JP2007216306A - 研削ホイールの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】砥石の品質を低下させることがないとともに生産性を向上させることができる研削ホイールの製造方法を提供する。
【解決手段】端面に環状溝が形成されたホール基台と、ホール基台の環状溝内に配設される砥石とからなる研削ホイールの製造方法であって、熱硬化性樹脂シート材を環状溝内に配設可能な樹脂シートに形成する樹脂シート加工工程と、樹脂シートを環状溝に配設するとともに砥石を環状溝に樹脂シートを挟んで挿入する砥石セット工程と、砥石を押圧しつつ樹脂シートを加熱して樹脂シートを硬化せしめる樹脂シート過熱工程とを含む。
【選択図】図3
【解決手段】端面に環状溝が形成されたホール基台と、ホール基台の環状溝内に配設される砥石とからなる研削ホイールの製造方法であって、熱硬化性樹脂シート材を環状溝内に配設可能な樹脂シートに形成する樹脂シート加工工程と、樹脂シートを環状溝に配設するとともに砥石を環状溝に樹脂シートを挟んで挿入する砥石セット工程と、砥石を押圧しつつ樹脂シートを加熱して樹脂シートを硬化せしめる樹脂シート過熱工程とを含む。
【選択図】図3
Description
本発明は、半導体ウエーハ等の被加工物を研削するための研削ホイールの製造方法に関する。
当業者には周知の如く、半導体デバイス製造工程においては、IC、LSI等のデバイスが複数個形成されたウエーハは、個々のチップに分割される前にその裏面を研削装置によって研削して所定の厚さに形成されている。研削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削ホイールを備えた研削手段とを具備している。この研削手段を構成する研削ホイールについて、図7を参照して説明する。図7に示す研削ホイール20は、端面に環状溝301が形成されたホール基台30と、該環状溝301内に配設される複数の砥石40とからなっている。この複数の砥石40をホイール基台30の環状溝301内に配設し固定する従来用いられている方法について、図8を参照して説明する。先ず、図8の(a)に示すように砥石4における固定側の端面にエポキシ樹脂等の液状樹脂からなるボンド剤50を塗布し、図8の(b)に示すようにホイール基台30に形成された環状溝301内に砥石4のボンド剤50が塗布された端面側を挿入して接着する。そして、研削砥石40に所定の押圧力を作用せしめた状態で加熱してボンド剤50を硬化せしめる。
而して、上記従来の方法においては、砥石40の端面に塗布するボンド剤50の量が少ないと接着された砥石40が剥がれるため、ボンド剤50は環状溝301を充分に充填する量が塗布される。このため、図8の(b)に示すようにボンド剤5が環状溝301から溢れ出す。このように環状溝301から溢れ出したボンド剤50は、作業者が拭き取らなければならず、生産性が悪いという問題がある。また、環状溝301から溢れ出したボンド剤5が砥石40の研削面に付着して内部に浸透すると砥石の品質を低下させるという問題がある。更に、ボンド剤50の量は作業者に委ねられているので、作業者の熟練度、個性によって出来栄えが異なり品質が安定しないという問題がある。
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術課題は、砥石の品質を低下させることがないとともに生産性を向上させることができる研削ホイールの製造方法を提供することにある。
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、端面に環状溝が形成されたホール基台と、該ホール基台の該環状溝内に配設される砥石とからなる研削ホイールの製造方法であって、
熱硬化性樹脂シート材を該環状溝内に配設可能な樹脂シートに形成する樹脂シート加工工程と、
該樹脂シートを該環状溝に配設するとともに該砥石を該環状溝に該樹脂シートを挟んで挿入する砥石セット工程と、
該砥石を押圧しつつ該樹脂シートを加熱して該樹脂シートを硬化せしめる樹脂シート過熱工程と、を含む、
ことを特徴とする研削ホイールの製造方法が提供される。
熱硬化性樹脂シート材を該環状溝内に配設可能な樹脂シートに形成する樹脂シート加工工程と、
該樹脂シートを該環状溝に配設するとともに該砥石を該環状溝に該樹脂シートを挟んで挿入する砥石セット工程と、
該砥石を押圧しつつ該樹脂シートを加熱して該樹脂シートを硬化せしめる樹脂シート過熱工程と、を含む、
ことを特徴とする研削ホイールの製造方法が提供される。
上記熱硬化性樹脂シート材はポリエステル不織布にエポキシ系樹脂を含浸させたシート材からなり、上記樹脂シート加熱工程は110〜130℃の加熱温度で110〜130分間実施する。
本発明による研削ホイールの製造方法においては、熱硬化性樹脂シート材をホイール基台に形成された環状溝に配設可能な樹脂シートに形成し、この樹脂シートを環状溝に配設するとともに砥石を環状溝に樹脂シートを挟んで挿入した後、砥石を押圧しつつ樹脂シートを加熱して硬化せしめることにより、硬化した樹脂シートによって砥石をホイール基台に固定するので、ボンド剤が環状溝から溢れ出すことがない。従って、従来のように環状溝から溢れ出したボンド剤を拭き取る作業を実施する必要がなく、生産性が向上する。また、従来のように環状溝から溢れ出したボンド剤が砥石の研磨面に付着することがなく、ボンド剤が砥石の研磨面に付着することによる品質の低下を未然に防止できる。更に、従来のようにボンド剤の量が作業者に委ねられていないので、作業者の熟練度、個性によって出来栄えが異なることがないため、安定した品質の研削ホイールを得ることができる。
以下、本発明による研削ホイールの製造方法の好適な実施形態について、添付図面を参照して更に詳細に説明する。
図1には、本発明に従って構成された研削ホイールの斜視図が示されている。
図1に示す研削ホイール2は、上記図8に示す研削ホイール20と同様に端面に環状溝31が形成されたホイール基台3と、該環状溝31内に配設される複数の砥石4とからなっている。この複数の砥石4をホイール基台3の環状溝31内に配設し固定する方法について、図2乃至図5を参照して説明する。
図1に示す研削ホイール2は、上記図8に示す研削ホイール20と同様に端面に環状溝31が形成されたホイール基台3と、該環状溝31内に配設される複数の砥石4とからなっている。この複数の砥石4をホイール基台3の環状溝31内に配設し固定する方法について、図2乃至図5を参照して説明する。
先ず、図2に示すように熱硬化性樹脂シート材5をホイール基台3形成された環状溝31内に配設可能な樹脂シートに形成する樹脂シート加工工程を実施する。図2に示す実施形態においては、熱硬化性樹脂シート材5を2点鎖線で示すように環状溝31に対応する形状に裁断し、環状の樹脂シート51を形成する。なお、熱硬化性樹脂シート5は、例えばポリエステル不織布にエポキシ系樹脂を含浸させたシートからなっている。この熱硬化性樹脂シート5の厚さは、0.2〜1mmが好ましい。このような熱硬化性樹脂シート材としては、例えば日東電工(株)が提供するB-EF・P-EFシリーズの熱硬化性接着シートを用いることができる。
次に、図3の(a)および(b)に示すように環状の樹脂シート51をホイール基台3に形成された環状溝31に配設するとともに、図3の(c)に示すように砥石4を環状溝31に樹脂シート51を挟んで挿入する砥石セット工程を実施する。そして、図3の(c)に示すように複数の砥石4を環状溝31内にそれぞれ所定の間隔を設けてセットする。
上述した砥石セット工程を実施したならば、図4の(a)に示すようにホイール基台3に形成された環状溝31にセットされた複数の砥石4上に重石6を載置し、複数の砥石4を押圧する。そして、図4の(b)に示すようにホイール基台3に形成された環状溝31にセットされた複数の砥石4上に重石6を載置した状態で加熱炉7に入れ、樹脂シート51を加熱することにより樹脂シート51を硬化せしめる(樹脂シート加熱工程)。この樹脂シート加熱工程においてホイール基台3に形成された環状溝31にセットされた複数の砥石4上に載置する重石6の重量は、10〜20kgでよい。また、樹脂シート加熱工程は、110〜130℃の加熱温度で、110〜130分間実施する。このようにして樹脂シート加熱工程を実施することにより樹脂シート51が硬化せしめられ、この硬化した樹脂シート51によって砥石4はホイール基台3に固定される。
以上のように実施形態においては、熱硬化性樹脂シート材5をホイール基台3に形成された環状溝31に対応した環状の樹脂シート51に裁断し、この環状の樹脂シート51を環状溝31に配設するとともに複数の砥石4を環状溝31に樹脂シート51を挟んで挿入した後、複数の砥石4を押圧しつつ樹脂シート51を加熱して硬化せしめることにより、硬化した樹脂シート51によって砥石4をホール基台3に固定するので、ボンド剤が環状溝31から溢れ出すことがない。従って、従来のように環状溝31から溢れ出したボンド剤を拭き取る作業を実施する必要がなく、生産性が向上する。また、従来のように環状溝31から溢れ出したボンド剤が砥石4の研磨面に付着することがなく、ボンド剤が砥石4の研磨面に付着することによる品質の低下を未然に防止できる。さらに、従来のようにボンド剤の量が作業者に委ねられていないので、作業者の熟練度、個性によって出来栄えが異なることがないため、安定した品質の研削ホイールを得ることができる。
次に、本発明による研削ホイールの製造方法の他の実施形態について、図5および図6を参照して説明する。
図5および6に示す実施形態においては、熱硬化性樹脂シート材を図5に示すように上記砥石4の端面に対応する樹脂シート52に裁断する(樹脂シート加工工程)し、この樹脂シート52を砥石4の端面に貼着する。次に、図6に示すようにホール基台3に形成された環状溝31に挿入し所定位置にセットする(砥石セット工程)。そして、ホール基台3に形成された環状溝31に全ての砥石14をセットしたならば、上記樹脂シート加熱工程を実施する。
図5および6に示す実施形態においては、熱硬化性樹脂シート材を図5に示すように上記砥石4の端面に対応する樹脂シート52に裁断する(樹脂シート加工工程)し、この樹脂シート52を砥石4の端面に貼着する。次に、図6に示すようにホール基台3に形成された環状溝31に挿入し所定位置にセットする(砥石セット工程)。そして、ホール基台3に形成された環状溝31に全ての砥石14をセットしたならば、上記樹脂シート加熱工程を実施する。
以上、本発明を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は実施例のみに限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲で種種の変形は可能である。例えば、上述した実施形態においては研削砥石として複数の砥石14を用いた例を示したが、本発明は環状の砥石にも適用することができる。
2:研削ホイール
3:ホイール基台
31:環状溝
4:砥石
5:熱硬化性樹脂シート材
51:樹脂シート
52:樹脂シート
6:重石
7:加熱炉
3:ホイール基台
31:環状溝
4:砥石
5:熱硬化性樹脂シート材
51:樹脂シート
52:樹脂シート
6:重石
7:加熱炉
Claims (2)
- 端面に環状溝が形成されたホール基台と、該ホール基台の該環状溝内に配設される砥石とからなる研削ホイールの製造方法であって、
熱硬化性樹脂シート材を該環状溝内に配設可能な樹脂シートに形成する樹脂シート加工工程と、
該樹脂シートを該環状溝に配設するとともに該砥石を該環状溝に該樹脂シートを挟んで挿入する砥石セット工程と、
該砥石を押圧しつつ該樹脂シートを加熱して該樹脂シートを硬化せしめる樹脂シート過熱工程と、を含む、
ことを特徴とする研削ホイールの製造方法。 - 該熱硬化性樹脂シート材はポリエステル不織布にエポキシ系樹脂を含浸させたシート材からなり、該樹脂シート加熱工程は110〜130℃の加熱温度で110〜130分間実施する、請求項1記載の研削ホイールの製造方法。
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