JP6653514B1 - ポリッシングパッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
2 溝部
2a 縦溝部
2b 横溝部
3 研磨層
3a〜3f パッド片
3’ 接合体
4 接合部
5 粘着層
6 剥離シート
7 接合体
Claims (5)
- ポリッシングパッドの製造方法において、
複数のパッド片の端面に接着剤を塗布した上で、隣り合ったパッド片の端面同士を接合境界に沿って一体不可分に接合することによって、前記複数のパッド片の組み合わせであり、かつ、全体として研磨層を構成する接合体を生成する第1のステップと、
前記生成された接合体の上面を研磨することによって、平坦化された研磨面を形成する第2のステップと、
前記研磨面が平坦化された前記接合体を裏返す第3のステップと、
前記裏返された接合体における前記研磨面とは反対側の裏面を研磨することによって、平坦化された裏面を形成する第4のステップと、
前記平坦化された裏面に粘着層を形成する第5のステップと
を有することを特徴とするポリッシングパッドの製造方法。 - 前記粘着層が形成された前記接合体の前記研磨面に筋状に陥没して設けられ、少なくとも一部が、前記接合境界と位置的に対応した複数の溝部を形成する第6のステップをさらに有することを特徴とする請求項1に記載されたポリッシングパッドの製造方法。
- 前記第6のステップは、
縦および横の一方の方向にそれぞれが延在し、かつ、前記一方の方向とは直交する他方の方向において第1のピッチで並んだ複数の第1の溝部を形成するステップを有し、
前記第1のピッチは、前記一方の方向にそれぞれが延在し、かつ、前記他方の方向おいて隣り合った前記接合境界の間隔の1/m倍(mは整数)であることを特徴とする請求項2に記載されたポリッシングパッドの製造方法。 - 前記第6のステップは、
前記他方の方向にそれぞれが延在し、かつ、前記一方の方向において第2のピッチで並んだ複数の第2の溝部を形成するステップを有し、
前記第2のピッチは、前記他方の方向にそれぞれが延在し、かつ、前記一方の方向において隣り合った前記接合境界の間隔の1/n倍(nは整数)であることを特徴とする請求項3に記載されたポリッシングパッドの製造方法。 - 前記複数の溝部が形成された前記接合体の前記研磨面に仕上げ研磨を施す第7のステップをさらに有することを特徴とする請求項2から4のいずれかに記載されたポリッシングパッドの製造方法。
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