JP6652212B2 - サンプルプレート移動機構及びそれを備えたレーザ脱離イオン化質量分析装置 - Google Patents

Description

本発明は、真空室内でサンプルプレートを移動させるためのサンプルプレート移動機構に関する。特に、サンプルプレートの上面に載置された試料にレーザ光を照射し、それにより試料を気化又はイオン化して、さらにレーザ光の照射位置に対しサンプルプレートを移動させることで、順次サンプルプレートの上面に載置された多数の試料を、気化又はイオン化するマトリックス支援レーザ脱離イオン化飛行時間型質量分析装置（ＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳ：Matrix Assisted Laser Desorption Ionization / Time of Flight Mass Spectrometer）に関する。

ＭＡＬＤＩ（マトリックス支援レーザ脱離イオン化法）は、「マトリックス」と呼ばれるシナピン酸等の溶液と微量の分析対象物質とを混合した試料にレーザ光を照射し、レーザ光を吸収したマトリックスが熱を吸収して発熱し、その一部が急速に加熱されて気化するのに伴って分析対象物質を気化又はイオン化する方法である。ＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳで質量分析を行う際には、サンプルプレートの上面に試料をスポット状に滴下し、乾燥により溶媒を蒸発させた後に真空チャンバ内へ載置する。そして、真空チャンバ内を真空引きするべく真空ポンプの運転を開始することにより分析が開始される。通常、サンプルプレートの上面には複数の試料がＭ行Ｎ列に並ぶように載置されており、サンプルプレートを動かしてレーザ光の照射位置に各試料の載置箇所を移動させることにより、各試料が次々とイオン化される。そして、ＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳでは、発生させたイオンを所定の強さの電場によって引き出し、飛行空間内に導入することで質量分析を行う。飛行空間内を飛行する各イオンの速度はその質量電荷比に依存し、質量電荷比が小さいほど大きな速度を有するため、検出器に到達するまでの飛行時間に応じて、各種イオンを質量電荷比ごとに分離・検出する（例えば、特許文献１参照）。

ところで、真空チャンバ内に、サンプルプレートを駆動するためのＸＹステージ機構を設けると、電気、機械構造によるコンタミ、発熱があり、コストアップや真空チャンバのサイズを小型化できないという問題が生じる。特に真空チャンバサイズの問題は、真空引きの速度と到達真空度とに影響し、コストダウンや真空ポンプ等の小型化に対する障害となる。

そこで、これらの要求に適したサンプルプレート移動機構として、サンプルプレートを真空チャンバ内の下面壁上に載置し、真空チャンバ外に配置されたステージと磁気カップリングさせることで、ステージの移動に伴ってサンプルプレート上の任意の位置をレーザ光の照射位置に移動させるようにしたものがある。

図６は、従来のＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳの構成の一例を示す図である。なお、地面に水平な一方向をＸ方向とし、地面に水平でＸ方向と垂直な方向をＹ方向とし、Ｘ方向とＹ方向とに垂直な方向をＺ方向とする。
ＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳ１０１は、真空チャンバ１０と、真空チャンバ１０と連結して設けられた検出チャンバ（検出手段）２０と、真空チャンバ１０内を真空排気する真空ポンプ（図示せず）と、ステージ１３１を有するサンプルプレート移動機構１３０と、真空チャンバ１０内に載置されるサンプルプレート１４０と、レーザ光を試料に照射する照射手段６０と、ＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳ１０１全体の制御を行うコンピュータ１７０とを備える。

真空チャンバ１０は、アルミニウム製で厚さ１ｃｍの器壁によって直方体形状（例えば２０ｃｍ×４０ｃｍ×２０ｃｍ）に形成されている。そして、右側壁には、レーザ光を透過する照射用窓１１が形成されている。

検出チャンバ２０内には、イオン輸送光学系２１と、質量分析器２２と、検出器２３とが−Ｚ方向にこの順で配置されている。イオン輸送光学系２１としては、例えば静電的な電磁レンズや多極型の高周波イオンガイド等が用いられる。また、質量分析器２２としては、四重極型分析器、イオントラップ、飛行時間型分析器、磁場セクタ型分析器等が用いられる。
このような検出チャンバ２０によれば、照射手段６０からのレーザ照射によって試料から放出されたイオンは検出チャンバ２０内に導入され、イオン輸送光学系２１を経て質量分析器２２に送られ、質量分析器２２により質量電荷比に応じて各種イオンが分離される。そして、分離されたイオンが検出器２３に到達すると、検出器２３は到達したイオン量に応じた検出信号を出力し、この検出信号は後述するコンピュータ１７０の分析制御部７１ｂに送信される。

照射手段６０は、真空チャンバ１０の外側右上方に位置するように配置され、レーザ集光光学系６１と、レーザ照射部６２とを備える。このような照射手段６０によれば、レーザ照射部６２から出射されたイオン化用のレーザ光はレーザ集光光学系６１により絞られ、真空チャンバ１０の照射用窓１１を通してサンプルプレート１４０の試料に向けて照射される。この際に試料上へ照射されるレーザ光の照射径は、例えば１μｍ〜数十μｍという微小径である。

コンピュータ１７０は、ＣＰＵ１７１と入力装置となる操作部７２とを備える。また、ＣＰＵ１７１が処理する機能をブロック化して説明すると、ステージ制御部１７１ａと、レーザ照射部６２を制御するとともに検出器２３からの検出信号をデジタル化して適宜のデータ処理を実行する分析制御部７１ｂとを有する。分析制御部７１ｂは、例えば試料の質量スペクトルを作成し、この質量スペクトルに基づいて定性解析や定量解析を行う。また、分析制御部７１ｂは、ステージ制御部１７１ａによってレーザ照射位置が走査されるごとに質量スペクトルを作成することで、多数の試料の定性解析や定量解析を行う。

ここで、図７は、従来のサンプルプレートとサンプルプレート移動機構の一例を示す斜視図である。
図７（ａ）に示すサンプルプレート１４０は、例えば２０ｇの金属製の表面を有するプラスチック製の板状体（例えば８ｃｍ×３ｃｍ×０．２ｃｍ）１４１からなり、この板状体１４１上面に、例えば直径３〜５ｍｍ程度の試料がＭ行Ｎ列に並んで載置されるようになっている。また、板状体１４１内部の中央部分には、円柱形状（例えば直径１ｃｍ）の第一永久磁石１４２が配置されている。第一永久磁石１４２は、上側がＳ極、下側がＮ極となるように配置されている。

図７（ｂ）に示すサンプルプレート移動機構１３０は、真空チャンバ１０の外側下方に配置され、ステージ１３１と、Ｘ軸リニアアクチュエータ３２と、Ｙ軸リニアアクチュエータ３３とを備える。
ステージ１３１は、板状体（例えば１ｃｍ×３ｃｍ×４ｃｍ）１３１ａと、板状体１３１ａ下面に形成されたステージ取付部１３１ｂとを有する。そして、板状体１３１ａ上面の中央部には、円柱形状（例えば直径１ｃｍ）の第三永久磁石１３１ｃが配置されている。第三永久磁石１３１ｃは、上側がＳ極、下側がＮ極となるように配置されている。

Ｘ軸リニアアクチュエータ３２は、Ｘ軸リニアガイド３２ａと、Ｘ軸スクリュ３２ｂと、Ｘ軸リニアガイド３２ａの一端部及びＸ軸スクリュ３２ｂの一端部を支持するＸ軸リニアアクチュエータ取付部３２ｄと、Ｘ軸リニアガイド３２ａの一端部及びＸ軸リニアアクチュエータ取付部３２ｄに取り付けられたＸ軸モータ３２ｃとを備える。そして、Ｘ軸リニアガイド３２ａの他端部及びＸ軸スクリュ３２ｂの他端部にはステージ取付部１３１ｂが固定されている。これにより、Ｘ軸モータ３２ｃの回転によってステージ取付部１３１ｂがＸ軸リニアアクチュエータ取付部３２ｄに対してＸ方向に移動可能となっている。

Ｙ軸リニアアクチュエータ３３は、Ｙ軸リニアガイド３３ａと、Ｙ軸スクリュ３３ｂと、Ｙ軸リニアガイド３３ａの一端部及びＹ軸スクリュ３３ｂの一端部を支持するとともに筐体等に固定されるＹ軸リニアアクチュエータ取付部３３ｄと、Ｙ軸リニアガイド３３ａの一端部及びＹ軸リニアアクチュエータ取付部３３ｄに取り付けられたＹ軸モータ３３ｃとを備える。そして、Ｙ軸リニアガイド３３ａの他端部及びＹ軸スクリュ３３ｂの他端部にはＸ軸リニアアクチュエータ取付部３２ｄが固定されている。これにより、Ｙ軸モータ３３ｃの回転によってＸ軸リニアアクチュエータ取付部３２ｄがＹ軸リニアアクチュエータ取付部３３ｄ（筐体等）に対してＹ方向に移動可能となっている。

このようなＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳ１０１を用いて質量分析を行う際に、まず、オペレータは、真空チャンバ１０内の下面壁上にサンプルプレート１４０を載置する。このとき、サンプルプレート１４０の第一永久磁石１４２とステージ１３１の第三永久磁石１３１ｃとが引き合うことで、サンプルプレート１４０が真空チャンバ１０の下面壁に押し付けられて、真空チャンバ１０の下面壁を介してサンプルプレート１４０とステージ１３１とが一体化する。

次に、オペレータは、真空ポンプの運転を開始した後、操作部７２を用いて分析開始信号を入力する。これにより、ステージ制御部１７１ａは、Ｘ軸モータ３２ｃとＹ軸モータ３３ｃとに必要な駆動信号を出力し、所望のＸ方向とＹ方向とにステージ１３１を移動させることで、これと同時にサンプルプレート１４０を所望のＸ方向とＹ方向とに移動させることができる。

国際公開ＷＯ２００８／０６８８４７号公報

ところで、質量分析を行う際には、各試料にレーザ光が正確に照射されるようにサンプルプレートの位置移動を精度よく行う必要があるとともに、多数の試料の分析に要する時間を短くするために、できるだけ高速で各試料間の移動が行われるようにサンプルプレートを移動させる必要がある。

しかしながら、ＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳ１０１では、サンプルプレート１４０の移動において、移動速度が低速の場合にはあまり問題とならないが、高速移動させると、サンプルプレート１４０と真空チャンバ１０下面壁との間の摩擦によって位置ずれが生じるという問題が発生した。
そこで、本発明は、極めて低い摩擦力で真空室の壁面上を移動させることができるサンプルプレート移動機構及びそれを備えたレーザ脱離イオン化質量分析装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するためになされた本発明のサンプルプレート移動機構は、真空室内に配置されるサンプルプレートと、前記真空室外に配置され、Ｘ方向とＹ方向とに移動可能なステージとを備えるサンプルプレート移動機構であって、前記サンプルプレートには、第一永久磁石と、第二永久磁石とが配置されており、前記ステージには、前記第一永久磁石と前記真空室の器壁を介してＺ方向に引き合う第三永久磁石と、電磁石とが配置されており、分析するときには、前記電磁石を制御することにより、前記電磁石と前記第二永久磁石とを前記真空室の器壁を介して−Ｚ方向に所定反発力で反発させるようにしている。

ここで、「所定反発力」とは、設計者等によって予め決められた任意の数値であり、サンプルプレートと真空室の壁面との間に働く摩擦力を低減させるものである。

以上のように、本発明のサンプルプレート移動機構によれば、ステージを真空室外に設置することで、真空室内の電気的及び機械的負担が低減する。そして、サンプルプレートの移動時に磁気浮上させることで、極めて低い摩擦力で真空室の壁面上を移動させることになるため、高速かつ高精度な動作を実現することができる。

（他の課題を解決するための手段および効果）
また、上記発明において、前記サンプルプレートに配置された前記第一永久磁石は、２個の永久磁石からなり、前記第二永久磁石のＸ方向と−Ｘ方向とに配置されており、前記ステージに配置された前記第三永久磁石は、２個の永久磁石からなり、前記電磁石のＸ方向と−Ｘ方向とに配置されているようにしてもよい。

また、上記発明において、前記第二永久磁石の極性は、前記第一永久磁石の極性と逆方向となっているようにしてもよい。

また、上記発明において、前記サンプルプレートの下面には、所定摩擦力以下とする保持部材が配置されているようにしてもよい。
ここで、「所定摩擦力」とは、設計者等によって予め決められた任意の数値であり、サンプルプレートと真空室の壁面との間に働く摩擦力を低減させるものである。

また、上記発明において、前記サンプルプレートの上面には、複数の試料が載置されているようにしてもよい。

また、本発明のレーザ脱離イオン化質量分析装置において、上述したようなサンプルプレート移動機構と、前記真空室と、レーザ光を試料に照射する照射手段と、前記レーザ光が照射された試料から放出された気化試料又はイオンを検出する検出手段と、前記ステージをＸ方向及び／又はＹ方向に移動させながら、前記サンプルプレート上の各試料から放出された気化試料又はイオンを前記検出手段でそれぞれ検出していく制御部とを備えるようにしてもよい。

本発明に係るＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳを示す構成図。 本発明に係るサンプルプレートとサンプルプレート移動機構の一例を示す斜視図。 本発明で用いる電磁石の一例を示す斜視図。 図３の電磁石による磁性を示す図。 サンプルプレートが磁気浮上した状態を示す説明図。 ＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳの従来例を示す構成図。 サンプルプレートとサンプルプレート移動機構の従来例を示す斜視図。

以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。なお、本発明は、以下に説明するような実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の態様が含まれる。

図１は、本発明に係るＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳの構成を示す図である。なお、上述したＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳ１０１と同様のものについては、同じ符号を付すことにより説明を省略する。
ＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳ１は、真空チャンバ１０と、真空チャンバ１０と連結して設けられた検出チャンバ（検出手段）２０と、真空チャンバ１０内を真空排気する真空ポンプ（図示せず）と、ステージ３１を有するサンプルプレート移動機構３０と、真空チャンバ１０内に載置されるサンプルプレート４０と、レーザ光を試料に照射する照射手段６０と、ＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳ１全体の制御を行うコンピュータ７０とを備える。サンプルプレート４０とステージ３１に挟まれる真空チャンバ１０の隔壁については、後述する磁石による結合を損ねないよう、例えば厚さ３ｍｍにする。

コンピュータ７０は、ＣＰＵ７１と入力装置となる操作部７２とを備える。また、ＣＰＵ７１が処理する機能をブロック化して説明すると、ステージ制御部７１ａと、レーザ照射部６２を制御するとともに検出器２３からの検出信号をデジタル化して適宜のデータ処理を実行する分析制御部７１ｂとを有する。

図２は、本発明に係るサンプルプレートとサンプルプレート移動機構の一例を示す斜視図である。
図２（ａ）に示すサンプルプレート４０は、例えば２０ｇの金属製の表面を有するプラスチック製の板状体（例えば８ｃｍ×３ｃｍ×０．２ｃｍ）４１からなり、板状体４１下面の四隅には、所定摩擦力以下とするテフロン（登録商標）やグラファイト製で円柱形状（例えば直径５ｍｍ）の保持部材４５がそれぞれ配置されている。そして、板状体４１の上面には、例えば直径３〜５ｍｍ程度の試料がＭ行Ｎ列に並んで載置されるようになっている。

また、板状体４１の内部には、円柱形状（例えば直径５ｍｍ）の第一永久磁石４２と、直方体形状（例えば７ｍｍ×１５ｍｍ×３ｍｍ）の第二永久磁石４３と、円柱形状（例えば直径５ｍｍ）の第一永久磁石４４とがＸ方向に沿ってこの順に配置されている。第二永久磁石４３は、Ｘ軸よりＹ軸方向に長い直方体形状となっており、Ｙ軸に対して磁束が広がるようになっている。そして、第一永久磁石４２、４４は、上側がＳ極、下側がＮ極となるように配置されるとともに、第二永久磁石４３は、上側がＮ極、下側がＳ極となるように配置されている。

図２（ｂ）に示すサンプルプレート移動機構３０は、真空チャンバ１０の外側下方に配置され、ステージ３１と、Ｘ軸リニアアクチュエータ３２と、Ｙ軸リニアアクチュエータ３３とを備える。
ステージ３１は、板状体（例えば１．５ｃｍ×３ｃｍ×４ｃｍ）３１ａと、板状体３１ａ下面に形成されたステージ取付部３１ｂとを有する。そして、板状体３１ａ上面には、円柱形状（例えば直径５ｍｍ）の第三永久磁石３１ｃと、直方体形状（例えば７ｍｍ×１５ｍｍ×７ｍｍ）の電磁石５０と、円柱形状（例えば直径５ｍｍ）の第三永久磁石３１ｄとがＸ方向に沿ってこの順に配置されている。第三永久磁石３１ｃ、３１ｄは、上側がＳ極、下側がＮ極となるように配置されている。

図３は、本発明で用いる電磁石の一例を示す斜視図であり、図４は、図３の電磁石による磁性を示す図である。なお、図４（ａ）はＹＺ断面図であり、図４（ｂ）はＸＺ断面図である。
電磁石５０は、Ｘ軸よりＹ軸方向に長い直方体形状の磁性パイプ５１と、３個の円柱形状の電磁コイル５２とを備える。３個の電磁コイル５２は、磁性パイプ５１内部でＹ方向に並ぶように配置されており、コンピュータ７０によって電流が流されると、上側がＳ極、下側がＮ極となり、かつ、Ｙ軸に対して磁束が広がるようになっている。これにより、電磁石５０と第二永久磁石４３とを真空チャンバ１０の下面壁を介して−Ｚ方向に所定反発力で反発させる。

上記所定反発力は、サンプルプレート４０の重さと、第一永久磁石４２と第三永久磁石３１ｃとの吸引力と、第一永久磁石４４と第三永久磁石３１ｄとの吸引力とに対して、３個の電磁コイル５２と第二永久磁石４３との反発力とが（やや吸引側に）つり合うように調整されている。

ここで、本発明に係るＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳ１を用いて多数の試料を分析する分析方法について説明する。図５は、サンプルプレートが磁気により浮上した状態を説明するための図である。
まず、オペレータは、真空チャンバ１０内の下面壁上にサンプルプレート４０を載置する。このとき、サンプルプレート４０の第一永久磁石４２とステージ３１の第三永久磁石３１ｃとが引き合い、サンプルプレート４０の第一永久磁石４４とステージ３１の第三永久磁石３１ｄとが引き合うことで、サンプルプレート４０が真空チャンバ１０の下面壁に押し付けられて、真空チャンバ１０の下面壁を介してサンプルプレート４０とステージ３１とが一体化する。

次に、オペレータは、真空ポンプの運転を開始した後、操作部７２を用いて分析開始信号を入力する。これにより、ステージ制御部７１ａは、電磁石５０に電流を流すことにより、電磁石５０と第二永久磁石４３とを真空チャンバ１０の下面壁を介して−Ｚ方向に所定反発力で反発させる。このとき、サンプルプレート４０の第一永久磁石４２とステージ３１の第三永久磁石３１ｃとが引き合い、サンプルプレート４０の第一永久磁石４４とステージ３１の第三永久磁石３１ｄとが引き合うとともに、サンプルプレート４０の第二永久磁石４３とステージ３１の電磁石５０とが反発し合うことで、サンプルプレート４０が真空チャンバ１０の下面壁に対して磁気浮上した状態で、真空チャンバ１０の下面壁を介してサンプルプレート４０とステージ３１とが一体化する。これにより、振動や揺れを防ぎ、サンプルプレート４０を安定して移動させることができる。

そして、ステージ制御部７１ａは、Ｘ軸モータ３２ｃとＹ軸モータ３３ｃとに必要な駆動信号を出力し、所望のＸ方向とＹ方向とにステージ３１を移動させることで、これと同時にサンプルプレート４０を所望のＸ方向とＹ方向とに移動させることができる。このとき、サンプルプレート４０は、４個の保持部材４５を介して充分に小さな摩擦力で真空チャンバ１０の下面壁上を滑るように移動する。

最後に、オペレータは、操作部７２を用いて分析終了信号を入力する。これにより、ステージ制御部７１ａは、電磁石５０への電流供給を停止することにより、電磁石５０と第二永久磁石４３との間の反発力を解除させる。

以上のように、本発明のＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳ１によれば、ステージ３１を真空チャンバ１０外に設置することで、真空チャンバ１０内の電気的及び機械的負担が低減する。そして、サンプルプレート４０の移動時に磁気浮上させて、極めて低い摩擦力で真空チャンバ１０の下面壁上を移動させることにより、高速かつ高精度な動作を実現することができる。

＜他の実施形態＞
（１）上述した実施形態では、レーザ脱離イオン化法（ＬＤＩ）、マトリックス支援レーザ脱離イオン化法（ＭＡＬＤＩ）によるイオン源を用いる質量分析装置を例に説明したが、これ以外の分析装置にも適用することができる。具体的にはエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置（ＥＤＸ）、Ｘ線回折装置（ＸＲＤ）、電子線マイクロアナライザ（ＥＰＭＡ）、走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）、走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）、Ｘ線光電子分光分析装置（ＸＰＳ）等にも適用することができる。

（２）上述したＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳ１では、板状体４１の下面に４個の保持部材４５が配置される構成を示したが、これに代えて回転可能な保持部材（車輪）が配置されているような構成としてもよい。

本発明は、真空室内でサンプルプレートを移動させるためのサンプルプレート移動機構等に好適に利用することができる。

１ ＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳ（レーザ脱離イオン化質量分析装置）
１０ 真空チャンバ（真空室）
３０ サンプルプレート移動機構
３１ ステージ
３１ｃ、３１ｄ 第三永久磁石
４０ サンプルプレート
４２、４４ 第一永久磁石
４３ 第二永久磁石
５０ 電磁石

Claims (6)

1. 真空室内に配置されるサンプルプレートと、
   前記真空室外に配置され、Ｘ方向とＹ方向とに移動可能なステージとを備えるサンプルプレート移動機構であって、
   前記サンプルプレートには、第一永久磁石と、第二永久磁石とが配置されており、
   前記ステージには、前記第一永久磁石と前記真空室の器壁を介してＺ方向に引き合う第三永久磁石と、電磁石とが配置されており、
   分析するときには、前記電磁石を制御することにより、前記電磁石と前記第二永久磁石とを前記真空室の器壁を介して−Ｚ方向に所定反発力で反発させることを特徴とするサンプルプレート移動機構。
2. 前記サンプルプレートに配置された前記第一永久磁石は、２個の永久磁石からなり、前記第二永久磁石のＸ方向と−Ｘ方向とに配置されており、
   前記ステージに配置された前記第三永久磁石は、２個の永久磁石からなり、前記電磁石のＸ方向と−Ｘ方向とに配置されていることを特徴とする請求項１に記載のサンプルプレート移動機構。
3. 前記第二永久磁石の極性は、前記第一永久磁石の極性と逆方向となっていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のサンプルプレート移動機構。
4. 前記サンプルプレートの下面には、所定摩擦力以下とする保持部材が配置されていることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のサンプルプレート移動機構。
5. 前記サンプルプレートの上面には、複数の試料が載置されていることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載のサンプルプレート移動機構。
6. 請求項５に記載のサンプルプレート移動機構と、
   前記真空室と、
   レーザ光を試料に照射する照射手段と、
   前記レーザ光が照射された試料から放出された気化試料又はイオンを検出する検出手段と、
   前記ステージをＸ方向及び／又はＹ方向に移動させながら、前記サンプルプレート上の各試料から放出された気化試料又はイオンを前記検出手段でそれぞれ検出していく制御部とを備えることを特徴とするレーザ脱離イオン化質量分析装置。

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