの吐出圧である。また、回転数ｒ０は、モータ静止状態（無回転状態）である。回転数ｒ１、ｒ２は、モータ正転時の回転数である。回転数−ｒ１、−ｒ２は、モータ逆転時の回転数である。

図４において、グラフＧ１（太線）は、第一ポンプ３１の内圧の経時変化を示す。グラフＧ２（細線）は、第二ポンプ３２の内圧の経時変化を示す。グラフＧ３（太線）は、第一モータ４１の回転数の経時変化を示す。グラフＧ４（細線）は、第二モータ４２の回転数の経時変化を示す。範囲Ｅ１は、第一バルブ５１を「開」とした時間範囲を示す。範囲Ｅ２は、第二バルブ５２を「開」とした時間範囲を示す。範囲Ｅ３は、第三バルブ５３を「開」とした時間範囲を示す。範囲Ｅ４は、第四バルブ５４を「開」とした時間範囲を示す。

以下、時間ｔ０、Ａｔ１〜Ａｔ１２について、第一ポンプ３１の内圧の経時変化（グラフＧ１）を主体として説明する。
図４に示すように、時間ｔ０〜Ａｔ１において、第一ポンプ３１の内圧は、内圧ｐ０（大気圧）からｐ２（吐出圧）に至るまで、徐々に大きくなる。
時間Ａｔ１〜Ａｔ２において、第一ポンプ３１は、内圧ｐ２を維持する。
時間Ａｔ２〜Ａｔ３において、第一ポンプ３１の内圧は、内圧ｐ２からｐ０に至るまで、徐々に小さくなる。
時間Ａｔ３〜Ａｔ４において、第一ポンプ３１は、内圧ｐ０を維持する。
時間Ａｔ４〜Ａｔ５において、第一ポンプ３１の内圧は、内圧ｐ０から内圧ｐ１に至るまで、徐々に大きくなる。
時間Ａｔ５〜Ａｔ６において、第一ポンプ３１は、内圧ｐ１を維持する。
時間Ａｔ６〜Ａｔ７において、第一ポンプ３１の内圧は、内圧ｐ１から内圧ｐ０に至るまで、徐々に小さくなる。

時間Ａｔ７以降において、第一ポンプ３１は、上述した内圧の経時変化を繰り返す。すなわち、第一ポンプ３１は、時間ｔ０〜Ａｔ７に至るまでの内圧の経時変化を１サイクルとして、時間Ａｔ７以降は前記１サイクルと同様のサイクルを繰り返す。言い換えると、時間Ａｔ７、Ａｔ８、Ａｔ９、Ａｔ１０、Ａｔ１１、Ａｔ１２は、それぞれ時間ｔ０、Ａｔ１、Ａｔ２、Ａｔ３、Ａｔ４、Ａｔ５に相当する。

以下、時間ｔ０、Ｂｔ１〜Ｂｔ９において、第二ポンプ３２の内圧の経時変化（グラフＧ２）を主体として説明する。
時間ｔ０〜Ｂｔ１において、第二ポンプ３２は、停止している。
時間Ｂｔ１〜Ｂｔ２において、第二ポンプ３２の内圧は、内圧ｐ０（大気圧）からｐ２（吐出圧）に至るまで、徐々に大きくなる。
時間Ｂｔ２〜Ｂｔ３において、第二ポンプ３２は、内圧ｐ２を維持する。
時間Ｂｔ３〜Ｂｔ４において、第二ポンプ３２の内圧は、内圧ｐ２からｐ０に至るまで、徐々に小さくなる。
時間Ｂｔ４〜Ｂｔ５において、第二ポンプ３２は、内圧ｐ０を維持する。
時間Ｂｔ５〜Ｂｔ６において、第二ポンプ３２の内圧は、内圧ｐ０から内圧ｐ１に至るまで、徐々に大きくなる。
時間Ｂｔ６〜Ｂｔ７において、第二ポンプ３２は、内圧ｐ１を維持する。
時間Ｂｔ７〜Ｂｔ８において、第二ポンプ３２の内圧は、内圧ｐ１から内圧ｐ０に至るまで、徐々に小さくなる。

時間Ｂｔ８以降において、第二ポンプ３２は、上述した内圧の経時変化を繰り返す。すなわち、第二ポンプ３２は、時間Ｂｔ１〜Ｂｔ８に至るまでの内圧の経時変化を１サイクルとして、時間Ｂｔ８以降は前記１サイクルと同様のサイクルを繰り返す。言い換えると、時間Ｂｔ８、Ｂｔ９は、それぞれ時間Ｂｔ１、Ｂｔ２に相当する。

第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２の内圧が同じとなる時間は、時間Ｂｔ２，Ａｔ８，Ｂｔ９である。第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２の内圧は、時間Ｂｔ２〜Ａｔ２の間、時間Ａｔ８〜Ｂｔ３の間、時間Ｂｔ９〜Ａｔ９の間、同じ大きさに維持される。

切替部５は、時間Ｂｔ２後及び時間Ｂｔ９後に、第二ポンプ３２から塗布部２に塗布液３ａが供給されるように、第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２を切り替える。
バルブ制御部５０は、第二ポンプ３２から塗布部２への供給に切り替える際に第四バルブ５４を開け、第四バルブ５４が開いている間（範囲Ｅ４）に第一バルブ５１を開く制御をする（範囲Ｅ１は、範囲Ｅ４内とする）。バルブ制御部５０は、第一バルブ５１を開く際に第三バルブ５３を閉じる制御をする。

切替部５は、時間Ａｔ８後に、第一ポンプ３１から塗布部２に塗布液３ａが供給されるように、第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２を切り替える。
バルブ制御部５０は、第一ポンプ３１から塗布部２への供給に切り替える際に第三バルブ５３を開け、第三バルブ５３が開いている間（範囲Ｅ３）に第二バルブ５２を開く制御をする（範囲Ｅ２は、範囲Ｅ３内とする）。バルブ制御部５０は、第二バルブ５２を開く際に第四バルブ５４を閉じる制御をする。

バルブ制御部５０は、第一ポンプ３１の内圧を調整する際に（例えば時間Ａｔ６〜Ａｔ８に至るまで）、第一バルブ５１及び第三バルブ５３を閉じる制御をする。バルブ制御部５０は、第一ポンプ３１の内圧を調整した後に（例えば時間Ａｔ８後）、第三バルブ５３を開く制御をする。

バルブ制御部５０は、第二ポンプ３２の内圧を調整する際に（例えば時間Ｂｔ７〜Ｂｔ９に至るまで）、第二バルブ５２及び第四バルブ５４を閉じる制御をする。バルブ制御部５０は、第二ポンプ３２の内圧を調整した後に（例えば時間Ｂｔ９後）、第四バルブ５４を開く制御をする。

以下、時間ｔ０、Ｃｔ１〜Ｃｔ１３について、第一モータ４１の回転数の経時変化（グラフＧ３）を主体として説明する。
時間ｔ０〜Ｃｔ１において、第一モータ４１の回転数は、回転数ｒ０（無回転）からｒ２（正回転最大）に至るまで、徐々に大きくなる。なお、時間Ｃｔ１は、時間Ａｔ１と略同じとする。すなわち、時間ｔ０〜Ｃｔ１までの間隔は、時間ｔ０〜Ａｔ１までの間隔と略同じとする。
時間Ｃｔ１〜Ｃｔ２において、第一モータ４１は、回転数ｒ２を維持する。なお、時間Ｃｔ２は、時間Ａｔ２と略同じとする。すなわち、時間Ｃｔ１〜Ｃｔ２までの間隔は、時間Ａｔ１〜Ａｔ２までの間隔と略同じとする。
時間Ｃｔ２〜Ｃｔ３において、第一モータ４１の回転数は、回転数ｒ２からｒ０に至るまで、徐々に小さくなる。なお、時間Ｃｔ３は、時間Ａｔ３と略同じとする。すなわち、時間Ｃｔ２〜Ｃｔ３までの間隔は、時間Ａｔ２〜Ａｔ３までの間隔と略同じとする。
時間Ｃｔ３〜Ｃｔ４において、第一モータ４１は、回転数ｒ０を維持する。なお、時間Ｃｔ４は、時間Ａｔ４と略同じとする。すなわち、時間Ｃｔ３〜Ｃｔ４までの間隔は、時間Ａｔ３〜Ａｔ４までの間隔と略同じとする。
時間Ｃｔ４〜Ｃｔ５において、第一モータ４１の回転数は、回転数ｒ０から回転数−ｒ２（逆回転最大）に至るまで、徐々に大きくなる。なお、時間Ｃｔ５は、時間Ａｔ５と略同じとする。すなわち、時間Ｃｔ４〜Ｃｔ５までの間隔は、時間Ａｔ４〜Ａｔ５までの間隔と略同じとする。
時間Ｃｔ５〜Ｃｔ６において、第一モータ４１は、回転数−ｒ２を維持する。
時間Ｃｔ６〜Ｃｔ７において、第一モータ４１の回転数は、回転数−ｒ２から回転数ｒ０に至るまで、徐々に小さくなる。
時間Ｃｔ７〜Ｃｔ８において、第一モータ４１は、回転数ｒ０を維持する。なお、時間Ｃｔ８は、時間Ｂｔ３と略同じとする。

時間Ｃｔ８以降において、第一モータ４１は、上述した回転数の経時変化を繰り返す。すなわち、第一モータ４１は、時間ｔ０〜Ｃｔ８に至るまでの回転数の経時変化を１サイクルとして、時間Ｃｔ８以降は前記１サイクルと同様のサイクルを繰り返す。言い換えると、時間Ｃｔ８、Ｃｔ９、Ｃｔ１０、Ｃｔ１１、Ｃｔ１２、Ｃｔ１３は、それぞれ時間ｔ０、Ｃｔ１、Ｃｔ２、Ｃｔ３、Ｃｔ４、Ｃｔ５に相当する。

以下、時間ｔ０、Ｄｔ１〜Ｄｔ２０について、第二モータ４２の回転数の経時変化（グラフＧ４）を主体として説明する。
時間ｔ０〜Ｄｔ１において、第二モータ４２は、回転数ｒ０（無回転）を維持する。なお、時間Ｄｔ１は、時間Ｂｔ１と略同じとする。すなわち、時間ｔ０〜Ｄｔ１までの間隔は、時間ｔ０〜Ｂｔ１までの間隔と略同じとする。
時間Ｄｔ１〜Ｄｔ２において、第二モータ４２の回転数は、回転数ｒ０からｒ１に至るまで、徐々に大きくなる。
時間Ｄｔ２〜Ｄｔ３において、第二モータ４２は、回転数ｒ１を維持する。
時間Ｄｔ３〜Ｄｔ４において、第二モータ４２の回転数は、回転数ｒ１からｒ０に至るまで、徐々に小さくなる。なお、時間Ｄｔ４は、時間Ｂｔ２と略同じとする。すなわち、時間Ｄｔ１〜Ｄｔ４までの間隔は、時間Ｂｔ１〜Ｂｔ２までの間隔と略同じとする。
時間Ｄｔ４〜Ｄｔ５において、第二モータ４２は、回転数ｒ０を維持する。なお、時間Ｄｔ５は、時間Ｃｔ２と略同じとする。すなわち、時間ｔ０〜Ｄｔ５までの間隔は、時間ｔ０〜Ｃｔ２までの間隔と略同じとする。
時間Ｄｔ５〜Ｄｔ６において、第二モータ４２の回転数は、回転数ｒ０から回転数ｒ２（正回転最大）に至るまで、徐々に大きくなる。なお、時間Ｄｔ６は、時間Ｃｔ３と略同じとする。すなわち、時間Ｄｔ５〜Ｄｔ６までの間隔は、時間Ｃｔ２〜Ｃｔ３までの間隔と略同じとする。
時間Ｄｔ６〜Ｄｔ７において、第二モータ４２は、回転数ｒ２を維持する。なお、時間Ｄｔ７は、時間Ｂｔ３及び時間Ｃｔ８と略同じとする。すなわち、時間Ｄｔ４〜Ｄｔ７までの間隔は、時間Ｂｔ２〜Ｂｔ３までの間隔と略同じとする。時間Ｄｔ６〜Ｄｔ７までの間隔は、時間Ｃｔ３〜Ｃｔ８までの間隔と略同じとする。
時間Ｄｔ７〜Ｄｔ８において、第二モータ４２の回転数は、回転数ｒ２から回転数ｒ０に至るまで、徐々に小さくなる。なお、時間Ｄｔ８は、時間Ｂｔ４及び時間Ｃｔ９と略同じとする。すなわち、時間Ｄｔ７〜Ｄｔ８までの間隔は、時間Ｂｔ３〜Ｂｔ４までの間隔、及び時間Ｃｔ８〜Ｃｔ９までの間隔と略同じとする。
時間Ｄｔ８〜Ｄｔ９において、第二モータ４２は、回転数ｒ０を維持する。なお、時間Ｄｔ９は、時間Ｂｔ５と略同じとする。すなわち、時間Ｄｔ８〜Ｄｔ９までの間隔は、時間Ｂｔ４〜Ｂｔ５までの間隔と略同じとする。
時間Ｄｔ９〜Ｄｔ１０において、第二モータ４２の回転数は、回転数ｒ０から回転数−ｒ２（逆回転最大）に至るまで、徐々に大きくなる。なお、時間Ｄｔ１０は、時間Ｂｔ６と略同じとする。すなわち、時間Ｄｔ９〜Ｄｔ１０までの間隔は、時間Ｂｔ５〜Ｂｔ６までの間隔と略同じとする。
時間Ｄｔ１０〜Ｄｔ１１において、第二モータ４２は、回転数−ｒ２を維持する。
時間Ｄｔ１１〜Ｄｔ１２において、第二モータ４２の回転数は、回転数−ｒ２から回転数ｒ０に至るまで、徐々に小さくなる。
時間Ｄｔ１２〜Ｄｔ１３において、第二モータ４２は、回転数ｒ０を維持する。なお、時間Ｄｔ１３は、時間Ｂｔ７と略同じとする。すなわち、時間Ｄｔ１０〜Ｄｔ１３までの間隔は、時間Ｂｔ６〜Ｂｔ７までの間隔と略同じとする。
時間Ｄｔ１３〜Ｄｔ１４において、第二モータ４２の回転数は、回転数ｒ０から回転数−ｒ１に至るまで、徐々に大きくなる。
時間Ｄｔ１４〜Ｄｔ１５において、第二モータ４２は、回転数−ｒ１を維持する。なお、時間Ｄｔ１５は、時間Ｂｔ８と略同じとする。すなわち、時間Ｄｔ１３〜Ｄｔ１５までの間隔は、時間Ｂｔ７〜Ｂｔ８までの間隔と略同じとする。
時間Ｄｔ１５〜Ｄｔ１６において、第二モータ４２の回転数は、回転数−ｒ１から回転数ｒ１に至るまで、徐々に変化する。
時間Ｄｔ１６〜Ｄｔ１７において、第二モータ４２は、回転数ｒ１を維持する。
時間Ｄｔ１７〜Ｄｔ１８において、第二モータ４２の回転数は、回転数ｒ１から回転数ｒ０に至るまで、徐々に小さくなる。なお、時間Ｄｔ１８は、時間Ｂｔ９と略同じとする。すなわち、時間Ｄｔ１５〜Ｄｔ１８までの間隔は、時間Ｂｔ８〜Ｂｔ９までの間隔と略同じとする。
時間Ｄｔ１８〜Ｄｔ１９において、第二モータ４２は、回転数ｒ０を維持する。

時間Ｄｔ１９以降において、第二モータ４２は、上述した回転数の経時変化を繰り返す。すなわち、第二モータ４２は、時間Ｄｔ５〜Ｄｔ１９に至るまでの回転数の経時変化を１サイクルとして、時間Ｄｔ１９以降は前記１サイクルと同様のサイクルを繰り返す。言い換えると、時間Ｄｔ１９、Ｄｔ２０は、それぞれ時間Ｄｔ５、Ｄｔ６に相当する。

モータ制御部４０は、第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２の内圧を調整する際に、第一モータ４１の回転数と第二モータ４２の回転数との和が変化しないように、第一モータ４１及び第二モータ４２の回転数を制御する。第一モータ４１の回転数と第二モータ４２の回転数との和は、正回転時を「プラス」、逆回転時を「マイナス」としたときの各モータ４１，４２の回転数を足し合わせることによって算出する。
例えば、第一ポンプ３１の内圧を調整している間（時間Ａｔ２〜Ａｔ８）において、第一モータ４１の回転数と第二モータ４２の回転数との和が変化しないようにする。
また、第二ポンプ３２の内圧を調整している間（時間Ｂｔ３〜Ｂｔ９）において、第一モータ４１の回転数と第二モータ４２の回転数との和が変化しないようにする。

モータ制御部４０は、第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２を切り替える際に、切替前の第一ポンプ３１又は第二ポンプ３２の何れか一方の内圧を基に、第一モータ４１及び第二モータ４２の回転数を制御する。例えば、モータ制御部４０は、第二ポンプ３２から塗布部２への供給に切り替える際に、現在吐出動作をしていない待機中の第二ポンプ３２の内圧を基に、各モータ４１，４２の回転数を制御する。
例えば、切替部５は、第一ポンプ３１の吐出動作中（時間Ａｔ１後かつ時間Ａｔ２前）に、第四バルブ５４を「開」とすることで、現在吐出動作をしていない待機中の第二ポンプ３２の内圧を取得する。そして、モータ制御部４０は、取得した内圧を基に、各モータ４１，４２の回転数を制御する。このようにして、切替後に吐出動作をする第二ポンプ３２の内圧を、切替前に待機中の自身（第二ポンプ３２）の内圧に合わせる。

以下、第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２の切替動作の一例を説明する。なお、図５において、ステップＳ１０〜Ｓ１８は第一ポンプ３１側の動作、ステップＳ２０〜Ｓ２８は第二ポンプ３２側の動作、ステップＳ３０〜Ｓ３１は第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２の切替動作をそれぞれ示す。

図１及び図５に示すように、ステップＳ１０において、第一ポンプ３１の動作を開始する。具体的に、ステップＳ１０において、第三バルブ５３を開くことにより、第一ポンプ３１から塗布部２への塗布液３ａの供給を開始する。

ステップＳ１１において、第一ポンプ３１の内圧を検知する。具体的に、ステップＳ１１において、第一センサ６１は、第一ポンプ３１の内圧として、可撓性チューブ１３２（図３参照）に収容されている塗布液３ａの圧力を検知する。第一センサ６１の検知結果は、モータ制御部４０及びバルブ制御部５０に送られる。

ステップＳ１２において、第一ポンプ３１の減速を開始する。すなわち、図４に示すように、ステップＳ１２において、時間Ｃｔ２〜Ｃｔ３の間に、第一モータ４１の回転数を、回転数ｒ２から徐々に小さくしていく。

図１及び図５に示すように、ステップＳ１３において、第一ポンプ３１の内圧を検知する。具体的に、ステップＳ１３において、第一ポンプ３１の停止時（すなわち、第一モータ４１の無回転時）かつ第二ポンプ３２の動作時に、第一ポンプ３１の内圧を検知する。すなわち、ステップＳ１３において、図４に示す時間Ｃｔ３〜Ｃｔ４の間に、第一ポンプ３１の内圧を検知する。

図１及び図５に示すように、ステップＳ１４において、第一バルブ５１を開くとともに、第三バルブ５３を閉じる。
ステップＳ１５において、第一ポンプ３１へ塗布液３ａを供給する。
ステップＳ１６において、第一バルブ５１を閉じる。

ステップＳ１７において、第一ポンプ３１の内圧を調整する。具体的に、ステップＳ１７において、第一ポンプ３１の内圧を、ステップＳ１３にて検知した第一ポンプ３１の内圧に合わせる。すなわち、ステップＳ１７において、第一ポンプ３１の内圧を、自身の直近の動作終了時の内圧の検知結果を基に調整する。例えば、ステップＳ１７において、第一ポンプ３１の内圧調整は、図４に示す時間Ｃｔ７〜Ｃｔ８の間に行う。

ステップＳ１８において、第一ポンプ３１の動作を開始する。具体的に、ステップＳ１８において、第三バルブ５３を開くことにより、第一ポンプ３１から塗布部２への塗布液３ａの供給を開始する。
なお、ステップＳ１８の後は、ステップＳ１２に戻り、上述したステップＳ１２以降の動作と同様の動作を繰り返す。

一方、ステップＳ１２の後かつステップＳ２０の後に、ステップＳ３０において、第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２を切り替える。すなわち、ステップＳ１２の後かつステップＳ２０の後に、ステップＳ２１において、第二ポンプ３２の動作を開始する。具体的に、ステップＳ２１において、第四バルブ５４を開くことにより、第二ポンプ３２から塗布部２への塗布液３ａの供給を開始する。

ここで、ステップＳ２１の前には、ステップＳ２０において、第二ポンプ３２の内圧を調整しておく。具体的に、ステップＳ２０において、第二ポンプ３２の内圧を、ステップＳ１１にて検知した第一ポンプ３１の内圧に合わせる。例えば、ステップＳ２０において、第二ポンプ３２の内圧調整は、図４に示す時間Ｂｔ１〜Ｂｔ２の間に行う。

このように、ステップＳ３０においては、第二ポンプ３２の内圧が第一ポンプ３１の内圧の検知結果を基に調整された後に（例えば、第一ポンプ３２の内圧が第一ポンプ３１の内圧と同じになった後に）、第二ポンプ３２から塗布部２に塗布液３ａが供給されるように、第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２の切り替えが行われる。

図１及び図５に示すように、ステップＳ２１の後に、ステップＳ２２において、第二ポンプ３２の減速を開始する。すなわち、図４に示すように、ステップＳ２２において、時間Ｄｔ７〜Ｄｔ８の間に、第二モータ４２の回転数を、回転数ｒ２から徐々に小さくしていく。

図１及び図５に示すように、ステップＳ２３において、第二ポンプ３２の内圧を検知する。具体的に、ステップＳ２３において、第二ポンプ３２の停止時（すなわち、第二モータ４２の無回転時）かつ第一ポンプ３１の動作時に、第二ポンプ３２の内圧を検知する。すなわち、ステップＳ２３において、図４に示す時間Ｄｔ８〜Ｄｔ９の間に、第二ポンプ３２の内圧を検知する。

図１及び図５に示すように、ステップＳ２４において、第二バルブ５２を開くとともに、第四バルブ５４を閉じる。
ステップＳ２５において、第二ポンプ３２へ塗布液３ａを供給する。
ステップＳ２６において、第二バルブ５２を閉じる。

ステップＳ２７において、第二ポンプ３２の内圧を調整する。具体的に、ステップＳ２７において、第二ポンプ３２の内圧を、ステップＳ２３にて検知した第二ポンプ３２の内圧に合わせる。すなわち、ステップＳ２７において、第二ポンプ３２の内圧を、自身の直近の動作終了時の内圧の検知結果を基に調整する。例えば、ステップＳ２７において、第二ポンプ３２の内圧調整は、図４に示す時間Ｄｔ１６〜Ｄｔ１７の間に行う。

図１及び図５に示すように、ステップＳ２８において、第二ポンプ３２の動作を開始する。具体的に、ステップＳ２８において、第四バルブ５４を開くことにより、第二ポンプ３２から塗布部２への塗布液３ａの供給を開始する。
なお、ステップＳ２８の後は、ステップＳ２２に戻り、上述したステップＳ２２以降の動作と同様の動作を繰り返す。

一方、ステップＳ２２の後かつステップＳ１７の後に、ステップＳ３１において、第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２を切り替える。すなわち、ステップＳ２２の後かつステップＳ１７の後に、ステップＳ１８において、第一ポンプ３１の動作を開始する。具体的に、ステップＳ１８において、第三バルブ５３を開くことにより、第一ポンプ３１から塗布部２への塗布液３ａの供給を開始する。

このように、ステップＳ３１においては、第一ポンプ３１の内圧が自身の直近の動作終了時の内圧の検知結果を基に調整された後に、第一ポンプ３１から塗布部２に塗布液３ａが供給されるように、第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２の切り替えが行われる。
なお、ステップＳ１８の後は、ステップＳ１２に戻り、上述したステップＳ１２以降の動作と同様の動作を繰り返す。

＜塗布方法＞
次に、本実施形態に係る塗布方法を説明する。本実施形態では、上記の塗布装置１を用いて基板1０に塗布液３ａを塗布する。塗布装置１の各部で行われる動作は、制御部９によって制御される。

本実施形態に係る塗布方法は、塗布ステップ、供給ステップ、検知ステップ、調整ステップ及び切替ステップを含む。
塗布ステップは、基板１０に塗布液３ａを塗布する。
供給ステップは、塗布部２に対して、塗布液３ａを第一ポンプ３１又は第二ポンプ３２から供給する。
検知ステップは、第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２の内圧を検知する。
調整ステップは、第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２の内圧を調整する。調整ステップは、第一モータ４１及び第二モータ４２の回転数を増減する。
切替ステップは、第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２の内圧が同じになった後に、第一ポンプ３１又は第二ポンプ３２の何れか一方から塗布部２に塗布液３ａが供給されるように第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２を切り替える。加えて、切替ステップは、第一ポンプ３１又は第二ポンプ３２の何れか一方の内圧が前記一方の内圧の検知結果を基に調整された後に、前記一方から塗布部２に塗布液３ａが供給されるように第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２を切り替える。切替ステップは、第一バルブ５１、第二バルブ５２、第三バルブ５３及び第四バルブ５４を開閉する。

図１及び図４に示すように、切替ステップは、第二ポンプ３２から塗布部２への供給を開始する際に第四バルブ５４を開け、第四バルブが開いている間（範囲Ｅ４）に第一バルブ５１を開く（範囲Ｅ１は、範囲Ｅ４内とする）。バルブ制御部５０は、第一バルブ５１を開く際に第三バルブ５３を閉じる。
切替ステップは、第一ポンプ３１から塗布部２への供給を開始する際に第三バルブ５３を開け、第三バルブ５３が開いている間（範囲Ｅ３）に第二バルブ５２を開く（範囲Ｅ２は、範囲Ｅ３内とする）。切替ステップは、第二バルブ５２を開く際に第四バルブ５４を閉じる。

切替ステップは、第一ポンプ３１の内圧を調整する際に（例えば時間Ａｔ６〜Ａｔ８に至るまで）、第一バルブ５１及び第三バルブ５３を閉じる。切替ステップは、第一ポンプ３１の内圧を調整した後に（例えば時間Ａｔ８後）、第三バルブ５３を開く。

切替ステップは、第二ポンプ３２の内圧を調整する際に（例えば時間Ｂｔ７〜Ｂｔ９に至るまで）、第二バルブ５２及び第四バルブ５４を閉じる。切替ステップは、第二ポンプ３２の内圧を調整した後に（例えば時間Ｂｔ９後）、第四バルブ５４を開く。

調整ステップは、第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２の内圧を調整する際に、第一モータ４１の回転数と第二モータ４２の回転数との和が変化しないように、第一モータ４１及び第二モータ４２の回転数を増減する。
例えば、第一ポンプ３１の内圧を調整している間（時間Ａｔ２〜Ａｔ８）において、第一モータ４１の回転数と第二モータ４２の回転数との和が変化しないようにする。
また、第二ポンプ３２の内圧を調整している間（時間Ｂｔ３〜Ｂｔ９）において、第一モータ４１の回転数と第二モータ４２の回転数との和が変化しないようにする。

調整ステップは、第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２を切り替える際に、切替前の第一ポンプ３１又は第二ポンプ３２の何れか一方の内圧を基に、第一モータ４１及び第二モータ４２の回転数を増減する。例えば、調整ステップは、第二ポンプ３２から塗布部２への供給に切り替える際に、現在吐出動作をしていない待機中の第二ポンプ３２の内圧を基に、各モータ４１，４２の回転数を増減する。
例えば、切替ステップは、第一ポンプ３１の吐出動作中（時間Ａｔ１後かつ時間Ａｔ２前）に、第四バルブ５４を「開」とすることで、現在吐出動作をしていない待機中の第二ポンプ３２の内圧を取得する。そして、調整ステップは、取得した内圧を基に、各モータ４１，４２の回転数を増減する。このようにして、切替後に吐出動作をする第二ポンプ３２の内圧を、切替前に待機中の自身（第二ポンプ３２）の内圧に合わせる。

以上のように、本実施形態によれば、塗布部２に塗布液３ａを供給可能な第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２を有することで、第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２の切替動作により、塗布部２に塗布液３ａを継続的に供給することができるため、塗布部２から塗布液３ａを連続的に吐出することができる。
また、第一ポンプ３１又は第二ポンプ３２の何れか一方の内圧が前記一方の内圧の検知結果を基に調整された後に、前記一方から塗布部２に塗布液３ａが供給されるように第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２を切り替えることで、以下の効果を奏する。第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２の切替前後で各ポンプ３１，３２の内圧を同じにした状態で塗布液３ａの供給を行うことができるため、塗布部２に供給される塗布液３ａが脈動することを回避することができる。したがって、塗布ムラを抑制しつつ塗布液３ａを連続して吐出することができる。
例えば、ポンプ内圧は、ポンプ内部に気泡が発生したり、発生した気泡が消滅したりすることによって変動する。そのため、塗布液３ａの排出速度を一定の速度で維持することによっては、ポンプ内圧の変動に起因して塗布液３ａの排出量が不安定になることを回避することは困難である。これに対し、本実施形態によれば、第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２の切替前後で各ポンプ３１，３２の内圧を同じにした状態で塗布液３ａの供給を行うことができるため、塗布部２に供給される塗布液３ａの供給量を安定して維持することができる。
加えて、第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２の切替前後で各ポンプ３１，３２の内圧を自身の内圧の検知結果を基に調整（すなわち同一のポンプ内で調整）することができるため、各ポンプ３１，３２の個体差による検知誤差が生じることはない。したがって、各ポンプ３１，３２の内圧を他方（すなわち相手側のポンプ）の内圧を基に調整する場合と比較して、各ポンプ３１，３２の内圧を精度よく調整することができる。

また、切替部５が、前記一方の内圧が前記一方の直近の動作終了時の内圧の検知結果を基に調整された後に、前記一方から塗布部２に塗布液３ａが供給されるように第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２を切り替えることで、以下の効果を奏する。第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２の切替前後で各ポンプ３１，３２の内圧を自身の直近の動作終了時の内圧の検知結果を基に調整することができるため、単に自身の内圧の検知結果を基に調整する場合と比較して、各ポンプ３１，３２の内圧をより一層精度よく調整することができる。

また、第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２は、ケース部材１３１と、ケース部材１３１内に同軸的に配置され、塗布液３ａが収容される可撓性チューブ１３２と、作動流体１３０ａを収容するシリンダ部１４０と、シリンダ部１４０に対して往復動可能に挿入され、ケース部材１３１と可撓性チューブ１３２との隙間に作動流体１３０ａを供給して可撓性チューブ１３２から塗布液３ａを排出させるピストン１５０と、を含むことで、以下の効果を奏する。塗布液３ａを可撓性チューブ１３２に収容した状態で、可撓性チューブ１３２に対する作動流体１３０ａの押圧を利用して、可撓性チューブ１３２から塗布液３ａを排出させることができるため、塗布部２へ塗布液３ａを供給する際に塗布液３ａが汚染されることを回避することができる。

また、検知部６０が、内圧として、可撓性チューブ１３２に収容されている塗布液３ａの圧力を検知することで、以下の効果を奏する。内圧として可撓性チューブ１３２に収容された塗布液３ａの圧力を検知することができるため、各ポンプ３１，３２と塗布部２との間の供給路（例えば配管１０７〜１１１）を流れる塗布液３ａの圧力を検知する場合と比較して、供給路による圧力損失分を除外した値を得ることができ、各ポンプ３１，３２の内圧を精度よく調整することができる。また、内圧として塗布液３ａの圧力を直接的に検知することができるため、内圧として作動流体１３０ａの圧力を検知する場合と比較して、各ポンプ３１，３２の内圧を精度よく調整することができる。

また、検知部６０が、可撓性チューブ１３２の下流側に連通する流体排出口１３４ｈの側に配置されていることで、以下の効果を奏する。可撓性チューブ１３２から排出される直前の塗布液３ａの圧力（すなわち、可撓性チューブ１３２内の塗布液３ａのうち塗布部２に近い部分の圧力）を検知することができるため、検知部６０が可撓性チューブ１３２の上流側に配置された場合と比較して、各ポンプ３１，３２の内圧を精度よく調整することができる。

また、各バルブ５１〜５４の開閉を制御することによって、第一ポンプ３１又は第二ポンプ３２の一方へ塗布液３ａを供給すると共に、他方のポンプから塗布部２へ塗布液３ａを供給することができるため、塗布部２に塗布液３ａを継続的に安定して供給することができる。したがって、塗布部２から塗布液３ａを連続的に安定して吐出することができる。例えば、第一バルブ５１を「開」、第二バルブ５２を「閉」、第三バルブ５３を「閉」、第四バルブ５４を「開」とすることによって、第一ポンプ３１へ塗布液３ａを供給しつつ第二ポンプ３２への塗布液３ａの供給を停止すると共に、第一ポンプ３１から塗布部２への塗布液３ａの供給を停止しつつ第二ポンプ３２から塗布部２へ塗布液３ａを供給することができる。

また、第三バルブ５３を「開」としている間に第二バルブ５２を「開」とし、第四バルブ５４を「開」としている間に第一バルブ５１を「開」とすることによって、第一ポンプ３１又は第二ポンプ３２の一方が塗布部２へ塗布液３ａを供給している間に、他方のポンプへ塗布液３ａを供給することができるため、切替後に他方のポンプから塗布部２へ塗布液３ａを供給するための準備を予め行うことができる。

また、第一バルブ５１を「開」とする際に第三バルブ５３を「閉」とし、第二バルブ５２を「開」とする際に第四バルブ５４を「閉」とすることによって、第一ポンプ３１又は第二ポンプ３２の一方へ塗布液３ａを供給する際に、前記一方のポンプから塗布部２への塗布液３ａの供給を停止することができるため、他方のポンプから塗布部２へ塗布液３ａを安定して供給することができる。

また、第一ポンプ３１の内圧を調整する際に第一バルブ５１及び第三バルブ５３を「閉」とし、第二ポンプ３２の内圧を調整する際に第二バルブ５２及び第四バルブ５４を「閉」とすることによって、第一ポンプ３１又は第二ポンプ３２の一方（塗布部２へ塗布液３ａを供給中のポンプ）の内圧に基づいて、他方のポンプの内圧を調整することができる。また、外的要因によって他方のポンプの内圧が変動することを回避することができる。したがって、各ポンプ３１，３２の内圧を安定して調整することができる。

また、第一ポンプ３１の内圧を調整した後に第三バルブ５３を「開」とし、第二ポンプ３２の内圧を調整した後に第四バルブ５４を「開」とすることによって、切替前に、第一ポンプ３１又は第二ポンプ３２の一方（塗布部２へ塗布液３ａを供給中のポンプ）と併せて他方のポンプの内圧を大気圧まで一旦下げることができる。そのため、内圧調整に起因する悪影響を予め排除することができ、塗布部２へ塗布液３ａを安定して供給することができる。また、一方のポンプから塗布部２への塗布液３ａの供給量が減少する場合であっても、前記減少分だけ他方のポンプから塗布部２への塗布液３ａの供給量を増加させることによって、前記減少分を補完することができる。

また、第一モータ４１の回転数の増減によって第一ポンプ３１の内圧を調整すると共に、第二モータ４２の回転数の増減によって第二ポンプ３２の内圧を調整することができるため、各ポンプ３１，３２の内圧を精度よく容易に調整することができる。

また、第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２の内圧を調整する際に、第一モータ４１の回転数と第二モータ４２の回転数との和が変化しないように第一モータ４１及び第二モータ４２の回転数を制御することで、以下の効果を奏する。第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２の内圧を調整後に、塗布部２への塗布液３ａの供給量の総量を一定に保つことができるため、塗布液３ａの吐出量を一定に維持することができる。

また、第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２を切り替える際に、切替前の第一ポンプ３１又は第二ポンプ３２の何れか一方の内圧を基に第一モータ４１及び第二モータ４２の回転数を制御することで、以下の効果を奏する。切替時に、各モータ４１，４２の回転数の増減によって、切替前の一方のポンプの内圧に基づいて他方のポンプの内圧を精度よく容易に調整することができるため、切替前後で各ポンプ３１，３２の内圧を同じにし易くなる。

また、塗布部２が、門型フレーム８２に取り付けられると共に、第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２の切替によって塗布液３ａを吐出可能なノズル２ａを含むことで、以下の効果を奏する。一般的なレールに沿ってノズル２ａを移動させる場合と比較して、高い剛性を有する門型フレーム８２によってノズル２ａをステージ７に対して移動させることができるため、ノズル２ａの移動を安定して行うことができる。

また、供給部３が、第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２の双方に塗布液３ａを供給可能な供給源３０を含むことで、以下の効果を奏する。共通の供給源３０を用いて第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２の双方へ塗布液３ａを供給することができるため、第一ポンプ３１と第二ポンプ３２とで別個の供給源を用いる場合と比較して、装置構成を簡素化することができる。

なお、上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、設計要求等に基づき種々変更可能である。
例えば、上記実施形態においては、塗布部２として、スリット型のノズル２ａを用いたが、これに限らない。例えば、中央滴下型の塗布部を用いてもよいし、インクジェット型の塗布部を用いてもよい。また、基板１０上に配置される液状体をスキージなどを用いて拡散させて塗布する構成であってもよい。

また、上記実施形態においては、塗布装置１が、基板１０上に塗布液３ａとしてポリイミドを含む液状体を塗布する例を挙げたが、これに限らない。例えば、塗布液３ａとしてレジスト液を用いてもよいし、レジスト液以外の液体を用いてもよい。

また、上記実施形態においては、供給部３が、第一ポンプ３１及び第二ポンプ３２の双方に塗布液３ａを供給可能な供給源３０を含む例を挙げたが、これに限らない。例えば、供給部として、第一ポンプ３１に塗布液３ａを供給可能な第一供給源と、第二ポンプ３２に塗布液３ａを供給可能な第二供給源とを含んでもよい。

なお、上記において実施形態又はその変形例として記載した各構成要素は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜組み合わせることができるし、また、組み合わされた複数の構成要素のうち一部の構成要素を適宜用いないようにすることもできる。

１…塗布装置 ２…塗布部 ２ａ…ノズル ３…供給部 ３ａ…塗布液、４…調整部 ５…切替部 ７…ステージ ３０…供給源 ３１…第一ポンプ ３２…第二ポンプ ４０…モータ制御部 ４１…第一モータ ４２…第二モータ ５０…バルブ制御部 ５１…第一バルブ ５２…第二バルブ ５３…第三バルブ ５４…第四バルブ ６０…検知部 ８２…門型フレーム １３１…ケース部材（筐体） １３２…可撓性チューブ（可撓性部材） １３４ｈ…流体排出口 １４０…シリンダ部 １５０…ピストン（プランジャ）

Claims (23)

1. 塗布対象に塗布液を塗布する塗布部と、
   前記塗布部に前記塗布液を供給可能な第一ポンプ及び第二ポンプを有する供給部と、
   前記第一ポンプ及び前記第二ポンプの内圧を検知する検知部と、
   前記第一ポンプ及び前記第二ポンプの内圧を調整可能な調整部と、
   前記第一ポンプ又は前記第二ポンプの何れか一方の内圧が前記一方の内圧の検知結果を基に調整された後に、前記一方から前記塗布部に前記塗布液が供給されるように前記第一ポンプ及び前記第二ポンプを切り替える切替部と、
   を含み、
   前記切替部は、前記一方の内圧が前記一方の直近の動作終了時の内圧の検知結果を基に調整された後に、前記一方から前記塗布部に前記塗布液が供給されるように前記第一ポンプ及び前記第二ポンプを切り替える塗布装置。
2. 前記第一ポンプ及び前記第二ポンプは、
   筐体と、
   前記筐体内に同軸的に配置され、前記塗布液が収容される可撓性部材と、
   作動流体を収容するシリンダ部と、
   前記シリンダ部に対して往復動可能に挿入され、前記筐体と前記可撓性部材との隙間に前記作動流体を供給して前記可撓性部材から前記塗布液を排出させるプランジャと、を含む
   請求項１に記載の塗布装置。
3. 前記検知部は、前記内圧として、前記可撓性部材に収容されている前記塗布液の圧力を検知する
   請求項２に記載の塗布装置。
4. 前記検知部は、前記可撓性部材の下流側に連通する流体排出口の側に配置されている
   請求項３に記載の塗布装置。
5. 前記切替部は、
   前記第一ポンプへの前記塗布液の供給路を開閉可能な第一バルブと、
   前記第二ポンプへの前記塗布液の供給路を開閉可能な第二バルブと、
   前記第一ポンプから前記塗布部への前記塗布液の供給路を開閉可能な第三バルブと、
   前記第二ポンプから前記塗布部への前記塗布液の供給路を開閉可能な第四バルブと、
   前記第一バルブ、前記第二バルブ、前記第三バルブ及び前記第四バルブの開閉を制御するバルブ制御部と、を含む
   請求項１〜４の何れか一項に記載の塗布装置。
6. 前記バルブ制御部は、
   前記第一ポンプから前記塗布部への供給に切り替える際に前記第三バルブを開け、前記第三バルブが開いている間に前記第二バルブを開く制御をし、
   前記第二ポンプから前記塗布部への供給に切り替える際に前記第四バルブを開け、前記第四バルブが開いている間に前記第一バルブを開く制御をする
   請求項５に記載の塗布装置。
7. 前記バルブ制御部は、
   前記第一バルブを開く際に前記第三バルブを閉じる制御をし、
   前記第二バルブを開く際に前記第四バルブを閉じる制御をする
   請求項６に記載の塗布装置。
8. 前記バルブ制御部は、
   前記第一ポンプの内圧を調整する際に前記第一バルブ及び前記第三バルブを閉じる制御をし、
   前記第二ポンプの内圧を調整する際に前記第二バルブ及び前記第四バルブを閉じる制御をする
   請求項５〜７の何れか一項に記載の塗布装置。
9. 前記バルブ制御部は、
   前記第一ポンプの内圧を調整した後に前記第三バルブを開く制御をし、
   前記第二ポンプの内圧を調整した後に前記第四バルブを開く制御をする
   請求項８に記載の塗布装置。
10. 前記調整部は、
    回転数の増減によって前記第一ポンプの内圧を調整可能な第一モータと、
    回転数の増減によって前記第二ポンプの内圧を調整可能な第二モータと、
    前記第一モータ及び前記第二モータの回転数を制御するモータ制御部と、を含む
    請求項１〜９の何れか一項に記載の塗布装置。
11. 前記モータ制御部は、前記第一ポンプ及び前記第二ポンプの内圧を調整する際に、前記第一モータの回転数と前記第二モータの回転数との和が変化しないように前記第一モータ及び前記第二モータの回転数を制御する
    請求項１０に記載の塗布装置。
12. 前記モータ制御部は、前記第一ポンプ及び前記第二ポンプを切り替える際に、切替前の前記第一ポンプ又は前記第二ポンプの何れか一方の内圧を基に前記第一モータ及び前記第二モータの回転数を制御する
    請求項１０又は１１に記載の塗布装置。
13. 前記塗布対象が配置されるステージを跨ぐように門型に形成されると共に、前記ステージに対して移動可能とされる門型フレームを更に含み、
    前記塗布部は、前記門型フレームに取り付けられると共に、前記第一ポンプ及び前記第二ポンプの切替によって前記塗布液を吐出可能なノズルを含む
    請求項１〜１２の何れか一項に記載の塗布装置。
14. 前記供給部は、前記第一ポンプ及び前記第二ポンプの双方に前記塗布液を供給可能な供給源を含む
    請求項１〜１３の何れか一項に記載の塗布装置。
15. 塗布対象に塗布液を塗布する塗布部に対して、前記塗布液を第一ポンプ又は第二ポンプから供給する供給ステップと、
    前記第一ポンプ及び前記第二ポンプの内圧を検知する検知ステップと、
    前記第一ポンプ及び前記第二ポンプの内圧を調整する調整ステップと、
    前記第一ポンプ又は前記第二ポンプの何れか一方の内圧が前記一方の内圧の検知結果を基に調整された後に、前記一方から前記塗布部に前記塗布液が供給されるように前記第一ポンプ及び前記第二ポンプを切り替える切替ステップと、
    を含み、
    前記切替ステップは、前記一方の内圧が前記一方の直近の動作終了時の内圧の検知結果を基に調整された後に、前記一方から前記塗布部に前記塗布液が供給されるように前記第一ポンプ及び前記第二ポンプを切り替える塗布方法。
16. 前記第一ポンプ及び前記第二ポンプを切り替える切替部として、
    前記第一ポンプへの前記塗布液の供給路を開閉可能な第一バルブと、
    前記第二ポンプへの前記塗布液の供給路を開閉可能な第二バルブと、
    前記第一ポンプから前記塗布部への前記塗布液の供給路を開閉可能な第三バルブと、
    前記第二ポンプから前記塗布部への前記塗布液の供給路を開閉可能な第四バルブと、を含み、
    前記切替ステップは、前記第一バルブ、前記第二バルブ、前記第三バルブ及び前記第四バルブを開閉する
    請求項１５に記載の塗布方法。
17. 前記切替ステップは、
    前記第一ポンプから前記塗布部への供給を開始する際に前記第三バルブを開け、前記第三バルブが開いている間に前記第二バルブを開き、
    前記第二ポンプから前記塗布部への供給を開始する際に前記第四バルブを開け、前記第四バルブが開いている間に前記第一バルブを開く
    請求項１６に記載の塗布方法。
18. 前記切替ステップは、
    前記第一バルブを開く際に前記第三バルブを閉じ、
    前記第二バルブを開く際に前記第四バルブを閉じる
    請求項１７に記載の塗布方法。
19. 前記切替ステップは、
    前記第一ポンプの内圧を調整する際に前記第一バルブ及び前記第三バルブを閉じ、
    前記第二ポンプの内圧を調整する際に前記第二バルブ及び前記第四バルブを閉じる
    請求項１６〜１８の何れか一項に記載の塗布方法。
20. 前記切替ステップは、
    前記第一ポンプの内圧を調整した後に前記第三バルブを開き、
    前記第二ポンプの内圧を調整した後に前記第四バルブを開く
    請求項１９に記載の塗布方法。
21. 前記第一ポンプ及び前記第二ポンプの内圧を調整可能な調整部として、
    回転数の増減によって前記第一ポンプの内圧を調整可能な第一モータと、
    回転数の増減によって前記第二ポンプの内圧を調整可能な第二モータと、を含み、
    前記調整ステップは、前記第一モータ及び前記第二モータの回転数を増減する
    請求項１５〜２０の何れか一項に記載の塗布方法。
22. 前記調整ステップは、前記第一ポンプ及び前記第二ポンプの内圧を調整する際に、前記第一モータの回転数と前記第二モータの回転数との和が変化しないように前記第一モータ及び前記第二モータの回転数を増減する
    請求項２１に記載の塗布方法。
23. 前記調整ステップは、前記第一ポンプ及び前記第二ポンプを切り替える際に、切替前の前記第一ポンプ又は前記第二ポンプの何れか一方の内圧を基に前記第一モータ及び前記第二モータの回転数を増減する
    請求項２１又は２２に記載の塗布方法。

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